CN220419792U - 一种纳米压印制造设备及ar镜片制造设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种纳米压印制造设备及AR镜片制造设备，纳米压印制造设备包括第一驱动电机、第一传动轴、第一平台、第二平台、压印模块、固化模块、脱模模块、支撑模块以及夹持模块；第一平台静止设置在第二平台上方；第一平台的下端面分别设置能够与夹持模块电磁吸附连接的压印模块、固化模块以及脱模模块；第二平台的上端面在压印模块、固化模块以及脱模模块的下方对应设置支撑模块；第一驱动电机与第一传动轴连接，第一传动轴与第二平台固定连接，使得压印、固化以及脱模模块可以同步作业，多个旋涂压印胶的玻璃晶圆能够同时在压印、固化以及脱模对应工艺进行处理，大大提升AR镜片纳米压印工艺制造的生产效率。

Description

一种纳米压印制造设备及AR镜片制造设备

技术领域

本实用新型属于AR技术领域，具体涉及一种纳米压印制造设备及AR镜片制造设备。

背景技术

随着信息技术的发展，AR技术日益成熟，AR技术被越来越广泛的应用于教育、医疗、娱乐、工业等行业。

目前，比较成熟的AR眼镜技术方案主要分为棱镜方案、bi rdbath方案、自由曲面方案、离轴全息透镜方案和波导(Lightguide)方案。其中对于波导方案，包括表面浮雕光栅波导方案、体全息光栅波导方案。

现有采用表面浮雕光栅波导方案的AR镜片一般采用纳米压印工艺进行生产，现有的纳米压印设备每次只能放入一个玻璃晶圆，每个玻璃晶圆依次按照压印、固化以及脱模顺序进行对应工艺处理，使得采用纳米压印工艺制造的AR镜片的生产效率低。

实用新型内容

为了克服现有技术的缺陷，本实用新型提供一种纳米压印制造设备及AR镜片制造设备。

本实用新型通过如下技术方案实现：

本实用新型提供一种纳米压印制造设备，包括第一驱动电机、第一传动轴、第一平台、第二平台、压印模块、固化模块、脱模模块、支撑模块以及夹持模块；

所述夹持模块用于夹持压印模板；

所述第一平台静止设置在第二平台上方；

所述第一平台的下端面分别设置所述压印模块、固化模块以及脱模模块，所述压印模块、脱模模块以及支撑模块能够与所述夹持模块电磁吸附连接；

所述第二平台的上端面在所述压印模块、固化模块以及脱模模块的下方分别对应设置所述支撑模块；

所述第一驱动电机与所述第一传动轴连接，所述第一传动轴与所述第二平台固定连接；所述第一驱动电机通过第一传动轴带动第二平台转动。

进一步的，所述第一平台的中间开设第一通孔；

所述第二平台的中间开设第二通孔；

所述第一传动轴通过轴承与所述第一通孔连接；

所述第一传动轴与所述第二通孔固定连接。

进一步的，

所述压印模块包括第一支撑单元、第一辊压单元；

所述第一辊压单元设置在所述第一支撑单元内部；

所述第一支撑单元设置在所述第一平台的下端面，第一支撑单元能够升降且具有电磁吸附功能；

所述第一辊压单元设置在所述第一平台的下端面，第一辊压单元能够升降和水平移动。

进一步的，

所述第一支撑单元包括第二驱动电机、第三驱动电机、第一升降丝杠、第二升降丝杠以及第一控制器；

所述第二驱动电机与所述第一升降丝杠的顶端连接，所述第一升降丝杠的底端设置第一电磁吸附件，所述第一电磁吸附件与所述第一控制器通信连接；

所述第三驱动电机与所述第二升降丝杠的顶端连接，所述第二升降丝杠的底端设置第二电磁吸附件，所述第二电磁吸附件与所述第一控制器通信连接；

所述第一平台上设置第三通孔和第四通孔；

所述第一升降丝杠与所述第三通孔螺纹连接，所述第二升降丝杠与所述第四通孔螺纹连接。

进一步的，所述第一辊压单元包括第一水平滑动组件、第一气缸组件以及第一压辊组件；

所述第一水平滑动组件安装在所述第一平台的下端面；

所述第一水平滑动组件与所述第一气缸组件连接；

所述第一气缸组件与所述第一压辊组件连接。

进一步的，所述第一水平滑动组件包括第一滑轨、第一滑座、第四驱动电机、第一传动丝杠；

所述第一滑轨安装在所述第一平台的下端面；

所述第四驱动电机与所述第一传动丝杠连接，所述第一传动丝杠与所述第一滑座连接，所述第一滑座与所述第一滑轨滑动连接；

所述第一滑座的底端固定连接所述第一气缸组件。

进一步的，所述第一压辊组件包括第五驱动电机、第二传动轴以及第一压辊；

所述第五驱动电机的底端与所述第一气缸组件连接，所述第五驱动电机的侧壁与所述第二传动轴连接，所述第二传动轴与所述第一压辊连接。

进一步的，所述固化模块采用UV灯,所述UV灯安装在所述第一平台的下端面。

进一步的，所述脱模模块包括第二支撑单元、第二辊压单元；

所述第二辊压单元设置在所述第二支撑单元内部；

所述第二支撑单元设置在所述第一平台的下端面，第二支撑单元能够升降且具有电磁吸附功能；

所述第二辊压单元设置在所述第一平台的下端面，第二辊压单元能够升降和水平移动。

进一步的，所述第二支撑单元包括第六驱动电机、第七驱动电机、第三升降丝杠、第四升降丝杠以及第二控制器；

所述第六驱动电机与所述第三升降丝杠的顶端连接，所述第三升降丝杠的底端设置第三电磁吸附件，所述第三电磁吸附件与所述第二控制器通信连接；

所述第七驱动电机与所述第四升降丝杠的顶端连接，所述第四升降丝杠的底端设置第四电磁吸附件，所述第四电磁吸附件与所述第二控制器通信连接；

所述第一平台上设置第五通孔和第六通孔；

所述第三升降丝杠与所述第五通孔螺纹连接，所述第四升降丝杠与所述第六通孔螺纹连接。

进一步的，

所述第二辊压单元包括第二水平滑动组件、第二气缸组件以及第二压辊组件；

所述第二水平滑动组件安装在所述第一平台的下端面；

所述第二水平滑动组件与所述第二气缸组件连接；

所述第二气缸组件与所述第二压辊组件连接。

进一步的，所述第二水平滑动组件包括第二滑轨、第二滑座、第八驱动电机、第二传动丝杠；

所述第二滑轨安装在所述第一平台的下端面；

所述第八驱动电机与所述第二传动丝杠连接，所述第二传动丝杠与所述第二滑座连接，所述第二滑座与所述第二滑轨滑动连接；

所述第二滑座的底端固定连接所述第二气缸组件。

进一步的，所述第二压辊组件包括第九驱动电机、第三传动轴以及第二压辊；

所述第九驱动电机的底端与所述第二气缸组件连接，所述第九驱动电机的侧壁与所述第三传动轴连接，所述第三传动轴与所述第二压辊连接。

进一步的，所述支撑模块包括升降单元和支撑台；

所述支撑台安装在所述第二平台的上端面；

所述升降单元设置在所述支撑台的两侧；

所述升降单元的顶端具有电磁吸附功能。

进一步的，所述升降单元包括第十驱动电机、第十一驱动电机、第五升降丝杠、第六升降丝杠以及第三控制器；

所述第五升降丝杠和第六升降丝杠设置在所述支撑台的两侧；

所述第十驱动电机与所述第五升降丝杠的底端连接，所述第五升降丝杠的顶端设置第五电磁吸附件，所述第五电磁吸附件与所述第三控制器通信连接；

所述第十一驱动电机与所述第六升降丝杠的底端连接，所述第六升降丝杠的顶端设置第六电磁吸附件，所述第六电磁吸附件与所述第三控制器通信连接；

所述第二平台上设置第七通孔和第八通孔；

所述第五升降丝杠与所述第七通孔螺纹连接，所述第六升降丝杠与所述第八通孔螺纹连接。

进一步的，所述压印模板包括软膜衬底和粘附在软膜衬底下方的软膜胶，所述软膜胶上具有母版的刻蚀结构。

本实用新型还提供一种AR镜片制造设备，包括上料模块、等离子处理模块、匀胶模块、纳米压印模块、烘烤模块、后固化模块、下料模块以及自动输送模块，所述纳米压印模块采用上述的纳米压印制造设备；

所述上料模块用于放置玻璃晶圆基体；

所述自动输送模块将所述玻璃晶圆基体输送至所述等离子处理模块；

所述等离子处理模块对所述玻璃晶圆基体的表面进行等离子处理；

所述自动输送模块将等离子处理后的玻璃晶圆基体输送至所述匀胶模块；

所述匀胶模块对等离子处理后的所述玻璃晶圆基体进行匀胶处理，得到旋涂压印胶的玻璃晶圆；

所述自动输送模块将所述旋涂压印胶的玻璃晶圆输送至所述纳米压印模块；

所述纳米压印模块对所述旋涂压印胶的玻璃晶圆进行压印、固化以及脱模处理，得到AR镜片；

所述自动输送模块将所述AR镜片输送至所述烘烤模块；

所述烘烤模块对所述AR镜片进行烘烤处理；

所述自动输送模块将烘烤处理后的所述AR镜片输送至所述后固化模块；

所述后固化模块对所述AR镜片进行固化处理；

所述自动输送模块将固化处理后的所述AR镜片输送至所述下料模块；

所述下料模块用于放置AR镜片。

进一步的，所述匀胶模块包括吸附载台、增粘剂供应单元、压印胶供应单元；

所述吸附载台能够转动；

所述自动输送模块将所述玻璃晶圆基体输送至所述吸附载台；

所述吸附载台对所述玻璃晶圆基体进行吸附固定；

所述增粘剂供应单元向所述玻璃晶圆基体表面滴加增粘剂；

所述吸附载台转动，使得所述玻璃晶圆基体的表面旋涂所述增粘剂，得到旋涂增粘剂的玻璃晶圆；

所述压印胶供应单元向旋涂增粘剂的玻璃晶圆表面滴加压印胶；

所述吸附载台转动，使得压印胶旋涂在玻璃晶圆表面，得到旋涂压印胶的玻璃晶圆。

进一步的，还包括第一加热模块；

所述自动输送模块将旋涂增粘剂的玻璃晶圆输送至第一加热模块；

第一加热模块对旋涂增粘剂的玻璃晶圆表面进行加热处理。

进一步的，还包括第二加热模块；

所述自动输送模块将旋涂压印胶的玻璃晶圆输送至第二加热模块；

所述第二加热模块对旋涂压印胶的玻璃晶圆表面进行加热处理。

进一步的，还包括冷却模块；

所述自动输送模块将所述旋涂压印胶的玻璃晶圆输送至所述冷却模块；

所述冷却模块对旋涂压印胶的玻璃晶圆进行降温冷却处理。

和现有技术比，本实用新型的技术方案具有如下有益效果：

本实用新型提供的纳米压印制造设备，压印、固化以及脱模模块可以同步作业，使得多个旋涂压印胶的玻璃晶圆能够同时放置在压印、固化以及脱模工艺同步运作的纳米压印模块内，每个旋涂压印胶的玻璃晶圆按照压印、固化以及脱模的工序在对应工序上进行处理，大大提升AR镜片纳米压印工艺制造的生产效率。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型的AR镜片制造设备的总体结构框架示意图。

图2为纳米压印模块的结构示意图；

图3为图2中的压印模块与夹持模块的连接结构示意图；

图4为图2中的固化模块的结构示意图；

图5为图2中的脱模模块的结构示意图；

图6为图2中的支撑模块的结构示意图；

图7为图2中的夹持模块与压印模板连接示意图；

图8为图7中的第一吸附体与第一凹槽的连接结构的局部侧切面放大图；

图9为图7中的第二吸附体与第二凹槽的连接结构的局部侧切面放大图；

图10为图7的第一吸附体与第一凹槽的连接结构的局部正切面放大图；

图11为图8中的A部分的局部放大图；

图12为本实用新型的AR镜片制造工艺的总体流程图；

图13a、图13b、图13c、图13d、图13e、图13f、图13g、图13h、图13i、图13j、图13k、图13l、图13m、图13n、图13o、图13p、图13q为本实用新型纳米压印模块各个工艺阶段的工作状态示意图；

其中，1-压印模块，1-1-第一升降丝杠，1-2-第二升降丝杠，1-3-第一滑轨，1-4-第一压辊，2-固化模块，2-1-UV灯，3-脱模模块，3-1第三升降丝杠，3-2-第四升降丝杠，3-3-第二滑轨，3-4-第二压辊，4-支撑模块，4-1-第五升降丝杠，4-2-第六升降丝杠，4-3-支撑台，5-第一传动轴，6-第一平台，7-第二平台，8-夹持模块，8-1-夹持框体，8-2-第一弹性部件，8-3-第二弹性部件，8-4-第一夹具，8-5-第二夹具，8-6-第一定位槽，8-7-第一吸附体，8-8-第二定位槽，8-9-第二吸附体，8-10-第一滚轮，8-11-第二滚轮，8-12-第一磁吸轴体，8-13-第一连接块，8-14-第二连接块，8-15-第一轴承体，8-16-第一限位块，8-17-第二限位块，9-压印模板,10-旋涂压印胶的玻璃晶圆。

具体实施方式

下面将结合本实用新型的实施例，对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本文中，术语“第一”、“第二”和其它类似词语并不意在暗示任何顺序、数量和重要性，而是仅仅用于对不同的元件进行区分。在本文中，术语“一”、“一个”和其它类似词语并不意在表示只存在一个所述事物，而是表示有关描述仅仅针对所述事物中的一个，所述事物可能具有一个或多个。在本文中，术语“包含”、“包括”和其它类似词语意在表示逻辑上的相互关系，而不能视作表示空间结构上的关系。例如，“A包括B”意在表示在逻辑上B属于A，而不表示在空间上B位于A的内部。另外，术语“包含”、“包括”和其它类似词语的含义应视为开放性的，而非封闭性的。例如，“A包括B”意在表示B属于A，但是B不一定构成A的全部，A还可能包括C、D、E等其它元素。

在本文中，术语“实施例”、“本实施例”、“优选实施例”、“一个实施例”并不表示有关描述仅仅适用于一个特定的实施例，而是表示这些描述还可能适用于另外一个或多个实施例中。本领域技术人员应理解，在本文中，任何针对某一个实施例所做的描述都可以与另外一个或多个实施例中的有关描述进行替代、组合、或者以其它方式结合，所述替代、组合、或者以其它方式结合所产生的新实施例是本领域技术人员能够容易想到的，属于本实用新型的保护范围。

在本文的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

本实用新型提供一种AR镜片制造设备，如图1所示，包括上料模块、等离子处理模块、匀胶模块、纳米压印模块、下料模块、烘烤模块、后固化模块以及自动输送模块。

其中，

上料模块用于放置玻璃晶圆基体。

等离子处理模块用于对玻璃晶圆基体的表面进行等离子处理，去除玻璃晶圆基体表面比如有机物等污物，提高玻璃晶圆基体表面的附着力。

匀胶模块用于对等离子处理模块处理后的玻璃晶圆基体进行匀胶处理，得到旋涂压印胶的玻璃晶圆。

纳米压印模块用于对旋涂压印胶的玻璃晶圆进行压印、固化以及脱模处理，得到AR镜片。

烘烤模块可用于对AR镜片进行烘烤处理。

后固化模块可用于对AR镜片进行固化处理。

下料模块用于放置AR镜片。

示例性的，上述匀胶模块包括吸附载台、增粘剂供应单元、压印胶供应单元。

吸附载台能够转动，吸附载台、增粘剂供应单元以及压印胶供应单元采用现有设备即可，比如吸附载台可以采用现有真空吸附载台，增粘剂供应单元以及压印胶供应单元采用现有泵送设备等。

吸附载台对自动输送模块输送的玻璃晶圆基体进行吸附固定。

增粘剂供应单元向玻璃晶圆基体表面滴加增粘剂，吸附载台转动，使得玻璃晶圆基体的表面旋涂增粘剂，得到旋涂增粘剂的玻璃晶圆。

压印胶供应单元向旋涂增粘剂的玻璃晶圆表面滴加压印胶。

吸附载台转动，使得压印胶旋涂在玻璃晶圆表面，得到旋涂压印胶的玻璃晶圆。

作为优选实施方式，这里的匀胶模块还包括对位单元，对位单元可以将自动输送模块输送到吸附载台的玻璃晶圆基体放置在吸附载台的对应位置上。示例性的，对位单元可以采用机械手搭配光学对位镜头的方式实现对位，机械手以及光学对位镜头采用现有设备即可。

作为优选实施方式，上述的AR镜片制造设备，还包括第一加热模块以及第二加热模块。

示例性的，第一加热模块可以采用加热板，第二加热模块可以采用加热板。

其中，

第一加热模块对自动输送模块输送的旋涂增粘剂的玻璃晶圆表面进行加热处理，这里加热处理的作用有两个，一个作用是去除为了将增粘剂具有所需薄度而在增粘剂中添加的稀释剂，另一个作用是提高增粘剂与玻璃晶圆基体表面的附着力。

第二加热模块对自动输送模块输送的旋涂压印胶的玻璃晶圆表面进行加热处理，去除为了将压印胶具有所需薄度而在压印胶内添加的稀释剂。

作为优选实施方式，上述的AR镜片制造设备，还包括冷却模块，冷却模块用于对加热后的旋涂压印胶的玻璃晶圆进行降温冷却处理，使得旋涂压印胶的玻璃晶圆处于室温温度，避免对后续纳米压印效果造成影响。

示例性的，冷却模块可以采用冷却板。

其中，纳米压印模块能够实现压印、固化以及脱模工艺同步运作。

示例性的，

如图2所示，纳米压印模块包括第一驱动电机、第一传动轴5、第一平台6、第二平台7、压印模块1、固化模块2、脱模模块3、支撑模块4以及夹持模块。

压印模块1、脱模模块3以及支撑模块4能够与夹持模块电磁吸附连接。

第一平台6位于第二平台7上方。

第一平台6的下端面分别设置压印模块1、固化模块2以及脱模模块3。

第二平台7的上端面在压印模块1、固化模块2以及脱模模块3的下方分别对应设置支撑模块4。

第一平台6是静止不动的，示例性的，可以在第一平台6的中间开设第一通孔，第一传动轴5通过轴承与第一通孔连接。

第二平台7能够转动，示例性的，可以将第一驱动电机与第一传动轴5连接，第二平台7的中间开设第二通孔，第一传动轴5与第二通孔固定连接，第一驱动电机通过第一传动轴5带动第二平台7转动。

示例性的，上述压印模块1包括第一支撑单元、第一辊压单元。

第一辊压单元设置在第一支撑单元内部。

第一支撑单元设置在第一平台的下端面，第一支撑单元能够升降且具有电磁吸附功能。

第一辊压单元设置在第一平台的下端面，第一辊压单元能够升降和水平移动。

示例性的，如图3所示，第一支撑单元包括第二驱动电机、第三驱动电机、第一升降丝杠1-1、第二升降丝杠1-2以及第一控制器。

第二驱动电机与第一升降丝杠1-1的顶端连接，第一升降丝杠1-1的底端设置第一电磁吸附件，第一电磁吸附件与第一控制器通信连接。第一控制器可控制第一电磁吸附件的吸附功能的开闭，示例性的，这里的第一电磁吸附件可以采用电磁吸附板。

第三驱动电机与第二升降丝杠1-2的顶端连接，第二升降丝杠1-2的底端设置第二电磁吸附件，第二电磁吸附件与第一控制器通信连接。第一控制器可控制第二电磁吸附件的吸附功能的开闭，示例性的，这里的第二电磁吸附件可以采用电磁吸附板。

第一平台6上设置第三通孔和第四通孔。

第一升降丝杠1-1的杠身与第三通孔螺纹连接，第二升降丝杠1-2的杠身与第四通孔螺纹连接。

示例性的，

第一辊压单元包括第一水平滑动组件、第一气缸组件以及第一压辊组件。

第一水平滑动组件安装在第一平台6的下端面。

第一水平滑动组件与第一气缸组件连接。

第一气缸组件与所述第一压辊组件连接。

示例性的，

第一水平滑动组件包括第一滑轨1-3、第一滑座、第四驱动电机、第一传动丝杠。

第一滑轨安装在第一平台6的下端面。

第四驱动电机与第一传动丝杠连接，第一传动丝杠与第一滑座连接，第一滑座与第一滑轨滑动连接。

第一滑座的底端固定连接第一气缸组件。

示例性的，第一气缸组件采用现有气缸系统即可。

示例性的，

如图3所示，第一压辊组件包括第五驱动电机、第二传动轴以及第一压辊1-4。

第五驱动电机的底端与第一气缸组件连接，第五驱动电机的侧壁与第二传动轴连接，第二传动轴与第一压辊1-4连接。

示例性的，如图4所示，上述固化模块2可以采用UV灯2-1,将UV灯2-1安装在第一平台6的下端面。

示例性的，上述脱模模块3包括第二支撑单元、第二辊压单元。

第二辊压单元设置在第二支撑单元内部。

第二支撑单元设置在第一平台的下端面，第二支撑单元能够升降且具有电磁吸附功能。

第二辊压单元设置在第一平台的下端面，第二辊压单元能够升降和水平移动。

示例性的，

如图5所示，第二支撑单元包括第六驱动电机、第七驱动电机、第三升降丝杠3-1、第四升降丝杠3-2以及第二控制器。

第六驱动电机与第三升降丝杠3-1的顶端连接，第三升降丝杠3-1的底端设置第三电磁吸附件，第三电磁吸附件与第二控制器通信连接。第二控制器可控制第三电磁吸附件的吸附功能的开闭，示例性的，这里的第三电磁吸附件可以采用电磁吸附板。

第七驱动电机与第四升降丝杠3-2的顶端连接，第四升降丝杠3-2的底端设置第四电磁吸附件，第四电磁吸附件与第二控制器通信连接。第二控制器可控制第四电磁吸附件的吸附功能的开闭，示例性的，这里的第四电磁吸附件可以采用电磁吸附板。

第一平台6上设置第五通孔和第六通孔。

第三升降丝杠3-1的杠身与第五通孔螺纹连接，第四升降丝杠3-2的杠身与第六通孔螺纹连接。

示例性的，

第二辊压单元包括第二水平滑动组件、第二气缸组件以及第二压辊组件。

第二水平滑动组件安装在所述第一平台6的下端面。

第二水平滑动组件与第二气缸组件连接。

第二气缸组件与所述第二压辊组件连接。

示例性的，

第二水平滑动组件包括第二滑轨3-3、第二滑座、第八驱动电机、第二传动丝杠。

第二滑轨安装在第一平台6的下端面。

第八驱动电机与第二传动丝杠连接，第二传动丝杠与第二滑座连接，第二滑座与第二滑轨滑动连接。

第二滑座的底端固定连接第二气缸组件。

示例性的，第二气缸组件可以采用现有气缸系统即可。

示例性的，

如图5所示，第二压辊组件包括第九驱动电机、第三传动轴以及第二压辊3-4。

第九驱动电机的底端与第二气缸组件连接，第九驱动电机的侧壁与第三传动轴连接，第三传动轴与第二压辊3-4连接。

示例性的，

上述支撑模块4包括升降单元和支撑台。

支撑台安装在第二平台的上端面。

升降单元设置在支撑台的两侧。

升降单元的顶端具有电磁吸附功能。

示例性的，

如图6所示，升降单元包括第十驱动电机、第十一驱动电机、第五升降丝杠4-1、第六升降丝杠4-2以及第三控制器。

第五升降丝杠4-1和第六升降丝杠4-2设置在支撑台的两侧。

第十驱动电机与第五升降丝杠4-1的底端连接，第五升降丝杠4-1的顶端设置第五电磁吸附件，第五电磁吸附件与第三控制器通信连接；第三控制器可控制第五电磁吸附件的吸附功能的开闭，示例性的，这里的第五电磁吸附件可以采用电磁吸附板。

第十一驱动电机与第六升降丝杠4-2的底端连接，第六升降丝杠4-2的顶端设置第六电磁吸附件，第六电磁吸附件与第三控制器通信连接；第三控制器可控制第六电磁吸附件的吸附功能的开闭，示例性的，这里的第六电磁吸附件可以采用电磁吸附板。

第二平台7上设置第七通孔和第八通孔。

第五升降丝杠4-1的杠身与第七通孔螺纹连接，第六升降丝杠4-2的杠身与第八通孔螺纹连接。

示例性的，

上述的上料模块以及下料模块可以采用卡塞盒模式。

等离子处理模块采用现有设备即可，比如大气等离子处理设备。

烘烤模块采用现有设备即可，比如加热板。

后固化模块采用现有设备即可，比如UV灯。

上述自动输送模块用于在上料模块、等离子处理模块、匀胶模块、纳米压印模块、烘烤模块、后固化模块以及下料模块等之间内的物料输送，大大提高AR镜片制造的生产效率。

示例性的，上述自动输送模块包括第四控制器、输送部件和机械手。

输送部件包括第十二驱动电机、第三传动丝杠、传动滑块、移动轨道。

第四控制器与第十二驱动电机通信连接，第十二驱动电机与第三传动丝杆连接，第三传动丝杠上设置传动滑块，传动滑块与移动轨道滑动连接，传动滑块上固定设置机械手，机械手用于抓取各个模块上的待输送物料。

这里的自动输送模块的数目不加以限制，自动输送模块可以采用一个，也可以采用多个，具体根据上料模块、等离子处理模块、匀胶模块、纳米压印模块、烘烤模块、后固化模块以及下料模块等各个功能模块的排布设计进行选取。

示例性的，如图7所示，上述夹持模块8包括夹持框体8-1、弹性部件、夹具。

夹持框体8-1内部通过弹簧部件与夹具连接，夹具用于夹持压印模板9。

其中，压印模板9包括软膜衬底和粘附在软膜衬底下方的软膜胶，软膜胶上具有母版的刻蚀结构。这里母版上的刻蚀结构可以是光栅结构。

示例性的，压印模板的制备工艺如下：

在具有刻蚀结构的母版上旋涂软膜胶。

将软膜衬底与所述母版贴合，对软膜衬底施加压力，使得母版上的刻蚀结构转印到软膜胶上，得到具有刻蚀结构的软膜胶。

依次利用紫外光固化以及脱模工序，将具有刻蚀结构的软膜胶粘附于软膜衬底上，得到所述压印模板。

示例性的，弹性部件包括第一弹性部件8-2和第二弹性部件8-3，夹具包括第一夹具8-4和第二夹具8-5。

夹持框体8-1的内部一侧通过第一弹性部件8-2与第一夹具8-4连接，夹持框体8-1的内部另一侧通过第二弹性部件8-3与第二夹具8-5连接，这里夹持框体8-1的内部一侧和夹持框体8-1的内部另一侧为平行关系。

压印模板9的一端与第一夹具8-4连接，压印模板9的另一端与第二夹具8-5连接。

示例性的，弹性部件可以采用弹簧。示例性的，第一夹具和/第二夹具可以包括夹板和螺丝，采用夹板将压印模块固定，采用螺丝将压印模块和夹板紧固。

夹持框体8-1的两端设置具有磁吸功能的吸附体，以便与压印模块1、脱模模块3、支撑模块4等进行磁吸连接。

示例性的，夹持框体8-1的一侧在上表面开设第一定位槽8-6，第一定位槽8-6内放置具有磁吸功能的第一吸附体8-7。夹持框体8-1的另一侧在上表面开设第二定位槽8-8，第二定位槽8-8内放置具有磁吸功能的第二吸附体8-9(如图9所示)。

由于，在压印过程中需要夹持模块8一侧与支撑模块4一侧电磁吸附连接，夹持模块8另一侧与压印模块1一侧电磁吸附连接，而在完成压印操作后夹持模块8与压印模块1底端处于平齐状态，作为优选实施方式，第一定位槽8-6的内壁长度大于第一吸附体8-7的直径，第二定位槽8-8的内壁与第二吸附体8-9的外壁适配。或者第一定位槽8-6的内壁与所述第一吸附体8-7的外壁适配，第二定位槽8-8的内壁长度大于第二吸附体8-9的直径。进而在压印过程中通过在第一定位槽8-6内移动第一吸附体8-7或者第二定位槽8-8内移动第二吸附体8-9，从而保证压印操作完成后夹持模块8与压印模块1底端处于平齐状态。

作为优选实施方式，为了便于第一定位槽8-6内移动第一吸附体8-7或者第二定位槽8-8内移动第二吸附体8-9。如图10所示，对于第一定位槽8-6的内壁长度大于第一吸附体8-7的直径的情形，第一定位槽8-6沿内壁长度方向在内壁上表面紧密排列第一滚轮8-10，第一定位槽8-6沿内壁长度方向在内壁下表面紧密排列第二滚轮8-11。对于第二定位槽8-8的内壁长度大于第二吸附体8-9的直径的情形，第二定位槽8-8沿内壁长度方向在内壁上表面紧密排列第一滚轮8-10，第二定位槽8-8沿内壁长度方向在内壁下表面紧密排列第二滚轮8-11，此种情形图中未示出。

作为优选实施方式，第一吸附体8-7以及第二吸附体8-9能够实现自转。示例性的，第一吸附体8-7采用第一磁吸轴体8-12(如图8所示)，第二吸附体采用第二磁吸轴体(图中未示出)，在外力作用下，使得第一磁吸轴体以及第二磁吸轴体可以自转，从而在压印过程中实现压印角度变化调整以及防止对与对应吸附体磁吸连接的压印模块1造成损伤。

针对第一吸附体8-7采用第一磁吸轴体，第二吸附体采用第二磁吸轴体，且第一定位槽8-6沿内壁长度方向在内壁上表面紧密排列第一滚轮8-10，第一定位槽8-6沿内壁长度方向在内壁下表面紧密排列第二滚轮8-11的情形，为了保证第一磁吸轴体以及第二磁吸轴体可以自转，且为了顺利实现第一磁吸轴体相对第一滚轮8-10以及第二滚轮8-11的移动。

示例性的，如图8所示，夹持模块8还包括第一连接部件，第一连接部件包括第一连接块8-13、第二连接块8-14、第一轴承体8-15和第二轴承体。

第一磁吸轴体8-12的一端通过第一轴承体8-15与第一连接块8-13连接(如图11所示)，第一连接块8-13的上端面与上述第一滚轮8-10接触，第一连接块8-13的下端面与上述第二滚轮8-11接触。

第一磁吸轴体8-12的另一端通过第二轴承体(图中未示出)与第二连接块8-14连接，第二连接块8-14的上端面与上述第一滚轮8-10接触，第二连接块8-14的下端面与上述第二滚轮8-11接触。

此时，为了保证第一连接块8-13、第二连接块8-14持续与第一滚轮8-10和第二滚轮8-11接触，夹持模块8还包括第一限位块8-16和第二限位块8-17。第一连接块8-13与第一滚轮8-10或者第二滚轮8-11接触一端穿过第一滚轮8-10下端面和第二滚轮8-11上端面之间的间隙与第一限位块8-16连接，第一限位块8-16的高度大于第一滚轮8-10下端面和第二滚轮8-11上端面之间的间隙高度。第二连接块8-14与第一滚轮8-10或者第二滚轮8-11接触一端穿过第一滚轮8-10下端面和第二滚轮8-11上端面之间的间隙与第二限位块8-17连接，第二限位块8-17的高度大于第一滚轮8-10下端面和第二滚轮8-11上端面之间的间隙高度。

针对第一吸附体采用第一磁吸轴体，第二吸附体采用第二磁吸轴体，且第二定位槽沿内壁长度方向在内壁上表面紧密排列第一滚轮，第二定位槽沿内壁长度方向在内壁下表面紧密排列第二滚轮的情形，为了保证第一磁吸轴体以及第二磁吸轴体可以自转，且为了顺利实现第二磁吸轴体相对第一滚轮、第二滚轮的移动。

示例性的，夹持模块8包括第二连接部件，第二连接部件包括第三连接块、第四连接块、第三轴承体和第四轴承体(图中未示出)。

第二磁吸轴体的一端通过第三轴承体与第三连接块连接，第三连接块的上端面与上述第一滚轮接触，第三连接块的下端面与上述第二滚轮接触。第二磁吸轴体的另一端通过第四轴承体与第四连接块连接，第四连接块的上端面与上述第一滚轮接触，第四连接块的下端面与上述第二滚轮接触。

此时，为了保证第三连接块、第四连接块持续与第一滚轮和第二滚轮接触，第二连接部件还包括第三限位块和第四限位块。第三连接块与第一滚轮或者第二滚轮接触一端穿过第一滚轮的下端面和第二滚轮上端面之间的间隙与第三限位块连接，第三限位块的高度大于第一滚轮下端面和第二滚轮上端面之间的间隙高度。第四连接块与第一滚轮或者第二滚轮接触一端穿过第一滚轮下端面和第二滚轮上端面之间的间隙与第四限位块连接，第四限位块的高度大于第一滚轮下端面和第二滚轮上端面之间的间隙高度。

采用上述AR镜片制造设备制造AR镜片的工艺，如图12所示，总体包括如下步骤：

P1在上料模块上放置玻璃晶圆基体。

P2自动输送模块将玻璃晶圆基体输送至等离子处理模块。

P3等离子处理模块对玻璃晶圆基体的表面进行等离子处理。示例性的，处理气体为氧气、氩气、氮气等，处理功率50-500w，处理时间5-60s。

P4自动输送模块将等离子处理后的玻璃晶圆基体输送至匀胶模块。

P5匀胶模块对等离子处理后的玻璃晶圆基体进行匀胶处理，得到旋涂压印胶的玻璃晶圆。

P6自动输送模块将旋涂压印胶的玻璃晶圆输送至纳米压印模块。

P7纳米压印模块对旋涂压印胶的玻璃晶圆进行压印、固化以及脱模处理，得到AR镜片。

P8自动输送模块将AR镜片输送至烘烤模块。

P9烘烤模块对AR镜片进行烘烤处理。示例性的，烘烤温度50-150℃，烘烤时间60s-1H之间，可以提升产品稳定性。

P10自动输送模块将烘烤处理后的AR镜片输送至后固化模块。

P11后固化模块对烘烤处理后的AR镜片进行固化处理。示例性的，固化处理采用UV固化处理，UV固化功率100-1000mW，UV固化时间10-600s，可以提升产品稳定性。

P12自动输送模块将固化处理后的AR镜片输送至下料模块。

需要说明的是，上述P8-P11步骤是可选择操作的，具体可以根据AR镜片的产品要求确定是否要做这些处理。

其中，匀胶模块对玻璃晶圆基体进行匀胶处理，得到旋涂压印胶的玻璃晶圆，具体包括如下步骤：

吸附载台对自动输送模块输送的玻璃晶圆基体进行吸附固定。

采用增粘剂供应单元向玻璃晶圆基体表面滴加增粘剂，示例性的，增粘剂型号比如KH570、KBM603等。

吸附载台转动，使得玻璃晶圆基体的表面旋涂增粘剂，得到旋涂增粘剂的玻璃晶圆。

自动输送模块将旋涂增粘剂的玻璃晶圆输送至第一加热模块。

第一加热模块对旋涂增粘剂的玻璃晶圆表面进行加热处理，通常为80-120℃加热2-5min。

自动输送模块将加热处理后的旋涂增粘剂的玻璃晶圆输送至吸附载台。

吸附载台对加热处理后的旋涂增粘剂的玻璃晶圆进行吸附固定。

采用压印胶供应单元向加热处理后的旋涂增粘剂的玻璃晶圆表面滴加压印胶，示例性的，压印胶可以采用德路(de lo)533861型号的压印胶。

吸附载台转动，使得压印胶旋涂在玻璃晶圆表面，去除玻璃晶圆基体表面外圈以及侧面和背面的多余压印胶，得到旋涂压印胶的玻璃晶圆。

自动输送模块将旋涂压印胶的玻璃晶圆输送至第二加热模块。

第二加热模块对旋涂压印胶的玻璃晶圆进行加热处理，通常50-100℃加热30s-120s。

自动输送模块将加热处理后的旋涂压印胶的玻璃晶圆输送至冷却模块。

冷却模块对加热处理后的旋涂压印胶的玻璃晶圆进行降温冷却处理，得到冷却后的旋涂压印胶的玻璃晶圆。示例性的，将加热处理后的旋涂压印胶的玻璃晶圆放置在室温的冷却板上，直至玻璃晶圆温度降至室温。

其中，纳米压印模块对旋涂压印胶的玻璃晶圆进行压印、固化以及脱模处理，得到AR镜片，具体包括如下步骤：

多个旋涂压印胶的玻璃晶圆同时放置在压印、固化以及脱模工艺同步运作的纳米压印模块内。

每个旋涂压印胶的玻璃晶圆按照压印、固化以及脱模的工序在对应工序上进行处理。

更具体的，包括如下步骤：

S1将旋涂压印胶的玻璃晶圆10放置在压印模块1下方的支撑模块4上进行压印操作，得到玻璃晶圆压印单元。示例性的，压印速度0.5-20mm/s，压印压力1000Pa-200000Pa。

具体的，

1)将旋涂压印胶的玻璃晶圆10放置在压印模块1下方的支撑模块4上(如图13a所示)。

2)采用夹持模块8夹持压印模板9，将夹持模块8的两侧与第一支撑单元底端两侧电磁吸附连接(如图13a所示)。

3)第一支撑单元底端一侧下降，夹持模块8的一侧与压印模块1下方的支撑模块4顶端一侧电磁吸附连接，夹持模块8的另一侧与第一支撑单元底端另一侧电磁吸附连接，使得夹持模块8达到压印角度(如图13b所示)。

4)第一辊压单元移动至压印起始位置，然后第一辊压单元下降至旋涂压印胶的玻璃晶圆10表面，第一辊压单元从压印起始位置向压印终点位置移动，同时第一支撑单元底端另一侧缓慢下降，使得压印工序保持压印角度恒定，直至压印操作完成。压印工序保持压印角度恒定目的是保证压印动作的均一性(如图13c、图13d、图13e所示)。

5)第一支撑单元底端另一侧持续下降，使得夹持模块8的两侧与压印模块1下方的支撑模块4顶端两侧电磁吸附连接，得到玻璃晶圆压印单元(如图13f所示)。

6)第一辊压单元上升，完成压印工序(如图13g所示)。

S2-1驱动第一驱动电机通过第一传动轴5带动第二平台7转动，将玻璃晶圆压印单元移动至固化模块2下方，对所述玻璃晶圆压印单元进行固化操作，得到玻璃晶圆固化单元。

示例性的，开启UV灯2-1对玻璃晶圆压印单元进行照射，使得玻璃晶圆压印单元进行固化操作，得到玻璃晶圆固化单元(如图13h、图13i所示)。示例性的，UV固化功率100mW-2000mW，UV固化时间5s-600s。

S2-2同时，将旋涂压印胶的玻璃晶圆10放置在压印模块1下方的支撑模块4上执行步骤S1的压印操作，得到玻璃晶圆压印单元。

S3-1驱动第一驱动电机通过第一传动轴5带动第二平台7转动，使得玻璃晶圆固化单元移动至脱模模块3下方进行脱模操作，得到AR镜片。示例性的，脱模压力1000Pa-50000Pa，脱模速度0.1mm/s-20mm/s。

具体的，

1)第二支撑单元的底端两侧同时下降，使得移动至脱模模块3下方的玻璃晶圆固化单元中夹持模块8的两侧与第二支撑单元的底端两侧电磁吸附连接(如图13j、图13k所示)。

2)移动第二辊压单元，使得第二辊压单元位于脱模起始位置(如图13k所示)。

3)第二支撑单元底端一侧缓慢上升，第二辊压单元从脱模起始位置向脱模终点位置方向移动，期间脱模保持角度恒定，直至第二辊压单元移动至脱模终点位置，完成脱模工序，在脱模模块3下方的支撑模块4上得到AR镜片(如图13l、图13m所示)。

4)第二辊压单元上升，同时第二支撑单元底端另一侧上升至第二支撑单元与夹持模块8平齐，以便自动输送模块从支撑模块4上获取AR镜片(如图13n、图13o所示)。

5)脱模模块3下方的支撑模块4顶端上升，使得支撑模块4顶端两侧与夹持模块8两侧电磁吸附连接，通过转动第二平台7，使得夹持模块8可以继续投入到压印模块1中进行压印操作(如图13p、图13q所示)。

S3-2同时，玻璃晶圆压印单元移动到固化模块2下方执行步骤S2-1的固化操作，得到玻璃晶圆固化单元。

将旋涂压印胶的玻璃晶圆10放置在压印模块1下方的支撑模块4执行步骤S1的压印操作，得到玻璃晶圆压印单元。

S4重复上述操作，使得每个旋涂压印胶的玻璃晶圆按照上述压印、固化以及脱模的工序进行处理，且不同的玻璃晶圆同时在压印、固化以及脱模中的对应工序上进行处理，大大提升AR镜片纳米压印工艺制造的生产效率。

以旋涂压印胶的4寸玻璃晶圆为例，纳米压印工艺参数：压印速率1mm/s，固化时间20s，脱模速率1mm/s。

现有纳米压印设备：每个旋涂压印胶的4寸玻璃晶圆需要依次进入纳米压印设备，按照压印、固化以及脱模顺序进行对应工艺处理，单片压印耗时100s，固化20s，脱模100s，额外所需时间30s(固化前等待时间、脱模前等待时间、机械运转时间)，可见，生产单个AR镜片的总耗时约250s。

本实用新型的纳米压印设备：纳米压印设备的压印、固化、脱模三个模块均在同时作业，每个旋涂压印胶的玻璃晶圆按照压印、固化以及脱模的工序进行处理，且不同的玻璃晶圆同时在压印、固化以及脱模中的对应工序上进行处理。压印耗时100s，固化20s，脱模100s，机械运转时间15s(固化前等待时间、脱模前等待时间与机械运转时间重合)，所以生产单个AR镜片所需时间相当于压印、固化以及脱模中的模块运行最长时间与机械运转时间之和，即总计耗时约115s。

可见，本实用新型的纳米压印设备相较现有设备，大大提高AR镜片纳米压印工艺制造的生产效率。

以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案而非对其限制，尽管参照上述实施例对本实用新型进行了详细的说明，所属领域的普通技术人员依然可以对本实用新型的具体实施方式进行修改或者等同替换，这些未脱离本实用新型精神和范围的任何修改或者等同替换，均在申请待批的本实用新型的权利要求保护范围之内。

Claims (21)

1.一种纳米压印制造设备，其特征在于，包括第一驱动电机、第一传动轴、第一平台、第二平台、压印模块、固化模块、脱模模块、支撑模块以及夹持模块；

所述夹持模块用于夹持压印模板；

所述第一平台静止设置在第二平台上方；

所述第一平台的下端面分别设置所述压印模块、固化模块以及脱模模块，所述压印模块、脱模模块以及支撑模块能够与所述夹持模块电磁吸附连接；

所述第二平台的上端面在所述压印模块、固化模块以及脱模模块的下方分别对应设置所述支撑模块；

所述第一驱动电机与所述第一传动轴连接，所述第一传动轴与所述第二平台固定连接；所述第一驱动电机通过第一传动轴带动第二平台转动。

2.根据权利要求1所述的纳米压印制造设备，其特征在于，

所述第一平台的中间开设第一通孔；

所述第二平台的中间开设第二通孔；

所述第一传动轴通过轴承与所述第一通孔连接；

所述第一传动轴与所述第二通孔固定连接。

3.根据权利要求1所述的纳米压印制造设备，其特征在于，

所述压印模块包括第一支撑单元、第一辊压单元；

所述第一辊压单元设置在所述第一支撑单元内部；

所述第一支撑单元设置在所述第一平台的下端面，第一支撑单元能够升降且具有电磁吸附功能；

所述第一辊压单元设置在所述第一平台的下端面，第一辊压单元能够升降和水平移动。

4.根据权利要求3所述的纳米压印制造设备，其特征在于，

所述第一支撑单元包括第二驱动电机、第三驱动电机、第一升降丝杠、第二升降丝杠以及第一控制器；

所述第二驱动电机与所述第一升降丝杠的顶端连接，所述第一升降丝杠的底端设置第一电磁吸附件，所述第一电磁吸附件与所述第一控制器通信连接；

所述第三驱动电机与所述第二升降丝杠的顶端连接，所述第二升降丝杠的底端设置第二电磁吸附件，所述第二电磁吸附件与所述第一控制器通信连接；

所述第一平台上设置第三通孔和第四通孔；

所述第一升降丝杠与所述第三通孔螺纹连接，所述第二升降丝杠与所述第四通孔螺纹连接。

5.根据权利要求3所述的纳米压印制造设备，其特征在于，所述第一辊压单元包括第一水平滑动组件、第一气缸组件以及第一压辊组件；

所述第一水平滑动组件安装在所述第一平台的下端面；

所述第一水平滑动组件与所述第一气缸组件连接；

所述第一气缸组件与所述第一压辊组件连接。

6.根据权利要求5所述的纳米压印制造设备，其特征在于，所述第一水平滑动组件包括第一滑轨、第一滑座、第四驱动电机、第一传动丝杠；

所述第一滑轨安装在所述第一平台的下端面；

所述第四驱动电机与所述第一传动丝杠连接，所述第一传动丝杠与所述第一滑座连接，所述第一滑座与所述第一滑轨滑动连接；

所述第一滑座的底端固定连接所述第一气缸组件。

7.根据权利要求5所述的纳米压印制造设备，其特征在于，所述第一压辊组件包括第五驱动电机、第二传动轴以及第一压辊；

所述第五驱动电机的底端与所述第一气缸组件连接，所述第五驱动电机的侧壁与所述第二传动轴连接，所述第二传动轴与所述第一压辊连接。

8.根据权利要求1所述的纳米压印制造设备，其特征在于，所述固化模块采用UV灯,所述UV灯安装在所述第一平台的下端面。

9.根据权利要求1所述的纳米压印制造设备，其特征在于，所述脱模模块包括第二支撑单元、第二辊压单元；

所述第二辊压单元设置在所述第二支撑单元内部；

所述第二支撑单元设置在所述第一平台的下端面，第二支撑单元能够升降且具有电磁吸附功能；

所述第二辊压单元设置在所述第一平台的下端面，第二辊压单元能够升降和水平移动。

10.根据权利要求9所述的纳米压印制造设备，其特征在于，所述第二支撑单元包括第六驱动电机、第七驱动电机、第三升降丝杠、第四升降丝杠以及第二控制器；

所述第六驱动电机与所述第三升降丝杠的顶端连接，所述第三升降丝杠的底端设置第三电磁吸附件，所述第三电磁吸附件与所述第二控制器通信连接；

所述第七驱动电机与所述第四升降丝杠的顶端连接，所述第四升降丝杠的底端设置第四电磁吸附件，所述第四电磁吸附件与所述第二控制器通信连接；

所述第一平台上设置第五通孔和第六通孔；

所述第三升降丝杠与所述第五通孔螺纹连接，所述第四升降丝杠与所述第六通孔螺纹连接。

11.根据权利要求9所述的纳米压印制造设备，其特征在于，

所述第二辊压单元包括第二水平滑动组件、第二气缸组件以及第二压辊组件；

所述第二水平滑动组件安装在所述第一平台的下端面；

所述第二水平滑动组件与所述第二气缸组件连接；

所述第二气缸组件与所述第二压辊组件连接。

12.根据权利要求11所述的纳米压印制造设备，其特征在于，所述第二水平滑动组件包括第二滑轨、第二滑座、第八驱动电机、第二传动丝杠；

所述第二滑轨安装在所述第一平台的下端面；

所述第八驱动电机与所述第二传动丝杠连接，所述第二传动丝杠与所述第二滑座连接，所述第二滑座与所述第二滑轨滑动连接；

所述第二滑座的底端固定连接所述第二气缸组件。

13.根据权利要求11所述的纳米压印制造设备，其特征在于，所述第二压辊组件包括第九驱动电机、第三传动轴以及第二压辊；

所述第九驱动电机的底端与所述第二气缸组件连接，所述第九驱动电机的侧壁与所述第三传动轴连接，所述第三传动轴与所述第二压辊连接。

14.根据权利要求1所述的纳米压印制造设备，其特征在于，所述支撑模块包括升降单元和支撑台；

所述支撑台安装在所述第二平台的上端面；

所述升降单元设置在所述支撑台的两侧；

所述升降单元的顶端具有电磁吸附功能。

15.根据权利要求14所述的纳米压印制造设备，其特征在于，所述升降单元包括第十驱动电机、第十一驱动电机、第五升降丝杠、第六升降丝杠以及第三控制器；

所述第五升降丝杠和第六升降丝杠设置在所述支撑台的两侧；

所述第十驱动电机与所述第五升降丝杠的底端连接，所述第五升降丝杠的顶端设置第五电磁吸附件，所述第五电磁吸附件与所述第三控制器通信连接；

所述第十一驱动电机与所述第六升降丝杠的底端连接，所述第六升降丝杠的顶端设置第六电磁吸附件，所述第六电磁吸附件与所述第三控制器通信连接；

所述第二平台上设置第七通孔和第八通孔；

所述第五升降丝杠与所述第七通孔螺纹连接，所述第六升降丝杠与所述第八通孔螺纹连接。

16.根据权利要求1所述的纳米压印制造设备，其特征在于，所述压印模板包括软膜衬底和粘附在软膜衬底下方的软膜胶，所述软膜胶上具有母版的刻蚀结构。

17.一种AR镜片制造设备，其特征在于，包括上料模块、等离子处理模块、匀胶模块、纳米压印模块、烘烤模块、后固化模块、下料模块以及自动输送模块，所述纳米压印模块采用权利要求1-16任一项所述的纳米压印制造设备；

所述上料模块用于放置玻璃晶圆基体；

所述自动输送模块将所述玻璃晶圆基体输送至所述等离子处理模块；

所述等离子处理模块对所述玻璃晶圆基体的表面进行等离子处理；

所述自动输送模块将等离子处理后的玻璃晶圆基体输送至所述匀胶模块；

所述匀胶模块对等离子处理后的所述玻璃晶圆基体进行匀胶处理，得到旋涂压印胶的玻璃晶圆；

所述自动输送模块将所述旋涂压印胶的玻璃晶圆输送至所述纳米压印模块；

所述纳米压印模块对所述旋涂压印胶的玻璃晶圆进行压印、固化以及脱模处理，得到AR镜片；

所述自动输送模块将所述AR镜片输送至所述烘烤模块；

所述烘烤模块对所述AR镜片进行烘烤处理；

所述自动输送模块将烘烤处理后的所述AR镜片输送至所述后固化模块；

所述后固化模块对所述AR镜片进行固化处理；

所述自动输送模块将固化处理后的所述AR镜片输送至所述下料模块；

所述下料模块用于放置AR镜片。

18.根据权利要求17所述的AR镜片制造设备，其特征在于，所述匀胶模块包括吸附载台、增粘剂供应单元、压印胶供应单元；

所述吸附载台能够转动；

所述自动输送模块将所述玻璃晶圆基体输送至所述吸附载台；

所述吸附载台对所述玻璃晶圆基体进行吸附固定；

所述增粘剂供应单元向所述玻璃晶圆基体表面滴加增粘剂；

所述吸附载台转动，使得所述玻璃晶圆基体的表面旋涂所述增粘剂，得到旋涂增粘剂的玻璃晶圆；

所述压印胶供应单元向旋涂增粘剂的玻璃晶圆表面滴加压印胶；

所述吸附载台转动，使得压印胶旋涂在玻璃晶圆表面，得到旋涂压印胶的玻璃晶圆。

19.根据权利要求18所述的AR镜片制造设备，其特征在于，还包括第一加热模块；

所述自动输送模块将旋涂增粘剂的玻璃晶圆输送至第一加热模块；

第一加热模块对旋涂增粘剂的玻璃晶圆表面进行加热处理。

20.根据权利要求18或19所述的AR镜片制造设备，其特征在于，还包括第二加热模块；

所述自动输送模块将旋涂压印胶的玻璃晶圆输送至第二加热模块；

所述第二加热模块对旋涂压印胶的玻璃晶圆表面进行加热处理。

21.根据权利要求17所述的AR镜片制造设备，其特征在于，还包括冷却模块；

所述自动输送模块将所述旋涂压印胶的玻璃晶圆输送至所述冷却模块；

所述冷却模块对旋涂压印胶的玻璃晶圆进行降温冷却处理。