CN220416367U - 一种调速式半导体用流量阀 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种调速式半导体用流量阀，包括安装座和位于安装座上方的流量阀本体，所述安装座的顶部固定有支撑调节杆，所述支撑调节杆的顶部固定有支撑框，所述流量阀本体位于支撑框的内部，所述支撑框底壁的内表面设置有第一气囊，所述第一气囊的底壁的内表面连接有多个第一弹簧，多个所述第一弹簧的一端共同固定有支撑板；本实用新型有效的对流量阀本体进行支撑，保证了流量阀本体使用时的稳定性，且降低振动对连接处的损伤，延长流量阀的使用寿命。
Description
技术领域
本实用新型涉及流量阀技术领域，尤其涉及一种调速式半导体用流量阀。
背景技术
调速式半导体用流量阀（Variable-Speed Semiconductor Flow Valve）是一种用于半导体制造过程中的流体控制设备。它被广泛应用于半导体制造设备中，用于精确控制流体的流量和压力。
这种流量阀采用电子调速技术，能够根据实际需求精确地调整流体的流量。它通常由一个电动执行器和一个流体传感器组成。电动执行器根据传感器的反馈信号，通过调节阀门的开度来控制流体的流量；
现有的流量阀与管路连接之后没有稳定的支撑结构对流量阀进行合理支撑，因此在工作过程中随着管路的振动，长期会导致连接处松动，降低流量阀的使用寿命。
发明内容
本实用新型的目的在于提供一种调速式半导体用流量阀，解决以下技术问题：现有的流量阀在长期使用会导致连接处松动，影响使用寿命。
本实用新型的技术方案：一种调速式半导体用流量阀，包括安装座和位于安装座上方的流量阀本体，所述安装座的顶部固定有支撑调节杆，所述支撑调节杆的顶部固定有支撑框，所述流量阀本体位于支撑框的内部，所述支撑框底壁的内表面设置有第一气囊，所述第一气囊的底壁的内表面连接有多个第一弹簧，多个所述第一弹簧的一端共同固定有支撑板。
优选的，所述支撑框顶壁的内表面固定有第二气囊，所述流量阀本体位于第一气囊和第二气囊之间。
优选的，所述第二气囊与第一气囊之间连接有通气管。
优选的，所述支撑调节杆包括开口向下的套筒，所述套筒内设置有定位杆，所述套筒的顶端固定在支撑框的底壁上，所述定位杆的底端固定在安装座上。
优选的，所述定位杆的一侧沿竖直方向设有多个定位孔，所述安装座的上表面固定有立柱，所述立柱的顶端固定有横担，所述横担的两端均设置有缺口，所述缺口内滑动连接有定位块，所述定位块的一侧连接有第二弹簧，第二弹簧的一端连接在缺口的侧壁上，且所述定位块远离第二弹簧的一端贯穿套筒的侧壁伸入套筒的内部，所述定位块与定位孔尺寸相匹配。
与现有技术相比，本实用新型具有如下有益的技术效果：本实用新型有效的对流量阀本体进行支撑，保证了流量阀本体使用时的稳定性，降低振动对连接处的损伤，延长流量阀的使用寿命。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图；
图2是本实用新型支撑框的侧视图；
图3是本实用新型横担的俯视图；
图4是本实用新型支撑调节杆的内部结构示意图。
附图标记：1、安装座；2、流量阀本体；3、支撑调节杆；301、套筒；302、定位杆；303、定位孔；4、支撑框；5、第一气囊；6、第一弹簧；7、支撑板；8、第二气囊；9、通气管；10、横担；11、定位块；12、第二弹簧；13、立柱。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-4所示，本实用新型为一种调速式半导体用流量阀，包括安装座1和位于安装座1上方的流量阀本体2，安装座1的顶部固定有支撑调节杆3，支撑调节杆3的顶部固定有支撑框4，流量阀本体2位于支撑框4的内部，支撑框4底壁的内表面设置有第一气囊5，第一气囊5的底壁的内表面连接有多个第一弹簧6，多个第一弹簧6的一端共同固定有支撑板7。
优选的，支撑框4顶壁的内表面固定有第二气囊8，流量阀本体2位于第一气囊5和第二气囊8之间。
优选的，第二气囊8与第一气囊5之间连接有通气管9。
优选的，支撑调节杆3包括开口向下的套筒301，套筒301内设置有定位杆302，套筒301的顶端固定在支撑框4的底壁上，定位杆302的底端固定在安装座1上。
优选的，定位杆302的一侧沿竖直方向设有多个定位孔303，安装座1的上表面固定有立柱13，立柱13的顶端固定有横担10，横担10的两端均设置有缺口，缺口内滑动连接有定位块11，定位块11的一侧连接有第二弹簧12，第二弹簧12的一端连接在缺口的侧壁上，且定位块11远离第二弹簧12的一端贯穿套筒301的侧壁伸入套筒301的内部，定位块11与定位孔303尺寸相匹配。
本实用新型的工作原理：将流量阀本体2置于支撑框4内部，流量阀本体2位于第一气囊6和第二气囊8之间，第一气囊6承受着流量阀本体2和管道的部分重量，设置第一弹簧6和支撑板7使得第一气囊6受力均匀，第一气囊6被压缩体积减小，第一气囊6内的气体通过通气管9进入第二气囊8内，使得第二气囊8的体积增大，将流量阀本体2顶部支撑，从而保证流量阀本体2的稳定性，并且具有一定的缓冲功能，降低振动对连接处的损伤，延长流量阀本体2的使用寿命；
根据不同的使用环境，流量阀本体2的高度也不尽相同，为了满足不同高度的支撑需求，支撑调节杆3的高度可以调节，根据所需高度，先将一侧的定位块11从定位孔303内取出，然后向上拉动该侧的支撑框4，使得套筒301的高度发生改变，然后将该定位块11再次插入定位孔303内，即可将高度固定，重复上述操作，将另一侧支撑调节杆3调整到同样的高度即可，满足不同的高度需求，适用性高。
以上对本实用新型的一个实施例进行了详细说明，但所述内容仅为本实用新型的较佳实施例，不能被认为用于限定本实用新型的实施范围。凡依本实用新型申请范围所作的均等变化与改进等，均应仍归属于本实用新型的专利涵盖范围之内。
Claims (5)
1.一种调速式半导体用流量阀，包括安装座（1）和位于安装座（1）上方的流量阀本体（2），其特征在于：所述安装座（1）的顶部固定有支撑调节杆（3），所述支撑调节杆（3）的顶部固定有支撑框（4），所述流量阀本体（2）位于支撑框（4）的内部，所述支撑框（4）底壁的内表面设置有第一气囊（5），所述第一气囊（5）的底壁的内表面连接有多个第一弹簧（6），多个所述第一弹簧（6）的一端共同固定有支撑板（7）。
2.根据权利要求1所述的一种调速式半导体用流量阀，其特征在于，所述支撑框（4）顶壁的内表面固定有第二气囊（8），所述流量阀本体（2）位于第一气囊（5）和第二气囊（8）之间。
3.根据权利要求2所述的一种调速式半导体用流量阀，其特征在于，所述第二气囊（8）与第一气囊（5）之间连接有通气管（9）。
4.根据权利要求1所述的一种调速式半导体用流量阀，其特征在于，所述支撑调节杆（3）包括开口向下的套筒（301），所述套筒（301）内设置有定位杆（302），所述套筒（301）的顶端固定在支撑框（4）的底壁上，所述定位杆（302）的底端固定在安装座（1）上。
5.根据权利要求4所述的一种调速式半导体用流量阀，其特征在于，所述定位杆（302）的一侧沿竖直方向设有多个定位孔（303），所述安装座（1）的上表面固定有立柱（13），所述立柱（13）的顶端固定有横担（10），所述横担（10）的两端均设置有缺口，所述缺口内滑动连接有定位块（11），所述定位块（11）的一侧连接有第二弹簧（12），第二弹簧（12）的一端连接在缺口的侧壁上，且所述定位块（11）远离第二弹簧（12）的一端贯穿套筒（301）的侧壁伸入套筒（301）的内部，所述定位块（11）与定位孔（303）尺寸相匹配。
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