CN220416361U - 一种半导体制造用防侧漏的密封阀 - Google Patents

Abstract

本实用新型提出，一种半导体制造用防侧漏的密封阀，包括：阀体、阀杆、阀杆螺套、第一防漏组件和第二防漏组件；阀杆一端通过阀杆螺套转动连接阀体；第一防漏组件包括第一防漏套、第一密封件、第一防漏件和第一固定件；第一防漏套一端通过第一密封件固定连接阀体上端、第一防漏套另一端中间固定连接第一固定件，第一固定件与第一防漏套将第一防漏件包裹，第一防漏件和第一固定件中间均与阀杆紧密箱贴；通过在第一密封套结构的设定对初步侧漏的一进行防护作用，在第一防漏件的特殊结构及功能的作用下对侧漏进一步的防护，及第二防漏组件的再次防护的作用下，使阀体在多样化多重防护的作用下有效的防止密封阀侧漏的情况发生，提高了其使用寿命。

Description

一种半导体制造用防侧漏的密封阀

技术领域

本实用新型涉及密封阀技术领域，尤其涉及一种半导体制造用防侧漏的密封阀。

背景技术

现有的很多阀门密封效果不好，在使用过程中在经过阀门的多次开启或关闭后，阀杆位置处的配件会容易老化，常常会发生液体会从阀杆连接处溢出的情况，泄漏出来的物质会污染周边环境，造成不必要的损失，为此提出一种半导体制造用防侧漏的密封阀。

实用新型内容

为了解决上述问题，本实用新型提出一种半导体制造用防侧漏的密封阀，以更加确切地解决上述所述现有的很多阀门，在使用过程中会发生液体会从阀杆连接处溢出的问题。

本实用新型提出一种半导体制造用防侧漏的密封阀，包括：阀体、阀杆、阀杆螺套、第一防漏组件和第二防漏组件；所述阀体上端固定连接所述第一防漏组件一端，所述第一防漏组件另一端固定连接所述第二防漏组件，所述阀杆一端通过阀杆螺套转动连接阀体，所述阀杆中间段位置处贯穿所述第一防漏组件和所述第二防漏组件；所述第一防漏组件包括第一防漏套、第一密封件、第一防漏件和第一固定件；所述第一防漏套一端通过所述第一密封件固定连接所述阀体上端、所述第一防漏套另一端中间固定连接所述第一固定件，所述第一固定件与第一防漏套将所述第一防漏件包裹，所述第一防漏件一端面与侧面均与所述第一防漏套紧密相贴，所述第一防漏件另一端与所述第一固定件一端紧密相贴；所述第一防漏件和所述第一固定件中间均与所述阀杆紧密相贴。

进一步的，所述第一防漏件包括外壳和吸附件，所述外壳内设有第一腔室，所述外壳与所述第一防漏套连接的端面设有多个呈阵列排布的流通孔、所述外壳与所述阀杆连接的面同样设有多个呈阵列排布的流通孔，所述流通孔与所述第一腔室连通，所述第一腔室内被所述吸附件填充满。

进一步的，所述第一防漏套包括壳套、第一阀杆密封套、第二密封件和第一锁紧环；所述第一阀杆密封套位于所述壳套中间段内，所述第一阀杆密封套侧面的内表面与所述阀杆紧密连接，所述第一阀杆密封套侧面的外表面与所述壳套紧密连接，所述壳套一端与所述第二密封件一端紧密相贴，所述第二密封件另一端与所述第一锁紧环一端面紧密相贴，所述壳套连接所述第二密封件的一端固定套接于所述阀体上端，所述第二密封件和第一锁紧环中间均套接于所述阀体上端。

进一步的，所述壳套一端内表面设有向内倾斜凹陷的第一安装位，所述第一安装位与所述第二密封件适配连接，所述壳套内部中间段位置处设有与所述第一阀杆密封套适配连接的第二安装位，所述壳套内远离所述阀体的一端设有与所述第一固定件适配连接的第三安装位，所述第一防漏件位于所述第二安装位与第三安装位之间，所述壳套位于连接所述第一固定件的一端的外表面设有与所述第二防漏组件适配连接的螺牙。

进一步的，所述第二密封件靠近所述第一锁紧环的一端呈片状，所述第二密封件靠近所述壳套的一端呈圆环凸台状。

进一步的，所述第二防漏组件包括第二固定件、第三密封件、第四密封件和第二锁紧环；所述第三密封件一端密闭镶嵌于所述第一防漏套一端，所述第三密封件另一端面与所述第二固定件相贴，所述第四密封件一端与所述第二固定件一端紧密相贴，所述第四密封件另一端与所述第二锁紧环一端面紧密相贴，所述第二固定件连接有所述第三密封件的一端固定套接于所述第一防漏套上，所述第四密封件与所述第二锁紧环中间均套接于所述第一防漏套上。

进一步的，所述第三密封件与所述第二固定件连接的端面设有卡接槽。

进一步的，所述第二固定件与位于所述卡接槽的位置处设有卡接块，所述卡接块紧密镶嵌于所述卡接槽内，所述卡接块位置位于所述第一防漏套与第一固定件连接的位置处。

本实用新型的有益效果：通过在第一密封套结构的设定对初步侧漏的一进行防护作用，在第一防漏件的特殊结构及功能的作用下对侧漏进一步的防护，及第二防漏组件的再次防护的作用下，使阀体在多样化多重防护的作用下有效的防止密封阀侧漏的情况发生，使其具备良好的密封性，提高了其使用寿命。

附图说明

图1为本实用新型的一种半导体制造用防侧漏的密封阀的整体结构图；

图2为本实用新型的一种半导体制造用防侧漏的密封阀的爆炸图；

图3为本实用新型的第一防漏组件的爆炸图；

图4为本实用新型的第二防漏组件的爆炸图；

图5为本实用新型的一种半导体制造用防侧漏的密封阀的局部剖切图；

图6为图5的B处示意图；

图中：阀体1、阀杆2、阀杆螺套3、第一防漏组件4、第二防漏组件5、第一防漏套41、第一密封件42、第一防漏件43、第一固定件44、壳套411、第一阀杆密封套412、第二密封件413、第一锁紧环414、第二固定件51、第三密封件52、第四密封件53、第二锁紧环54、卡接槽521。

具体实施方式

为了更加清楚完整的说明本实用新型的技术方案，下面结合附图对本实用新型作进一步说明。

请参考图1-图6，本实用新型提出一种半导体制造用防侧漏的密封阀，其特征在于，包括：阀体1、阀杆2、阀杆螺套3、第一防漏组件4和第二防漏组件5；阀体1上端固定连接第一防漏组件4一端，其通过螺纹连接的方式固定，第一防漏组件4另一端固定连接第二防漏组件5，其通过螺纹连接的方式固定，阀杆2一端通过阀杆螺套3转动连接阀体1，阀杆2中间段位置处贯穿第一防漏组件4和第二防漏组件5；第一防漏组件4包括第一防漏套41、第一密封件42、第一防漏件43和第一固定件44；第一密封件42可以为金属密封片，也可以为橡胶密封圈，第一密封件42起初步防漏的作用，第一防漏套41一端通过第一密封件42固定连接阀体1上端、第一防漏套41另一端中间固定连接第一固定件44，固定件通过螺纹拧紧的方式与第一防漏套41固定连接，第一固定件44与第一防漏套41将第一防漏件43包裹，第一防漏件43一端面与侧面均与第一防漏套41紧密相贴，第一防漏件43另一端与第一固定件44一端紧密相贴；第一防漏件43和第一固定件44中间均与阀杆2紧密相贴。

在具体实施时，在本申请的密封阀长时间使用后，若第一密封件42出现老化渗漏后，其渗漏的液体或气体会流入第一防漏套41内，第一防漏套41会其到一个密封的作用，若液体沿阀杆2渗漏到第一防漏件43上时，第一防漏件43会对其吸附，然后第一防漏件43体积会膨胀增大，第一防漏件43与阀杆2和第一防漏套41的接触会更加紧密，第一防漏件43能够完全阻止液体的进一步泄漏，若第一防漏件43也出现侧漏时，液体会渗入到第二防漏组件5位置处，此时第二防漏组件5将再次防止液体进一步的渗出，通过第一密封套结构的设定对初步侧漏的一进行防护作用，然后再通过第一防漏件43的特殊结构及功能的作用下对侧漏进一步的防护，及通过第二防漏组件5的再次防护的作用下，使阀体1在多样化多重防护的作用下有效的防止密封阀侧漏的情况发生，使其具备良好的密封性，避免了因密封阀泄漏而对制造中半导产生影响，提高了其使用寿命。

在一个实施例中，第一防漏件43包括外壳和吸附件，吸附件可以为现有的高分子亲水材料，也可以为其它现有的具有吸附膨胀具有很大张性的材料，外壳为具有良好弹性橡胶材料；外壳内设有第一腔室，外壳与第一防漏套41连接的端面设有多个呈阵列排布的流通孔、外壳与阀杆2连接的面同样设有多个呈阵列排布的流通孔，流通孔与第一腔室连通，第一腔室内被吸附件填充满，第一防漏件43设有流通孔的一端为与靠近阀体1的一端，这样会使不过液体从底面或者沿阀杆2位置处出现渗漏时，都能够确保液体第一时间会从流通孔进入到第一腔室内，使吸附件能够第一时间膨胀增加外壳的体积，使其密封性更佳。

在一个实施例中，第一防漏套41包括壳套411、第一阀杆密封套412、第二密封件413和第一锁紧环414；第一阀杆密封套412位于壳套411中间段内，第一阀杆密封套412侧面的内表面与阀杆2紧密连接，第一阀杆密封套412使阀杆2能够顺畅的转动，第一阀杆密封套412起保护阀杆2与壳套411之间的作用，以及起密封的作用，第一阀杆密封套412侧面的外表面与壳套411紧密连接，壳套411一端与第二密封件413一端紧密相贴，第二密封件413另一端与第一锁紧环414一端面紧密相贴，壳套连接第二密封件413的一端固定套接与阀体1上端，第二密封件413和第一锁紧环414中间均套接于阀体1上端，具体的为，壳套411通过螺纹与阀体1上端连接处的外表面连接，第一锁紧环414同样通过螺套接于阀体1上端，第二防漏组件5通过螺纹套接于壳套411螺纹一端。

在具体实施时，先将第一锁紧环414通过螺纹拧如阀体1上端，然后将第二密封件413套接上去，壳套411拧入阀体1上端，在壳套能进后，再次将第一锁紧环414拧向壳套411靠近，锁紧将第二密封件413与壳套411紧密连接，增加其密封性阀体1上出现渗漏的情况时，第一密封件42也出现渗漏，出现液体从阀体1上端外表面，即阀体1与壳套411的侧面连接处渗漏时，第二密封件413会起到再次阻止泄漏的作用，通过增加第二密封件413与第一锁紧环414，有效的防止了其进一步的侧漏。

在一个实施例中，壳套411一端内表面设有向内倾斜凹陷的第一安装位，第一安装位于第二密封件413适配连接，壳套411内部中间段位置处设有与第一阀杆密封套412适配连接的第二安装位，壳套411内远离阀体1的一端设有与第一固定件44适配连接的第三安装位，第三安装位设有内螺纹，其第三安装为与第一固定件44适配连接，第一防漏件43位于第二安装位与第三安装位之间，壳套411位于连接第一固定件44的一端的外表面设有与第二防漏组件5适配连接的螺牙；第二密封件413靠近第一锁紧环414的一端呈片状，第二密封件413靠近壳套的一端呈圆环凸台状，第二密封件413与第一安装位适配，且第二密封件413的厚度会大于第一安装位与阀体1之间的间隙，通过设定第一安装位与第二密封件413的特殊结构，使其在第一锁紧环414将其固定后，第二密封件413与第一安装位和阀体1之间会更具有密闭性。

在一个实施例中，第二防漏组件5包括第二固定件51、第三密封件52、第四密封件53和第二锁紧环54；第四密封件53和第二密封件413的结构及作用相同，第二锁紧环54与第一锁紧环414结构及作用相同，其安装方式也相同，第三密封件52一端密闭镶嵌于第一防漏套41一端，第三密封件52另一端面与第二固定件51相贴，第四密封件53一端与第二固定件一端紧密相贴，第四密封件53另一端与第二锁紧环54一端面紧密相贴，第二固定件51连接有第三密封件52的一端固定套接于第一防漏套41上，第四密封件53与第二锁紧环54中间均套接于第一防漏套41上，第三密封件52能够进一步的确保一不会渗漏出去外界。

在一个实施例中，第三密封件52与第二固定件51连接的端面设有卡接槽521；第二固定件51与位于卡接槽521的位置处设有卡接块，卡接块紧密镶嵌于卡接槽521内，卡接块位置位于第一防漏套41与第一固定件44连接的位置处，卡接块与卡接槽521能够更好的将第一防漏套41与第一固定件44连接的位置处密封。

在具体实施时，在本申请的密封阀长时间使用后，若第一密封件42出现老化渗漏后，其渗漏的液体或气体被第一密封件42阻隔，若气体或液体突破了第一密封件42的防线，其会继续沿阀杆2流入第一阀杆密封套412位置处或者渗入阀体1与壳套411的连接位置处，若渗入阀体1与壳套411的连接位置处时，此时第二密封件413会起到再次阻止泄漏的作用，防止了其进一步的侧漏，若液体沿阀杆2再次突破第一阀杆密封套412后期会渗漏到第一防漏件43上时，第一防漏件43会进一步对其阻隔，若此时第一防漏件43不能够对其进行阻隔时，此时液体会从流通孔进入到第一腔室内，使吸附件能够第一时间膨胀增加外壳的体积，然后第一防漏件43体积会膨胀增大，第一防漏件43与阀杆2和第一防漏套41的接触会更加紧密，第一防漏件43能够完全阻止液体的进一步泄漏，若渗漏的一再次突破第一防漏件43时，液体会渗入到第二防漏组件5位置处，此时卡接块与卡接槽521能够将第一防漏套41与第一固定件44连接的位置处密封防止其进一步的渗漏，第四密封件53与第二锁紧件能够确保其不会从壳套与第二固定件51之间的缝隙流出外界，通过第一密封套结构的设定对初步侧漏的一进行防护作用，然后再通过第一防漏件43的特殊结构及功能的作用下对侧漏进一步的防护，及通过第二防漏组件5的再次防护的作用下，使阀体1在多样化多重防护的作用下有效的防止密封阀侧漏的情况发生，使其具备良好的密封性，避免了因密封阀泄漏而造成的影响，提高了其使用寿命。

当然，本实用新型还可有其它多种实施方式，基于本实施方式，本领域的普通技术人员在没有做出任何创造性劳动的前提下所获得其他实施方式，都属于本实用新型所保护的范围。

Claims (5)

1.一种半导体制造用防侧漏的密封阀，其特征在于，包括：阀体、阀杆、阀杆螺套、第一防漏组件和第二防漏组件；所述阀体上端固定连接所述第一防漏组件一端，所述第一防漏组件另一端固定连接所述第二防漏组件，所述阀杆一端通过阀杆螺套转动连接阀体，所述阀杆中间段位置处贯穿所述第一防漏组件和所述第二防漏组件；所述第一防漏组件包括第一防漏套、第一密封件、第一防漏件和第一固定件；所述第一防漏套一端通过所述第一密封件固定连接所述阀体上端、所述第一防漏套另一端中间固定连接所述第一固定件，所述第一固定件与第一防漏套将所述第一防漏件包裹，所述第一防漏件一端面与侧面均与所述第一防漏套紧密相贴，所述第一防漏件另一端与所述第一固定件一端紧密相贴；所述第一防漏件和所述第一固定件中间均与所述阀杆紧密相贴；

所述第一防漏件包括外壳和吸附件，所述外壳内设有第一腔室，所述外壳与所述第一防漏套连接的端面设有多个呈阵列排布的流通孔、所述外壳与所述阀杆连接的面同样设有多个呈阵列排布的流通孔，所述流通孔与所述第一腔室连通，所述第一腔室内被所述吸附件填充满；

所述第一防漏套包括壳套、第一阀杆密封套、第二密封件和第一锁紧环；所述第一阀杆密封套位于所述壳套中间段内，所述第一阀杆密封套侧面的内表面与所述阀杆紧密连接，所述第一阀杆密封套侧面的外表面与所述壳套紧密连接，所述壳套一端与所述第二密封件一端紧密相贴，所述第二密封件另一端与所述第一锁紧环一端面紧密相贴，所述壳套连接所述第二密封件的一端固定套接于所述阀体上端，所述第二密封件和第一锁紧环中间均套接于所述阀体上端；

所述壳套一端内表面设有向内倾斜凹陷的第一安装位，所述第一安装位与所述第二密封件适配连接，所述壳套内部中间段位置处设有与所述第一阀杆密封套适配连接的第二安装位，所述壳套内远离所述阀体的一端设有与所述第一固定件适配连接的第三安装位，所述第一防漏件位于所述第二安装位与第三安装位之间，所述壳套位于连接所述第一固定件的一端的外表面设有与所述第二防漏组件适配连接的螺牙。

2.根据权利要求1所述的一种半导体制造用防侧漏的密封阀，其特征在于，所述第二密封件靠近所述第一锁紧环的一端呈片状，所述第二密封件靠近所述壳套的一端呈圆环凸台状。

3.根据权利要求1所述的一种半导体制造用防侧漏的密封阀，其特征在于，所述第二防漏组件包括第二固定件、第三密封件、第四密封件和第二锁紧环；所述第三密封件一端密闭镶嵌于所述第一防漏套一端，所述第三密封件另一端面与所述第二固定件相贴，所述第四密封件一端与所述第二固定件一端紧密相贴，所述第四密封件另一端与所述第二锁紧环一端面紧密相贴，所述第二固定件连接有所述第三密封件的一端固定套接于所述第一防漏套上，所述第四密封件与所述第二锁紧环中间均套接于所述第一防漏套上。

4.根据权利要求3所述的一种半导体制造用防侧漏的密封阀，其特征在于，所述第三密封件与所述第二固定件连接的端面设有卡接槽。

5.根据权利要求4所述的一种半导体制造用防侧漏的密封阀，其特征在于，所述第二固定件与位于所述卡接槽的位置处设有卡接块，所述卡接块紧密镶嵌于所述卡接槽内，所述卡接块位置位于所述第一防漏套与第一固定件连接的位置处。