CN220400537U - 刻蚀槽传送滚轮及刻蚀装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及太阳能电池技术领域，具体公开一种刻蚀槽传送滚轮及刻蚀装置，包括滚轮主体，所述滚轮主体包括主轴及螺旋绕设于所述主轴四周的螺旋叶片，相邻所述的螺旋叶片之间设有用于打散气泡的消泡板，所述消泡板的长度方向沿所述主轴的平行方向设置，且所述消泡板的外侧端与所述主轴外壁之间的相对高度距离小于所述螺旋叶片的峰顶与所述主轴外壁之间的相对高度距离。本实用新型的滚轮能够有效消除刻蚀过程中产生的气泡，进而有效避免气泡所引发的腐蚀不均的问题，有效减少富硝酸刻蚀工艺过程中黑边的产生，降低外观不良率。
Description
技术领域
本实用新型涉及太阳能电池技术领域，尤其涉及一种刻蚀槽传送滚轮及刻蚀装置。
背景技术
刻蚀，又称背面抛光，是晶体硅太阳能电池生产的关键工序，刻蚀过程中，硅片在螺纹滚轮的传送下漂浮在刻蚀槽的刻蚀液表面，以对硅片的背面及周边进行刻蚀。相对于富氢氟酸刻蚀工艺，富硝酸刻蚀工艺的腐蚀坑平滑，利于表面钝化，有0.04％以上的电性能收益。然而，在富硝酸刻蚀工艺的刻蚀过程中，会产生较多气泡，气泡会引起腐蚀不均，导致在硅片的前进端容易产生黑边，进而影响电池外观及背膜均匀性。
现有技术中，通常是往刻蚀槽内添加消泡剂来消除气泡，这种方式虽然能够一定程度减少黑边的产生，但消泡剂中所含的杂质却会造成其他不良，影响电池性能。
实用新型内容
本实用新型的目的在于针对已有的技术现状，提供一种刻蚀槽传送滚轮及刻蚀装置，本实用新型的滚轮应用于刻蚀装置中，能够有效消除刻蚀过程中产生的气泡，进而有效避免气泡所引发的腐蚀不均的问题，有效减少富硝酸刻蚀工艺过程中黑边的产生，降低外观不良率，利于高效刻蚀工艺的推广。
为达到上述目的，本实用新型采用如下技术方案：
首先，本实用新型提供一种刻蚀槽传送滚轮，包括滚轮主体，所述滚轮主体包括主轴及螺旋绕设于所述主轴四周的螺旋叶片，相邻所述的螺旋叶片之间设有用于打散气泡的消泡板，所述消泡板的长度方向沿所述主轴的平行方向设置，且所述消泡板的外侧端与所述主轴外壁之间的相对高度距离小于所述螺旋叶片的峰顶与所述主轴外壁之间的相对高度距离。
在一些优选的实施方式中，所述消泡板的内侧端与所述主轴的外壁相连接，且所述消泡板穿设有多个过水孔道。
在一些优选的实施方式中，所述消泡板的内侧端与所述主轴的外壁之间设有间隙，所述消泡板长度方向的两端分别与所述螺旋叶片相连接，所述消泡板的内侧端、所述螺旋叶片与所述主轴的外壁之间共同围成过水间隙。
在一些优选的实施方式中，同一组相邻所述螺旋叶片之间，消泡板设有多个，各所述消泡板均匀分布于所述主轴四周。
在一些优选的实施方式中，同一组相邻所述螺旋叶片之间，相邻所述消泡板之间的间距为0.7cm～2.5cm。
在一些优选的实施方式中，所述螺旋叶片的峰顶与所述主轴外壁之间的相对高度距离≥3cm，所述螺旋叶片的峰顶与所述消泡板的外侧端之间的相对高度距离为0.5cm～1.5cm。
在一些优选的实施方式中，所述消泡板的外侧端与内侧端之间的相对高度距离为0.1cm～0.5cm，所述消泡板宽度方向的两端之间的相对宽度距离为0.1cm～0.5cm。
在一些优选的实施方式中，所述螺旋叶片的峰顶与所述消泡板的外侧端之间的相对高度距离为0.7cm，所所述消泡板的外侧端与内侧端之间的相对高度距离为0.3cm，所述消泡板宽度方向两端之间的相对宽度距离为0.4cm，同一组相邻所述螺旋叶片之间，相邻所述消泡板之间的间距为1.2cm。
在一些优选的实施方式中，所述消泡板呈长条状结构，且所述消泡板在垂直于所述消泡板长度方向的截面呈矩形或正方形结构。
其次，本实用新型提供一种刻蚀装置，包括刻蚀槽及上述的刻蚀槽传送滚轮，所述滚轮设于所述刻蚀槽内。
本实用新型的有益效果在于：
本实用新型中，在相邻的螺旋叶片之间设置消泡板，在刻蚀过程中，滚轮的主轴在动力装置的带动下转动，带动螺旋叶片及消泡板随之旋转，硅片在滚轮的传送下漂浮在刻蚀槽的刻蚀液表面，由于消泡板的外侧端与主轴外壁之间的相对高度距离小于螺旋叶片的峰顶与主轴外壁之间的相对高度距离，一方面，使得消泡板的设置不会与硅片相接触，避免消泡板与硅片相抵而干涉到硅片的传送，另一方面，使得旋转的消泡板可作用于硅片与滚轮的交界处，从而打散硅片与滚轮的交界处的气泡，消泡板的长度方向沿主轴的平行方向设置，可确保消泡板能够作用于主轴的轴向方向上各个位置的气泡，进而有效避免气泡所引发的腐蚀不均的问题，有效减少富硝酸刻蚀工艺过程中黑边的产生，降低外观不良率，利于高效刻蚀工艺的推广，所生产的电池背膜均匀性更高，更利于钝化，有益于电池光电特性测试和电池老化性测试。
附图说明
图1为本实用新型实施例1的刻蚀槽传送滚轮的侧视图。
图2为本实用新型实施例1的刻蚀槽传送滚轮的结构示意图。
图3为本实用新型实施例1的刻蚀槽传送滚轮的剖面图。
图4为本实用新型实施例2的刻蚀槽传送滚轮的局部放大图。
图5为本实用新型实施例3的刻蚀槽传送滚轮的侧视图。
图6为本实用新型实施例3的刻蚀槽传送滚轮的结构示意图。
图7为本实用新型实施例3的刻蚀槽传送滚轮的剖面图。
图8为图7的A部局部放大图。
具体实施方式
下面结合附图及实施例对本实用新型作进一步说明：
实施例1
请参阅图1至图3所示，本实施例公开一种刻蚀槽传送滚轮，包括滚轮主体，滚轮主体包括主轴1及螺旋绕设于主轴1四周的螺旋叶片2，其中，螺旋叶片2的螺旋方向与滚轮主体在传送过程中的转动方向相反，相邻螺旋叶片2之间设有用于打散气泡的消泡板3，消泡板3的长度方向沿主轴1的平行方向设置，且消泡板3的外侧端31与主轴1外壁之间的相对高度距离H1小于螺旋叶片2的峰顶21与主轴1外壁之间的相对高度距离H2。
本实施例中，在相邻的螺旋叶片2之间设置消泡板3，在刻蚀过程中，滚轮的主轴1在动力装置的带动下转动，带动螺旋叶片2及消泡板3随之旋转，硅片在滚轮的传送下漂浮在刻蚀槽的刻蚀液表面，由于消泡板3的外侧端31与主轴1外壁之间的相对高度距离H1小于螺旋叶片2的峰顶21与主轴1外壁之间的相对高度距离H2，一方面，使得消泡板3的设置不会与硅片相接触，避免消泡板3与硅片相抵而干涉到硅片的传送，另一方面，使得旋转的消泡板3可作用于硅片与滚轮的交界处，从而打散硅片与滚轮的交界处的气泡，消泡板3的长度方向沿主轴1的平行方向设置，可确保消泡板3能够作用于主轴1的轴向方向上各个位置的气泡，进而有效避免气泡所引发的腐蚀不均的问题，有效减少富硝酸刻蚀工艺过程中黑边的产生，降低外观不良率，利于高效刻蚀工艺的推广，所生产的电池背膜均匀性更高，更利于钝化，有益于电池光电特性测试和电池老化性测试。
此外，本实施例的刻蚀槽传送滚轮不仅可适用于富硝酸刻蚀工艺，也可适用于其他需要在刻蚀工艺过程中进行气泡消除处理的情形。
实施例2
参见图4所示，本实施例与实施例1的不同之处在于，消泡板3的内侧端32与主轴1的外壁相连接，且消泡板3穿设有多个过水孔道4，过水孔道4设于消泡板3靠近主轴1的一侧。
在刻蚀过程中，消泡板3随主轴1的转动进行同步旋转，由于设置了过水孔道4，刻蚀液液面下方的液体可通过过水孔道4流通，与此同时，消泡板3的外侧作用于硅片与滚轮的交界处，从而打散硅片与滚轮的交界处的气泡，进而有效避免气泡所引发的腐蚀不均的问题。
过水孔道4的设置，一方面，可避免消泡板3拨动过多刻蚀液液面下方的液体给滚轮的转动带来过多额外的负载，利于滚轮的日常保养，可有效延长滚轮的使用寿命，另一方面，避免拨动过多刻蚀液液面下方的液体带来液面的过大波动，利于提升硅片传送的平稳度及刻蚀的均匀性。
实施例3
请参阅图5至图8所示，本实施例公开一种刻蚀槽传送滚轮，包括滚轮主体，滚轮主体包括主轴1及螺旋绕设于主轴1四周的螺旋叶片2，相邻螺旋叶片2之间设有用于打散气泡的消泡板3，消泡板3的长度方向沿主轴1的平行方向设置，且消泡板3的外侧端31与主轴1外壁之间的相对高度距离H1小于螺旋叶片2的峰顶21与主轴1外壁之间的相对高度距离H2。
本实施例中，在相邻的螺旋叶片2之间设置消泡板3，在刻蚀过程中，滚轮的主轴1在动力装置的带动下转动，带动螺旋叶片2及消泡板3随之旋转，硅片在滚轮的传送下漂浮在刻蚀槽的刻蚀液表面，由于消泡板3的外侧端31与主轴1外壁之间的相对高度距离H1小于螺旋叶片2的峰顶21与主轴1外壁之间的相对高度距离H2，一方面，使得消泡板3的设置不会与硅片相接触，避免消泡板3与硅片相抵而干涉到硅片的传送，另一方面，使得旋转的消泡板3可作用于硅片与滚轮的交界处，从而打散硅片与滚轮的交界处的气泡，消泡板3的长度方向沿主轴1的平行方向设置，可确保消泡板3能够作用于主轴1的轴向方向上各个位置的气泡，进而有效避免气泡所引发的腐蚀不均的问题，有效减少富硝酸刻蚀工艺过程中黑边的产生，降低外观不良率，利于高效刻蚀工艺的推广，所生产的电池背膜均匀性更高，更利于钝化，有益于电池光电特性测试和电池老化性测试。
参见图5及图7所示，在一种更优选的具体实施方式中，消泡板3的内侧端32与主轴1的外壁之间设有间隙，消泡板3长度方向的两端分别与螺旋叶片2相连接，消泡板3的内侧端32、螺旋叶片2与主轴1的外壁之间共同围成过水间隙5。
其中，消泡板3长度方向的两端分别与螺旋叶片2相连接，可避免在消泡板3与螺旋叶片2之间的交界处存在消泡死角，同时通过将消泡板3长度方向的两端分别与螺旋叶片2连接，确保消泡板3在能够与主轴1的外壁之间形成间隙的基础上仍然能够牢固安装于滚轮主体上，由此，消泡板3的内侧端32、螺旋叶片2与主轴1的外壁之间共同围成过水量更大的过水间隙5，进一步减轻滚轮的负担，更利于延长滚轮的使用寿命，硅片传送的平稳度更高，刻蚀的均匀性更佳。
参见图6所示，同一组相邻螺旋叶片2之间，消泡板3设有多个，各消泡板3均匀分布于主轴1四周，通过在同一组相邻螺旋叶片2之间设置多个消泡板3，进一步提升消泡板3的消泡频率，提升消泡效果。
同一组相邻螺旋叶片2之间，相邻消泡板3之间的间距为0.7cm～2.5cm，示例性的，相邻消泡板3之间的间距为0.7cm、1.2cm、1.8cm、2.2cm或2.5cm，但不限于此，相邻消泡板3之间的间距过小，气泡难以进入相邻的两个消泡板3之间，消泡板3难以排散气泡，相邻消泡板3之间的间距过大，消泡频率低，影响消泡效果。
参见图8所示，螺旋叶片2的峰顶21与主轴1外壁之间的相对高度距离H2≥3cm，螺旋叶片2的峰顶21与消泡板3的外侧端31之间的相对高度距离H3为0.5cm～1.5cm，示例性的，螺旋叶片2的峰顶21与消泡板3的外侧端31之间的相对高度距离H3为0.5cm、0.8cm、1.2cm或1.5cm，但不限于此，螺旋叶片2的峰顶21与消泡板3的外侧端31之间的相对高度距离H3过小，气泡会在硅片表面与消泡板3作用，即气泡依然在硅片表面炸裂，消泡板3难以排散气泡，螺旋叶片2的峰顶21与消泡板3的外侧端31之间的相对高度距离H3过大，消泡板3难以作用于硅片与滚轮的交界处，影响消泡效果。
参见图8所示，消泡板3的外侧端31与内侧端32之间的相对高度距离h为0.1cm～0.5cm，示例性的，消泡板3的外侧端31与内侧端32之间的相对高度距离h为0.1cm、0.2cm、0.3cm、0.4cm或0.5cm，但不限于此，消泡板3宽度方向的两端之间的相对宽度距离为0.1cm～0.5cm，示例性的，消泡板3宽度方向的两端之间的相对宽度距离为0.1cm、0.2cm、0.3cm、0.4cm或0.5cm，但不限于此，在此范围内，既能确保消泡板3能作用于硅片与滚轮的交界处的气泡，又能保证具有较大的过水间隙5，利于滚轮的日常保养。
参见图8所示，螺旋叶片2的峰顶21与消泡板3的外侧端31之间的相对高度距离H3为0.7cm，所消泡板3的外侧端31与内侧端32之间的相对高度距离h为0.3cm，消泡板3宽度方向两端之间的相对宽度距离为0.4cm，同一组相邻螺旋叶片2之间，相邻消泡板3之间的间距为1.2cm。在此范围内，既能确保消泡板3的气泡消除效果最佳，又利于滚轮的日常保养，综合性能最佳。
消泡板3呈长条状结构，且消泡板3在垂直于消泡板3长度方向的截面呈矩形或正方形结构，更易于生产制造。
本实施例还公开一种刻蚀装置，包括刻蚀槽(未示出)及上述的刻蚀槽传送滚轮，滚轮设于刻蚀槽内。
本实施例的滚轮应用于刻蚀装置中，能够有效消除刻蚀过程中产生的气泡，进而有效避免气泡所引发的腐蚀不均的问题，有效减少富硝酸刻蚀工艺过程中黑边的产生，降低外观不良率，利于高效刻蚀工艺的推广。
当然，以上图示仅为本实用新型较佳实施方式，并非以此限定本实用新型的使用范围，故，凡是在本实用新型原理上做等效改变均应包含在本实用新型的保护范围内。
Claims (10)
1.一种刻蚀槽传送滚轮，包括滚轮主体，其特征在于，所述滚轮主体包括主轴及螺旋绕设于所述主轴四周的螺旋叶片，相邻所述的螺旋叶片之间设有用于打散气泡的消泡板，所述消泡板的长度方向沿所述主轴的平行方向设置，且所述消泡板的外侧端与所述主轴外壁之间的相对高度距离小于所述螺旋叶片的峰顶与所述主轴外壁之间的相对高度距离。
2.根据权利要求1所述的刻蚀槽传送滚轮，其特征在于，所述消泡板的内侧端与所述主轴的外壁相连接，且所述消泡板穿设有多个过水孔道。
3.根据权利要求1所述的刻蚀槽传送滚轮，其特征在于，所述消泡板的内侧端与所述主轴的外壁之间设有间隙，所述消泡板长度方向的两端分别与所述螺旋叶片相连接，所述消泡板的内侧端、所述螺旋叶片与所述主轴的外壁之间共同围成过水间隙。
4.根据权利要求1所述的刻蚀槽传送滚轮，其特征在于，同一组相邻所述螺旋叶片之间，消泡板设有多个，各所述消泡板均匀分布于所述主轴四周。
5.根据权利要求4所述的刻蚀槽传送滚轮，其特征在于，同一组相邻所述螺旋叶片之间，相邻所述消泡板之间的间距为0.7cm～2.5cm。
6.根据权利要求1所述的刻蚀槽传送滚轮，其特征在于，所述螺旋叶片的峰顶与所述主轴外壁之间的相对高度距离≥3cm，所述螺旋叶片的峰顶与所述消泡板的外侧端之间的相对高度距离为0.5cm～1.5cm。
7.根据权利要求6所述的刻蚀槽传送滚轮，其特征在于，所述消泡板的外侧端与内侧端之间的相对高度距离为0.1cm～0.5cm，所述消泡板宽度方向的两端之间的相对宽度距离为0.1cm～0.5cm。
8.根据权利要求6所述的刻蚀槽传送滚轮，其特征在于，所述螺旋叶片的峰顶与所述消泡板的外侧端之间的相对高度距离为0.7cm，所所述消泡板的外侧端与内侧端之间的相对高度距离为0.3cm，所述消泡板宽度方向两端之间的相对宽度距离为0.4cm，同一组相邻所述螺旋叶片之间，相邻所述消泡板之间的间距为1.2cm。
9.根据权利要求1所述的刻蚀槽传送滚轮，其特征在于，所述消泡板呈长条状结构，且所述消泡板在垂直于所述消泡板长度方向的截面呈矩形或正方形结构。
10.一种刻蚀装置，其特征在于，包括刻蚀槽及根据权利要求1至9任意一项所述的刻蚀槽传送滚轮，所述滚轮设于所述刻蚀槽内。
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