CN220376820U - 水浴导电装置及电镀设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及电镀设备技术领域，尤其涉及一种水浴导电装置及电镀设备。该水浴导电装置包括槽体、铜排、连接部和碳刷。其中，槽体内盛放有水溶液。铜排设置为至少两个，铜排包括一体成型的第一端和第二端；第一端通过第一固定件与槽体的底部连接，且第一端浸没在水溶液中，第一端水平设置，以使第一端与水溶液的液面保持平行；第二端延伸至槽体外部并与外界电源电性连接。连接部的端部连接有飞靶装置，连接部的两侧分别连接有碳刷，两个碳刷关于连接部的轴线方向对称设置，两个碳刷分别与其中的两个铜排的第一端抵接。该水浴导电装置安全性能高，能够避免发生断电的现象，提高电镀产品的质量，达到节约成本的目的。

Description

水浴导电装置及电镀设备

技术领域

本实用新型涉及电镀设备技术领域，尤其涉及一种水浴导电装置及电镀设备。

背景技术

目前的电镀设备中，通常采用碳刷与铜导轨直接接触，这种导电方式一方面由于碳刷与铜导轨的摩擦很容易产生电火花，从而引发火灾事故；另一方面，一旦碳刷与铜导轨之间接触不良时，会发生断电的情况，从而影响电镀产品的质量，增加维护成本。

因此，亟需设计一种水浴导电装置及电镀设备，来解决以上技术问题。

实用新型内容

本实用新型的第一目的在于提出一种水浴导电装置，安全性能高，能够避免发生断电的现象，提高电镀产品的质量。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

本实用新型提供一种水浴导电装置，包括：

槽体，所述槽体内盛放有水溶液；

至少两个铜排，所述铜排包括一体成型的第一端和第二端；所述第一端通过第一固定件与所述槽体的底部连接，且所述第一端浸没在所述水溶液中，所述第一端水平设置，以使所述第一端与所述水溶液的液面保持平行；所述第二端延伸至所述槽体外部并与外界电源电性连接；

连接部；所述连接部的端部连接有飞靶装置，所述连接部的两侧分别连接有碳刷，两个所述碳刷关于所述连接部的轴线方向对称设置，两个所述碳刷分别与其中的两个所述铜排的所述第一端抵接。

作为一种水浴导电装置的可选技术方案，所述水浴导电装置还包括第二固定件，所述第二固定件将所述碳刷与所述连接部连接。

作为一种水浴导电装置的可选技术方案，所述连接部与所述碳刷之间还设置有垫片，所述第二固定件穿设在所述碳刷、所述垫片和所述连接部之间。

作为一种水浴导电装置的可选技术方案，所述垫片设置为多个。

作为一种水浴导电装置的可选技术方案，所述第一端的端面上设置有导电增高部，所述第一固定件穿设在所述导电增高部、所述第一端和所述槽体的底部三者之间；所述碳刷抵接于所述导电增高部。

作为一种水浴导电装置的可选技术方案，所述导电增高部的上端面与所述水溶液的液面保持平行。

作为一种水浴导电装置的可选技术方案，所述导电增高部与所述第一端一体成型。

作为一种水浴导电装置的可选技术方案，所述连接部为金属件。

作为一种水浴导电装置的可选技术方案，所述水溶液包括自来水。

本实用新型的第二目的在于提出一种电镀设备，该电镀设备的导电性能高，能够提高电镀质量，提升产品良率和工作效率。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

本实用新型提供一种电镀设备，包括飞靶装置和以上所述的水浴导电装置，所述飞靶装置与所述水浴导电装置中的连接部电性连接。

本实用新型的有益效果至少包括：

本实用新型提供一种水浴导电装置，该水浴导电装置包括槽体、铜排、连接部和碳刷。其中，槽体内盛放有水溶液。铜排设置为至少两个，铜排包括一体成型的第一端和第二端；第一端通过第一固定件与槽体的底部连接，且第一端浸没在水溶液中，第一端水平设置，以使第一端与水溶液的液面保持平行；第二端延伸至槽体外部并与外界电源电性连接。连接部的端部连接有飞靶装置，连接部的两侧分别连接有碳刷，两个碳刷关于连接部的轴线方向对称设置，两个碳刷分别与其中的两个铜排的第一端抵接。该水浴导电装置结构简单，通过将铜排的第一端浸没在水溶液中，且第一端与液面保持平行，从而能够避免碳刷与铜排摩擦产生电火花的现象，提高安全性能，此外，还能够避免铜排和碳刷接触不良而出现的断电现象，提高电镀质量和工作效率，达到节约成本的目的。

本实用新型还提供一种电镀设备，该电镀设备的导电性能高，能够提高电镀质量，提升产品良率和工作效率。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对本实用新型实施例描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据本实用新型实施例的内容和这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例所提供的水浴导电装置的侧视图；

图2为本实用新型实施例所提供的水浴导电装置的俯视图；

图3为本实用新型实施例所提供的水浴导电装置的主视图。

附图标记

100、槽体；110、水溶液；200、铜排；210、第一端；220、第二端；300、连接部；310、垫片；400、碳刷；500、导电增高部；600、第一固定件；700、第二固定件。

具体实施方式

为使本实用新型解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。

在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本实施例的描述中，术语“上”、“下”、“左”、“右”等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。

如图1-图3所示，本实施例提供一种水浴导电装置，该水浴导电装置主要包括槽体100、铜排200、连接部300和碳刷400。其中，槽体100内盛放有水溶液110。铜排200设置为至少两个，铜排200包括一体成型的第一端210和第二端220；第一端210通过第一固定件600与槽体100的底部连接，且第一端210浸没在水溶液110中，第一端210水平设置，以使第一端210与水溶液110的液面保持平行；第二端220延伸至槽体100外部并与外界电源电性连接。连接部300的端部连接有飞靶装置，连接部300的两侧分别连接有碳刷400，两个碳刷400关于连接部300的轴线方向对称设置，两个碳刷400分别与其中的两个铜排200的第一端210抵接。

基于以上设计，在本实施例中，外接电源与铜排200的第二端220导电连通，从而使得整个铜排200和水溶液110导电，碳刷400抵接于第一端210，从而使得碳刷400带电，飞靶装置作为正电极，槽体100内的铜排200、水溶液110、碳刷400作为负电极，从而实现对硅片的表面进行金属电镀的目的。第一端210与水溶液110的液面保持平行，从而能够避免某个铜排200的第一端210露出液面，造成导电不良的风险。

示例性地，本实施例中的铜排200和碳刷400均设置为两个，且铜排200和碳刷400一一对应。两个碳刷400关于连接部300的轴线方向对称设置，从而提高两个碳刷400在连接部300上的稳定性和受力均匀性，避免在飞靶装置运输过程中，其中某个碳刷400完全露出液面而造成导电不良的风险。

与现有技术相比，本实施例中的水浴导电装置结构简单，通过将铜排200的第一端210浸没在水溶液110中，且第一端210与液面保持平行，从而能够避免碳刷400与铜排200摩擦产生电火花的现象，提高安全性能，此外，还能够避免铜排200和碳刷400接触不良而出现的断电现象，提高电镀质量和工作效率，达到节约成本的目的。

可选地，本实施例中的水溶液110可以设置为自来水，有利于提高导电性。连接部300采用金属材质制成，例如可以采用碳钢制成，从而便于导电。

可选地，本实施例中的碳刷400还可以采用碳铜或者其他具有良好导电性的部件进行代替。

可选地，本实施例中的铜排200的长度方向与槽体100的长度方向保持一致，从而有利于电镀产品的实际流水作业。

如图1所示，在本实施例中，水浴导电装置还包括第二固定件700，第二固定件700将碳刷400与连接部300连接，从而提高连接部300和碳刷400的稳定性和可靠性，避免两者发生晃动。可选地，第一固定件600和第二固定件700均可以设置为螺栓，从而便于后期的拆卸和维护。本实施例中对第一固定件600和第二固定件700的数量不做具体限定。

进一步地，连接部300与碳刷400之间还设置有垫片310，第二固定件700穿设在碳刷400、垫片310和连接部300之间。垫片310采用不锈钢材质制成，提高导电性和强度。垫片310的设置能够避免碳刷400与连接部300的刚性接触，减少应力集中的现象，延长碳刷400和连接部300的使用寿命。

可选地，垫片310可以设置为多个，例如可以设置为两个、三个、四个等数量。

如图1-图3所示，在本实施例中，第一端210的端面上设置有导电增高部500，第一固定件600穿设在导电增高部500、第一端210和槽体100的底部三者之间；碳刷400抵接于导电增高部500。导电增高部500也采用铜材质制成，导电增高部500与第一端210可以一体成型，从而节省加工步骤，提高加工效率。导电增高部500的设置有利于提高碳刷400与铜排200导电接触的可靠性和稳定性，进而提高导电性能。可选地，导电增高部500的高度设置为0.5cm-1cm之间。

进一步地，在本实施例中，导电增高部500上设置有滑槽，碳刷400抵接在滑槽内，从而提高碳刷400与导电增高部500抵接的可靠性。

更进一步地，导电增高部500的上端面与水溶液110的液面保持平行，进而确保两个碳刷400的在导电增高部500抵接时的平行度，避免某一个碳刷400露出液面，提高电镀质量。

本实施例还提供一种电镀设备，该电镀设备包括飞靶装置和上述水浴导电装置，飞靶装置与水浴导电装置中的连接部300电性连接。飞靶装置上连接有夹具，夹具上夹持有硅片。该电镀设备的导电性能高，能够提高电镀质量，提升产品良率和工作效率。

显然，上述仅为本实用新型的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解，本实用新型不限于这里的特定实施例，对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本实用新型的保护范围。因此，虽然通过以上实施例对本实用新型进行了较为详细的说明，但是本实用新型不仅仅限于以上实施例，在不脱离本实用新型构思的情况下，还可以包括更多其他等效实施例，而本实用新型的范围由所附的权利要求范围决定。

注意，在本说明书的描述中，参考术语“有些实施例”、“其他实施例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

Claims (10)

1.水浴导电装置，其特征在于，包括：

槽体(100)，所述槽体(100)内盛放有水溶液(110)；

至少两个铜排(200)，所述铜排(200)包括一体成型的第一端(210)和第二端(220)；所述第一端(210)通过第一固定件(600)与所述槽体(100)的底部连接，且所述第一端(210)浸没在所述水溶液(110)中，所述第一端(210)水平设置，以使所述第一端(210)与所述水溶液(110)的液面保持平行；所述第二端(220)延伸至所述槽体(100)外部并与外界电源电性连接；

连接部(300)；所述连接部(300)的端部连接有飞靶装置，所述连接部(300)的两侧分别连接有碳刷(400)，两个所述碳刷(400)关于所述连接部(300)的轴线方向对称设置，两个所述碳刷(400)分别与其中的两个所述铜排(200)的所述第一端(210)抵接。

2.根据权利要求1所述的水浴导电装置，其特征在于，所述水浴导电装置还包括第二固定件(700)，所述第二固定件(700)将所述碳刷(400)与所述连接部(300)连接。

3.根据权利要求2所述的水浴导电装置，其特征在于，所述连接部(300)与所述碳刷(400)之间还设置有垫片(310)，所述第二固定件(700)穿设在所述碳刷(400)、所述垫片(310)和所述连接部(300)之间。

4.根据权利要求3所述的水浴导电装置，其特征在于，所述垫片(310)设置为多个。

5.根据权利要求1所述的水浴导电装置，其特征在于，所述第一端(210)的端面上设置有导电增高部(500)，所述第一固定件(600)穿设在所述导电增高部(500)、所述第一端(210)和所述槽体(100)的底部三者之间；所述碳刷(400)抵接于所述导电增高部(500)。

6.根据权利要求5所述的水浴导电装置，其特征在于，所述导电增高部(500)的上端面与所述水溶液(110)的液面保持平行。

7.根据权利要求5所述的水浴导电装置，其特征在于，所述导电增高部(500)与所述第一端(210)一体成型。

8.根据权利要求1-7中任一项所述的水浴导电装置，其特征在于，所述连接部(300)为金属件。

9.根据权利要求1-7中任一项所述的水浴导电装置，其特征在于，所述水溶液(110)包括自来水。

10.电镀设备，其特征在于，包括飞靶装置和权利要求1-9中任一项所述的水浴导电装置，所述飞靶装置与所述水浴导电装置中的连接部(300)电性连接。