CN220345492U - 一种电子混合气配制设备 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及气体混合技术领域，尤其是一种电子混合气配制设备，包括混气箱，所述混气箱上连通设置有多个进气阀，所述混气箱上连通设置有出气阀，所述混气箱内抵接有移动板，所述移动板一侧固定连接有密封垫，所述密封垫与所述混气箱内壁相抵接，所述移动板通过移动机构移动。本实用新型具有从而防止了混合气体的残留，保证了下次混合气体的准确性，有利于气体的混合效果。
Description
技术领域
本实用新型涉及气体混合技术领域，尤其涉及一种电子混合气配制设备。
背景技术
随着电子工业，尤其是大规模集成电路的发展，混合气的用量越来越大，人们把半导体工业用的混合气称为电子混合气。电子混合气种类很多，组分气体主要有：硅烷、砷烷、磷烷、硼烷、锗烷、硒化氢、硫化氢四氟化碳；底气有：氮、氢、氩、氦等。在对气体进行混合时，通过将多种气体通入到混气箱中进行混合，但是在需要对混合的气体进行排出时，容易导致气体的残留在混气箱中，会导致下次混合的气体中残留有上次混合的气体，影响了气体混合的效果。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的会导致下次混合的气体中残留有上次混合的气体，影响了气体混合效果的缺点，而提出的一种电子混合气配制设备。
为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
设计一种电子混合气配制设备，包括混气箱，所述混气箱上连通设置有多个进气阀，所述混气箱上连通设置有出气阀，所述混气箱内抵接有移动板，所述移动板一侧固定连接有密封垫，所述密封垫与所述混气箱内壁相抵接，所述移动板通过移动机构移动。
优选的，所述移动机构包括螺纹套、螺纹杆，所述螺纹套通过密封轴承与所述混气箱转动连接，所述螺纹套一端延伸进所述混气箱内螺纹连接有所述螺纹杆，所述螺纹杆与所述移动板固定连接，所述螺纹套通过驱动机构驱动。
优选的，所述驱动机构包括第一齿轮、第二齿轮、电机、转轴，所述第二齿轮固定连接在所述螺纹套上，所述电机安装在所述螺纹套上，所述电机的输出轴上固定连接有转轴，所述转轴上固定连接有第一齿轮，所述第一齿轮与所述第二齿轮相啮合。
优选的，所述螺纹杆为往复螺纹杆。
优选的，所述混气箱上设置有压力表。
优选的，所述混气箱上设置有防爆玻璃。
优选的，多个所述进气阀高度依次降低设置在所述混气箱上。
本实用新型提出的一种电子混合气配制设备，有益效果在于：通过采用移动机构带动移动板进行移动，从而对密封垫进行移动，有利于对混气箱中的气体起到挤压的作用，有利于气体之间进行混合，同时在需要将混合的气体进行排出时，通过移动机构带动移动板进行移动，通过密封垫将混合好的气体进行挤压排出，从而防止了混合气体的残留，保证了下次混合气体的准确性，有利于气体的混合效果。
附图说明
图1为本实用新型提出的一种电子混合气配制设备的结构示意图；
图2为本实用新型提出的一种电子混合气配制设备的立体图；
图3为本实用新型提出的一种电子混合气配制设备立体图的剖视。
图中：混气箱1、螺纹套2、压力表3、进气阀4、防爆玻璃5、出气阀6、密封垫7、移动板8、螺纹杆9、第一齿轮10、第二齿轮11、电机12、转轴13。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
实施例1
参照图1-3，一种电子混合气配制设备，包括混气箱1，混气箱1上连通设置有多个进气阀4，混气箱1上连通设置有出气阀6，混气箱1内抵接有移动板8，移动板8一侧固定连接有密封垫7，密封垫7与混气箱1内壁相抵接，移动板8通过移动机构移动，通过将气体从进气阀4中注入，通过采用移动机构带动移动板8进行移动，从而对密封垫7进行移动，有利于对混气箱1中的气体起到挤压的作用，有利于气体之间进行混合，同时在需要将混合的气体进行排出时，通过移动机构带动移动板8进行移动，通过密封垫7将混合好的气体进行挤压排出，从而防止了混合气体的残留，保证了下次混合气体的准确性，有利于气体的混合效果。
多个进气阀4高度依次降低设置在混气箱1上，有利于气体的密度不同时，在进行气体混合通过将密度大的气体从上端的进气阀4注入，密度小的气体从下端的进气阀4注入，密度大的气体下沉，有利于气体的混合效果。
移动机构包括螺纹套2、螺纹杆9，螺纹套2通过密封轴承与混气箱1转动连接，螺纹套2一端延伸进混气箱1内螺纹连接有螺纹杆9，螺纹杆9与移动板8固定连接，螺纹套2通过驱动机构驱动，通过采用密封轴承的设计，保证了螺纹套2与混气箱1之间的密封效果，通过采用螺纹套2进行转动，从而调节螺纹杆9在螺纹套2中的位置，从而带动移动板8进行移动。
驱动机构包括第一齿轮10、第二齿轮11、电机12、转轴13，第二齿轮11固定连接在螺纹套2上，电机12安装在螺纹套2上，电机12的输出轴上固定连接有转轴13，转轴13上固定连接有第一齿轮10，第一齿轮10与第二齿轮11相啮合，通过电机12进行转动，带动第一齿轮10进行转动，从而带动第一齿轮10，将带动螺纹套2进行转动。
在进行混合气体排出时，通过关闭进气阀4，打开出气阀6，通过电机12进行转动，带动第一齿轮10进行转动，从而带动第一齿轮10，将带动螺纹套2进行转动，调节螺纹杆9在螺纹套2中的位置，从而带动移动板8进行移动，通过密封垫7将混合好的气体进行挤压排出。
实施例2
参照图1-3，作为本实用新型的另一优选实施例，在实施例1的基础上，螺纹杆9为往复螺纹杆,通过采用往复螺纹杆的设计，以便通过电机12进行正向转动，即可带动调节螺纹杆9在螺纹套2中的位置，对螺纹杆9进行复位，无需进行正反转。
实施例3
参照图1-3，作为本实用新型的另一优选实施例，在实施例2的基础上，混气箱1上设置有压力表3，通过采用压力表3的设计，以便对混气箱1内的压强进行观察，混气箱1上设置有防爆玻璃5，有利于对混气箱1内的情况进行观察。
以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
Claims (7)
1.一种电子混合气配制设备，包括混气箱(1)，其特征在于，所述混气箱(1)上连通设置有多个进气阀(4)，所述混气箱(1)上连通设置有出气阀(6)，所述混气箱(1)内抵接有移动板(8)，所述移动板(8)一侧固定连接有密封垫(7)，所述密封垫(7)与所述混气箱(1)内壁相抵接，所述移动板(8)通过移动机构移动。
2.根据权利要求1所述的电子混合气配制设备，其特征在于，所述移动机构包括螺纹套(2)、螺纹杆(9)，所述螺纹套(2)通过密封轴承与所述混气箱(1)转动连接，所述螺纹套(2)一端延伸进所述混气箱(1)内螺纹连接有所述螺纹杆(9)，所述螺纹杆(9)与所述移动板(8)固定连接，所述螺纹套(2)通过驱动机构驱动。
3.根据权利要求2所述的电子混合气配制设备，其特征在于，所述驱动机构包括第一齿轮(10)、第二齿轮(11)、电机(12)、转轴(13)，所述第二齿轮(11)固定连接在所述螺纹套(2)上，所述电机(12)安装在所述螺纹套(2)上，所述电机(12)的输出轴上固定连接有转轴(13)，所述转轴(13)上固定连接有第一齿轮(10)，所述第一齿轮(10)与所述第二齿轮(11)相啮合。
4.根据权利要求2所述的电子混合气配制设备，其特征在于，所述螺纹杆(9)为往复螺纹杆。
5.根据权利要求1-4中任一项所述的电子混合气配制设备，其特征在于，所述混气箱(1)上设置有压力表(3)。
6.根据权利要求5所述的电子混合气配制设备，其特征在于，所述混气箱(1)上设置有防爆玻璃(5)。
7.根据权利要求1所述的电子混合气配制设备，其特征在于，多个所述进气阀(4)高度依次降低设置在所述混气箱(1)上。
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