CN220324420U - 一种硅片碱蚀机 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及硅晶片生产技术领域，具体为一种硅片碱蚀机，包括碱蚀箱和用于对多个硅晶圆片进行放置的安装架组件；安装架组件安装在碱蚀箱内。本实用新型将多个硅晶圆片分别配合插入多个相邻的隔板之间的间隙内，然后使得硅晶圆片的圆周面配合压紧在限位槽内，由设置的限位槽和多个隔板对硅晶圆片进行支撑，进而便于对硅晶圆片进行碱蚀，同时限位槽和多个隔板对硅晶圆片进行贴合，限制了硅晶圆片贴合面的碱蚀；同时，通过设置的马达带动螺纹杆进行转动，从而使得螺纹杆带动两个移动板和多个隔板进行移动，多个硅晶圆片随着多个隔板的移动进行摆动，进而对硅晶圆片压紧在隔板的端面进行碱蚀，对硅晶圆片进行了全面的碱蚀。
Description
技术领域
本实用新型涉及硅晶片生产技术领域，具体涉及一种硅片碱蚀机。
背景技术
晶圆便是硅元素加以纯化(99.999％)，接着是将这些纯硅制成长硅晶棒，成为制造积体电路的石英半导体的材料，经过照相制版，研磨，抛光，切片等程序，将多晶硅融解拉出单晶硅晶棒，然后切割成一片一片薄薄的晶圆。元素硅是一种灰色、易碎、四价的非金属化学元素。硅晶片又称晶圆片，是由硅锭加工而成的，通过专门的工艺可以在硅晶片上刻蚀出数以百万计的晶体管，被广泛应用于集成电路的制造。
授权公告号为CN213366542U的中国专利公布了一种硅晶片生产用硅片碱蚀机，包括支架，所述支架的内侧设置有储水池，所述支架的外侧安装有清水箱，所述清水箱相对的一侧支架外侧安装有碱蚀剂箱，所述清水箱的顶端设置有第一导水管，所述碱蚀剂箱的顶端设置有第二导水管，所述储水池的顶端设置有移动组件，所述支架的顶端内侧安装清洗装置。本实用新型，通过设置的移动组件，将需要进行碱蚀处理的硅晶片放在夹具内侧夹住，移动组件可将夹具连同硅晶片进行翻转，可将硅晶片的两面都进行碱蚀处理，设置的清洗装置，可以将硅晶片进行碱蚀处理，处理完成后可将硅晶片进行清洗，加快工作进度，不需要在更换清洗设备进行清洗。
现有技术存在的缺陷为：通过设置夹具对硅晶圆片进行夹紧，不能够对硅晶圆片进行彻底的碱蚀处理。
实用新型内容
本实用新型目的是针对背景技术中存在的问题，提出一种便于对硅晶圆片进行全面腐蚀的硅片碱蚀机。
本实用新型的技术方案：一种硅片碱蚀机，包括碱蚀箱和用于对多个硅晶圆片进行放置的安装架组件；
安装架组件安装在碱蚀箱内。
优选的，安装架组件包括两个安装板、多个第一伸缩装置、两个升降板、多个隔板、两个移动板和支撑板；两个安装板并排安装在碱蚀箱内；两个升降板并排分布在碱蚀箱内，两个升降板之间设有用于推动两个移动板进行移动的推动组件；每个第一伸缩装置的两端分别连接每个安装板和每个升降板；两个移动板并排分布，两个移动板位于两个升降板之间，每个移动板均与两个升降板垂直；多个隔板并排分布在两个移动板之间，每个隔板的两端均连接两个移动板，相邻的两个隔板之间形成用于放置硅晶圆片的放置间隙；支撑板位于多个隔板正下方，支撑板的上端面连接两个升降板的下端面。
优选的，推动组件包括两个螺纹杆和两个马达；每个螺纹杆均转动设置在两个升降板上，每个螺纹杆均螺纹连接每个移动板；马达安装在升降板上，马达的输出轴连接螺纹杆的一端。
优选的，还包括固定框和多个第二伸缩装置；固定框的内周面连接支撑板的外周面；每个第二伸缩装置的两端分别连接每个升降板的底面和固定框的上端面。
优选的，多个隔板和两个移动板为一体成型结构。
优选的，支撑板上设有通孔，支撑板的上端面并排设有多个限位槽；多个限位槽均与通孔连通。
优选的，每个限位槽的中部均向下凹陷。
优选的，每个限位槽的内壁均设有保护垫。
与现有技术相比，本实用新型的上述技术方案具有如下有益的技术效果：
使用者将多个硅晶圆片分别配合插入多个相邻的隔板之间的间隙内，然后使得硅晶圆片的圆周面配合压紧在限位槽内，由设置的限位槽和多个隔板对硅晶圆片进行支撑，进而便于对硅晶圆片进行碱蚀，同时限位槽和多个隔板对硅晶圆片进行贴合，限制了硅晶圆片贴合面的碱蚀；同时，通过设置的马达带动螺纹杆进行转动，从而使得螺纹杆带动两个移动板和多个隔板进行移动，多个硅晶圆片随着多个隔板的移动进行摆动，进而对硅晶圆片压紧在隔板的端面进行碱蚀，对硅晶圆片进行了全面的碱蚀，进而提高了装置的实用性。
使用者通过设置的多个第二伸缩装置控制固定框与两个升降板之间的距离，进而能够对不同尺寸的硅晶圆片进行碱蚀处理，进而提高了装置的实用性。
附图说明
图1为本实用新型的立体图。
图2为图1中A处的局部放大示意图。
图3为本实用新型中安装架组件的结构示意图。
附图标记：1、安装板；2、碱蚀箱；3、第一伸缩装置；4、升降板；5、螺纹杆；6、隔板；7、移动板；8、固定框；9、支撑板；901、限位槽；902、通孔；10、第二伸缩装置。
具体实施方式
实施例一
如图1-3所示，本实用新型提出的一种硅片碱蚀机，包括碱蚀箱2和用于对多个硅晶圆片进行放置的安装架组件。
安装架组件安装在碱蚀箱2内，安装架组件包括两个安装板1、多个第一伸缩装置3、两个升降板4、多个隔板6、两个移动板7和支撑板9；两个安装板1并排安装在碱蚀箱2内；两个升降板4并排分布在碱蚀箱2内，两个升降板4之间设有用于推动两个移动板7进行移动的推动组件；推动组件包括两个螺纹杆5和两个马达；每个螺纹杆5均转动设置在两个升降板4上，每个螺纹杆5均螺纹连接每个移动板7；马达安装在升降板4上，马达的输出轴连接螺纹杆5的一端；每个第一伸缩装置3的两端分别连接每个安装板1和每个升降板4；两个移动板7并排分布，两个移动板7位于两个升降板4之间，每个移动板7均与两个升降板4垂直；多个隔板6并排分布在两个移动板7之间，每个隔板6的两端均连接两个移动板7，相邻的两个隔板6之间形成用于放置硅晶圆片的放置间隙；多个隔板6和两个移动板7为一体成型结构；一体成型的多个隔板6和两个移动板7的连接更加牢固；支撑板9位于多个隔板6正下方，支撑板9的上端面连接两个升降板4的下端面，支撑板9上设有通孔902，支撑板9的上端面并排设有多个限位槽901；多个限位槽901均与通孔902连通，每个限位槽901的中部均向下凹陷，每个限位槽901的内壁均设有保护垫。
本实用新型中，使用时，使用者将多个硅晶圆片分别配合插入多个相邻的隔板6之间的间隙内，然后使得硅晶圆片的圆周面配合压紧在限位槽901内，由设置的限位槽901和多个隔板6对硅晶圆片进行支撑，进而便于对硅晶圆片进行碱蚀，同时限位槽901和多个隔板6对硅晶圆片进行贴合，限制了硅晶圆片贴合面的碱蚀；同时，通过设置的马达带动螺纹杆5进行转动，从而使得螺纹杆5带动两个移动板7和多个隔板6进行移动，多个硅晶圆片随着多个隔板6的移动进行摆动，进而对硅晶圆片压紧在隔板6的端面进行碱蚀，对硅晶圆片进行了全面的碱蚀，进而提高了装置的实用性。
实施例二
如图3所示，本实用新型提出的一种硅片碱蚀机，相较于实施例一，本实施例还包括固定框8和多个第二伸缩装置10；固定框8的内周面连接支撑板9的外周面；每个第二伸缩装置10的两端分别连接每个升降板4的底面和固定框8的上端面。
本实用新型中，使用时，使用者通过设置的多个第二伸缩装置10控制固定框8与两个升降板4之间的距离，进而能够对不同尺寸的硅晶圆片进行碱蚀处理，进而提高了装置的实用性。
上面结合附图对本实用新型的实施方式作了详细说明，但是本实用新型并不限于此，在所属技术领域的技术人员所具备的知识范围内，在不脱离本实用新型宗旨的前提下还可以作出各种变化。
Claims (5)
1.一种硅片碱蚀机，其特征在于，包括碱蚀箱(2)和用于对多个硅晶圆片进行放置的安装架组件；
安装架组件安装在碱蚀箱(2)内；安装架组件包括两个安装板(1)、多个第一伸缩装置(3)、两个升降板(4)、多个隔板(6)、两个移动板(7)和支撑板(9)；两个安装板(1)并排安装在碱蚀箱(2)内；两个升降板(4)并排分布在碱蚀箱(2)内，两个升降板(4)之间设有用于推动两个移动板(7)进行移动的推动组件；每个第一伸缩装置(3)的两端分别连接每个安装板(1)和每个升降板(4)；两个移动板(7)并排分布，两个移动板(7)位于两个升降板(4)之间，每个移动板(7)均与两个升降板(4)垂直；多个隔板(6)并排分布在两个移动板(7)之间，每个隔板(6)的两端均连接两个移动板(7)，相邻的两个隔板(6)之间形成用于放置硅晶圆片的放置间隙；支撑板(9)位于多个隔板(6)正下方，支撑板(9)的上端面连接两个升降板(4)的下端面；
推动组件包括两个螺纹杆(5)和两个马达；每个螺纹杆(5)均转动设置在两个升降板(4)上，每个螺纹杆(5)均螺纹连接每个移动板(7)；马达安装在升降板(4)上，马达的输出轴连接螺纹杆(5)的一端；
还包括固定框(8)和多个第二伸缩装置(10)；固定框(8)的内周面连接支撑板(9)的外周面；每个第二伸缩装置(10)的两端分别连接每个升降板(4)的底面和固定框(8)的上端面。
2.根据权利要求1所述的一种硅片碱蚀机，其特征在于，多个隔板(6)和两个移动板(7)为一体成型结构。
3.根据权利要求1所述的一种硅片碱蚀机，其特征在于，支撑板(9)上设有通孔(902)，支撑板(9)的上端面并排设有多个限位槽(901)；多个限位槽(901)均与通孔(902)连通。
4.根据权利要求3所述的一种硅片碱蚀机，其特征在于，每个限位槽(901)的中部均向下凹陷。
5.根据权利要求3所述的一种硅片碱蚀机，其特征在于，每个限位槽(901)的内壁均设有保护垫。
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