CN216460427U

CN216460427U - 一种多线切割后的碳化硅晶片自动清洗装置

Info

Publication number: CN216460427U
Application number: CN202122845589.3U
Authority: CN
Inventors: 李有群; 贺贤汉; 王升; 陈辉
Original assignee: Anhui Microchip Changjiang Semiconductor Materials Co ltd
Current assignee: Anhui Microchip Changjiang Semiconductor Materials Co ltd
Priority date: 2021-11-19
Filing date: 2021-11-19
Publication date: 2022-05-10
Anticipated expiration: 2031-11-19

Abstract

本实用新型涉及晶片清洗技术领域，具体是一种多线切割后的碳化硅晶片自动清洗装置，包括有工作台，所述工作台的顶部连接有清洗箱，所述清洗箱的内部设有内箱体，所述内箱体的内底板上连接有圆环柱，所述圆环柱的侧壁开设有多个安装通槽，所述内箱体内设有清洗机构，所述清洗机构包括有连接板，所述连接板的底部两端连接有侧面板，所述连接板的底端连接有中心板，所述中心板的两侧和两个侧面板的内侧连接有多个连杆，每个所述连杆的一端均固定连接有清洁毛刷，本实用新型通过清洗箱、内箱体、圆环柱、安装通槽、连接板、侧面板、中心板、连杆和清洁毛刷之间相互配合的作用，从而可以有效的对碳化硅晶片的两面进行清洗，提高了清洗效率。

Description

一种多线切割后的碳化硅晶片自动清洗装置

技术领域

本实用新型涉及晶片清洗技术领域，具体是一种多线切割后的碳化硅晶片自动清洗装置。

背景技术

碳化硅单晶是第三代半导体材料，碳化硅晶体需经过多线切割、研磨、抛光等加工工序，获得的单晶薄片作为衬底材料，经过外延生长、器件制造等环节，方可制成碳化硅基功率器件和微波射频器件。每一道加工工序结束后都需要对碳化硅晶片进行清洗。

由于碳化硅硬度较大，目前碳化硅晶体多线切割基本上都是使用金刚石砂浆，切割后晶片与晶片之间紧密相粘，分开后表面布满大量的污渍, 目前对于多线切割后的晶片清洗基本上都是采用手工擦拭清洗的方式，效率低，清洗质量不稳定。随着市场对碳化硅衬底片需求的飞速增长，这种方式已远远不能满足大批量生产的要求。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种多线切割后的碳化硅晶片自动清洗装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

本实用新型的技术方案是：一种多线切割后的碳化硅晶片自动清洗装置，包括有工作台，所述工作台的顶部固定连接有清洗箱，所述清洗箱的内部设有内箱体，所述内箱体的内底板上固定连接有圆环柱，所述圆环柱的侧壁等间距开设有多个安装通槽，每个所述安装通槽的上下两端均设有定位机构，所述内箱体内设有清洗机构，所述清洗机构包括有连接板，所述连接板的底部两端对称固定连接有侧面板，所述连接板的底端中心处固定连接有中心板，所述中心板的两侧和两个侧面板的内侧均等间距固定连接有多个连杆，每个所述连杆的一端均固定连接有清洁毛刷。

优选的，所述中心板设置在内箱体的内部，每个所述清洁毛刷均与圆环柱的侧壁相接触，所述中心板和两个侧面板的截面形状尺寸相同。

优选的，所述定位机构包括有与安装通槽内壁固定连接的U型座，所述U型座的内侧壁等间距固定连接有多个挤压弹簧，每个所述挤压弹簧的一端均固定连接有夹板。

优选的，所述清洗箱的顶部设置有呈垂直设置的驱动电机，所述驱动电机的输出端贯穿延伸至清洗箱内固定连接有旋转轴，所述旋转轴的底端与连接板的顶端中心固定连接。

优选的，所述工作台的一侧设有水箱，所述水箱的顶部通过导水管连接有抽水泵，所述抽水泵的输出端通过导水管连接有电磁阀。

优选的，所述电磁阀的一端通过导水管贯穿延伸至清洗箱内连接有储水环盒，所述储水环盒的底端等间距连接有多个喷头，所述旋转轴贯穿储水环盒的顶端中心。

本实用新型通过改进在此提供一种多线切割后的碳化硅晶片自动清洗装置，与现有技术相比，具有如下改进及优点：

其一：本实用新型通过清洗箱、内箱体、圆环柱、安装通槽、连接板、侧面板、中心板、连杆和清洁毛刷之间相互配合的作用，从而可以有效的对碳化硅晶片的两面进行清洗，提高了清洗效率；

其二：本实用新型通过U型座、挤压弹簧和夹板组成的定位机构，从而可以有效的对碳化硅晶片进行夹持固定，进而便于清洁毛刷进行清洗，通过水箱、抽水泵、电磁阀、储水环盒和多个喷头之间相互配合的作用，从而可以有效的配合清洗机构实现对圆环柱上的碳化硅晶片进行均匀清洗，提高清洗效率。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步解释:

图1是本实用新型的整体结构示意图；

图2是本实用新型的清洗箱结构示意图；

图3是本实用新型的定位机构结构示意图；

图4是本实用新型的连接板连接结构示意图。

附图标记说明：

1、工作台；2、清洗箱；3、清洗机构；4、水箱；5、抽水泵；6、电磁阀；7、内箱体；8、圆环柱；9、安装通槽；10、连接板；11、侧面板；12、中心板；13、驱动电机；14、旋转轴；15、连杆；16、清洁毛刷；17、储水环盒；18、喷头；19、U型座；20、挤压弹簧；21、夹板。

具体实施方式

下面对本实用新型进行详细说明，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

本实用新型通过改进在此提供一种多线切割后的碳化硅晶片自动清洗装置，本实用新型的技术方案是：

实施例一：

如图1-图4所示，一种多线切割后的碳化硅晶片自动清洗装置，包括有工作台1，所述工作台1的顶部固定连接有清洗箱2，所述清洗箱2的内部设有内箱体7，所述内箱体7的内底板上固定连接有圆环柱8，所述圆环柱8的侧壁等间距开设有多个安装通槽9，每个所述安装通槽9的上下两端均设有定位机构，所述内箱体7内设有清洗机构3，所述清洗机构3包括有连接板10，所述连接板10的底部两端对称固定连接有侧面板11，所述连接板10的底端中心处固定连接有中心板12，所述中心板12的两侧和两个侧面板11的内侧均等间距固定连接有多个连杆15，每个所述连杆15的一端均固定连接有清洁毛刷16，所述清洗箱2的顶部设置有呈垂直设置的驱动电机13，所述驱动电机13的输出端贯穿延伸至清洗箱2内固定连接有旋转轴14，所述旋转轴14的底端与连接板10的顶端中心固定连接。

进一步的，在上述技术方案中，所述中心板12设置在内箱体7的内部，每个所述清洁毛刷16均与圆环柱8的侧壁相接触，所述中心板12和两个侧面板11的截面形状尺寸相同。

进一步的，在上述技术方案中，所述定位机构包括有与安装通槽9内壁固定连接的U型座19，所述U型座19的内侧壁等间距固定连接有多个挤压弹簧20，每个所述挤压弹簧20的一端均固定连接有夹板21，通过U型座19、挤压弹簧20和夹板21组成的定位机构，从而可以有效的对碳化硅晶片进行夹持固定，进而便于清洁毛刷16进行清洗。

进一步的，在上述技术方案中，所述工作台1的一侧设有水箱4，所述水箱4的顶部通过导水管连接有抽水泵5，所述抽水泵5的输出端通过导水管连接有电磁阀6，所述电磁阀6的一端通过导水管贯穿延伸至清洗箱2内连接有储水环盒17，所述储水环盒17的底端等间距连接有多个喷头18，所述旋转轴14贯穿储水环盒17的顶端中心，通过水箱4、抽水泵5、电磁阀6、储水环盒17和多个喷头18之间相互配合的作用，从而可以有效的配合清洗机构3实现对圆环柱8上的碳化硅晶片进行均匀清洗，提高清洗效率。

工作原理：首先将碳化硅晶片放置在两个U型座19内，然后分开两个挤压弹簧20，将碳化硅晶片放置在两个夹板21之间，然后挤压弹簧20带动夹板21通过弹性移动直至将碳化硅晶片夹住，从而可以有效的对碳化硅晶片进行夹持固定，进而便于清洁毛刷16进行清洗，然后启动抽水泵5工作，打开电磁阀6，水箱4内的水经抽水泵5输送至储水环盒17，然后经多个喷头18喷出，同时启动驱动电机13工作，驱动电机13的输出端驱动旋转轴14转动，旋转轴14转动带动连接板10转动，连接板10转动带动侧面板11和中心板12旋转，中心板12和两个侧面板11通过多个连杆15带动清洁毛刷16旋转，对碳化硅晶片进行清洗，从而可以有效的对碳化硅晶片的两面进行清洗，提高了清洗效率。

上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims

1.一种多线切割后的碳化硅晶片自动清洗装置，包括有工作台（1），其特征在于：所述工作台（1）的顶部固定连接有清洗箱（2），所述清洗箱（2）的内部设有内箱体（7），所述内箱体（7）的内底板上固定连接有圆环柱（8），所述圆环柱（8）的侧壁等间距开设有多个安装通槽（9），每个所述安装通槽（9）的上下两端均设有定位机构，所述内箱体（7）内设有清洗机构（3），所述清洗机构（3）包括有连接板（10），所述连接板（10）的底部两端对称固定连接有侧面板（11），所述连接板（10）的底端中心处固定连接有中心板（12），所述中心板（12）的两侧和两个侧面板（11）的内侧均等间距固定连接有多个连杆（15），每个所述连杆（15）的一端均固定连接有清洁毛刷（16）。

2.根据权利要求1所述的一种多线切割后的碳化硅晶片自动清洗装置，其特征在于：所述中心板（12）设置在内箱体（7）的内部，每个所述清洁毛刷（16）均与圆环柱（8）的侧壁相接触，所述中心板（12）和两个侧面板（11）的截面形状尺寸相同。

3.根据权利要求1所述的一种多线切割后的碳化硅晶片自动清洗装置，其特征在于：所述定位机构包括有与安装通槽（9）内壁固定连接的U型座（19），所述U型座（19）的内侧壁等间距固定连接有多个挤压弹簧（20），每个所述挤压弹簧（20）的一端均固定连接有夹板（21）。

4.根据权利要求1所述的一种多线切割后的碳化硅晶片自动清洗装置，其特征在于：所述清洗箱（2）的顶部设置有呈垂直设置的驱动电机（13），所述驱动电机（13）的输出端贯穿延伸至清洗箱（2）内固定连接有旋转轴（14），所述旋转轴（14）的底端与连接板（10）的顶端中心固定连接。

5.根据权利要求4所述的一种多线切割后的碳化硅晶片自动清洗装置，其特征在于：所述工作台（1）的一侧设有水箱（4），所述水箱（4）的顶部通过导水管连接有抽水泵（5），所述抽水泵（5）的输出端通过导水管连接有电磁阀（6）。

6.根据权利要求5所述的一种多线切割后的碳化硅晶片自动清洗装置，其特征在于：所述电磁阀（6）的一端通过导水管贯穿延伸至清洗箱（2）内连接有储水环盒（17），所述储水环盒（17）的底端等间距连接有多个喷头（18），所述旋转轴（14）贯穿储水环盒（17）的顶端中心。