CN220295373U - 一种切片机超声波清洗装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种切片机超声波清洗装置,包括超声波腔体、超声波发生器、陶瓷增压泵、切削液水源与电源,所述超声波发生器与电源通过电性连接。本实用新型通过利用超声波在水中的传导原理,超声波会在被清洗物表面,形成空鼓,震荡,达到微粒清除效果,本装置利用定向超声波喷淋原理,同时超声波发生器运作通过定向超声波换能器作用于超声波腔体内部的切削液,切削液通过定向超声波喷嘴快速喷出,让饱含超声波的液体快速在切割线表面工作,去除在金刚线表面的硅泥,提高金刚线工作效率,从而通过超声波和切削液相互配合的作用下,有效的对硅泥进行清理,增强清理效果、提升清理效率,进一步的提升切割效果。
Description
技术领域
本实用新型涉及切片机技术领域,具体为一种切片机超声波清洗装置。
背景技术
金刚线切片机在切片过程中,金刚线上面会有很多硅粉附着,虽然有切削液在顶部喷淋,但是只能起到润滑作用,并不能达到清洗的效果,金刚线上附着的硅粉,加上切削液会形成硅泥,硅泥会在切割过程中填充在金刚砂缝隙中,在切片的中后期严重影响金刚线的切割效果,为了去除金刚线上面的硅泥,提高切割效果,急需一种借鉴半导体晶圆定向超声波清洗原理的符合切割工艺的金刚线超声波清洗装置。
实用新型内容
本实用新型为了解决现有技术的问题,提供了一种切片机超声波清洗装置。
为了解决上述技术问题,本实用新型是通过以下技术方案实现的:一种切片机超声波清洗装置,包括超声波腔体、超声波发生器、陶瓷增压泵、切削液水源与电源,所述超声波发生器与电源通过电性连接,所述陶瓷增压泵与电源通过电性连接,所述超声波腔体的一侧固定连接有连接管,所述陶瓷增压泵的输出端通过输液管与连接管固定连接,所述超声波腔体的一侧固定连接有定向超声波换能器,所述定向超声波换能器与超声波发生器的输出端通过管道固定连接,所述超声波腔体的顶端固定连接有定向超声波喷嘴,所述定向超声波喷嘴的数量设置为多个,所述定向超声波喷嘴的内壁喷出水幕。
优选的,所述超声波腔体的两侧均固定连接有连接板,所述连接板的一侧放置有自适应连接器,所述连接板的一侧固定连接有安装辊。
优选的,所述自适应连接器的一侧设有卡槽,所述卡槽的内壁与安装辊的外壁相匹配。
优选的,所述切削液水源的一侧通过输液管与陶瓷增压泵的输入端固定连接,所述电源与陶瓷增压泵通过电性连接。
本实用新型的有益效果为:
本实用新型通过利用超声波在水中的传导原理,超声波会在被清洗物表面,形成空鼓,震荡,达到微粒清除效果,本装置利用定向超声波喷淋原理,通过陶瓷增压泵运作将切削液输送至超声波腔体内部,同时超声波发生器运作通过定向超声波换能器作用于超声波腔体内部的切削液,切削液通过定向超声波喷嘴快速喷出,让饱含超声波的液体快速在切割线表面工作,去除在金刚线表面的硅泥,提高金刚线工作效率,从而通过超声波和切削液相互配合的作用下,有效的对硅泥进行清理,增强清理效果、提升清理效率,进一步的提升切割效果。
附图说明
图1是本实用新型的整体结构示意图。
图2是本实用新型的整体运行结构示意图。
图3是本实用新型的超声波腔体结构示意图。
图4是本实用新型的图3的A处结构示意图。
图1-4中:1、超声波腔体;2、超声波发生器;3、陶瓷增压泵;4、切削液水源;5、电源;11、定向超声波换能器;12、定向超声波喷嘴;13、连接管;14、自适应连接器;15、连接板;16、安装辊;17、水幕;18、卡槽。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
如图1-4所示的一种切片机超声波清洗装置,包括超声波腔体1、超声波发生器2、陶瓷增压泵3、切削液水源4与电源5,超声波发生器2与电源5通过电性连接,陶瓷增压泵3与电源5通过电性连接,超声波腔体1的一侧固定连接有连接管13,陶瓷增压泵3的输出端通过输液管与连接管13固定连接,超声波腔体1的一侧固定连接有定向超声波换能器11,定向超声波换能器11与超声波发生器2的输出端通过管道固定连接,超声波腔体1的顶端固定连接有定向超声波喷嘴12,定向超声波喷嘴12的数量设置为多个,定向超声波喷嘴12的内壁喷出水幕17,通过利用超声波在水中的传导原理,超声波会在被清洗物表面,形成空鼓,震荡,达到微粒清除效果,本装置利用定向超声波喷淋原理,通过陶瓷增压泵3运作将切削液输送至超声波腔体1内部,同时超声波发生器2运作通过定向超声波换能器11作用于超声波腔体1内部的切削液,切削液通过定向超声波喷嘴12快速喷出,让饱含超声波的液体快速在切割线表面工作,去除在金刚线表面的硅泥,提高金刚线工作效率。
超声波腔体1的两侧均固定连接有连接板15,连接板15的一侧放置有自适应连接器14,连接板15的一侧固定连接有安装辊16,自适应连接器14的一侧设有卡槽18,卡槽18的内壁与安装辊16的外壁相匹配,切削液水源4的一侧通过输液管与陶瓷增压泵3的输入端固定连接,电源5与陶瓷增压泵3通过电性连接,通过将安装辊16卡入自适应连接器14内侧的卡槽18内壁,使得超声波腔体1距离切割线10厘米,不影响切片机的正常工作,通过看超声波发生器指示灯观察,或者通过手触水幕17判断,是否有震动感,正常情况下,由于超声波作用下,会产生震动感觉,从而判断定向超声波换能器11是否正常运作,同时通过观察定向超声波喷嘴12喷出是否形成水幕17,从而判断陶瓷增压泵3是否运作正常。
综上所述,本实用新型具有以下工作原理:本设置通过利用超声波在水中的传导原理,超声波会在被清洗物表面,形成空鼓,震荡,达到微粒清除效果,本装置利用定向超声波喷淋原理,通过陶瓷增压泵3运作将切削液输送至超声波腔体1内部,同时超声波发生器2运作通过定向超声波换能器11作用于超声波腔体1内部的切削液,切削液通过定向超声波喷嘴12快速喷出,让饱含超声波的液体快速在切割线表面工作,去除在金刚线表面的硅泥,提高金刚线工作效率,从而通过超声波和切削液相互配合的作用下,有效的对硅泥进行清理,增强清理效果、提升清理效率,进一步的提升切割效果。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (4)
1.一种切片机超声波清洗装置,包括超声波腔体(1)、超声波发生器(2)、陶瓷增压泵(3)、切削液水源(4)与电源(5),其特征在于:所述超声波发生器(2)与电源(5)通过电性连接,所述陶瓷增压泵(3)与电源(5)通过电性连接,所述超声波腔体(1)的一侧固定连接有连接管(13),所述陶瓷增压泵(3)的输出端通过输液管与连接管(13)固定连接,所述超声波腔体(1)的一侧固定连接有定向超声波换能器(11),所述定向超声波换能器(11)与超声波发生器(2)的输出端通过管道固定连接,所述超声波腔体(1)的顶端固定连接有定向超声波喷嘴(12),所述定向超声波喷嘴(12)的数量设置为多个,所述定向超声波喷嘴(12)的内壁喷出水幕(17)。
2.根据权利要求1所述的一种切片机超声波清洗装置,其特征在于:所述超声波腔体(1)的两侧均固定连接有连接板(15),所述连接板(15)的一侧放置有自适应连接器(14),所述连接板(15)的一侧固定连接有安装辊(16)。
3.根据权利要求2所述的一种切片机超声波清洗装置,其特征在于:所述自适应连接器(14)的一侧设有卡槽(18),所述卡槽(18)的内壁与安装辊(16)的外壁相匹配。
4.根据权利要求3所述的一种切片机超声波清洗装置,其特征在于:所述切削液水源(4)的一侧通过输液管与陶瓷增压泵(3)的输入端固定连接,所述电源(5)与陶瓷增压泵(3)通过电性连接。
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