CN220270014U - 一种用于晶圆干燥槽体装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及半导体干燥设备技术领域，尤其涉及一种用于晶圆干燥槽体装置。本实用新型提供了一种用于晶圆干燥槽体装置，包括：上干燥槽体，所述上干燥槽体内部中空；以及所述上干燥槽体内部至少设置有一个导向件；其中晶圆适于与所述导向件插接。通过在上干燥槽体中加入仿形导向槽，在提升机构将晶圆提升脱离水面后，晶圆会对应的卡入仿形导向槽中，在提升的行程中稳定性更好，不易脱落。

Description

一种用于晶圆干燥槽体装置

技术领域

本实用新型涉及半导体干燥设备技术领域，尤其涉及一种用于晶圆干燥槽体装置。

背景技术

随着国内高端芯片制造技术的不断发展，芯片的材料不断迭代，对于芯片原材料——晶圆片的要求也越来越高，相关原材料制造设备的升级、改造也面临挑战。目前的半导体晶圆干燥时需要将下槽体中的晶圆通过提升机构提升到上槽体中，在提升的过程中晶圆和提升装置的底座为点接触，在晶圆尺寸不断扩大的趋势下，在干燥提升时，晶圆可能会脱离提升装置导致破片，在清洗完成后造成的破片会导致前期的投入功亏一篑。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种用于晶圆干燥槽体装置，以解决上述问题。

为了实现上述目的，本实用新型实施例提供了一种用于晶圆干燥槽体装置，包括：上干燥槽体，所述上干燥槽体内部中空；以及

所述上干燥槽体内部至少设置有一个导向件；其中

晶圆适于与所述导向件插接。

进一步地，所述导向件包括导向板，所述导向板上依次开设有若干仿形导向槽；

所述仿形导向槽沿竖直方向开设。

进一步地，各所述仿形导向槽之间等间距分布。

进一步地，所述仿形导向槽呈V形，所述仿形导向槽的槽谷宽度与晶圆的宽度相对应，且所述仿形导向槽的槽峰开设有倒角。

进一步地，所述导向件具有两个，且两所述导向件镜像设置在所述上干燥槽体的内壁。

进一步地，所述上干燥槽体一侧设置有滑动支架，所述滑动支架上安装有驱动机构，所述驱动机构与所述上干燥槽体传动连接；其中

所述驱动机构适于驱动所述上干燥槽体沿所述滑动支架的长度方向滑动。

进一步地，所述驱动机构包括设置在所述滑动支架上的行程气缸和设置在所述行程气缸的活动端的连接件；

所述行程气缸的活动端与所述滑动支架滑动连接；以及

所述连接件与所述上干燥槽体连接。

进一步地，所述上干燥槽体远离所述滑动支架的一侧设置有两支持架，两所述支持架上设置有从动滑板；

所述从动滑板与所述滑动支架平行设置；

所述上干燥槽体上安装有从动轮，所述从动轮滚动设置在所述从动滑板上。

进一步地，所述从动滑板上还设置有行程检测器，所述上干燥槽体上安装有行程触发器；

所述行程检测器与所述行程触发器相对应。

进一步地，所述滑动支架一端设置有阻尼器。

相对于现有技术，本实用新型实施例具有以下有益效果：通过在上干燥槽体中加入仿形导向槽，在提升机构将晶圆提升脱离水面后，晶圆会对应的卡入仿形导向槽中，在提升的行程中稳定性更好，不易脱落。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

图1示出了本实用新型的用于晶圆干燥槽体装置的立体图；

图2示出了本实用新型的导向件的俯视图；

图3示出了本实用新型的上干燥槽体的第一立体图；

图4示出了本实用新型的上干燥槽体的第二立体图。

图中：

1、上干燥槽体；11、从动轮；12、行程触发器；

2、导向件；21、导向板；22、仿形导向槽；

3、滑动支架；31、驱动机构；311、行程气缸；312、连接件；32、阻尼器；

4、支持架；41、从动滑板；42、行程检测器。

具体实施方式

现在结合附图对本实用新型做进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本实用新型的基本结构，因此其仅显示与本实用新型有关的构成。

实施例，如图1至4所示，本实施例提供了一种用于晶圆干燥槽体装置，包括：上干燥槽体1和至少一个导向件2。需要说明的是，现有技术中，晶圆的干燥装置通常为一个槽体，槽体可分为可拆卸设置的上槽体和下槽体，下槽体内设置有提升装置，且晶圆清洗完成后，晶圆能够被提升到上槽体内，并进行干燥。但是，在晶圆尺寸不断扩大的趋势下，在干燥提升时，晶圆可能会脱离提升装置导致破片。因此，在本实施例中，在上干燥槽体1内安装了上干燥槽体1和导向件2来解决上述问题。上干燥槽体1内部中空，且所述上干燥槽体1内部至少设置有一个导向件2。通过导向件2的设置，使得晶圆在提升装置的带动下向上干燥槽体1内移动时，晶圆能够插接在导向件2上，从而引导晶圆的提升方向，确保晶圆不会从提升装置上脱离。本实施例中，提升装置采用现有技术中常用的可用于抬升晶圆等物料的装置即可。

下面具体说明导向件2的结构，所述导向件2包括导向板21，所述导向板21上依次开设有若干仿形导向槽22。所述仿形导向槽22沿竖直方向开设。各所述仿形导向槽22之间等间距分布。通过上述设置，若干个晶圆在提升装置的作用下向上干燥槽体1内滑动时，各个晶圆能够穿插在各个对应的导向板21上的导向槽内，以使导向槽对晶圆进行定位，从而引导晶圆的提升方向，避免晶圆从提升机构上脱离。

为了方便晶圆自由进出仿形导向槽22，所述仿形导向槽22呈V形，所述仿形导向槽22的槽谷宽度与晶圆的宽度相对应，具体来说，仿形导向槽22的槽谷宽度略大于晶圆的厚度，同时，为了避免晶圆抬升过程中与导向板21的底部硬接触，所述仿形导向槽22的槽峰开设有倒角，晶圆能够在导向槽槽峰开设的倒角的引导向滑入仿形导向槽22内。此外，导向板21与上干燥槽体1可拆卸的连接，以使上干燥槽体1内部可以根据晶圆的尺寸更换不同型号的仿形导向槽22。

实施例二，本实施例是在实施例一的基础上实施的，本实施例中，所述导向件2具有两个，且两所述导向件2镜像设置在所述上干燥槽体1的内壁。通过两导向件2分别设置在晶圆的两侧，以使晶圆提升时，两侧均能够通过导向板21上的对应仿形导向槽22定位。

实施例三，本实施例是在实施例一的基础上实施的，本实施例中，所述上干燥槽体1一侧设置有滑动支架3，所述滑动支架3上安装有驱动机构31，所述驱动机构31与所述上干燥槽体1传动连接。所述驱动机构31适于驱动所述上干燥槽体1沿所述滑动支架3的长度方向滑动。通过上述设置，当晶圆干燥完成后，驱动机构31能够驱动上干燥槽体1沿滑动支架3向一侧滑动，以使上干燥槽体1和下槽体分离，进而使得自动化设备能够将晶圆从干燥槽体装置内取出。

为了实现上述效果，所述驱动机构31包括设置在所述滑动支架3上的行程气缸311和设置在所述行程气缸311的活动端的连接件312。所述行程气缸311的活动端与所述滑动支架3滑动连接，同时所述连接件312与所述上干燥槽体1连接。通过上述设置，晶圆干燥完成后，行程气缸311启动，行程气缸311的活动端推动连接件312，连接件312带动上干燥槽体1随行程气缸311的活动端同步滑动。

为了确保上干燥槽体1稳定滑动，所述上干燥槽体1远离所述滑动支架3的一侧设置有两支持架4，两所述支持架4上设置有从动滑板41。所述从动滑板41与所述滑动支架3平行设置。所述上干燥槽体1上安装有从动轮11，所述从动轮11滚动设置在所述从动滑板41上。当上干燥槽体1与连接件312连接的一端随行程气缸311滑动时，上干燥槽体1通过从动轮11沿从动滑板41滑动，以使上干燥槽体1整体稳定。

为了控制上干燥槽体1的滑动行程，所述从动滑板41上还设置有行程检测器42，所述上干燥槽体1上安装有行程触发器12。所述行程检测器42与所述行程触发器12相对应。通过上述设置，当行程触发器12与行程检测器42接触的时候，代表上干燥槽体1已经运动到极限位置，此时行程气缸311停止运动。

此外，所述滑动支架3一端设置有阻尼器32。阻尼器32能够对上干燥槽体1接近行程终点时做缓冲作用。

值得一提的是，本实用新型专利申请涉及的晶圆干燥槽体装置的其他部件等技术特征应被视为现有技术，这些技术特征的具体结构、工作原理以及可能涉及的控制方式、空间布置方式采用本领域的常规选择即可，不应被视为本实用新型专利的发明点所在，本实用新型专利不作进一步具体展开详述。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (9)

1.一种用于晶圆干燥槽体装置，其特征在于，包括：

上干燥槽体(1)，所述上干燥槽体(1)内部中空；以及

所述上干燥槽体(1)内部至少设置有一个导向件(2)；其中

晶圆适于与所述导向件(2)插接；

所述导向件(2)包括导向板(21)，所述导向板(21)上依次开设有若干仿形导向槽(22)；

所述仿形导向槽(22)沿竖直方向开设。

2.如权利要求1所述的用于晶圆干燥槽体装置，其特征在于，

各所述仿形导向槽(22)之间等间距分布。

3.如权利要求1所述的用于晶圆干燥槽体装置，其特征在于，

所述仿形导向槽(22)呈V形，所述仿形导向槽(22)的槽谷宽度与晶圆的宽度相对应，且所述仿形导向槽(22)的槽峰开设有倒角。

4.如权利要求1所述的用于晶圆干燥槽体装置，其特征在于，

所述导向件(2)具有两个，且两所述导向件(2)镜像设置在所述上干燥槽体(1)的内壁。

5.如权利要求1所述的用于晶圆干燥槽体装置，其特征在于，

所述上干燥槽体(1)一侧设置有滑动支架(3)，所述滑动支架(3)上安装有驱动机构(31)，所述驱动机构(31)与所述上干燥槽体(1)传动连接；其中

所述驱动机构(31)适于驱动所述上干燥槽体(1)沿所述滑动支架(3)的长度方向滑动。

6.如权利要求5所述的用于晶圆干燥槽体装置，其特征在于，

所述驱动机构(31)包括设置在所述滑动支架(3)上的行程气缸(311)和设置在所述行程气缸(311)的活动端的连接件(312)；

所述行程气缸(311)的活动端与所述滑动支架(3)滑动连接；以及

所述连接件(312)与所述上干燥槽体(1)连接。

7.如权利要求6所述的用于晶圆干燥槽体装置，其特征在于，

所述上干燥槽体(1)远离所述滑动支架(3)的一侧设置有两支持架(4)，两所述支持架(4)上设置有从动滑板(41)；

所述从动滑板(41)与所述滑动支架(3)平行设置；

所述上干燥槽体(1)上安装有从动轮(11)，所述从动轮(11)滚动设置在所述从动滑板(41)上。

8.如权利要求7所述的用于晶圆干燥槽体装置，其特征在于，

所述从动滑板(41)上还设置有行程检测器(42)，所述上干燥槽体(1)上安装有行程触发器(12)；

所述行程检测器(42)与所述行程触发器(12)相对应。

9.如权利要求6所述的用于晶圆干燥槽体装置，其特征在于，

所述滑动支架(3)一端设置有阻尼器(32)。