CN220261536U - 一种切割装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于半导体生产加工技术领域，公开了一种切割装置，其包括固定板、安装组件、固定盘以及夹持组件。安装组件设置于固定板，安装组件具有用于放置切割刀具的切割缝；固定盘设置于固定板并位于安装组件下方；夹持组件设置于固定盘并与固定盘相对设置，夹持组件与固定盘之间形成与切割缝对应且用于夹持环形工件的夹持空间。以此该切割装置在使用时，仅需要一个操作人员即可快速完成对环形工件的夹持固定以及切割等操作，使得对环形工件的加工效率有效提高，从而有利于在大批量环形工件的加工中达到省时省力的效果。

Description

一种切割装置

技术领域

本实用新型涉及半导体生产加工技术领域，尤其涉及一种切割装置。

背景技术

在半导体物理气相沉积工艺的生产加工过程中，经常会用到钽环和钛环等环形工件，而该环形工件在加工时，经常需要进行锯断处理，使其呈开口状，以方便后续的加工。

现有技术中，环形工件的虽然可以通过加工中心的数控机床进行铣削加工，但是铣断处需要保留厚度较小的薄片，以避免薄片飞出而划伤环形工件表面。所留有的薄片需要通过两个工作人员配合操作，才能对固定在夹具上的环形工件进行锯断，且环形空间的断开处还需要覆盖净化布进行保护。

上述环形工件的锯断过程操作繁琐，当环形工件数量较多时，该过程所耗费时间较多，导致在大批量的环形工件加工过程中费时费力。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种切割装置，解决了现有技术中大批量的环形工件在据断加工过程中由于操作繁琐而导致的费时费力的问题。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种切割装置，其包括：

固定板；

安装组件，设置于所述固定板，所述安装组件具有用于放置切割刀具的切割缝；

固定盘，设置于所述固定板并位于所述安装组件下方；以及

夹持组件，设置于所述固定盘并与所述固定盘相对设置，所述夹持组件与所述固定盘之间形成与所述切割缝对应且用于夹持环形工件的夹持空间。

可选地，所述夹持组件包括夹持板和至少两个间隔分布的夹持杆，所述夹持杆一端与所述固定盘连接，所述夹持杆的另一端穿过所述环形工件并与所述环形工件的内壁抵接，所述夹持板套设于所述夹持杆，所述夹持板与所述固定盘相对设置以形成所述夹持空间，且所述夹持板与所述固定盘的相对两侧面能分别与所述环形工件的两侧面抵紧。

可选地，所述夹持杆远离所述固定盘的一端螺纹连接有固定螺母，所述固定螺母能与所述夹持板远离所述固定盘的一侧抵紧。

可选地，所述夹持板靠近所述环形工件的一侧设有保护垫。

可选地，所述切割装置还包括：

限位组件，设置于所述固定盘并能与所述环形工件的边缘抵接。

可选地，所述限位组件包括：

限位条，一端设置于所述固定盘，所述限位条沿所述环形工件的宽度方向延伸；以及

限位块，可拆卸连接于所述限位条远离所述固定盘的一端，所述限位块能与所述环形工件的边缘抵接。

可选地，所述限位组件还包括：

限位螺钉，穿设于所述限位条并与所述限位块螺纹连接。

可选地，所述限位组件沿所述环形工件的周向间隔分布多个。

可选地，所述固定盘与所述固定板可拆卸连接。

可选地，所述安装组件包括：

两个相对设置的安装块，均设置于所述固定板并位于所述环形工件上方，两个所述安装块之间形成所述切割缝。

本实用新型的有益效果：

通过将环形工件放置在夹持空间内，利用夹持组件和固定盘对环形工件进行夹持固定，再将刀具放入切割缝内并与环形工件抵紧，此时只需要一个工作人员拉动刀具即可对环形工件进行切割加工。以此该切割装置在使用时，仅需要一个操作人员即可快速完成对环形工件的夹持固定以及切割等操作，使得对环形工件的加工效率有效提高，从而有利于在大批量环形工件的加工中达到省时省力的效果。

附图说明

图1是本实用新型一些实施例中切割装置的正视图；

图2是本实用新型一些实施例中切割装置的侧视图。

图中：

1、固定板；11、三角架；2、安装组件；21、切割缝；22、安装块；3、固定盘；31、连接柱；4、夹持组件；41、夹持板；42、夹持杆；43、固定螺母；5、限位组件；51、限位条；52、限位块；53、限位螺钉；6、环形工件。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本实用新型，而非对本实用新型的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本实用新型相关的部分而非全部结构。

在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本实施例的描述中，术语“上”、“下”、“右”、等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。

参照图1和图2，本实用新型实施例提供一种切割装置，其包括固定板1、安装组件2、固定盘3以及夹持组件4。安装组件2设置于固定板1，安装组件2具有用于放置切割刀具的切割缝21；固定盘3设置于固定板1并位于安装组件2下方；夹持组件4设置于固定盘3并与固定盘3相对设置，夹持组件4与固定盘3之间形成与切割缝21对应且用于夹持环形工件6的夹持空间。

具体地，固定板1可以通过螺栓等紧固件直接固定在地面或者其他操作平台上，在固定板1的背面可以设置三角架11等支撑结构，以确保固定板1的稳定性。安装组件2则可以设置在固定板1的上方，且位于固定板1的中部位置，安装组件2的中部位置具有上述切割缝21，切割缝21的大小可以根据刀具的厚度来设计。

固定盘3设置在固定板1的前侧，固定盘3的形状呈环板形，其与固定板1相对设置。夹持组件4位于固定盘3远离固定板1的一侧，以在夹持组件4与固定盘3之间形成上述夹持空间，且夹持组件4能够部分地靠近固定盘3，以使得夹持组件4与固定盘3能够分别抵紧环形工件6的两侧。

通过将环形工件6放置在夹持空间内，利用夹持组件4和固定盘3对环形工件6进行夹持固定，再将刀具放入切割缝21内并与环形工件6抵紧，此时只需要一个工作人员拉动刀具即可对环形工件6进行切割加工。以此该切割装置在使用时，仅需要一个操作人员即可快速完成对环形工件6的夹持固定以及切割等操作，使得对环形工件6的加工效率有效提高，从而有利于在大批量环形工件6的加工中达到省时省力的效果。

在本实用新型一些实施例中，固定盘3与固定板1可拆卸连接。具体地，固定盘3具有两根连接柱31，连接柱31沿固定盘3的厚度方向延伸且位于固定盘3与固定板1之间，连接柱31远离固定盘3的一端与固定板1通过卡接或者通过螺钉等紧固件来实现可拆卸连接，还可以通过螺纹连接来实现可拆卸连接。

通过将固定盘3与固定板1可拆卸连接，使得固定盘3能够根据环形工件6的尺寸来对应选择，以便于对不同尺寸的环形工件6选择不同尺寸的固定盘3进行夹持和固定，使得切割装置的适应能力得到有效提高。

在本实用新型一些实施例中，夹持组件4包括夹持板41和至少两个间隔分布的夹持杆42，夹持杆42一端与固定盘3连接，夹持杆42的另一端穿过环形工件6并与环形工件6的内壁抵接，夹持板41套设于夹持杆42，夹持板41与固定盘3相对设置以形成夹持空间，且夹持板41与固定盘3的相对两侧面能分别与环形工件6的两侧面抵紧。

具体地，夹持杆42可以与连接柱31对应设置两个，夹持杆42的一端穿入连接柱31内并与连接柱31螺纹连接，夹持杆42的长度大于连接柱31的长度，使得夹持杆42远离固定板1的一端能够伸出固定盘3，两个夹持杆42之间的间隔可以根据环形工件6的内径来设计，两个夹持杆42能够同时与环形工件6的内径抵紧，以使得环形工件6能够套设在两个夹持杆42上。夹持杆42的材料可以采用附着有保护层的钢材制成，也可以采用尼龙等硬度较高且不会对环形工件6造成磨损的材料制成，还可以采用其他符合要求的材料制成，本实用新型对此不做限定。

夹持板41上贯穿设置供夹持杆42穿过的通孔，通孔可以为腰型孔，以便于沿水平方向来调整夹持板41的位置。夹持板41与夹持杆42可以通过螺钉等紧固件或者卡接结构等实现可拆卸连接，以使得夹持板41能够沿夹持杆42滑动，也就使得夹持板41能够靠近或远离固定盘3。

通过设置夹持杆42和夹持板41，在对环形工件6进行加工前，先将夹持杆42与对应的连接柱31连接好，即可将环形工件6放置在夹持杆42上并与固定盘3贴紧，再将夹持板41安装在夹持杆42上，推动夹持板41移动，使得夹持板41能够与环形工件6远离固定盘3的一侧抵紧，再将夹持板41与夹持杆42固定，从而就可以顺利完成对环形工件6的夹持固定。

在本实用新型一些实施例中，夹持杆42远离固定盘3的一端螺纹连接有固定螺母43，固定螺母43能与夹持板41远离固定盘3的一侧抵紧。夹持板41靠近环形工件6的一侧设有保护垫。

具体地，在夹持杆42远离固定盘3的一端设置螺纹段，固定螺母43就螺纹连接在该螺纹段处，固定螺母43的侧面能够与夹持板41侧面抵接，以挤压夹持板41使得夹紧板与环形工件6保持抵紧状态。而保护垫的设置则能够有效隔离夹持板41与环形工件6，以减少夹持板41对环形工件6产生磨损的可能性。保护垫可以包覆整个夹持板41设置，以使得固定螺母43也不会直接挤压夹持板41，从而有效减少夹持板41发生损坏的可能性。

在本实用新型一些实施例中，切割装置还包括限位组件5。限位组件5设置于固定盘3并能与环形工件6的边缘抵接。限位组件5沿环形工件6的周向间隔分布多个。

具体地，限位组件5可以呈长条状，其位于环形工件6的边缘位置处，多个限位组件5的间隔分布，能够使得环形工件6在夹持固定后保持受力均匀。在本实施例中，限位组件5等间隔分布四个。

通过设置限位组件5，当环形工件6经过切割加工产生断口后，环形工件6会受到限位组件5的限制而不会产生较大的形变，则有效降低了环形工件6工件在加工过程中发生损坏的可能性。

在本实用新型一些实施例中，限位组件5包括限位条51和限位块52。限位条51一端设置于固定盘3，限位条51沿环形工件6的宽度方向延伸；限位块52可拆卸连接于限位条51远离固定盘3的一端，限位块52能与环形工件6的边缘抵接。

具体地，限位条51的一端可以弯折以与固定盘3靠近固定板1的一侧贴合，并通过焊接实现固定，而限位条51的另一端则伸出环形工件6。限位块52就设置在该端的下侧，可以在限位条51远离固定盘3的一端设置一个限位螺钉53，限位螺钉53穿设于限位条51并与限位块52螺纹连接，以使得限位块52与限位条51实现可拆卸连接，而限位块52能够与环形工件6的边缘位置抵紧。

在利用夹持板41对限位件进行夹持固定后，将限位块52抵紧在限位条51和环形工件6上，并通过限位螺钉53将限位块52与限位条51固定在一起，使得限位块52保持对环形工件6边缘位置处的抵接，从而确保环形工件6在夹持固定后的受力均匀。

在本实用新型一些实施例中，安装组件2包括两个相对设置的安装块22。两个安装块22均设置于固定板1并位于环形工件6上方，两个安装块22之间形成上述切割缝21。

具体地，安装块22可以通过螺钉等紧固件直接固定在固定板1上，且安装块22呈长条形，并延伸至夹持空间的上方，两个安装块22相对设置以形成切割缝21。安装块22也可以滑动连接在固定板1上，以使得两个安装块22能够彼此靠近或远离，从而根据对应刀具的厚度来调整切割缝21的宽度。本实施例中，刀具主要指锯条。

通过设置两个安装块22来形成切割缝21，使得刀具在切割时，安装块22能够对刀具起到导向的作用，以减少刀具发生偏斜的可能性，而且环形工件6的切断过程仅需要一个操作人员就可以快速精确地完成，有效简化的切断的操作流程。

显然，本实用新型的上述实施例仅仅是为了清楚说明本实用新型所作的举例，而并非是对本实用新型的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本实用新型的保护范围。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型权利要求的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种切割装置，其特征在于，包括：

固定板(1)；

安装组件(2)，设置于所述固定板(1)，所述安装组件(2)具有用于放置切割刀具的切割缝(21)；

固定盘(3)，设置于所述固定板(1)并位于所述安装组件(2)下方；以及

夹持组件(4)，设置于所述固定盘(3)并与所述固定盘(3)相对设置，所述夹持组件(4)与所述固定盘(3)之间形成与所述切割缝(21)对应且用于夹持环形工件(6)的夹持空间。

2.根据权利要求1所述的切割装置，其特征在于，所述夹持组件(4)包括夹持板(41)和至少两个间隔分布的夹持杆(42)，所述夹持杆(42)一端与所述固定盘(3)连接，所述夹持杆(42)的另一端穿过所述环形工件(6)并与所述环形工件(6)的内壁抵接，所述夹持板(41)套设于所述夹持杆(42)，所述夹持板(41)与所述固定盘(3)相对设置以形成所述夹持空间，且所述夹持板(41)与所述固定盘(3)的相对两侧面能分别与所述环形工件(6)的两侧面抵紧。

3.根据权利要求2所述的切割装置，其特征在于，所述夹持杆(42)远离所述固定盘(3)的一端螺纹连接有固定螺母(43)，所述固定螺母(43)能与所述夹持板(41)远离所述固定盘(3)的一侧抵紧。

4.根据权利要求2所述的切割装置，其特征在于，所述夹持板(41)靠近所述环形工件(6)的一侧设有保护垫。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的切割装置，其特征在于，所述切割装置还包括：

限位组件(5)，设置于所述固定盘(3)并能与所述环形工件(6)的边缘抵接。

6.根据权利要求5所述的切割装置，其特征在于，所述限位组件(5)包括：

限位条(51)，一端设置于所述固定盘(3)，所述限位条(51)沿所述环形工件(6)的宽度方向延伸；以及

限位块(52)，可拆卸连接于所述限位条(51)远离所述固定盘(3)的一端，所述限位块(52)能与所述环形工件(6)抵接。

7.根据权利要求6所述的切割装置，其特征在于，所述限位组件(5)还包括：

限位螺钉(53)，穿设于所述限位条(51)并与所述限位块(52)螺纹连接。

8.根据权利要求5所述的切割装置，其特征在于，所述限位组件(5)沿所述环形工件(6)的周向间隔分布多个。

9.根据权利要求1至4中任一项所述的切割装置，其特征在于，所述固定盘(3)与所述固定板(1)可拆卸连接。

10.根据权利要求1至4中任一项所述的切割装置，其特征在于，所述安装组件(2)包括：

两个相对设置的安装块(22)，均设置于所述固定板(1)并位于所述环形工件(6)上方，两个所述安装块(22)之间形成所述切割缝(21)。