CN220253212U - 一种固定装置 - Google Patents

Abstract

本申请提供一种固定装置，包括：第一固定板，第一固定板包括安装部和两个连接部，安装部用于装配电子标签，两个连接部在安装部的相对两侧对称分布；连接部包括连接主体、位于连接主体边缘的第一卡接部和位于连接主体端部的第二卡接部；连接主体与安装部适配；第二固定板，第二固定板与第一固定板连接，用于固定连接至晶圆传输盒，第二固定板与第一固定板的连接面上设置有两个与第一卡接部配合连接的第一卡位部以及两个与第二卡接部配合连接的第二卡位部。本申请提供的固定装置能够可靠地将电子标签固定在晶圆传输盒上，以降低天车在传输晶圆运输盒的过程中电子标签与晶圆传输盒分离而从高空掉落而砸到人的安全风险。

Description

一种固定装置

技术领域

本申请涉及半导体制造中电子标签在晶圆传输盒上的固定，特别涉及一种固定装置。

背景技术

在半导体制造中，晶圆一般会被存放在晶圆传输盒中进行运输，晶圆传输盒上会安装有电子标签，电子标签可以用于记录晶圆传输盒内的晶圆的各种信息，例如，晶圆数量、尺寸、用途等。晶圆传输盒的自动传输一般通过天车来实现，当电子标签在晶圆传输盒上固定不可靠时，电子标签便容易从高空掉落而存在高空坠物伤人的安全隐患。

因此，希望提供一种固定装置，能够可靠地将电子标签固定在晶圆传输盒上。

实用新型内容

本申请实施例提供一种固定装置，包括：第一固定板，所述第一固定板包括安装部和两个连接部，所述安装部用于装配电子标签，所述两个连接部在所述安装部的相对两侧对称分布；所述连接部包括连接主体、位于所述连接主体边缘的第一卡接部和位于所述连接主体端部的第二卡接部；所述连接主体与所述安装部适配；第二固定板，所述第二固定板与所述第一固定板连接，用于固定连接至晶圆传输盒，所述第二固定板与所述第一固定板的连接面上设置有两个与所述第一卡接部配合连接的第一卡位部以及两个与所述第二卡接部配合连接的第二卡位部。

在一些实施例中，所述第一卡位部包括第一卡槽，所述第一卡槽用于与所述第一卡接部卡接，所述两个第一卡位部的第一卡槽的开口朝向相对。

在一些实施例中，所述第二卡位部包括第二卡槽，所述第二卡槽用于与所述第二卡接部卡接，所述两个第二卡位部的第二卡槽的开口朝向相对。

在一些实施例中，所述第二卡槽的深度为2cm至3cm。

在一些实施例中，所述第二卡接部包括挂钩部和卡板部，所述挂钩部与卡板部之间形成有挂钩槽，所述第二卡位部包括安装部和挡板部，所述安装部垂直设置在所述第二固定板与所述第一固定板的连接面上，所述挡板部与所述安装部连接且平行于所述第二固定板与所述第一固定板的连接面；当所述第二卡位部与所述第二卡接部配合连接时，所述安装部卡接在所述挂钩槽内，所述卡板部卡接在所述挡板部和所述第二固定板与所述第一固定板的连接面之间。

在一些实施例中，所述连接主体上设置有加强筋。

在一些实施例中，所述加强筋包括至少三条横向加强筋。

在一些实施例中，所述第二固定板上开设有用于容纳所述安装部的镂空部，所述镂空部的侧壁上开设有插接槽，所述安装部上设置有所述插接槽适配的插接片。

在一些实施例中，所述连接主体上还设置有阻挡部，当所述第一卡接部与所述第一卡位部配合连接时，所述阻挡部与所述第一卡位部的一端抵接。

在一些实施例中，所述电子标签通过螺钉装配至所述安装部上，所述第二固定板与所述晶圆传输盒的连接面通过粘接的方式固定连接至所述晶圆传输盒的表面。

本申请实施例提供的固定装置中，第一固定板用于装配电子标签，第二固定板用于固定连接至晶圆传输盒，第一固定板和第二固定板通过第一卡接部与第一卡位部之间的配合连接以及第二卡接部和第二卡位部之间的配合连接，连接可靠，使得第一固定板和第二固定板之间不易分离，从而可以降低天车在传输晶圆运输盒的过程中电子标签与晶圆传输盒分离而从高空掉落而砸到人的安全风险。

附图说明

以下附图详细描述了本申请中披露的示例性实施例。其中相同的附图标记在附图的若干视图中表示类似的结构。本领域的一般技术人员将理解这些实施例是非限制性的、示例性的实施例，附图仅用于说明和描述的目的，并不旨在限制本申请的范围，其他方式的实施例也可能同样的完成本申请中的发明意图。应当理解，附图未按比例绘制。

其中：

图1是根据本申请一些实施例所示的固定装置装配了电子标签的结构示意图；

图2是根据本申请一些实施例所示的固定装置的结构示意图；

图3是根据本申请一些实施例所示的第一固定板的结构示意图；

图4是根据本申请一些实施例所示的第二固定板的结构示意图；

图5是根据本申请一些实施例所示的第二固定板在另一视角下的结构示意图。

具体实施方式

以下描述提供了本申请的特定应用场景和要求，目的是使本领域技术人员能够制造和使用本申请中的内容。对于本领域技术人员来说，对所公开的实施例的各种局部修改是显而易见的，并且在不脱离本申请的精神和范围的情况下，可以将这里定义的一般原理应用于其他实施例和应用。因此，本申请不限于所示的实施例，而是与权利要求一致的最宽范围。

在半导体工厂中，晶圆传输盒是主要的晶圆存放装置，一次可存放多片晶圆。晶圆传输盒一般是置放于天车上进行自动传输。其中，晶圆传输盒上需要固定安装有电子标签，电子标签能够记录晶圆传输盒内的晶圆的数量、尺寸、生产日期等，而电子标签在晶圆传输盒上的固定一般需要额外的固定装置来实现。目前，用于将电子标签固定在晶圆传输盒的固定装置通常包括大小两个固定板，其中小固定板用于装配电子标签，大固定板用于与晶圆传输盒连接，小固定板与大固定板连接，从而能够实现将电子标签固定安装在晶圆传输盒上。然而，在实际中，小固定板与大固定板连接的部分容易出现断裂，而导致小固定板与大固定板分离，进而容易造成天车在传输晶圆传输盒时电子标签从高空掉落而砸到人的安全隐患。

本申请实施例提供一种固定装置，包括：第一固定板，第一固定板包括安装部和两个连接部，安装部用于装配电子标签，两个连接部在安装部的相对两侧对称分布；连接部包括连接主体、位于连接主体边缘的第一卡接部和位于连接主体端部的第二卡接部；连接主体与安装部适配；第二固定板，用于固定连接至晶圆传输盒，第二固定板与第一固定板的连接面上设置有两个与第一卡接部配合连接的第一卡位部以及两个与第二卡接部配合连接的第二卡位部。本申请实施例提供的固定装置中，第一固定板用于装配电子标签，第二固定板用于固定连接至晶圆传输盒，第一固定板和第二固定板通过第一卡接部与第一卡位部之间的配合连接以及第二卡接部和第二卡位部之间的配合连接，连接可靠，使得第一固定板和第二固定板之间不易分离，从而可以降低天车在传输晶圆运输盒的过程中电子标签与晶圆传输盒分离而从高空掉落而砸到人的安全风险。

下面结合实施例和附图对本发明技术方案进行详细说明。

图1是根据本申请一些实施例所示的固定装置装配了电子标签的结构示意图。图2是根据本申请一些实施例所示的固定装置的结构示意图。图3是根据本申请一些实施例所示的第一固定板的结构示意图。图4是根据本申请一些实施例所示的第二固定板的结构示意图。

结合图1至图4所示，固定装置100可以包括第一固定板110和第二固定板120。

第一固定板110可以包括安装部111和两个连接部112。

安装部111可以用于装配电子标签200。在一些实施例中，电子标签200可以通过螺钉装配至安装部111上。在一些实施例中，安装部111可以是矩形边框结构，安装部111的四个对角处均设置有螺纹孔1111，当电子标签200装配至安装部111上时，电子标签200可以通过螺钉在安装部111的四个对角处固定。

如图3所示，两个连接部112在安装部111的相对两侧对称分布，例如，在图3中，两个连接部112可以在安装部111的左右两侧对称分布。其中，连接部112可以包括连接主体113、位于连接主体113边缘的第一卡接部114和位于连接主体113端部的第二卡接部115；连接主体113与安装部111装配。在一些实施例中，第一卡接部114可以是连接主体113的边缘的一部分，也可以是相对于连接主体113独立设置的部件。在一些实施例中，当连接主体113与安装部111装配时，连接主体113上相对于第一卡接部114的另一侧边缘与安装部111连接。在一些实施例中，连接主体113与安装部111可以是一体成型式结构，例如，连接主体113与安装部111可以通过注塑、3D打印、铸造等方式一体成型，这样有利于增加第一固定板110的结构强度，降低连接主体113和安装部111之间发生断裂的风险。

第二固定板120可以用于固定连接至晶圆传输盒(图中未示出)。在一些实施例中，第二固定板120与晶圆传输盒的连接面可以通过粘接的方式固定连接至晶圆传输盒的表面。继续参见图1至图4所示，第二固定板120与第一固定板110连接，从而能够达到将电子标签200固定在晶圆传输盒上的目的。进一步地，第二固定板120与第一固定板110的连接面上可以设置有两个与第一卡接部114配合连接的第一卡位部121以及两个与第二卡接部115配合连接的第二卡位部122。作为示例性说明，两个第一卡位部121可以设置在第二固定板120与第一固定板110的连接面上与位于安装部111相对两侧的两个第一卡接部114相对应的位置，两个第二卡位部122可以设置在第二固定板120与第一固定板110的连接面上与位于安装部111相对两侧的两个第二卡接部115相对应的位置，通过第一卡位部121与第一卡接部114之间的配合连接以及第二卡位部122与第二卡接部115之间的配合连接，能够实现第一固定板110和第二固定板120之间的可靠连接，即使第一卡接部114或第二卡接部115有断裂的情况，也能保证第一固定板110和第二固定板120不会分离，例如，当第一卡接部114发生断裂而导致第一卡接部114和第一卡位部115之间的连接失效时，第二卡位部122与第二卡接部115之间的配合连接也能充分保证第一固定板110和第二固定板120不会分离，这样能够有效地降低第一固定板110和第二固定板120分离的可能性，使得电子标签在晶圆传输盒上固定稳定、可靠，进而可以降低天车在传输晶圆运输盒的过程中电子标签与晶圆传输盒分离而从高空掉落而砸到人的安全风险。

在一些实施例中，第一卡位部121可以包括第一卡槽1211，第一卡槽1211可以用于与第一卡接部114卡接，即第一卡接部114可以卡接在第一卡槽1211内，以实现第一卡位部121与第一卡接部114之间的配合连接。其中，第二固定板120与第一固定板110的连接面上的两个第一卡位部121的开口朝向相对，这样可以保证在安装部111相对两侧对称分布的第一卡接部114可以分别卡接在两个第一卡位部121的第一卡槽1211内。

在一些实施例中，第二卡位部122可以包括第二卡槽1221，第二卡槽1221可以用于与第二卡接部115卡接，即第二卡接部115可以卡接在第二卡槽1221内，以实现第二卡位部122与第二卡接部115之间的配合连接。其中，第二固定板120与第一固定板110的连接面上的两个第二卡位部122的开口朝向相对，这样可以保证在安装部111相对两侧对称分布的第二卡接部115可以分别卡接在两个第二卡位部122的第二卡槽1221内。在一些实施例中，为了保证第二卡接部115能够充分卡入第二卡槽1221内，使得第二卡位部122与第二卡接部115之间的配合连接更可靠，而降低第一固定板110和第二固定板120分离的风险，第二卡槽1221的深度可以为2cm至3cm。

在一些实施例中，为了进一步使得第二卡位部122与第二卡接部115之间的配合连接更可靠，有效降低第一固定板110和第二固定板120分离的风险，第二卡接部115可以包括挂钩部1151和卡板部1152，挂钩部1151和卡板部1152之间形成有挂钩槽1153，第二卡位部122可以包括安装部1222和挡板部1223，安装部1222垂直设置在第二固定板120与第一固定板110的连接面上，挡板部1223与安装部1222连接且平行于第二固定板120与第一固定板110的连接面。当第二卡位部122与第二卡接部115配合连接时，安装部1222卡接在挂钩槽1153内，卡板部1152卡接在挡板部1223和第二固定板120与第一固定板110的连接面之间(即第二卡槽1221内)。上述第二卡位部122的安装部1222卡接在第二卡接部115的挂钩槽1153的设置，可以使得第二卡位部122与第二卡接部115之间的配合连接更为可靠，从而使得第一固定板110和第二固定板120之间的连接更可靠，进一步较低了第一固定板110和第二固定板120分离的风险，从而可以进一步降低天车在传输晶圆运输盒的过程中电子标签与晶圆传输盒分离而从高空掉落而砸到人的安全风险。

图5是根据本申请一些实施例所示的第二固定板在另一视角下的结构示意图。

在一些实施例中，为了进一步提高第一固定板110和第二固定板120之间连接的可靠性，降低第一固定板110和第二固定板120的风险，结合图3和图5所示，第二固定板120上开设有用于容纳安装部111的镂空部123，镂空部123的侧壁上开设有插接槽1231，安装部111上设置有与插接槽1231适配的插接片1112。通过在第一固定板110和第二固定板120连接时，使插接片1112插接到插接槽1231内，可以进一步提高第一固定板110和第二固定板120连接的可靠性，即使第一卡接部114与第一卡位部121之间的连接和第二卡接部115与第二卡位部122之间的连接失效的情况，插接片1112插接到插接槽1231内也能保证第一固定板110和第二固定板120分离，从而能够进一步降低天车在传输晶圆运输盒的过程中电子标签与晶圆传输盒分离而从高空掉落而砸到人的安全风险。

在一些实施例中，如图3所示，连接主体113上还设置有阻挡部116，当第一卡接部114与第一卡位部121配合连接时，阻挡部116可以与第一卡位部121的一端(例如，图4中示出的第一卡位部121的上端)抵接，这样可以限制第一卡接部114从第一卡位部121脱离第一卡槽1211而影响第一卡接部114与第一卡位部121之间连接的可靠性，进一步保证第一固定板110和第二固定板120不易分离。

在一些实施例中，为了降低连接主体113断裂而导致第一固定板110和第二固定板120分离的风险，如图3所示，连接主体113上可以设置有加强筋117，加强筋117可以提高连接主体113的强度，使得连接主体113不易发生断裂，从而降低第一固定板110和第二固定板120分离的风险。在一些实施例中，为了进一步提高连接主体113的强度，加强筋117可以包括至少三条横向加强筋1171。进一步地，加强筋117还可以包括一条纵向加强筋。其中，横向加强筋的延伸方向与图3中示出的左右方向平行，纵向加强筋的延伸方向与图3中示出的上下方向平行。

本申请实施例可能带来的有益效果包括但不限于：(1)第一固定板和第二固定板通过第一卡接部与第一卡位部之间的配合连接以及第二卡接部和第二卡位部之间的配合连接，连接可靠，使得第一固定板和第二固定板之间不易分离，从而可以降低天车在传输晶圆运输盒的过程中电子标签与晶圆传输盒分离而从高空掉落而砸到人的安全风险；(2)第二卡槽的深度为2cm至3cm，可以保证第二卡接部能够充分卡入第二卡槽内，使得第二卡位部与第二卡接部之间的配合连接更可靠，而降低第一固定板和第二固定板分离的风险；(3)第二卡位部的安装部卡接在第二卡接部的挂钩槽的设置，可以使得第二卡位部与第二卡接部之间的配合连接更为可靠，从而使得第一固定板和第二固定板之间的连接更可靠，进一步较低了第一固定板和第二固定板分离的风险，从而可以进一步降低天车在传输晶圆运输盒的过程中电子标签与晶圆传输盒分离而从高空掉落而砸到人的安全风险；(4)插接片插接到插接槽内，可以进一步提高第一固定板和第二固定板连接的可靠性，即使第一卡接部与第一卡位之间的连接和第二卡接部与第二卡位部之间的连接失效的情况，插接片插接到插接槽内也能保证第一固定板和第二固定板分离，从而能够进一步降低天车在传输晶圆运输盒的过程中电子标签与晶圆传输盒分离而从高空掉落而砸到人的安全风险。

需要说明的是，不同实施例可能产生的有益效果不同，在不同的实施例里，可能产生的有益效果可以是以上任意一种或几种的组合，也可以是其他任何可能获得的有益效果。

上文已对基本概念做了描述，显然，对于本领域技术人员来说，上述详细披露仅仅作为示例，而并不构成对本说明书的限定。虽然此处并没有明确说明，本领域技术人员可能会对本申请进行各种修改、改进和修正。该类修改、改进和修正在本说明书中被建议，所以该类修改、改进、修正仍属于本申请示范实施例的精神和范围。

需要说明的是，在本申请的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是转动连接，也可以是滑动连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以结合具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

另外，当本申请说明书中使用了“第一”、“第二”、“第三”等术语描述各种特征时，这些术语仅用于对这些特征进行区分，而不能理解为指示或暗示特征之间的关联性、相对重要性或者隐含指明所指示的特征数量。

除此之外，本申请说明书通过参考理想化的示例性截面图和/或平面图和/或立体图来描述示例性实施例。因此，由于例如制造技术和/或容差导致的与图示的形状的不同是可预见的。因此，不应当将示例性实施例解释为限于在此所示出的区域的形状，而是应当包括由例如制造所导致的形状中的偏差。因此，在图中示出的区域实质上是示意性的，其形状不是为了示出器件的区域的实际形状也不是为了限制示例性实施例的范围。

同时，本申请使用了特定词语来描述本说明书的实施例。如“一个实施例”、“一实施例”、和/或“一些实施例”意指与本申请至少一个实施例相关的某一特征、结构或特点。因此，应强调并注意的是，本申请中在不同位置两次或多次提及的“一实施例”或“一个实施例”或“一个替代性实施例”并不一定是指同一实施例。此外，本申请的一个或多个实施例中的某些特征、结构或特点可以进行适当的组合。

同理，应当注意的是，为了简化本申请披露的表述，从而帮助对一个或多个发明实施例的理解，前文对本申请实施例的描述中，有时会将多种特征归并至一个实施例、附图或对其的描述中。但是，这种披露方法并不意味着本申请对象所需要的特征比权利要求中提及的特征多。实际上，实施例的特征要少于上述披露的单个实施例的全部特征。

最后，应当理解的是，本申请中所述实施例仅用以说明本申请实施例的原则。其他的变形也可能属于本申请的范围。因此，作为示例而非限制，本申请实施例的替代配置可视为与本申请的教导一致。相应地，本申请的实施例不仅限于本申请明确介绍和描述的实施例。

Claims (10)

1.一种固定装置，其特征在于，包括：

第一固定板，所述第一固定板包括安装部和两个连接部，所述安装部用于装配电子标签，所述两个连接部在所述安装部的相对两侧对称分布；所述连接部包括连接主体、位于所述连接主体边缘的第一卡接部和位于所述连接主体端部的第二卡接部；所述连接主体与所述安装部适配；

第二固定板，所述第二固定板与所述第一固定板连接，用于固定连接至晶圆传输盒，所述第二固定板与所述第一固定板的连接面上设置有两个与所述第一卡接部配合连接的第一卡位部以及两个与所述第二卡接部配合连接的第二卡位部。

2.根据权利要求1所述的固定装置，其特征在于，所述第一卡位部包括第一卡槽，所述第一卡槽用于与所述第一卡接部卡接，所述两个第一卡位部的第一卡槽的开口朝向相对。

3.根据权利要求1所述的固定装置，其特征在于，所述第二卡位部包括第二卡槽，所述第二卡槽用于与所述第二卡接部卡接，所述两个第二卡位部的第二卡槽的开口朝向相对。

4.根据权利要求3所述的固定装置，其特征在于，所述第二卡槽的深度为2cm至3cm。

5.根据权利要求3所述的固定装置，其特征在于，所述第二卡接部包括挂钩部和卡板部，所述挂钩部与卡板部之间形成有挂钩槽，所述第二卡位部包括安装部和挡板部，所述安装部垂直设置在所述第二固定板与所述第一固定板的连接面上，所述挡板部与所述安装部连接且平行于所述第二固定板与所述第一固定板的连接面；当所述第二卡位部与所述第二卡接部配合连接时，所述安装部卡接在所述挂钩槽内，所述卡板部卡接在所述挡板部和所述第二固定板与所述第一固定板的连接面之间。

6.根据权利要求1所述的固定装置，其特征在于，所述连接主体上设置有加强筋。

7.根据权利要求6所述的固定装置，其特征在于，所述加强筋包括至少三条横向加强筋。

8.根据权利要求1所述的固定装置，其特征在于，所述第二固定板上开设有用于容纳所述安装部的镂空部，所述镂空部的侧壁上开设有插接槽，所述安装部上设置有所述插接槽适配的插接片。

9.根据权利要求1所述的固定装置，其特征在于，所述连接主体上还设置有阻挡部，当所述第一卡接部与所述第一卡位部配合连接时，所述阻挡部与所述第一卡位部的一端抵接。

10.根据权利要求1所述的固定装置，其特征在于，所述电子标签通过螺钉装配至所述安装部上，所述第二固定板与所述晶圆传输盒的连接面通过粘接的方式固定连接至所述晶圆传输盒的表面。