CN220220827U - 一种12寸晶圆专用推车 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了半导体仓储货架领域内的一种12寸晶圆专用推车，包括四根相互平行的竖直立杆，四根立杆呈矩形排列分布，所述立杆下端设有万向轮，各立杆之间设置有两层上下间隔的矩形支撑载台，所述立杆上端位于支撑载台上方，每层所述支撑载台上均设置有若干支撑定位板，所述支撑定位板上竖直设置有三根向上凸起的定位柱，各定位柱与晶圆盒底部的三个定位孔相对应设置，支撑定位板的面积大于晶圆盒底部的面积；左侧的两根立杆上固定连接有U形把手。本实用新型能够保障12寸晶圆盒运输时无掉落风险，有效避免晶圆产品在运输过程中发生滑落、破损等，减少损失。
Description
技术领域
本实用新型属于半导体仓储货架领域，特别涉及一种12寸晶圆专用推车。
背景技术
现有技术中，随着半导体行业的进步，驱动IC之晶圆产品也由8寸升级到12寸，价格更昂贵，工艺更先进。为了便于储运，将多个12寸晶圆装载在12寸的晶圆盒内，然后将12寸的晶圆盒平放在推车上运输，但是其问题在于：由于晶圆本身属于易碎品，且价格昂贵，但是推车上无固定12寸晶圆盒的装置，运输过程中晶圆盒易滑落，且易相互碰撞，会导致晶圆损坏，从而造成巨大的经济损失。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种12寸晶圆专用推车，能够保障12寸晶圆盒运输时无掉落风险，在推车上安装晶圆盒支撑定位板，能有效避免晶圆产品在运输过程中发生滑落、破损等，减少损失。
本实用新型的目的是这样实现的：一种12寸晶圆专用推车，包括四根相互平行的竖直立杆，四根立杆呈矩形排列分布，所述立杆下端设有万向轮，各立杆之间设置有两层上下间隔的矩形支撑载台，所述立杆上端位于支撑载台上方，每层所述支撑载台上均设置有若干支撑定位板，所述支撑定位板上竖直设置有三根向上凸起的定位柱，各定位柱与晶圆盒底部的三个定位孔相对应设置，支撑定位板的面积大于晶圆盒底部的面积；左侧的两根立杆上固定连接有U形把手。
本实用新型通过在推车的支撑载台上安装多个支撑定位板，来支撑定位12寸上晶圆盒，晶圆盒的底部有三个定位圆孔，三根定位柱配合插入各定位圆孔内，实现对晶圆盒进行定位。支撑载台的材质为SUS304不锈钢拉丝板，改变运输摆放方式，解决运输时产品有掉落风险；此推车分两层每层可放6批晶圆，两层可放12个晶圆盒。与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：两层支撑载台一次可运输12批晶圆，运输效率高；支撑定位板避免在运输过程掉落风险导致晶圆产品破损造成客诉等，从而保证晶圆产品品质。
为了对放置在支撑载台上的晶圆盒的周围进行围挡，起到保护作用，各所述立杆上端设有U形上围栏，上围栏对应上层支撑载台设置，前侧的两根立杆之间对应上层支撑载台设有上料口一；各所述立杆上对应下层支撑载台设有U形下围栏，前侧的两根立杆之间对应下层支撑载台设有上料口二。留下上料口一、上料口二，便于人员上料。
为了防止静电影响晶圆，所述支撑载台的材质为不锈钢，下层所述支撑载台上设有接地链，所述万向轮上带有刹车。刹车便于推车定点停车。
为了避免紧固件与晶圆盒相干涉，所述支撑定位板为SUS304不锈钢拉丝板，支撑定位板下部嵌入支撑载台的安装槽内，支撑定位板通过若干沉头螺钉与支撑载台相固定连接，支撑定位板上三根定位柱围成等边三角形；每层支撑载台上设置有两排支撑定位板，每排支撑定位板设有三个。
作为本实用新型的进一步改进，所述支撑载台的长度和宽度分别为130cm、70cm，立杆的高度为90cm。
附图说明
图1为本实用新型的立体结构图。
图2为支撑载台上支撑定位板的结构示意图。
图3为支撑定位板的俯视图。
图4为晶圆盒的结构示意图。
其中，1立杆，2万向轮，3支撑载台，4支撑定位板，5定位柱，6晶圆盒，7定位孔，8把手，9上围栏，10下围栏，11接地链，12安装槽，13沉头螺钉。
具体实施方式
如图1-4所示，为一种12寸晶圆专用推车，包括四根相互平行的竖直立杆1，四根立杆1呈矩形排列分布，立杆1下端设有万向轮2，各立杆1之间设置有两层上下间隔的矩形支撑载台3，立杆1上端位于支撑载台3上方，每层支撑载台3上均设置有若干支撑定位板4，支撑定位板4上竖直设置有三根向上凸起的定位柱5，各定位柱5与晶圆盒6底部的三个定位孔7相对应设置，支撑定位板4的面积大于晶圆盒6底部的面积；左侧的两根立杆1上固定连接有U形把手8。支撑载台3的长度和宽度分别为130cm、70cm，立杆1的高度为90cm。
为了对放置在支撑载台3上的晶圆盒6的周围进行围挡，起到保护作用，各立杆1上端设有U形上围栏9，上围栏9对应上层支撑载台3设置，前侧的两根立杆1之间对应上层支撑载台3设有上料口一；各立杆1上对应下层支撑载台3设有U形下围栏10，前侧的两根立杆1之间对应下层支撑载台3设有上料口二。留下上料口一、上料口二，便于人员上料。
为了防止静电影响晶圆，支撑载台3的材质为不锈钢，下层支撑载台3上设有接地链11，万向轮2上带有刹车。刹车便于推车定点停车。为了避免紧固件与晶圆盒6相干涉，支撑定位板4为SUS304不锈钢拉丝板，支撑定位板4下部嵌入支撑载台3的安装槽12内，支撑定位板4通过若干沉头螺钉13与支撑载台3相固定连接，支撑定位板4上三根定位柱5围成等边三角形；每层支撑载台3上设置有两排支撑定位板4，每排支撑定位板4设有三个。
本实用新型通过在推车的支撑载台3上安装多个支撑定位板4，来支撑定位12寸上晶圆盒6，晶圆盒6的底部有三个定位圆孔，12寸晶圆盒6的长38cm、宽33cm、高33cm，三根定位柱5配合插入各定位圆孔内，实现对晶圆盒6进行定位。支撑载台3的材质为SUS304不锈钢拉丝板，改变运输摆放方式，解决运输时产品有掉落风险；此推车分两层每层可放6批晶圆，两层可放12个晶圆盒6。与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：两层支撑载台3一次可运输12批晶圆，运输效率高；支撑定位板4避免在运输过程掉落风险导致晶圆产品破损造成客诉等，从而保证晶圆产品品质。
本实用新型并不局限于上述实施例，在本实用新型公开的技术方案的基础上，本领域的技术人员根据所公开的技术内容，不需要创造性的劳动就可以对其中的一些技术特征作出一些替换和变形，这些替换和变形均在本实用新型的保护范围内。
Claims (5)
1.一种12寸晶圆专用推车，其特征在于，包括四根相互平行的竖直立杆，四根立杆呈矩形排列分布，所述立杆下端设有万向轮，各立杆之间设置有两层上下间隔的矩形支撑载台，所述立杆上端位于支撑载台上方，每层所述支撑载台上均设置有若干支撑定位板，所述支撑定位板上竖直设置有三根向上凸起的定位柱，各定位柱与晶圆盒底部的三个定位孔相对应设置，支撑定位板的面积大于晶圆盒底部的面积；左侧的两根立杆上固定连接有U形把手。
2.根据权利要求1所述的一种12寸晶圆专用推车，其特征在于，各所述立杆上端设有U形上围栏，上围栏对应上层支撑载台设置，前侧的两根立杆之间对应上层支撑载台设有上料口一；各所述立杆上对应下层支撑载台设有U形下围栏，前侧的两根立杆之间对应下层支撑载台设有上料口二。
3.根据权利要求1或2所述的一种12寸晶圆专用推车，其特征在于，所述支撑载台的材质为不锈钢，下层所述支撑载台上设有接地链，所述万向轮上带有刹车。
4.根据权利要求1或2所述的一种12寸晶圆专用推车，其特征在于，所述支撑定位板为SUS304不锈钢拉丝板，支撑定位板下部嵌入支撑载台的安装槽内，支撑定位板通过若干沉头螺钉与支撑载台相固定连接，支撑定位板上三根定位柱围成等边三角形；每层支撑载台上设置有两排支撑定位板，每排支撑定位板设有三个。
5.根据权利要求1或2所述的一种12寸晶圆专用推车，其特征在于，所述支撑载台的长度和宽度分别为130cm、70cm，立杆的高度为90cm。
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