CN220206412U - 一种抽风冷凝装置及清洗制绒设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种抽风冷凝装置及清洗制绒设备，抽风冷凝装置，包括：抽风管道，具有与槽体前室相连通的第一抽风口和/或与槽体后室相连通的第二抽风口；冷凝排出组件，与所述抽风管道底部相连通，用于将所述抽风管道内的冷凝水导出清洗室。能够提高使用安全性，并提高设备使用寿命。本实用新型应用于硅片加工设备领域。

Description

一种抽风冷凝装置及清洗制绒设备

技术领域

本实用新型涉及硅片加工设备领域，特别涉及一种抽风冷凝装置及清洗制绒设备。

背景技术

制绒是制作太阳能电池的必要制作工序，制绒的目的是在硅片表面形成绒面，以减少电池片的反射率，绒面凹凸不平可以增加二次反射，改变光程及入射方式。

硅片的清洗制绒设备包括封板，封板围设形成有清洗室。清洗室包括槽体前室和槽体后室，槽体前室和槽体后室通过隔板隔离，槽体前室内具有液槽，液槽连通有若干进液管，进液管安置于槽体后室。硅片清洗制绒所用到的液槽部分为加热槽，在设备的运行过程中液槽区充斥着酸碱气体，酸碱气体会影响其他工位上的硅片导致硅片不良，若酸碱气体跑出封板外还会对工作人员造成伤害，因此，通常会使用抽风装置及相应抽风管道将清洗室内的酸碱气体抽出。酸碱气体中还含有大量的水蒸气，水蒸气在通过抽风管道时，容易在抽风管道内冷凝并沿着管壁流下，过多的水蒸气冷凝渗透会造成清洗室内电元器件的损坏。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型提出一种抽风冷凝装置，能够提高使用安全性，并提高设备使用寿命。

还提出一种具有上述抽风冷凝装置的清洗制绒设备。

根据本实用新型第一方面实施例的抽风冷凝装置，包括：

抽风管道，具有与槽体前室相连通的第一抽风口和/或与槽体后室相连通的第二抽风口；

冷凝排出组件，与所述抽风管道底部相连通，用于将所述抽风管道内的冷凝水导出所述清洗室。

根据本实用新型第一方面实施例的抽风冷凝装置，至少具有如下有益效果：通过抽风管道的第一抽风口将槽体前室内的酸碱气体抽出，通过第二抽风口将槽体后室内的酸碱气体抽出，使得清洗室内的酸碱气体被抽出，提高使用时的安全性，避免酸碱气体对后工序硅片及人体产生影响，在部分水蒸气于抽风管内冷凝并沿抽气管道的底部流出时，冷凝排出组件将承接抽风管道流出的冷凝水，并进行排出，以避免冷凝水渗透造成电子元器件损坏，提高设备使用寿命。

根据本实用新型的一些实施例，所述抽风管道包括外接管道和内通道，所述外接管道用于与抽风源相连通，所述外接管道的底部连通于所述内通道的顶部，所述内通道形成于隔离所述槽体前室和所述槽体后室的隔板，所述内通道具有所述第一抽风口和所述第二抽风口，所述内通道的底部设有与所述冷凝排出组件相连通的出液口。

根据本实用新型的一些实施例，所述冷凝排出组件包括倾斜设置的导液槽和排出管路，所述导液槽设置于所述抽风管道的冷凝水输出端的下方，在部分实施例中，所述抽风管道的冷凝水输出端为内通道的出液口，所述导液槽设有排出口，且所述导液槽朝向所述排出口倾斜设置，所述排出口连通于清洗室外。

根据本实用新型的一些实施例，还包括回收组件，所述回收组件与所述冷凝排出组件相连通，用于收集所述冷凝排出组件排出的冷凝水。

根据本实用新型的一些实施例，所述冷凝排出组件包括排出管路，所述排出管路与所述出液口相连通。

根据本实用新型的一些实施例，所述出液口位于所述槽体前室内，所述导液槽内环绕连接于所述槽体前室的内周壁。

根据本实用新型的一些实施例，所述内通道具有底板，并于所述底板上设有所述出液口。

根据本实用新型的一些实施例，所述内通道的内周面朝向所述出液口连续倾斜设置。

根据本实用新型的一些实施例，所述底板的内表面朝向所述出液口倾斜设置。

根据本实用新型的一些实施例，所述内通道分体拼接成型或一体化成型。

根据本实用新型的一些实施例，若在所述抽风管道具有第一抽风口时，所述第一抽风口设有可调节的第一调节件，以调节所述第一抽风口的大小；

若在所述抽风管道具有第二抽风口时，所述第二抽风口设有可调节的第二调节件，以调节所述第二抽风口的大小。

根据本实用新型的一些实施例，所述第二调节件沿所述抽风管道的轴向滑动连接于所述抽风管道。

根据本实用新型的一些实施例，所述第一抽风口与所述第二抽风口相对设置，所述第二抽风口和所述第一抽风口交错排布，在部分实施例中，所述第二抽风口对应于所述第一抽风口的底部。-

根据本实用新型第二方面实施例的清洗制绒设备，包括：

清洗室，包括槽体前室、槽体后室和隔板，所述隔板间隔所述槽体前室与所述槽体后室；

本实用新型第一方面实施例所述的抽风冷凝装置，抽风管道与所述清洗室相连通。

根据本实用新型第二方面实施例的清洗制绒设备，至少具有如下有益效果：通过设置冷凝排出组件，可将冷凝水排出清洗室外，使得清洗制绒设备内的电子元器件更加不易损坏。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型做进一步的说明，其中：

图1为本实用新型一种实施例的清洗制绒设备的三维截面示意图；

图2为图1中A部分的局部放大示意图；

图3为图1中B部分的局部放大示意图；

图4为本实用新型一种实施例的清洗制绒设备的截面示意图；

图5为本实用新型一种实施例的抽风冷凝装置中抽风管道的结构示意图；

图6为本实用新型一种实施例的抽风冷凝装置中抽风管道的截面示意图。

附图标号：

抽风管道100；第一抽风口110；第一调节件111；第二抽风口120；第二调节件121；外接管道130；内通道140；出液口141；底板142；

冷凝排出组件200；导液槽210；排出口211；

清洗室300；槽体前室310；液槽311；槽体后室320；隔板330。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，涉及到方位描述，例如上、下等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，若干指的是一个及一个以上，多个指的是两个及两个以上。如果有描述到第一、第二只是用于区分技术特征为目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量或者隐含指明所指示的技术特征的先后关系。

本实用新型的描述中，除非另有明确的限定，设置、安装、连接等词语应做广义理解，所属技术领域技术人员可以结合技术方案的具体内容合理确定上述词语在本实用新型中的具体含义。

在清洗室300内，包括槽体前室310与槽体后室320，槽体前室310中具有液槽311，液槽311的一侧壁和隔板330一同对隔离槽体前室310与槽体后室320，进行初次的干湿分离，在液槽311加热后，酸碱气体及水蒸气主要集中在槽体前室310中，但依然存在部分酸碱气体及部分水蒸气逸出至槽体后室320中，槽体后室320包括主腔体和控制室，控制室多设置在槽体后室320的顶部，并与主腔体之间通过密闭盖体隔离，避免控制室内的电元器件受到影响，主腔体内设置与液槽311相连通的进液管及其他设备，在槽体后室320存在过多水蒸气时，依然存在冷凝水渗透至控制室内，影响电元器件的风险，并且，槽体后室320时常需要对设备进行检修，在槽体后室320中存在酸碱气体时，会影响检修人员的身体健康。

参照图1至图6所示，本实用新型第一方面实施例提出了抽风冷凝装置，包括：抽风管道100，用于抽出清洗室300内的酸碱气体，并通过抽风管道100冷凝部分冷凝水，具有第一抽风口110和/或第二抽风口120，第一抽风口110与槽体前室310相连通，以抽出槽体前室310的酸碱气体，第二抽风口120与槽体后室320相连通，以抽出槽体后室320的酸碱气体；冷凝排出组件200，与抽风管道100底部相连通，用于将抽风管道100内的冷凝水排出清洗室300。本实施例的抽风冷凝装置能够将清洗室300内的酸碱气体抽出，提高使用安全性，同有利于检修人员的身体健康，并且抽风冷凝装置能够对冷凝水进行冷凝，再将冷凝水集中收集并排出，避免冷凝水对设备内的电元器件产生影响，提高设备的使用寿命。

在本实施例中，抽风管道100具有第一抽风口110和第二抽风口120。需要理解的是，抽风管道100也可以仅具有第一抽风口110，或者抽风管道100仅具有第二抽风口120。

冷凝排出组件200，用于将抽风管道100内的冷凝水排出至清洗室300外，需要理解的是，排出至清洗室300外的冷凝水可以进行回收并再次利用，节省资源。

基于此，通过抽风管道100的第一抽风口110将槽体前室310内的酸碱气体抽出，通过第二抽风口120将槽体后室320内的酸碱气体抽出，使得清洗室300内的酸碱气体被抽出，提高使用时的安全性，避免酸碱气体对后工序硅片及人体产生影响，并且，在槽体后室320需要检修时，检修人员不易受到酸碱气体的影响，有利于检修人员的身体健康，在部分水蒸气于抽风管内冷凝并沿抽气管道的底部流出时，冷凝排出组件200将承接抽风管道100流出的冷凝水，并进行回收，以避免冷凝水渗透造成电子元器件损坏，提高设备使用寿命。

参照图1、图5与图6所示，在本实用新型的一些具体实施例中，抽风管道100包括外接管道130和内通道140，外接管道130用于与抽风源相连通，外接管道130的底部连通于内通道140的顶部，内通道140形成于隔离槽体前室310和槽体后室320的隔板330，内通道140具有第一抽风口110和第二抽风口120，内通道140的底部设有与冷凝排出组件200相连通的出液口141。

值得理解的是，外界管道与抽风源相连通，以进行抽气，抽气源可以是抽气机。在隔离槽体前室310和槽体后室320的隔板330形成内通道140，内通道140的一侧位于槽体前室310，并设置第一抽风口110，以抽出槽体前室310内的酸碱气体，另一侧位于槽体后室320，并设置第二抽风口120，以抽出槽体后室320内的酸碱气体，并且，酸碱气体中的水蒸气将直接于内通道140的内侧壁冷凝，冷凝水顺着内通道140的内侧壁朝向内通道140底部的出液口141流出，并被冷凝排出组件200所回收，冷凝水沿内通道140移动至冷凝排出组件200中，冷凝水不易对电元器件进行渗透，有利于提高电元器件的使用寿命。

作为另一种实施方式，抽风管道100包括两条内接管道，一内接管道位于槽体前室310中，另一内接管道位于槽体后室320中，冷凝排出组件200的数量也为二，两冷凝排出组件200分别对两内接管道内的冷凝水进行回收。

参照图1与图2所示，在本实用新型的一些具体实施例中，冷凝排出组件200包括倾斜设置的导液槽210和排出管路，导液槽210设置于出液口141下方，导液槽210设有排出口211，且导液槽210朝向排出口211倾斜设置，排出口211连通于清洗室300外。

值得理解的是，通过导液槽210承接自出液口141流出的冷凝水，在冷凝水顺着倾斜的导液槽210流动至排出口211内，并自排出口211排出外界，避免冷凝水对电元器件产生影响，在本实施例中，排出口211通过排出管道与清洗室300外相连通，也可以是排出口211直接与清洗室300外相连通。

具体地，导液槽210内具有最低点，导液槽210整体朝向最低点倾斜，并在最低点位置设置排出口211。

作为另一种实施方式，冷凝排出组件200包括排出管路，排出管路与出液口141相连通。通过排出管路直接将自出液口141流出的冷凝水排出，避免冷凝水对清洗室300内的电元器件产生影响。

参照图1与图2所示，在本实用新型的一些具体实施例中，还包括回收组件，回收组件与冷凝排出组件200相连通，用于收集冷凝排出组件200排出的冷凝水。

值得理解的是，通过回收组件对冷凝排出组件200排出的冷凝水集中回收处理，冷凝水处理更加方便。

参照图1与图2所示，在本实用新型的一些具体实施例中，出液口141位于槽体前室310内，导液槽210内环绕连接于槽体前室310的内周壁。

值得理解的是，出液口141设置在槽体前室310内，在液槽311加热时，即便将槽体前室310内的冷凝水蒸发，水蒸气也会聚集于槽体前室310内，而不会聚集在槽体后室320中，不易对槽体后室320中的电元器件产生影响。同时，导液槽210内环绕连接于槽体前室310的内周壁，在水蒸气冷凝于槽体前室310内周壁时，也能够顺着槽体前室310的内周壁流至导液槽210中，并自导液槽210内被排出至设备外，能够及时将冷凝水排出槽体前室310，避免冷凝水长期滞留于槽体前室310内重复受热蒸发带来浓度较高的水蒸气，减少水蒸气的影响。

参照图1与图2所示，在本实用新型的一些具体实施例中，内通道140具有底板142，并于底板142上设有出液口141。

值得理解的是，通过内通道140底部的底板142汇聚内通道140内的冷凝水，再将冷凝水自出液口141排出，冷凝水能够更集中的排出，对冷凝水的收集更加方便。

参照图1与图2所示，在本实用新型的一些具体实施例中，内通道140的内周面朝向出液口141连续倾斜设置。

值得理解的是，内通道140的内周面朝向出液口141连续倾斜，使得冷凝水能够沿内通道140的内周面一直流动至内通道140的出液口141，而不会受到内通道140内周壁上其他部位的干扰，冷凝水的使用更加方便。

具体地，内通道140朝向槽体后室320一侧的底部设有转折部，转折部的上方设有倒角部，通过倒角部实现内通道140内周面的连续倾斜。

参照图1与图2所示，在本实用新型的一些具体实施例中，底板142的内表面朝向出液口141倾斜设置。值得理解的是，底板142也朝向出液口141倾斜设置，使得底板142内表面上的水能够集中于出液口141排出。其中，底板142的内表面是指：底板142朝向内通道140的一面。

参照图5与图6所示，在本实用新型的一些具体实施例中，内通道140分体拼接成型或一体化成型。

值得理解的是，内通道140可以是通过盖板盖设至隔板330上，与隔板330合围形成内通道140，或者在隔板330形成时，直接一体化成型内通道140。

参照图5与图6所示，在本实用新型的一些具体实施例中，若在抽风管道100具有第一抽风口110时，第一抽风口110设有可调节的第一调节件111，以调节第一抽风口的大小；若在抽风管道具有第二抽风口120时，第二抽风口120设有可调节的第二调节件121，以调节第二抽风口120的大小。

需要理解的是，槽体前室310中的水蒸气并非长期均处于高浓度状态，而在槽体前室310的水蒸气并未处于高浓度状态时，水蒸气也难以自槽体前室310渗透至槽体后室320中，或者仅有少量的水蒸气自槽体前室310中渗透至槽体后室320中，第二抽风口120的存在会影响第一抽风口110的抽风效率，在第一抽风口110的效率不高时，槽体前室310中的水蒸气浓度更易增高，水蒸气更易渗透至槽体后室320中。而不存在第二抽风口120时，自槽体前室310渗透至槽体后室320中的水蒸气将会累计，进而对槽体后室320中的水蒸气浓度产生影响。

值得理解的是，在槽体前室310中的水蒸气浓度低时，可调节抽风源的抽风速率，以较低速率运行，避免能耗过高，在抽风源的抽风量降低时，第一抽风口110的风流速降低，第一抽风口110所能够影响的范围降低，通过减少第一抽风口110的大小，以增加第一抽风口110的风流速，进而使得第一抽风口110能够对槽体前室310整体进行抽风，槽体前室310的抽风效率更高。

具体地，第一抽风口110包括多个沿抽风管道100轴向依次间隔分布的第一分抽风口，第一调节件111呈板状，第一调节件111设有沿其长度方向依次间隔分布的第二分抽风口，第一调节件111的长度方向与抽风管道100的轴向同向，第一调节件111沿抽风管道100的轴向滑动连接于抽风管道，在第一调节件111通过沿抽风管道100的轴向滑动，第二分抽风口与第一分抽风口相对齐时，第一抽风口110处于打开状态；在第一调节件111通过沿抽风管道100的轴向滑动，两第二分抽风口的间隔区域与第一分抽风口相对齐时，第一抽风口110处于关闭或部分关闭状态。

值得理解的是，通过对第二抽风口120大小进行调节，将第二抽风口120调节至适宜大小，在槽体后室320中的水蒸气浓度较低时，可以将第二抽风口120调节至较小状态，以提高第一抽风口110对槽体前室310的抽风效率。而在槽体后室320中的水蒸气浓度较高时，增大第二抽风口120，加快槽体后室320中水蒸气的排出，及水蒸气的冷凝，减少冷凝水对电元器件的影响。

具体地，第二调节件121沿抽风管道100的轴向滑动连接于抽风管道100。第二调节件121为调节遮板，调节遮板能够直接遮盖第二抽风口120，通过调节遮板遮盖第二抽风口120的区域，调节第二抽风口120的大小。

参照图1、图5与图6所示，在本实用新型的一些具体实施例中，第一抽风口110与第二抽风口120相对设置，且第二抽风口120对应于第一抽风口110的底部。-

值得理解的是，在第一抽风口110抽风时，第一抽风口110和第二抽风口120同步抽风，且第二抽风口120与第一抽风口110的底部相对应，第一抽风口110中的水蒸气不易自第二抽风口120逸出至槽体后室320中。

作为另一种实施方式，第一抽风口110与第二抽风口120也可以设置在抽风管道100的同一侧，通过隔板330间隔设置。

参照图1、图2和图4所示，根据本实用新型第二方面实施例的清洗制绒设备，包括：

清洗室300，包括槽体前室310、槽体后室320和隔板330，隔板330间隔槽体前室310与槽体后室320；

本实用新型第一方面实施例的抽风冷凝装置，抽风管道100与清洗室300相连通。

值得理解的是，通过设置抽风冷凝装置，使得清洗制绒设备内的电子元器件更加不易损坏。

上面结合附图对本实用新型实施例作了详细说明，但是本实用新型不限于上述实施例，在所属技术领域普通技术人员所具备的知识范围内，还可以在不脱离本实用新型宗旨的前提下做出各种变化。

Claims (10)

1.一种抽风冷凝装置，其特征在于，包括：

抽风管道，具有与槽体前室相连通的第一抽风口和/或与槽体后室相连通的第二抽风口；

冷凝排出组件，与所述抽风管道底部相连通，用于将所述抽风管道内的冷凝水导出清洗室。

2.根据权利要求1所述的抽风冷凝装置，其特征在于：所述抽风管道包括外接管道和内通道，所述外接管道用于与抽风源相连通，所述外接管道的底部连通于所述内通道的顶部，所述内通道形成于隔离所述槽体前室和所述槽体后室的隔板，所述内通道具有所述第一抽风口和所述第二抽风口，所述内通道的底部设有与所述冷凝排出组件相连通的出液口。

3.根据权利要求1所述的抽风冷凝装置，其特征在于：所述冷凝排出组件包括倾斜设置的导液槽和排出管路，所述导液槽设置于所述抽风管道的冷凝水输出端的下方，所述导液槽设有排出口，且所述导液槽朝向所述排出口倾斜设置，所述排出口连通于清洗室外。

4.根据权利要求1所述的抽风冷凝装置，其特征在于：还包括回收组件，所述回收组件与所述冷凝排出组件相连通，用于收集所述冷凝排出组件排出的冷凝水。

5.根据权利要求2所述的抽风冷凝装置，其特征在于：所述内通道具有底板，并于所述底板上设有所述出液口。

6.根据权利要求5所述的抽风冷凝装置，其特征在于：所述底板的内表面朝向所述出液口倾斜设置。

7.根据权利要求1所述的抽风冷凝装置，其特征在于：在所述抽风管道具有所述第一抽风口时，所述第一抽风口设有可调节的第一调节件，以调节所述第一抽风口的大小；

在所述抽风管道具有所述第二抽风口时，所述第二抽风口设有可调节的第二调节件，以调节所述第二抽风口的大小。

8.根据权利要求7所述的抽风冷凝装置，其特征在于：所述第二调节件沿所述抽风管道的轴向滑动连接于所述抽风管道。

9.根据权利要求1所述的抽风冷凝装置，其特征在于：所述第一抽风口与所述第二抽风口相对设置，所述第二抽风口和所述第一抽风口交错排布。

10.一种清洗制绒设备，其特征在于，包括：

清洗室，包括槽体前室、槽体后室和隔板，所述隔板间隔所述槽体前室与所述槽体后室；

权利要求1至9任一项所述的抽风冷凝装置，抽风管道与所述清洗室相连通。