CN220176442U - 一种水膜床及废气处理装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种水膜床及废气处理装置，涉及气体净化领域。水膜床包括第一洗涤层、第二洗涤层以及集尘板；第一洗涤层和第二洗涤层沿竖直向下的方向依次设置，第一洗涤层与第二洗涤层之间形成腔体；第一洗涤层设置有第一凹槽，第一凹槽用于容置洗涤液，第一凹槽的底壁开设有第一通孔；第二洗涤层设置有第二凹槽，第二凹槽用于承接从第一凹槽溢出的洗涤液，第二凹槽的底壁开设有第二通孔，第一通孔、腔体以及第二通孔依次连通；集尘板设置于腔体，以使废气依次流经第二洗涤层、所述集尘板以及第一洗涤层，集尘板用于收集粉尘颗粒，待废气处理装置维护保养时拆卸该水膜床并置于清水中进行清洗，以去除富集的粉尘。

Description

一种水膜床及废气处理装置

技术领域

本实用新型涉及气体净化领域，具体而言，涉及一种水膜床及废气处理装置。

背景技术

在泛半导体行业生产制程中，会产生大量危害身体健康以及生态环境的有毒有害气体，有毒有害气体必须经过处理才能排放。目前，在产线上通常采用废气处理设备来处理相关生产环节产生的废气。

然而现有的废气处理设备的洗涤液无法充分与有毒有害气体混合，并且不能有效除尘，从而导致处理效果差。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种水膜床及废气处理装置，其兼具水洗功能和粉尘富集功能，能够有效净化废气。

本实用新型的实施例是这样实现的：

第一方面，本实用新型提供一种水膜床，包括第一洗涤层、第二洗涤层以及集尘板；

所述第一洗涤层和所述第二洗涤层沿竖直向下的方向依次设置，所述第一洗涤层与所述第二洗涤层之间形成腔体；

所述第一洗涤层设置有第一凹槽，所述第一凹槽用于容置洗涤液，所述第一凹槽的底壁开设有第一通孔；

所述第二洗涤层设置有第二凹槽，所述第二凹槽用于承接从所述第一凹槽溢出的所述洗涤液，所述第二凹槽的底壁开设有第二通孔，所述第一通孔、所述腔体以及所述第二通孔依次连通；

所述集尘板设置于所述腔体，以使废气依次流经所述第二洗涤层、所述集尘板以及所述第一洗涤层，所述集尘板用于收集粉尘颗粒。

在上述实施例中，在废气穿过第一通孔或第二通孔并与水膜接触的过程中，废气在水膜内形成水泡或水柱，以此达到废气与洗涤液充分接触的效果，从而使得废气中可溶于洗涤液的成分充分地溶解于洗涤液中，进而提高废气的处理效果。此外，集尘板设置于腔体，废气从第二凹槽流向第一凹槽的过程中，废气会与集尘板接触，可使得废气中的粉尘颗粒富集在集尘板的下表面，从而达到收集粉尘颗粒的目的，待废气处理装置维护保养时拆卸该整个水膜床并置于清水中进行清洗，以去除富集的粉尘。

在可选的实施方式中，所述第一洗涤层还包括第一通道，所述第一通道的一端用于承接所述第一凹槽溢出的所述洗涤液，另一端与所述腔体连通；

所述第二洗涤层还包括第二通道，所述第二通道的一端与所述腔体连通，另一端用于排出所述洗涤液。

在上述实施例中，在第一凹槽内的洗涤液充满后，洗涤液溢出至第一通道；在第一通道内充满洗涤液后，洗涤液由第一通道溢出至第二凹槽；在第二凹槽内的洗涤液充满后，洗涤液溢出至第二通道；在第二通道内充满洗涤液后，洗涤液从第二通道溢出并流入水箱，便于后续统一排放。可以理解的是，在洗涤液充满第一通道的情况下可以形成水封层，在此情况下，不仅可以实现洗涤液从第一凹槽流动至第二凹槽，还可以避免废气直接排出；同理，在洗涤液充满第二通道的情况下可以形成水封层，在此情况下，不仅可以实现洗涤液从第二凹槽流出水膜床，还可以避免废气直接进入到腔体内。

在可选的实施方式中，所述第一通道和所述第二通道设置于相对的两侧。

在上述实施例中，通过使得第一通道和第二通道设置在相对的两侧，以便于第一凹槽内的洗涤液能够通过第一通道顺利溢流至第二凹槽内，并确保第一通道和第二通道能够充满洗涤液以形成水封。

在可选的实施方式中，所述集尘板设置于所述第一洗涤层，并与所述第一通道的底壁一体成型，所述集尘板伸出所述第一通道外的部分开设有透气孔。

在上述实施例中，集尘板设置于第一通道的底壁处，可实现对从第一通道溢流处的洗涤液起到引导和缓冲作用，以确保洗涤液流入第二凹槽内。通过在集尘板开设多个大小相同且布置均匀的透气孔，可在此形成水膜，从而增加废气洗涤液的接触次数和面积，以此提高水膜床对废气的处理效果。

在可选的实施方式中，所述集尘板的宽度小于所述第二凹槽的宽度。

在上述实施例中，在洗涤液从第一通道内溢出后，洗涤液从集尘板远离第一通道的一端边沿处流向第二凹槽，通过使得集尘板的宽度小于第二凹槽的宽度，以确保洗涤液能够完全流入第二凹槽。

在可选的实施方式中，所述第一通道包括底部连通的第一进液通道和第一出液通道，所述第一进液通道的顶端所在的水平高度大于所述第一出液通道的顶端所在的水平高度，所述第一出液通道的开口与所述腔体连通；

所述第二通道包括底部连通的第二进液通道和第二出液通道，所述第二进液通道的顶端所在的水平高度大于所述第二出液通道的顶端所在的水平高度，所述第二进液通道的开口与所述腔体连通。

在上述实施例中，通过第一进液通道和第一出液通道高低错位设计，使得第一进液通道在充满水的情况下其水平面大于第一出液通道在充满水的情况下的水平面，从而达到密闭的效果，使废气无法通过第一通道。通过第二进液通道和第二出液通道高低错位设计，使得第二进液通道在充满水的情况下其水平面大于第二出液通道在充满水的情况下的水平面，从而达到密闭的效果，使废气无法通过第二通道。

在可选的实施方式中，所述第一洗涤层的数量包括多个，相邻的两个所述第一洗涤层也形成所述腔体，其中至少一个所述腔体设置有所述集尘板。

在上述实施例中，为了进一步提高废气洗涤次数以及接触面积，可以设置两个、三个或更多数量的第一洗涤层，从而提高废气的处理效果。

第二方面，本实用新型提供一种废气处理装置，包括洗涤塔以及如前述实施方式任一项所述的水膜床，所述水膜床设置于所述洗涤塔内；

所述洗涤塔开设有进水口，所述进水口用于向所述第一凹槽注入所述洗涤液；

所述洗涤塔的底部还开设有进气口，所述洗涤塔的顶部还开设出气口，所述进气口和所述出气口均用于供气体通过。

在上述实施例中，水膜床设置于洗涤塔内，进水口开设于洗涤塔靠近顶部的侧壁，进气口开设于洗涤塔的底部，用于向洗涤塔通入废气，出口气开设于洗涤塔的顶部用于排出洗涤塔净化后的气体；进水口用于向水膜床注入洗涤液，实现废气在水膜床处与洗涤液充分接触，以完成对废气的洗涤。

在可选的实施方式中，所述废气处理装置还包括喷淋件，所述喷淋件设置于所述洗涤塔。

在上述实施例中，废气通过水箱经过进气口后，废气首先与设置于入口上方的喷淋件持续喷射水雾接触，从而使废气中的部分水溶性成分溶解到水中，并进入水箱随水排出，以实现对废气的净化。

在可选的实施方式中，所述废气处理装置还包括水箱，所述水箱与洗涤塔连接，所述水箱用于承接从所述洗涤塔流下的洗涤液，并在所述水箱内的水位达到预设水位的情况下排出所述洗涤液。

在上述实施例中，水箱内设置有水位传感器及排水器，当水位传感器检测到水箱内的水位达到预设水位时，控制排水器开始排水，以避免水箱内的水溢出。

本实用新型实施例提供的水膜床及废气处理装置的有益效果包括：在废气穿过第一通孔或第二通孔并与水膜接触的过程中，废气在水膜内形成水泡或水柱，以此达到废气与洗涤液充分接触的效果，从而使得废气中可溶于洗涤液的分成充分地溶解于洗涤液中，进而提高废气的处理效果。另外，通过将集尘板设置于第一洗涤层，并使其位于第一凹槽和第二凹槽之间的腔体内，可实现废气从第二凹槽流向第一凹槽的过程中与集尘板接触，以此使得废气中的粉尘颗粒富集在集尘板的下表面，从而达到收集粉尘颗粒的目的，待废气处理装置维护保养时拆卸该水膜床并置于清水中进行清洗，以去除富集的粉尘。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1为本实用新型实施例提供的废气处理装置侧视结构示意图；

图2为本实用新型实施例提供的废气处理装置正视结构示意图；

图3为本实用新型实施例提供的水膜床结构示意图；

图4为本实用新型实施例提供的水膜层的俯视视角示意图；

图5为本实用新型实施例提供的水膜层的仰视视角示意图；

图6为本实用新型实施例提供的集尘板结构示意图。

图标：10-废气处理装置；100-洗涤塔；110-进水口；120-进气口；130-出气口；200-水膜床；210-第一洗涤层；211-第一凹槽；212-第一通孔；213-第一通道；214-第一进液通道；215-第一出液通道；220-第二洗涤层；221-第二凹槽；222-第二通孔；223-第二通道；224-第二进液通道；225-第二出液通道；230-集尘板；231-透气孔；240-腔体；300-喷淋件；400-水箱。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。

因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

此外，术语“水平”、“竖直”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。

在本实用新型的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在泛半导体行业生产制程中会大量使用特气和化学品，从而会在制造过程中产生大量的工艺废气，该工艺废气严重影响人的身体健康以及生态环境，因此，有毒有害气体必须经过处理才能排放。目前，在产线上通常采用废气处理设备来处理相关生产环节产生的废气。

现阶段常用水洗来降温以及中和水溶性物质，然而在半导体制造工艺中，尤其是在蚀刻中的金属刻蚀制程、扩散工艺中的原子层淀积制程等，需要对较多的粉尘(例如SiO₂粉尘)进行处理，这些粉尘常会附着在管路以及腔体内壁上，致使气体在机体以及管路中流动不畅，随着粉尘富集，甚至会堵塞管道，导致需要停机进行维保，在投入大量人力物力的同时，还严重影响生产进程以及生产效率。

然而现有的采用水洗喷淋的处理设备会出现洗涤液无法充分与有毒有害气体混合，并且不能有效除尘等问题，从而会导致废气处理效果差。

基于以上问题，请参阅图1至图3，本实用新型提供了一种废气处理装置10，应用于气体净化领域，该废气处理装置10不仅具备水洗功能，还兼具粉尘富集作用，能够有效延长废气处理装置10的使用寿命，并显著减少宕机频率及维护频次。

需要说明的是，废气包括但不局限于危害身体健康或生态环境的有毒有害气体。

详细地，废气处理装置10包括洗涤塔100、水膜床200、喷淋件300以及水箱400。

其中，水膜床200及喷淋件300均设置于洗涤塔100内，洗涤塔100开设有进水口110、进气口120以及出气口130，进水口110开设于洗涤塔100靠近顶部的侧壁，进气口120开设于洗涤塔100的底部，用于向洗涤塔100通入废气，出气口130开设于洗涤塔100的顶部用于排出洗涤塔100净化后的气体；进水口110用于向水膜床200注入洗涤液，实现废气在水膜床200处与洗涤液充分接触，以完成对废气的洗涤。

在本实施例中，进水口110向洗涤塔100灌注洗涤液，洗涤液经水膜床200后从进气口120流向水箱400；而废气由水箱400进入进气口120以进入洗涤塔100内，并依次经过喷淋件300和水膜床200，以完成洗涤，最后通过出气口130流出。需要注意的是，洗涤液的流向由上至下，而废气的流向与洗涤液相反，是由下至上，以此可保证废气在洗涤塔100内流动的过程中充分地与洗涤液接触，从而提高废气的处理效果。

需要说明的是，洗涤液可以是水，也可以是其他液体，在此不做具体限定。

进一步地，喷淋件300设置于洗涤塔100内并位于水膜床200的下方。

在本实施例中，废气通过水箱400经过进气口120后，废气首先与设置于入口上方的喷淋件300持续喷射水雾接触，从而使废气中的部分水溶性成分溶解到水中，并进入水箱400随水排出，以实现对废气的净化。

进一步地，水箱400与洗涤塔100通过进气口120连接，水箱400用于承接从洗涤塔100流下的洗涤液，并在水箱400内的水位达到预设水位的情况下排出洗涤液。

在本实施例中，水箱400顶部的开口与进气口120连通，水箱400用于接收洗涤塔100中下落的液体。

详细地，水箱400内设置有水位传感器(图未示)及排水器(图未示)，当水位传感器检测到水箱400内的水位达到预设水位时，控制排水器开始排水，以避免水箱400内的水溢出。

进一步地，水膜床200包括第一洗涤层210、第二洗涤层220以及集尘板230。

其中，第一洗涤层210和第二洗涤层220沿竖直向下的方向依次设置，第一洗涤层210与第二洗涤层220之间形成腔体240，集成板设置于腔体240，以使废气依次流经第二洗涤层220、集尘板230以及第一洗涤层210。

在本实施例中，第一洗涤层210设置有第一凹槽211，第一凹槽211用于接收从进水口110灌注的洗涤液，并容置洗涤液，以在第一凹槽211形成水膜；通过在第一凹槽211的底壁开设大小相同且布置均匀第一通孔212(如图4所示)，以使废气均匀地穿过第一洗涤层210。

同样地，第二洗涤层220设置有第二凹槽221，第二凹槽221用于承接从第一凹槽211溢出的洗涤液，以在第二凹槽221处形成水膜；通过在第二凹槽221的底壁开设大小相同且布置均匀第二通孔222(如图5所示)，以使废气均匀地穿过第二洗涤层220。

在本实施例中，第一通孔212、腔体240以及第二通孔222依次连通，因此，从进气口120进入洗涤塔100的废气首先流向第二洗涤层220的第二凹槽221并穿过第二通孔222，以与容置于第二凹槽221内并形成水膜的洗涤液接触，再经腔体240流向第一洗涤层210的第一凹槽211并穿过第一通孔212，以与容置于第一凹槽211内并形成水膜的洗涤液接触。

因此，在废气穿过第一通孔212或第二通孔222并与水膜接触的过程中，废气在水膜内形成水泡或水柱，以此达到废气与洗涤液充分接触的效果，从而使得废气中可溶于洗涤液的成分充分地溶解于洗涤液中，进而提高废气的处理效果。

在本实施例中，集尘板230位于第一凹槽211和第二凹槽221之间的腔体240内，废气从第二凹槽221流向第一凹槽211的过程中，废气会与集尘板230接触，可使得废气中的粉尘颗粒富集在集尘板230的下表面，从而达到收集粉尘颗粒的目的，待废气处理装置10维护保养时可将水膜床200从洗涤塔100中拆卸，并将水膜床200置于清水中进行清洗，以去除富集的粉尘。

可以理解的是，在上述过程中，进水口110持续向第一凹槽211注水，以保证第一凹槽211和第二凹槽221内的洗涤液能保持水膜状态。

需要说明的是，在实际运行过程中，通常需要使得位于第一洗涤层210和第二洗涤层220之间的腔体240保持密封状态，以避免废气在没有通过第一通孔212或第二通孔222并接触水膜的情况下直接流出，从而避免导致废气直接排出废气处理装置10的问题，还在第一洗涤层210设置第一通道213，第一通道213的一端用于承接第一凹槽211溢出的洗涤液，另一端与腔体240连通；同样地，在第二洗涤层220设置第二通道223，第二通道223的一端与腔体240连通，另一端用于排出洗涤液。

在本实施例中，在第一凹槽211内的洗涤液充满后，洗涤液溢出至第一通道213；在第一通道213内充满洗涤液后，洗涤液由第一通道213溢出至第二凹槽221；在第二凹槽221内的洗涤液充满后，洗涤液溢出至第二通道223；在第二通道223内充满洗涤液后，洗涤液从第二通道223溢出并流入水箱400，便于后续统一排放。

可以理解的是，在洗涤液充满第一通道213的情况下可以形成水封层，在此情况下，不仅可以实现洗涤液从第一凹槽211流动至第二凹槽221，还可以避免废气直接排出；同理，在洗涤液充满第二通道223的情况下可以形成水封层，在此情况下，不仅可以实现洗涤液从第二凹槽221流出水膜床200，还可以避免废气直接进入到腔体240内。

另外还需要说明的是，由于腔体240内保持相对密封，因此位于第一凹槽211和位于第二凹槽221内的洗涤液不会直接通过第一通孔212或第二通孔222流下，而废气从水箱400内进入洗涤塔100后，废气聚集并形成压差，即可穿过第二通孔222并在水膜中形成水泡或水柱，以此达到穿过水膜的目的；气体穿过第一通孔212及水膜同理，在此不再赘述。

进一步地，第一通道213和第二通道223设置于相对的两侧。

在本实施例中，通过使得第一通道213和第二通道223设置在相对的两侧，以便于第一凹槽211内的洗涤液能够通过第一通道213顺利溢流至第二凹槽221内，并确保第一通道213和第二通道223能够充满洗涤液以形成水封。

进一步地，集尘板230与第一通道213的底壁一体成型，集尘板230伸出第一通道213外的部分开设有透气孔231(如图6所示)。

在本实施例中，集尘板230设置于第一通道213的底壁处，可实现对从第一通道213溢流处的洗涤液起到引导和缓冲作用，以确保洗涤液流入第二凹槽221内。通过在集尘板230开设多个大小相同且布置均匀的透气孔231，可在此形成水膜，从而增加废气洗涤液的接触次数和面积，以此提高水膜床200对废气的处理效果。

详细地，在本实施例中，在洗涤液从第一通道213内溢出后，洗涤液从集尘板230远离第一通道213的一端边沿处流向第二凹槽221，为确保洗涤液能够完全流入第二凹槽221，使得集尘板230的宽度小于第二凹槽221的宽度。

进一步地，第一通道213包括底部连通的第一进液通道214和第一出液通道215，第一进液通道214的顶端所在的水平高度大于第一出液通道215的顶端所在的水平高度，第一出液通道215的开口与腔体240连通；因此，通过第一进液通道214和第一出液通道215高低错位设计，使得第一进液通道214在充满水的情况下其水平面大于第一出液通道215在充满水的情况下的水平面，从而达到密闭的效果，使废气无法通过第一通道213。

同样地，第二通道223包括底部连通的第二进液通道224和第二出液通道225，第二进液通道224的顶端所在的水平高度大于第二出液通道225的顶端所在的水平高度，第二进液通道224的开口与腔体240连通；因此，通过第二进液通道224和第二出液通道225高低错位设计，使得第二进液通道224在充满水的情况下其水平面大于第二出液通道225在充满水的情况下的水平面，从而达到密闭的效果，使废气无法通过第二通道223。

需要说明的是，如图4和图5所示，图4为水膜床200的俯视图，图4中未开设第一通孔212的空白部分对应第一进液通道214，图5为水膜床的仰视图，图5中未开设第二通孔222的空白部分对应第二进液通道224以及第二出液通道225。

进一步地，第一洗涤层210的数量包括多个，相邻的两个第一洗涤层210也形成腔体240，其中至少一个腔体240设置有集尘板230，由于集尘板230设置于第一洗涤层210上，换言之，其中至少一个第一洗涤层210设置有集尘板230。

在本实施例中，为了进一步提高废气洗涤次数以及接触面积，可以设置两个、三个或更多数量的第一洗涤层210，从而提高废气的处理效果，其中，集尘板230的数量可以是一个或多个，只要保证其中至少一个第一洗涤层210设置有集尘板230即可，在此不做具体限定。

另外需要说明的是，在第一洗涤层210的数量为多个的情况下，相邻两个的第一洗涤层210的第一通道213可以呈同侧设置，也可以呈异侧设置，在此不做具体限定。

综上所述，本实用新型提供了一种水膜床200及废气处理装置10，在废气穿过第一通孔212或第二通孔222并与水膜接触的过程中，废气在水膜内形成水泡或水柱，以此达到废气与洗涤液充分接触的效果，从而使得废气中可溶于洗涤液的成分充分地溶解于洗涤液中，进而提高废气的处理效果。另外，通过将集尘板230设置于第一洗涤层210，并使其位于第一凹槽211和第二凹槽221之间的腔体240内，可实现废气从第二凹槽221流向第一凹槽211的过程中与集尘板230接触，以此使得废气中的粉尘颗粒富集在集尘板230的下表面，从而达到收集粉尘颗粒的目的，待废气处理装置10维护保养时可将水膜床200从洗涤塔100中拆卸，并将水膜床200置于清水中进行清洗，以去除富集的粉尘。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种水膜床，其特征在于，包括第一洗涤层(210)、第二洗涤层(220)以及集尘板(230)；

所述第一洗涤层(210)和所述第二洗涤层(220)沿竖直向下的方向依次设置，所述第一洗涤层(210)与所述第二洗涤层(220)之间形成腔体(240)；

所述第一洗涤层(210)设置有第一凹槽(211)，所述第一凹槽(211)用于容置洗涤液，所述第一凹槽(211)的底壁开设有第一通孔(212)；

所述第二洗涤层(220)设置有第二凹槽(221)，所述第二凹槽(221)用于承接从所述第一凹槽(211)溢出的所述洗涤液，所述第二凹槽(221)的底壁开设有第二通孔(222)，所述第一通孔(212)、所述腔体(240)以及所述第二通孔(222)依次连通；

所述集尘板(230)设置于所述腔体(240)，以使废气依次流经所述第二洗涤层(220)、所述集尘板(230)以及所述第一洗涤层(210)，所述集尘板(230)用于收集粉尘颗粒。

2.根据权利要求1所述的水膜床，其特征在于，所述第一洗涤层(210)还包括第一通道(213)，所述第一通道(213)的一端用于承接所述第一凹槽(211)溢出的所述洗涤液，另一端与所述腔体(240)连通；

所述第二洗涤层(220)还包括第二通道(223)，所述第二通道(223)的一端与所述腔体(240)连通，另一端用于排出所述洗涤液。

3.根据权利要求2所述的水膜床，其特征在于，所述第一通道(213)和所述第二通道(223)设置于相对的两侧。

4.根据权利要求2所述的水膜床，其特征在于，所述集尘板(230)设置于所述第一洗涤层(210)，并与所述第一通道(213)的底壁一体成型，所述集尘板(230)伸出所述第一通道(213)外的部分开设有透气孔(231)。

5.根据权利要求4所述的水膜床，其特征在于，所述集尘板(230)的宽度小于所述第二凹槽(221)的宽度。

6.根据权利要求2所述的水膜床，其特征在于，所述第一通道(213)包括底部连通的第一进液通道(214)和第一出液通道(215)，所述第一进液通道(214)的顶端所在的水平高度大于所述第一出液通道(215)的顶端所在的水平高度，所述第一出液通道(215)的开口与所述腔体(240)连通；

所述第二通道(223)包括底部连通的第二进液通道(224)和第二出液通道(225)，所述第二进液通道(224)的顶端所在的水平高度大于所述第二出液通道(225)的顶端所在的水平高度，所述第二进液通道(224)的开口与所述腔体(240)连通。

7.根据权利要求1所述的水膜床，其特征在于，所述第一洗涤层(210)的数量包括多个，相邻的两个所述第一洗涤层(210)也形成所述腔体(240)，其中至少一个所述腔体(240)设置有所述集尘板(230)。

8.一种废气处理装置，其特征在于，包括洗涤塔(100)以及如权利要求1-7任一项所述的水膜床，所述水膜床设置于所述洗涤塔(100)内；

所述洗涤塔(100)开设有进水口(110)，所述进水口(110)用于向所述第一凹槽(211)注入所述洗涤液；

所述洗涤塔(100)的底部还开设有进气口(120)，所述洗涤塔(100)的顶部还开设出气口(130)，所述进气口(120)和所述出气口(130)均用于供气体通过。

9.根据权利要求8所述的废气处理装置，其特征在于，所述废气处理装置还包括喷淋件(300)，所述喷淋件(300)设置于所述洗涤塔(100)。

10.根据权利要求8所述的废气处理装置，其特征在于，所述废气处理装置还包括水箱(400)，所述水箱(400)与洗涤塔(100)连接，所述水箱(400)用于承接从所述洗涤塔(100)流下的洗涤液，并在所述水箱(400)内的水位达到预设水位的情况下排出所述洗涤液。