CN220164860U - 一种辊道结构及其链式清洗设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及半导体清洁领域，具体涉及一种辊道结构及其链式清洗设备。本实用新型提供了一种辊道结构，包括：支架和传动辊，所述传动辊两端分别与所述支架的两侧壁转动连接；所述支架上间隔开设有若干嵌插口。所述传动辊依次嵌插在各所述嵌插口内。通过设置嵌入式插件使得传动辊可嵌入式安装在支架上，使安装更便捷。在两端端头设置耐磨性优良的轴承，提高耐磨性，增加传动辊的使用寿命。通过将传动辊材料变为铝管或者不锈钢材料，能够减轻传动辊的重量，减小支架变形导致传动辊的水平偏差，造成电池片过刻的异常。

Description

一种辊道结构及其链式清洗设备

技术领域

本实用新型涉及半导体清洁领域，具体涉及一种辊道结构及其链式清洗设备。

背景技术

如图1所示，为现有技术的用于半导体清洗领域的传动辊的剖视图，其采用实心工程塑料制成，单体重量大，并且传动辊两端不便于拆装，维护时从布满腐蚀性液体的槽体中取出较为困难。因此，对现有技术的传动辊进行结构调整，设计一种重量更轻，平整性好，并且也便于安装和拆卸的传动辊是必要的。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种辊道结构及其链式清洗设备，以解决上述问题。

为了实现上述目的，本实用新型实施例提供了一种辊道结构，包括：支架和若干传动辊，所述传动辊两端分别与所述支架的两侧壁转动连接；

所述支架上间隔开设有若干嵌插口；其中

所述传动辊依次嵌插在各所述嵌插口内。

进一步地，所述传动辊一端的端头处套设有一嵌入式插件，所述嵌入式插件与所述嵌插口相对应；以及

所述传动辊与所述嵌入式插件转动连接；其中

安装时，所述传动辊通过所述嵌入式插件依次嵌插在各所述嵌插口内。

进一步地，所述传动辊上固定设置有一传动部，所述传动部包括套设在所述传动辊端头处的轴承套和固定设置在所述传动辊端头处的传动齿轮；

所述传动齿轮设置在所述轴承套外侧；

所述嵌入式插件外套在所述轴承套外壁；其中

所述传动齿轮转动时，所述传动齿轮带动所述传动辊同步转动。

进一步地，所述传动辊远离所述传动齿轮的一端的端头设置有从动部，所述从动部与所述传动辊的端头转动连接；

所述从动部包括外套在所述传动辊的端头上的辊轴承和设置在所述辊轴承外侧的卡箍；

所述传动辊的端头上开设有一卡槽，所述卡箍可拆卸的套设在所述卡槽内。

进一步地，所述传动辊包括辊体和辊面，所述辊体设置在所述辊面内侧；以及

所述辊面沿长度方向等间距开设有若干吸附槽。

进一步地，所述辊体由铝管制成，所述辊面由PP材质或者PVDF材质制成。

进一步地，所述辊体由不锈钢制成，所述辊面由PP材质或者PVDF材质制成。

此外，本实用新型还提供了一种链式清洗设备，包括上述的一种辊道结构，

所述辊道结构固定设置在一蚀刻槽上，所述蚀刻槽内装有蚀刻液，所述辊面部分浸没在蚀刻液内。

相对于现有技术，本实用新型实施例具有以下有益效果：1、通过设置嵌入式插件使得传动辊可嵌入式安装在支架上，使安装更便捷。2、在两端端头设置耐磨性优良的轴承，提高耐磨性，增加传动辊的使用寿命。3、通过将传动辊棍体材料变为铝管或者不锈钢材料，能够减轻传动辊的重量，减小支架变形导致传动辊的水平偏差，造成电池片过刻的异常。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

图1示出了本实用新型的现有技术中传动辊的纵截面剖视图；

图2示出了本实用新型的一种辊道结构的立体图；

图3示出了本实用新型的传动辊的立体图；

图4示出了本实用新型的传动辊的爆炸图；

图5示出了本实用新型的传动辊的剖视图；

图6示出了本实用新型的蚀刻槽的剖视图。

图中：

1、支架；11、嵌插口；

2、传动辊；21、嵌入式插件；22、传动部；221、轴承套；222、传动齿轮；23、从动部；231、辊轴承；232、卡箍；233、卡槽；24、辊体；25、辊面；251、吸附槽；

3、蚀刻槽。

具体实施方式

现在结合附图对本实用新型作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本实用新型的基本结构，因此其仅显示与本实用新型有关的构成。

实施例1

如图2至6所示，本实用新型提供了一种辊道结构，包括：支架1和传动辊2。支架1上适于支撑若干传动辊2，传动辊2适于输送各工件。需要指出的是，本实施例中工件所指为太阳能硅片。针对于上述部件，下面进行一一详述。

支架1，支架1上适于安装若干若干传动辊2，具体来说，支架1上沿长度方向间隔开设有若干嵌插口11，一个传动辊2对应一个嵌插口11，以使各传动辊2能够依次嵌插在各嵌插口11内，并传动辊2两端分别与支架1的两侧壁可靠的转动连接。

需要说明的是，现有技术中的传动辊2通常采用实心工程塑料制成，因此现有技术中的传动辊2单体重量大不便于安装，维护时从布满腐蚀性液体的槽体中取出较为困难，因此本实施例中对传动辊2做出了改进，使得传动辊2能够通过上述嵌插的方式与支架1安装。

下面具体说明传动辊2的结构，所述传动辊2一端的端头处套设有一嵌入式插件21，所述嵌入式插件21与所述嵌插口11相对应。安装时，所述传动辊2通过所述嵌入式插件21依次嵌插在各所述嵌插口11内。通过嵌入式插件21与嵌插口11连接，使得传动辊2的主体能够安装到支架1上。所述传动辊2与所述嵌入式插件21转动连接，以确保传动辊2通过嵌入式插件21安装到支架1上后，传动辊2依然能够转动，以实现基本的输送工件的效果。

传动辊2在上述的清洗设备中，不仅仅用作输送工件的，而且在输送过程中，传动辊2还需要引导蚀刻液来对工件与传送辊接触的一面进行蚀刻。为了实现上述效果，所述传动辊2包括辊体24和辊面25，所述辊体（24）和所述辊面（25）均中空，且所述辊体（24）套定在所述辊面（25）内侧。所述辊面25沿长度方向等间距开设有若干吸附槽251。在使用过程中，传动辊2是部分浸没在蚀刻液中的，吸附槽251能够吸附蚀刻液，并且当辊体24转动至吸附槽251内的蚀刻液与工件的下表面接触时，蚀刻液能够对工件进行蚀刻操作。

为了便于对辊体24传递动力，以驱动辊体24转动，所述辊体24上固定设置有一传动部22，所述传动部22包括套设在所述辊体24端头处的轴承套221和固定设置在所述辊体24端头处的传动齿轮222。所述传动齿轮222设置在所述轴承套221外侧。所述嵌入式插件21外套在所述轴承套221外壁。通过上述设置，使得在清洗设备上设置对应的动力源件，并将动力源件与传动齿轮222连接后，动力源件驱动传动齿轮222转动时，传动齿轮222带动辊体24同步转动，进而传动，能够将放置在辊体24上的工件从支架1一端输送到支架1另一端。

此外，需要说明的是，上述结构从辊体24的一端将辊体24定位到支架1上，并实现了对辊体24的驱动效果，但是辊体24另一端也需要安装到支架1上，并对辊体24进行远离嵌入式插件21的一端限位到支架1上。为了解决上述问题，所述辊体24远离所述传动齿轮222的一端的端头设置有从动部23，所述从动部23与所述辊体24的端头转动连接。所述从动部23包括外套在所述辊体24的端头上的辊轴承231和设置在所述辊轴承231外侧的卡箍232。所述辊体24的端头上开设有一卡槽233，所述卡箍232可拆卸的套设在所述卡槽233内。通过上述设置，使得辊体24的嵌入式插件21插入嵌插口11后，将辊轴承231套221在辊体24远离嵌入式插件21的端头上，并将辊轴承231放置在支架1上，通过辊轴承231的设置，使得辊体24能够转动而不会与支架1产生摩擦，接着将将卡箍232安装到卡槽233上，从而对辊轴承231进行限位。

此外，随着太阳能硅片尺寸越来越大，产能要求也越来越高，现有技术中的辊体24由于是采用实心工程塑料制成，因而整体重量大，再承载越来越大的太阳能硅片后，会造成辊体24被压弯的效果，辊体24被压弯后，使得太阳能硅片浸没到蚀刻液内，造成太阳能硅片“过刻”的效果。因此还需要对辊体24进行改进，减轻辊体24的重量，并且提高辊体24的强度。因此，本实施例中辊体24的材料可选的采用铝管制成，辊面25由PP材质或者PVDF材质制成，使得辊体24在保证强度的情况下，内部空心，从而大大减小了辊体24的重量。

实施例2

本实施例是在实施例一的基础上实施的，本实施例中，将辊体24的材料由铝管换成不锈钢，所述辊面25由PP材质或者PVDF材质制成。

实施例3

本实施例中，提供了一种链式清洗设备，包括实施例二种所示的辊道结构，所述辊道结构固定设置在一蚀刻槽3上，所述蚀刻槽3内装有蚀刻液，所述辊面25部分浸没在蚀刻液内。辊体24转动时，所述辊面25经过蚀刻液，蚀刻液附着在吸附槽251内。所述辊体24继续转动时，吸附槽251内的蚀刻液与物料接触，以蚀刻物料的下表面。

值得一提的是，本实用新型专利申请涉及的辊道结构的其他部件等技术特征应被视为现有技术，这些技术特征的具体结构、工作原理以及可能涉及到的控制方式、空间布置方式采用本领域的常规选择即可，不应被视为本实用新型专利的发明点所在，本实用新型专利不做进一步具体展开详述。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种辊道结构，其特征在于，包括：

支架（1）和若干传动辊（2），所述传动辊（2）两端分别与所述支架（1）的两侧壁转动连接；

所述支架（1）上间隔开设有若干嵌插口（11）；其中

所述传动辊（2）包括辊体（24）和辊面（25），所述辊体（24）和所述辊面（25）均中空，且所述辊体（24）套定在所述辊面（25）内侧；

所述辊体（24）依次嵌插在各所述嵌插口（11）内。

2.如权利要求1所述的一种辊道结构，其特征在于，

所述辊体（24）一端的端头处套设有一嵌入式插件（21），所述嵌入式插件（21）与所述嵌插口（11）相对应；以及

所述辊体（24）与所述嵌入式插件（21）转动连接；其中

安装时，所述辊体（24）通过所述嵌入式插件（21）依次嵌插在各所述嵌插口（11）内。

3.如权利要求2所述的一种辊道结构，其特征在于，

所述辊体（24）上固定设置有一传动部（22），所述传动部（22）包括套设在所述辊体（24）端头处的轴承套（221）和固定设置在所述辊体（24）端头处的传动齿轮（222）；

所述传动齿轮（222）设置在所述轴承套（221）外侧；

所述嵌入式插件（21）外套在所述轴承套（221）外壁；其中

所述传动齿轮（222）转动时，所述传动齿轮（222）带动所述辊体（24）同步转动。

4.如权利要求3所述的一种辊道结构，其特征在于，

所述辊体（24）远离所述传动齿轮（222）的一端的端头设置有从动部（23），所述从动部（23）与所述辊体（24）的端头转动连接；

所述从动部（23）包括外套在所述辊体（24）的端头上的辊轴承（231）和设置在所述辊轴承（231）外侧的卡箍（232）；

所述辊体（24）的端头上开设有一卡槽（233），所述卡箍（232）可拆卸的套设在所述卡槽（233）内。

5.如权利要求1所述的一种辊道结构，其特征在于，

所述辊面（25）沿长度方向等间距开设有若干吸附槽（251）。

6.如权利要求5所述的一种辊道结构，其特征在于，

所述辊体（24）由铝管制成，所述辊面（25）由PP材质或者PVDF材质制成。

7.如权利要求5所述的一种辊道结构，其特征在于，

所述辊体（24）由不锈钢制成，所述辊面（25）由PP材质或者PVDF材质制成。

8.一种链式清洗设备，包括如权利要求4、6或7所述的一种辊道结构，其特征在于，

所述辊道结构固定设置在一蚀刻槽（3）上，所述蚀刻槽（3）内装有蚀刻液，所述辊面（25）浸没在蚀刻液内。