CN220120849U - 一种测试阴极装置的真空腔室 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供了一种测试阴极装置的真空腔室，其包含真空腔室和腔体外部机构组成，腔体外部机构依次设置有泵组装置、真空监测装置、检漏装置、转动电机装置、管道连接装置、冷却循环装置及门盖密封装置。该测试阴极装置的真空腔室实现测试腔室的抽真空、真空度监测、检漏等功能的同时通过门盖上设置的通口，更方便将阴极测试装置直接通过密封面连接到门盖上进行单组阴极测试或多组阴极测试。实现了对阴极装置等测试装置的重复模拟测试；提前测试模拟老化生产和提前预判产品的使用寿命及预防控制及提升产品的性能，为提升真空设备产品的稳定性和可靠性奠定坚实的基础。
Description
技术领域
本实用新型涉及太阳能电池真空腔室领域，尤其涉及一种测试阴极装置的真空腔室。
背景技术
真空设备作为太阳能电池生产的核心装备，其质量对生产设备进一步提升光伏生产设备的市场竞争力和生产产品的稳定性和可靠性具有重要意义，随着科技不断进步和企业对自主研发事项比较重视的情况下，为进一步提升产品的稳定性和可靠性，企业陆续推出很多自主研发设备及测试装置，为了适应实际需求，需对测试装置不断改进和优化以实现以下功能：可通过腔室装置重复模拟测试；通过自动监测，达到数据准确及测试可靠；测试模拟老化生产以提前预判产品的使用寿命及预防控制及提升产品的性能。
发明内容
为实现上述目的，本实用新型提供了一种测试阴极装置的真空腔室，其结构简洁，安装维护方便，在工作过程中可实时监测高低真空环境数值，再通过检漏仪器判定测试真空密封效果，测试阴极装置的真空腔室稳定可靠，可重复进行测试。
本实用新型采用如下技术方案：一种测试阴极装置的真空腔室，其包含真空腔室和腔体外部机构组成，所述真空腔室用于放置阴极测试装置及真空环境测试装置等测试装置；腔体外部机构依次设置有泵组装置、真空监测装置、检漏装置、转动电机装置、管道连接装置、冷却循环装置及门盖密封装置。
进一步的，所述泵组装置包含设置在真空腔室上表面的分子泵和连接在机械泵预抽口的独立机械泵。
进一步的，所述真空监测装置包含监测高真空度的高真空计和监测低真空度的低真空计。
进一步的，所述高真空计为高真空电离规；所述低真空计为低真空电阻规。
进一步的，所述检漏装置包含设置在管道侧面的检漏口和连接在检漏的外接独立检漏仪及检漏口手阀门。
进一步的，所述转动电机装置设置在冷却循环装置及门盖密封装置上，其包含阴极高速转动电机和阴极低速转动电机。
进一步的，所述管道连接装置包含连接各部件的连接管道和KF接头。
进一步的，所述冷却循环装置为冷却循环水系统，其包含安装测试阴极装置的真空腔室上的冷却水连接口及与之连接的外置独立水泵和水箱，其通过水泵循环使用水箱内的水，经冷却水连接口将冷却水分别供给分子泵及阴极测试冷却使用。
进一步的，所述门盖密封装置包含设置在内部空腔一外侧面的门盖、门盖密封圈。
进一步的，所述门盖设置有一组或多组通口，且通口均匹配有门盖盲板。
本实用新型提供的测试阴极装置的真空腔室具有如下有益效果：
该测试阴极装置的真空腔室通过泵组装置、真空监测装置、检漏装置、转动电机装置、管道连接装置、冷却循环装置实现测试腔室的抽真空、真空度监测、检漏等功能的同时通过门盖上设置的通口，更方便将阴极测试装置直接通过密封面连接到门盖上进行单组阴极测试或多组阴极测试。实现了对阴极装置等测试装置的重复模拟测试；提前测试模拟老化生产和提前预判产品的使用寿命及预防控制及提升产品的性能，为提升真空设备产品的稳定性和可靠性奠定坚实的基础。
附图说明
构成本申请的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：
图1为本实用新型一实施例的测试阴极装置的真空腔室的结构示意图。
图2为图1所示的俯视图。
图3为图1所示的右视图。
图4为本实用新型一实施例的测试阴极装置的真空腔室的门盖密封装置的示意图。
附图标号说明：真空腔室1、泵组装置2、分子泵21、机械泵预抽口22、真空监测装置3、高真空计31、低真空计32、检漏装置4、检漏口41、检漏口手阀门42、转动电机装置5、阴极高速转动电机51和阴极低速转动电机52、管道连接装置6、连接管道61、KF接头62、冷却循环装置7、冷却水连接口71、门盖密封装置8、门盖81、门盖密封圈82、通口81-1、门盖盲板81-2。
具体实施方式
为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
如图1-4所示，一种测试阴极装置的真空腔室，其包含真空腔室1和腔体外部机构组成，所述真空腔室用于放置阴极测试装置及真空环境测试装置等测试装置；腔体外部机构依次设置有泵组装置2、真空监测装置3、检漏装置4、转动电机装置5、管道连接装置6、冷却循环装置7及门盖密封装置8。
其中，所述泵组装置包含设置在真空腔室上表面的分子泵21和连接在机械泵预抽口22的外置独立机械泵。所述真空监测装置3包含监测高真空度的高真空计31和监测低真空度的低真空计32；所述高真空计31为高真空电离规；所述低真空计32为低真空电阻规。
所述检漏装置4包含设置在管道侧面的检漏口41和连接在检漏口的外接独立检漏仪及保护检漏仪的检漏口手阀门42。
所述转动电机装置5设置在冷却循环装置及门盖密封装置8上，其包含阴极高速转动电机51和阴极低速转动电机52。
所述管道连接装置6包含连接各部件的连接管道61和KF接头62。
所述冷却循环装置7为冷却循环水系统，其包含安装测试阴极装置的真空腔室上的冷却水连接口71及与之连接的外置独立水泵和水箱，其通过水泵循环使用水箱内的水，经冷却水连接口71将冷却水分别供给分子泵21及阴极测试冷却使用。
所述门盖密封装置8包含设置在内部空腔一外侧面的门盖81、门盖密封圈82。所述门盖81开有一组或多组通口81-1，且通口均匹配有门盖盲板81-2。
该测试阴极头的真空腔室的工作过程包含：首先通过机械泵和分子泵前级抽气，达到本底高真空状态，利用真空计进行监测，放置阴极装置进行模拟真空状态下测试及检漏。具体的，首先将阴极低速电机52和高速电机装置51安装到门盖81上，再将门盖81关闭，开启机械泵，通过机械泵预抽口42将真空度抽高，通过低真空电阻规32显示监测，当低真空抽至达到高真空时，关闭机械泵预抽口42，在开启分子泵41进行抽真空，通过高真空电离规31显示监测，继续将分子泵连接管道61和真空腔1内气压抽至本底高真空状态，再将检漏仪和检漏口41对接，检漏口手阀门42处于关闭状态，待抽至本底后开启检漏口手阀42进行检漏密封性，密封性达到要求时，再开启其中一组阴极高速转动电机51进行测试，另外一组可用门盖盲板81-1密封圈，再阴极高速电机转动51测试时冷却水系统9处于开启状态，供应给阴极测试和分子泵循环使用，以免造成设备损坏。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本专利，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本专利的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种测试阴极装置的真空腔室，其特征在于：所述测试阴极装置的真空腔室包含真空腔室和腔体外部机构组成，腔体外部机构依次设置有泵组装置、真空监测装置、检漏装置、转动电机装置、管道连接装置、冷却循环装置及门盖密封装置。
2.根据权利要求1所述测试阴极装置的真空腔室，其特征还在于：所述泵组装置包含设置在真空腔室上表面的分子泵和连接在机械泵预抽口的独立机械泵。
3.根据权利要求1所述测试阴极装置的真空腔室，其特征还在于：所述真空监测装置包含监测高真空度的高真空计和监测低真空度的低真空计。
4.根据权利要求3所述测试阴极装置的真空腔室，其特征还在于：所述高真空计为高真空电离规；所述低真空计为低真空电阻规。
5.根据权利要求1所述测试阴极装置的真空腔室，其特征还在于：所述检漏装置包含设置在管道侧面的检漏口和连接在检漏的外接独立检漏仪及检漏口手阀门。
6.根据权利要求1所述测试阴极装置的真空腔室，其特征还在于：所述转动电机装置设置在冷却循环装置及门盖密封装置上，其包含阴极高速转动电机和阴极低速转动电机。
7.根据权利要求1所述测试阴极装置的真空腔室，其特征还在于：所述管道连接装置包含连接各部件的连接管道和KF接头。
8.根据权利要求1所述测试阴极装置的真空腔室，其特征还在于：所述冷却循环装置为冷却循环水系统，其包含安装测试阴极装置的真空腔室上的冷却水连接口及与之连接的外置独立水泵和水箱。
9.根据权利要求1所述测试阴极装置的真空腔室，其特征还在于：所述门盖密封装置包含设置在内部空腔一外侧面的门盖、门盖密封圈。
10.根据权利要求9所述测试阴极装置的真空腔室，其特征还在于：所述门盖设置有一组或多组通口，且通口均匹配有门盖盲板。
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