CN220105213U - 一种芯片检验治具 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种芯片检验治具，包括底座；所述底座上设置有检测平台；探针组件，包括多根半导体探针；直线往复运动组件，包括手柄、曲柄、连杆以及滑动座，所述曲柄一端与所述底座铰接，另一端与所述连杆的一端铰接，所述连杆远离所述曲柄的一端与所述滑动座铰接，所述手柄固设于所述曲柄上，且临近所述曲柄与所述连杆的铰接端；所述探针组件固设于所述滑动座上，待测晶圆放置于所述检测平台，所述扳动所述手柄可带动所述探针组件的检测端向所述检测平台所在方向直线移动，半导体探针与芯片触点接触，实现芯片与测试机连通，进行人工检测。

Description

一种芯片检验治具

技术领域

本实用新型属于芯片检测技术领域，具体地说是涉及一种芯片检验治具。

背景技术

由于半导体芯片产品的生产工艺十分繁杂，任何工序的差错都可能导致出现大量产品质量不合格，并对终端应用产品的性能造成重大影响，因此测试对于半导体产品的生产而言至关重要，贯穿半导体产品设计、制造、封装及应用的全过程。成品测试，又称终测，是指对封装完成后的芯片进行功能和电参数测试，保证出厂的每颗芯片的功能和性能指标能够达到设计规范要求。测试时，被测芯片的引脚通过安装在测试座上的探针与测试机的功能模块进行连接，测试机对芯片施加输入信号并采集输出信号，判断芯片功能和性能是否达到设计规范要求；企业大部分都采用分选机配合测试机在线进行检测，但是对于一些小批量的定制芯片，在线检测的成本投入将会很大，为了控制生产成本，就需要通过人工进行芯片检测，为此需要开发一款方便使用、易于维护的检测治具。

发明内容

本实用新型的目的是提供一种芯片检验治具，其意在解决背景技术中存在的技术问题。

为解决上述技术问题，本实用新型的目的是这样实现的：

一种芯片检验治具，包括

底座；所述底座上设置有检测平台；

探针组件，包括多根半导体探针；

直线往复运动组件，包括手柄、曲柄、连杆以及滑动座，所述曲柄一端与所述底座铰接，另一端与所述连杆的一端铰接，所述连杆远离所述曲柄的一端与所述滑动座铰接，所述手柄固设于所述曲柄上，且临近所述曲柄与所述连杆的铰接端；所述探针组件固设于所述滑动座上，待测晶圆放置于所述检测平台，扳动所述手柄可带动所述探针组件的检测端向所述检测平台所在方向直线移动。

在上述方案的基础上并作为上述方案的优选方案：还包括导向滑块，所述导向滑块活动设置于所述底座上；所述滑动座固设于所述导向滑块上，以使所述滑动座仅能沿直线往复移动。

在上述方案的基础上并作为上述方案的优选方案：所述探针组件包括绝缘座，所述半导体探针固设于所述绝缘座，所述绝缘座固设于所述滑动座。

在上述方案的基础上并作为上述方案的优选方案：所述检测平台上设有芯片定位工装。

本实用新型相比现有技术突出且有益的技术效果是：通过手柄、曲柄、连杆以及滑动座形成曲柄连杆滑块结构，由此实现扳动手柄带动探针组件的检测端向检测平台所在方向直线移动，从而通过探针组件的半导体探针与放置在检测平台上的芯片触点接触，从而通过检测机对其进行测试，曲柄连杆滑块结构简单，易于维护和操作。

附图说明

图1是本实用新型的整体结构示意图；

图2是本实用新型的整体结构立体示意图。

具体实施方式

为使本申请的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合实施例中的附图，对实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本申请一部分实施例，而不是全部实施例。基于已给出的实施例，本领域普通技术人员在未做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

在本申请的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

在本申请的描述中，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。

结合图1-2所示，本申请公开了一种芯片检验治具，包括

底座；底座包括下底座1和上支座2，下底座1上设置有检测平台101；检测平台101上设有芯片定位工装10，定位工装10通过不同的芯片可以进行适应性的更换对应的定位工装即可，这里不在赘述。

直线往复运动组件，包括手柄3、曲柄4、连杆5以及滑动座6，曲柄4一端与底座铰接，另一端与连杆5的一端铰接，连杆5远离曲柄4的一端与滑动座6铰接，手柄3固设于曲柄4上，且临近曲柄4与连杆5的铰接端；探针组件7固设于滑动座6上，待测晶圆放置于检测平台11，扳动手柄3可带动探针组件7的检测端向检测平台11所在方向直线移动。当然，为了使得滑动座6移动更加稳定，降低直线运动过程中的偏摆，提高直线移动精度，本实施方式优选还包括导向滑块9，导向滑块9活动设置于底座上，具体的，可以优选上支座2上开设有燕尾槽，导向滑块9截面也为燕尾状，这样滑动过程平稳，精度高；滑动座6固设于导向滑块9上，以使滑动座6仅能沿直线往复平稳的移动，避免由晃动和偏摆导致检测效果不佳的问题。

探针组件7，包括多根半导体探针701和绝缘座702；绝缘座702上开设有多个半导体探针安装孔位，半导体探针701插入半导体探针安装孔位内实现将半导体探针701固设于绝缘座702上，绝缘座702螺栓703固设于滑动座6上。需要说明的是，半导体探针701的具体结构和工作原理与现有技术无异，这里不在赘述；绝缘座701可以采用尼龙或其他塑料材质进行制作。此外，探针组件7可以根据对应的芯片所需的检测点位进行适配加工，在检测时，更换匹配的探针组件7即可对相应的芯片进行检测。当然，对应的定位工装10也可以提前进行预制，通过现有技术中的固定方式将其固定安装在检测平台101上即可实现芯片的定位夹持；在检测平台101上可以加工定位孔或定位槽来对定位工装10进行定位，通过在定位工装10上加工适配的定位柱来实现定位工装的快速安装定位，以使的定位工装10在夹持芯片后，待检测的触点位能够和探针组件上的对应半导体探针位正对，那么半导体探针下移便可以精准的和芯片触点位接触。

具体的工作原理为：如图1-2所示，顺时针方向扳动手柄3，根据曲柄连杆滑块结构的运动机理，便可以带动滑动座6带动探针组件7下移，从而使得半导体探针与芯片芯片检测触点位接触，使其与测试机连通，实现测试；相反的，逆时针扳动手柄3，便可以带动探针组件7上移，测试结束，便可以根据测试结果筛分出良品和不良品，人工检测方便，整个装置结构简单稳定，维护成本低廉。

上述实施例仅为本实用新型的较佳实施例，并非依此限制本实用新型的保护范围，故：凡依本实用新型的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本实用新型的保护范围之内。

Claims (4)

1.一种芯片检验治具，其特征在于：包括

底座；所述底座上设置有检测平台(101)；

探针组件(7)，包括多根半导体探针(701)；

直线往复运动组件，包括手柄(3)、曲柄(4)、连杆(5)以及滑动座(6)，所述曲柄(4)一端与所述底座铰接，另一端与所述连杆(5)的一端铰接，所述连杆(5)远离所述曲柄(4)的一端与所述滑动座(6)铰接，所述手柄(3)固设于所述曲柄(4)上，且临近所述曲柄(4)与所述连杆(5)的铰接端；所述探针组件(7)固设于所述滑动座(6)上，待测晶圆放置于所述检测平台(101)，扳动所述手柄(3)可带动所述探针组件(7)的检测端向所述检测平台(101)所在方向直线移动。

2.根据权利要求1所述的一种芯片检验治具，其特征在于：还包括导向滑块(9)，所述导向滑块(9)活动设置于所述底座上；所述滑动座(6)固设于所述导向滑块(9)上，以使所述滑动座(6)仅能沿直线往复移动。

3.根据权利要求1所述的一种芯片检验治具，其特征在于：所述探针组件(7)包括绝缘座(702)，所述半导体探针(701)固设于所述绝缘座(702)，所述绝缘座(702)固设于所述滑动座(6)。

4.根据权利要求1所述的一种芯片检验治具，其特征在于：所述检测平台(101)上设有芯片定位工装(10)。