CN220041790U - 修复工具 - Google Patents

Abstract

本申请提供一种修复工具，用于修复晶圆打包机中变形的真空吸嘴，修复工具包括支杆、主杆、活动件以及弹性件，支杆具有两个，主杆具有一个，主杆位于两个支杆之间，支杆以及主杆均与活动件连接，弹性件设置于活动件内，且位于支杆与主杆之间；支杆包括第一支撑件和与第一支撑件连接的第二支撑件，自第一支撑件朝向第二支撑件的方向上，第二支撑件的厚度逐渐递减，第二支撑件用于撑开真空吸嘴，以使主杆进入真空吸嘴中，以修复真空吸嘴，提高了修复真空吸嘴的修复效率。

Description

修复工具

技术领域

本申请涉及半导体技术领域，具体涉及一种修复工具。

背景技术

晶圆在完成质量检验之后打包出货时，需要进行抽真空处理，抽真空需把真空吸嘴插到覆盖铝膜的晶圆前开口装运箱(Front Opening Shipping Box，FOSB)边，但因抽真空过程中容易造成打包机的真空吸嘴受到晶圆FOSB下压而发生变形，进而影响抽真空量，从而造成打包时间变长或者打包失败。

目前，通常采用一些现有的修复工具对真空吸嘴进行修复，但使用现有的工具修复真空吸嘴的修复效率不高。

实用新型内容

鉴于此，本申请提供一种修复工具，以解决采用现有的修复工具修复真空吸嘴效率不高的问题。

本申请提供一种修复工具，用于修复晶圆打包机中变形的真空吸嘴，所述修复工具包括支杆、主杆、活动件以及弹性件，所述支杆具有两个，所述主杆具有一个，所述主杆位于两个所述支杆之间，所述支杆以及所述主杆均与所述活动件连接，所述弹性件设置于所述活动件内，且位于所述支杆与所述主杆之间；所述支杆包括第一支撑件以及与所述第一支撑件连接的第二支撑件，自所述第一支撑件朝向所述第二支撑件的方向上，所述第二支撑件的厚度逐渐递减，所述第二支撑件用于撑开所述真空吸嘴，以使所述主杆进入所述真空吸嘴中，以修复所述真空吸嘴。

其中，所述第二支撑件靠近所述主杆的一面与所述第一支撑件靠近所述主杆的一面平齐，所述第二支撑件远离所述主杆的一面为倾斜面。

其中，所述第二支撑件靠近所述主杆的一面以及所述第二支撑件远离所述主杆的一面均为倾斜面。

其中，所述第一支撑件以及所述主杆远离所述第二支撑件的一端均设置有防滑件。

其中，自所述第一支撑件朝向所述第二支撑件的方向上，所述第一支撑件的正投影位于所述防滑件的正投影内。

其中，所述第一支撑件与所述第二支撑件为一体结构。

其中，所述第一支撑件与所述第二支撑件之间通过固定件连接。

其中，所述弹性件为弹簧。

其中，所述活动件具有三个间隔设置的通孔，两个所述支杆和一个所述主杆通过所述通孔连接于所述活动件。

其中，所述活动件设置于所述第一支撑件远离所述第二支撑件的一侧。

本申请提供一种修复工具，用于修复晶圆打包机中变形的真空吸嘴，修复工具包括支杆、主杆、活动件以及弹性件，支杆具有两个，主杆具有一个，主杆位于两个支杆之间，支杆以及主杆均与活动件连接，弹性件设置于活动件内，且位于支杆与主杆之间；支杆包括第一支撑件和与第一支撑件连接的第二支撑件，自第一支撑件朝向第二支撑件的方向上，第二支撑件的厚度逐渐递减，第二支撑件用于撑开真空吸嘴，以使主杆进入真空吸嘴中，以修复变形的真空吸嘴。通过设计一种新的修复工具，即修复工具包括支杆、主杆、活动件以及弹性件，主杆位于两个支杆之间，支杆以及主杆均与活动件连接，弹性件设置于活动件内，且自第一支撑件朝向第二支撑件的方向上，将第二支撑件的厚度设置为逐渐递减，即第二支撑件远离第一支撑件的一端为尖端，利用第二支撑件的尖端，将闭塞的真空吸嘴撑开一定的空间，以使得主杆进入到变形的真空吸嘴中，就可以对真空吸嘴变形的区域进行修复，无需手工修复，提高了修复真空吸嘴的修复效率，且可以降低人员受到损伤的风险。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本申请提供的修复工具的结构示意图；

图2是图1中的修复工具的俯视结构示意图；

图3是本申请提供的修复工具在修复变形的真空吸嘴的结构示意图；

图4是本申请提供的修复工具在按压过程中的结构示意图。

附图标记：

10、修复工具；20、真空吸嘴；100、支杆；110、第一支撑件；120、第二支撑件；121、倾斜面；200、主杆；300、活动件；301、通孔；400、弹性件；500、防滑件。

具体实施方式

下面结合附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本申请一部分实施例，而非全部实施例。基于本申请中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。在不冲突的情况下，下述各个实施例及其技术特征可以相互组合。

本申请提供一种修复工具，用于修复晶圆打包机中变形的真空吸嘴，修复工具包括支杆、主杆、活动件以及弹性件，支杆具有两个，主杆具有一个，主杆位于两个支杆之间，支杆以及主杆均与活动件连接，弹性件设置于活动件内，且位于支杆与主杆之间；支杆包括第一支撑件和与第一支撑件连接的第二支撑件，自第一支撑件朝向第二支撑件的方向上，第二支撑件的厚度逐渐递减，第二支撑件用于撑开真空吸嘴，以使主杆进入真空吸嘴中，以修复变形的真空吸嘴。

在本申请中，通过设计一种新的修复工具，即修复工具包括支杆、主杆、活动件以及弹性件，主杆位于两个支杆之间，支杆以及主杆均与活动件连接，弹性件设置于活动件内，且自第一支撑件朝向第二支撑件的方向上，将第二支撑件的厚度设置为逐渐递减，即第二支撑件远离第一支撑件的一端为尖端，利用第二支撑件的尖端，将闭塞的真空吸嘴撑开一定的空间，以使得主杆进入到变形的真空吸嘴中，就可以对真空吸嘴变形的区域进行修复，无需手工修复，提高了修复真空吸嘴的修复效率，且可以降低人员损伤的风险。

请参考图1-图4，图1是本申请提供的修复工具的结构示意图；图2是图1中的修复工具的俯视结构示意图；图3是本申请提供的修复工具在修复变形的真空吸嘴的结构示意图；图4是本申请提供的修复工具在按压过程中的结构示意图。

本申请提供一种修复工具10，用于修复晶圆打包机中变形的真空吸嘴20，修复工具10包括支杆100、主杆200、活动件300以及弹性件400，支杆100具有两个，主杆200具有一个，主杆200位于两个支杆100之间，支杆100以及主杆200均与活动件300连接，弹性件400设置于活动件300内，且位于支杆100与主杆200之间；支杆100包括第一支撑件110以及与第一支撑件110连接的第二支撑件120，自第一支撑件110朝向第二支撑件120的方向上，第二支撑件120的厚度d逐渐递减，第二支撑件120用于撑开真空吸嘴20，以使主杆200进入真空吸嘴20中，以修复真空吸嘴20。具体的，主杆200和支杆100均采用铝合金材料制成；自支杆100朝向主杆200的方向上，支杆100的正投影与主杆200的正投影至少部分重叠，第二支撑件120远离第一支撑件110的一端为尖端；活动件300设置于第一支撑件110远离第二支撑件120的一端，活动件300内部为中空，弹性件400设置于活动件300的内部，活动件300具有三个间隔设置的通孔301，两个支杆100和一个主杆200通过通孔301连接于活动件300；当需要修复真空吸嘴20时，对支杆100施加一个力，并向外抽出部分主杆200或者抽出整个主杆200，支杆100朝向主杆200的方向挤压，缩小两根支杆100之间的距离，甚至使两根支杆100之间贴合，然后，将第二支撑件120的尖端插入闭塞的真空吸嘴20中，以撑开一定的空间，将主杆200推入真空吸嘴20中，就可以用主杆200修复真空吸嘴20中变形的区域。

在本申请中，通过设计一种新的修复工具10，即修复工具10包括支杆100、主杆200、活动件300以及弹性件400，主杆200位于两个支杆100之间，支杆100以及主杆200均与活动件300连接，弹性件400设置于活动件300内，且自第一支撑件110朝向第二支撑件120的方向上，将第二支撑件120的厚度设置为逐渐递减，利用第二支撑件120的尖端，将闭塞的真空吸嘴20撑开一定的空间，以使得主杆200进入到变形的真空吸嘴20中，就可以对真空吸嘴20变形的区域进行修复，无需手工修复，无需花费太多的时间操作就可以达到修复真空吸嘴20的目的，且该修复工具10也无需使用太大的力才可以操作，提高了修复真空吸嘴20的修复效率，并可以降低人员损伤的风险。

在一实施例中，第二支撑件120靠近主杆200的一面与第一支撑件110靠近主杆200的一面平齐，第二支撑件120远离主杆200的一面为倾斜面121。

在本申请中，将第二支撑件120靠近主杆200的一面设置为与第一支撑件110靠近主杆200的一面平齐，第二支撑件120远离主杆200的一面设置为倾斜面121，使得支杆100在按压时，两个支杆100之间的进一步缩短，甚至贴合，使得第二支撑件120更便于插入缝隙更小的真空吸嘴20中，以进一步提高修复真空吸嘴20的修复效率。

在一实施例中，第一支撑件110以及主杆200远离第二支撑件120的一端均设置有防滑件500。具体的，防滑件500采用防滑橡胶材质制成，防滑件500设置第一支撑件110以及主杆200远离第二支撑件120的末端。

在本申请中，在第一支撑件110以及主杆200远离第二支撑件120的一端均设置有防滑件500，避免修复工具10在使用的过程中，修复工具10滑落且更好施力，进而提高修复的效率。

在一实施例中，自第一支撑件110朝向第二支撑件120的方向上，第一支撑件110的正投影位于防滑件500的正投影内。具体的，自第一支撑件110朝向第二支撑件120的方向上，第一支撑件110的面积小于防滑件500的面积。

在本申请中，自第一支撑件110朝向第二支撑件120的方向上，将第一支撑件110的正投影设置为位于防滑件500的正投影内，使得可以避免修复工具10在使用的过程中，修复工具10滑落且更好施力的同时，避免挤压支杆100时，速度过快，而导致支杆100与主杆200之间出现碰撞或磕碰，从而降低修复工具10出现损伤的风险。

在一实施例中，第一支撑件110与第二支撑件120为一体结构。

在本申请中，将第一支撑件110与第二支撑件120设置为一体结构，避免第一支撑件110与第二支撑件120之间出现松动。

在另一实施例中，第一支撑件110与第二支撑件120之间通过固定件连接，即第一支撑件110与第二支撑件120为可拆卸连接。

在本申请中，将第一支撑件110与第二支撑件120设置为可拆卸连接，使得第一支撑件110或第二支撑件120出现损坏时，便于更换部件。

在一实施例中，弹性件400为弹簧，以使得在使用修复工具10修复真空吸嘴20时，更省力。可选的，弹性件400也可以为其他。

在另一实施例中，第二支撑件120靠近主杆200的一面以及第二支撑件120远离主杆200的一面均为倾斜面121，以进一步提高修复真空吸嘴20的效率。

本申请提供一种修复工具10，用于修复晶圆打包机中变形的真空吸嘴20，通过设计一种新的修复工具10，即修复工具10包括支杆100、主杆200、活动件300以及弹性件400，主杆200位于两个支杆100之间，支杆100以及主杆200均与活动件300连接，弹性件400设置于活动件300内，且自第一支撑件110朝向第二支撑件120的方向上，将第二支撑件120的厚度设置为逐渐递减，利用第二支撑件120的尖端，将闭塞的真空吸嘴20撑开一定的空间，以使得主杆200进入到变形的真空吸嘴20中，就可以对真空吸嘴20变形的区域进行修复，无需手工修复，无需花费太多的时间操作就可以达到修复真空吸嘴20的目的，且该修复工具10也无需使用太大的力才可以操作，提高了修复真空吸嘴20的修复效率，并可以降低人员损伤的风险。

以上所述仅为本申请的实施例，并非因此限制本申请的专利范围，凡是利用本申请说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，例如各实施例之间技术特征的相互结合，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本申请的专利保护范围内。

Claims (10)

1.一种修复工具，其特征在于，用于修复晶圆打包机中变形的真空吸嘴，所述修复工具包括支杆、主杆、活动件以及弹性件，所述支杆具有两个，所述主杆具有一个，所述主杆位于两个所述支杆之间，所述支杆以及所述主杆均与所述活动件连接，所述弹性件设置于所述活动件内，且位于所述支杆与所述主杆之间；所述支杆包括第一支撑件以及与所述第一支撑件连接的第二支撑件，自所述第一支撑件朝向所述第二支撑件的方向上，所述第二支撑件的厚度逐渐递减，所述第二支撑件用于撑开所述真空吸嘴，以使所述主杆进入所述真空吸嘴中，以修复所述真空吸嘴。

2.根据权利要求1所述的修复工具，其特征在于，所述第二支撑件靠近所述主杆的一面与所述第一支撑件靠近所述主杆的一面平齐，所述第二支撑件远离所述主杆的一面为倾斜面。

3.根据权利要求1所述的修复工具，其特征在于，所述第二支撑件靠近所述主杆的一面以及所述第二支撑件远离所述主杆的一面均为倾斜面。

4.根据权利要求2所述的修复工具，其特征在于，所述第一支撑件以及所述主杆远离所述第二支撑件的一端均设置有防滑件。

5.根据权利要求4所述的修复工具，其特征在于，自所述第一支撑件朝向所述第二支撑件的方向上，所述第一支撑件的正投影位于所述防滑件的正投影内。

6.根据权利要求1-5任一项所述的修复工具，其特征在于，所述第一支撑件与所述第二支撑件为一体结构。

7.根据权利要求1-5任一项所述的修复工具，其特征在于，所述第一支撑件与所述第二支撑件之间通过固定件连接。

8.根据权利要求1-5任一项所述的修复工具，其特征在于，所述弹性件为弹簧。

9.根据权利要求1-5任一项所述的修复工具，其特征在于，所述活动件具有三个间隔设置的通孔，两个所述支杆和一个所述主杆通过所述通孔连接于所述活动件。

10.根据权利要求1-5任一项所述的修复工具，其特征在于，所述活动件设置于所述第一支撑件远离所述第二支撑件的一侧。