CN220040961U - 曝光设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种曝光设备，所述曝光设备包括：龙门架，所述龙门架构造有龙门横梁，所述龙门横梁的顶面设有沿长度方向延伸的第一上滑轨和第二上滑轨，所述第一上滑轨和所述第二上滑轨沿所述龙门横梁的宽度方向平行设置，所述龙门横梁的侧面形成有沿长度方向延伸的侧滑轨；曝光移动台，所述曝光移动台设有顶板和侧板，所述顶板配合于所述第一上滑轨和所述第二上滑轨移动，所述侧板配合于所述侧滑轨移动；曝光组件，所述曝光组件安装于所述曝光移动台的侧板；工作台，所述工作台的上表面沿水平延伸且位于所述曝光组件的下方，所述工作台适于吸附曝光件根据本实用新型实施例的曝光设备，具有稳定性强、精度高、结构紧凑等优点。

Description

曝光设备

技术领域

本实用新型涉及光刻技术领域，尤其是涉及一种曝光设备。

背景技术

相关技术中的曝光设备的曝光组件通过曝光移动台安装于龙门横梁上，为保证曝光组件移动的稳定性，曝光移动台的导轨处于龙门横梁的顶部，由于曝光位置处于龙门横梁的下方，曝光移动台上安装的曝光组件距离曝光位置较远，由于曝光组件的曝光中心位置离曝光平台的位置越远，曝光误差值越大，且占用空间较大。若减小曝光组件和工作台的距离，需要减少龙门横梁的厚度，使曝光设备距离曝光位置较近，但厚度较薄的龙门横梁容易发生形变，结构刚性弱，易引起振动，同样会影响光路曝光精度。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型的一个目的在于提出一种曝光设备，该曝光设备具有稳定性强、精度高、结构紧凑等优点。

为实现上述目的，根据本实用新型实施例的曝光设备，包括：龙门架，所述龙门架构造有龙门横梁，所述龙门横梁的顶面设有沿长度方向延伸的第一上滑轨和第二上滑轨，所述第一上滑轨和所述第二上滑轨沿所述龙门横梁的宽度方向平行设置，所述龙门横梁的侧面形成有沿长度方向延伸的侧滑轨；曝光移动台，所述曝光移动台设有顶板和侧板，所述曝光移动台的顶板配合于所述第一上滑轨和所述第二上滑轨移动，所述曝光移动台的侧板配合于所述侧滑轨移动；曝光组件，所述曝光组件安装于所述曝光移动台的侧板；工作台，所述工作台的上表面沿水平延伸且位于所述曝光组件的下方，所述工作台适于吸附曝光件。

根据本实用新型实施例的曝光设备，具有稳定性强、精度高、结构紧凑等优点。

根据本实用新型的一些具体实施例，所述曝光移动台的顶板的底部连接有第一上滑块和第二上滑块，所述第一上滑块配合于所述第一上滑轨，所述第二上滑块配合于所述第二上滑轨，所述曝光移动台的侧板的朝向龙门横梁的一侧连接有侧滑块，所述侧滑块配合于所述侧滑轨。

根据本实用新型的一些具体实施例，所述第一上滑块、所述第二上滑块和所述侧滑块均为多个，多个所述第一上滑块、所述第二上滑块和所述侧滑块均沿所述龙门横梁的长度方向间隔设置。

根据本实用新型的一些具体实施例，所述曝光组件包括：曝光支架，所述曝光支架安装于所述曝光移动台的侧板；曝光头，所述曝光头安装于所述曝光支架。

根据本实用新型的一些具体实施例，所述曝光支架包括：侧连接板，所述侧连接板连接于所述曝光移动台的侧板；曝光头安装板，所述曝光头安装板连接于所述侧连接板的底部；加强筋，所述加强筋在所述侧连接板和所述曝光头安装板的两端，所述连接板连接于所述侧连接板和所述曝光头安装板。

进一步地，所述曝光头为多个，多个所述曝光头沿所述曝光支架的长度方向排列。

根据本实用新型的一些具体实施例，所述工作台包括：第一扫描运动平台，所述第一扫描运动平台位于所述曝光组件的下方；第二扫描运动平台，所述第二扫描运动平台位于所述曝光组件的下方，所述第二扫描运动平台和所述第一扫描运动平台沿所述龙门横梁的长度方向排列。

根据本实用新型的一些具体实施例，所述第一扫描运动平台和所述第二扫描运动平台均包括：真空吸盘，所述第一扫描运动平台和所述第二扫描运动平台的所述真空吸盘分别适于吸附曝光件；移动底座，所述第一扫描运动平台的所述移动底座和所述第二扫描运动平台的所述移动底座均沿垂直于所述龙门横梁的长度方向可移动。

根据本实用新型的一些具体实施例，所述龙门横梁的上表面设有直线电机定子，所述曝光移动台的顶板的底面设有直线电机动子，所述直线电机定子和所述直线电机定子均处于所述第一上滑轨和所述第二上滑轨之间。

根据本实用新型的一些具体实施例，所述曝光设备，还包括：光栅尺，所述光栅安装于所述侧滑轨所在的所述龙门横梁的同一侧面，所述光栅尺与所述侧滑轨平行；读数头，所述读数头连接于所述曝光移动台的侧板长度方向的一侧边缘。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1是根据本实用新型实施例的曝光设备的结构示意图；

图2是根据本实用新型实施例的曝光设备的爆炸图

图3是根据本实用新型实施例的曝光设备的龙门横梁和曝光组件的结构示意图。

附图标记：

曝光设备1、龙门架100、龙门横梁110、第一上滑轨111、第二上滑轨112、

侧滑轨113、曝光移动台200、顶板210、侧板220、

曝光组件300、工作台400、第一上滑块114、第二上滑块115、

侧滑块116、曝光头500、曝光支架600、真空吸盘410、移动底座420、

第一扫描运动平台401、第二扫描运动平台402、光栅尺700、读数头800、

直线电机动子230、直线电机定子120、侧连接板610、曝光头安装板620、

加强筋630。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，“第一特征”、“第二特征”可以包括一个或者更多个该特征。

在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，“若干”的含义是一个或多个。

在本实用新型的描述中，第一特征在第二特征“之上”或“之下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。

在本实用新型的描述中，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。

下面参考附图描述根据本实用新型实施例的曝光设备1。

根据本实用新型实施例的曝光设备1，包括龙门架100、曝光移动台200、曝光组件300和工作台400。

龙门架100构造有龙门横梁110，龙门横梁110的顶面设有沿长度方向延伸的第一上滑轨111和第二上滑轨112，第一上滑轨111和第二上滑轨112沿龙门横梁110的宽度方向平行设置，龙门横梁110的侧面形成有沿长度方向延伸的侧滑轨113。曝光移动台200设有顶板210和侧板220，顶板210配合于第一上滑轨111和第二上滑轨112移动，曝光移动台200的侧板220配合于侧滑轨113移动。曝光组件300安装于曝光移动台200的侧板220。工作台400的上表面沿水平延伸且适于吸附曝光件。

例如，曝光件为PCB板，曝光组件300将线路图形以激光束的形式在涂有光致抗蚀剂的PCB板上，从而将图形转移光刻至PCB板上。举例而言，龙门架100安装于工作台400，龙门横梁110的底部构造有立柱以支撑龙门横梁110。龙门横梁110处于工作台400的正上方，曝光组件300沿长度方向移动，从而在龙门横梁110的长度方向各处进行曝光。

根据本实用新型实施例的曝光设备1，通过龙门横梁110的顶面构造有第一上滑轨111和第二上滑轨112且侧面构造有侧滑轨113，曝光移动台200及其上的曝光组件300移动过程中在水平方向上和竖直方向上均可以保持稳定，提高曝光精度。曝光移动台200通过构造顶板210和侧板220，可以与龙门横梁110的顶面和侧面形状相适配，顶板210配合龙门横梁110顶面的第一上滑轨111和第二上滑轨112滑动，曝光移动台200的侧板220配合龙门横梁110侧面的侧滑轨113滑动，保证了定位运动平台的稳定性。

曝光移动台200的顶板210和侧板220相互垂直，曝光组件300的安装位置可以邻近龙门横梁110的侧面，从而距离工作台400距离较近，具有较近的曝光距离。龙门横梁110的厚度也可以设计较厚的厚度，保证龙门横梁110的结构强度和刚度，防止龙门横梁110变形以及发生振动。由此，曝光设备1既可以在较近的位置曝光，也不会破坏龙门横梁110的稳定性。

因此，根据本实用新型实施例的把曝光设备1，具有稳定性强、精度高、结构紧凑等优点。

在本实用新型的一些具体实施例中，如图2所示，曝光移动台200的顶板210的底部连接有第一上滑块114和第二上滑块115，第一上滑块114配合于第一上滑轨111，第二上滑块115配合于第二上滑轨112，曝光移动台200的侧板220的朝向龙门横梁110的一侧连接有侧滑块116，侧滑块116配合于侧滑轨113。

第一上滑块114和第二上滑块115可以使顶板210始终保持水平状态，侧滑块116配合侧滑轨113使曝光移动台200的侧板220保持在竖直状态，保证曝光组件300的光路始终保持竖直向下曝光，曝光更加精准。

在本实用新型的一些具体实施例中，如图2所示，第一上滑块114、第二上滑块115和侧滑块116均为多个，多个第一上滑块114沿龙门横梁110的长度方向间隔设置，多个第二上滑块115沿龙门横梁110的长度方向间隔设置，多个侧滑块116沿龙门横梁110的长度方向间隔设置。

通过构造多个第一上滑块114、多个第二上滑块115和多个侧滑块116，可以在第一上滑轨111、第二上滑轨112和侧滑轨113的延伸方向上的各处均对曝光移动台200提供支撑，使曝光移动台200及其安装的曝光组件300移动过程更加平顺和平稳，保证曝光效果。

在本实用新型的一些具体实施例中，如图3所示，曝光组件300包括曝光支架600和曝光头500，曝光支架600安装于曝光移动台200的侧板220。曝光头500安装于曝光支架600。

通过曝光支架600安装曝光头500，且曝光支架600贴合于侧板220，提升曝光头500成像的精度，使曝光头500距离曝光移动台200的距离较近，从而降低曝光支架600晃动，避免对曝光光路产生影响。

在本实用新型的一些具体实施例中，如图3所示，曝光支架600包括侧连接板610、曝光头安装板620和加强筋630。

侧连接板610连接于曝光移动台200的侧板220。曝光头安装板620连接于侧连接板610的底部。加强筋630在侧连接板610和曝光头安装板620的两端，连接板连接于侧连接板610和曝光头安装板620。

侧连接板610连接于曝光移动台200的侧板220，使曝光支架600与侧板220具有较高的贴合性。曝光头安装板620垂直于侧连接板610，曝光头500穿过曝光头安装板620安装。在侧连接板610和曝光头安装板620的两端连接加强筋630，可以防止侧连接板610和曝光头安装板620发生变形，保证曝光头500的光路竖直向下。

进一步地，曝光头500为多个，如图3所示，多个曝光头500沿曝光支架600的长度方向排列。多个曝光头500可以同时进行曝光或单独曝光，提升曝光效率。多个曝光头500也可以提高曝光的范围，可以根据需求调整使用。

在本实用新型的一些具体实施例中，如图1所示，工作台400包括第一扫描运动平台401和第二扫描运动平台402。第一扫描运动平台401位于曝光组件300的下方。第二扫描运动平台402位于曝光组件300的下方，第二扫描运动平台402和第一扫描运动平台401沿龙门横梁110的长度方向排列。

其中，第一扫描运动平台401和第二扫描运动平台402的运动路径垂直于曝光移动台200的运动路径。例如第一扫描运动平台401和第二扫描运动平台402可以移动至不同位置，利用曝光组件300分别对第一扫描运动平台401和第二扫描运动平台402上的工件进行加工，提升加工的灵活性。

在本实用新型的一些具体实施例中，如图1所示，第一扫描运动平台401和第二扫描运动平台402均包括真空吸盘410和移动底座420。第一扫描运动平台401和第二扫描运动平台402的真空吸盘410分别适于吸附曝光件。第一扫描运动平台401的移动底座420和第二扫描运动平台402的移动底座420均沿垂直于龙门横梁110的长度方向可移动。

例如，第一扫描运动平台401和第二扫描运动平台402沿横向移动，曝光移动台200及其安装的曝光组件300沿纵向移动，在第一扫描运动平台401和第二扫描运动平台402的上方的工件进行曝光。其中，第一扫描运动平台401和第二扫描运动平台402可以单独控制移动，真空吸盘410可以将工件吸附在第一扫描运动平台401和第二扫描运动平台402，保证曝光位置的准确性。

在本实用新型的一些具体实施例中，如图2和图3所示，龙门横梁110的上表面设有直线电机定子120，曝光移动台200的顶板210的底面设有直线电机动子230，直线电机定子120和直线电机定子120均处于第一上滑轨111和第二上滑轨112之间。

直线电机定子120和直线电机定子120均处于龙门横梁110的上方，利用定子和动子的电磁力，使曝光移动台200和龙门横梁110可以相互移动。直线电机定子120和直线电机定子120充分利用龙门横梁110顶面的空间，且第一上滑轨111和第二上滑轨112位于直线电机定子120和直线电机定子120的两侧，曝光移动台200的移动更稳定，且有利于直线电机动子230的散热。

在本实用新型的一些具体实施例中，如图3所示，曝光设备1还包括光栅尺700和读数头800。

光栅安装于侧滑轨113所在的龙门横梁110的同一侧面，光栅尺700与侧滑轨113平行。读数头800连接于曝光移动台200的侧板220长度方向的一侧边缘。

光栅尺700设于龙门横梁110的外侧面，读数头800移动方向平行于曝光装置曝光中心线方向，方便读取曝光组件300移动距离，光栅尺700与曝光头500的曝光位置较近，提高位置精度，此外光栅尺700位于龙门横梁110的侧面，使光栅尺700距离直线电机定子120和直线电机动子230的距离较远，降低直线电机动子230发热对光栅尺700的影响。

根据本实用新型实施例的曝光设备1的其他构成以及操作对于本领域普通技术人员而言都是已知的，这里不再详细描述。

在本说明书的描述中，参考术语“具体实施例”、“具体示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，本领域的普通技术人员可以理解：在不脱离本实用新型的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由权利要求及其等同物限定。

Claims (10)

1.一种曝光设备，其特征在于，包括：

龙门架，所述龙门架构造有龙门横梁，所述龙门横梁的顶面设有沿长度方向延伸的第一上滑轨和第二上滑轨，所述第一上滑轨和所述第二上滑轨沿所述龙门横梁的宽度方向平行设置，所述龙门横梁的侧面形成有沿长度方向延伸的侧滑轨；

曝光移动台，所述曝光移动台设有顶板和侧板，所述顶板配合于所述第一上滑轨和所述第二上滑轨移动，所述侧板配合于所述侧滑轨移动；

曝光组件，所述曝光组件安装于所述曝光移动台的侧板；

工作台，所述工作台的上表面沿水平延伸且位于所述曝光组件的下方，所述工作台适于吸附曝光件。

2.根据权利要求1所述的曝光设备，其特征在于，所述曝光移动台的顶板的底部连接有第一上滑块和第二上滑块，所述第一上滑块配合于所述第一上滑轨，所述第二上滑块配合于所述第二上滑轨，所述曝光移动台的侧板的朝向龙门横梁的一侧连接有侧滑块，所述侧滑块配合于所述侧滑轨。

3.根据权利要求2所述的曝光设备，其特征在于，所述第一上滑块、所述第二上滑块和所述侧滑块均为多个，多个所述第一上滑块、所述第二上滑块和所述侧滑块均沿所述龙门横梁的长度方向间隔设置。

4.根据权利要求1所述的曝光设备，其特征在于，所述曝光组件包括：

曝光支架，所述曝光支架安装于所述曝光移动台的侧板；

曝光头，所述曝光头安装于所述曝光支架。

5.根据权利要求4所述的曝光设备，其特征在于，所述曝光支架包括：

侧连接板，所述侧连接板连接于所述曝光移动台的侧板；

曝光头安装板，所述曝光头安装板连接于所述侧连接板的底部；

加强筋，所述加强筋在所述侧连接板和所述曝光头安装板的两端，所述连接板连接于所述侧连接板和所述曝光头安装板。

6.根据权利要求4所述的曝光设备，其特征在于，所述曝光头为多个，多个所述曝光头沿所述曝光支架的长度方向排列。

7.根据权利要求1所述的曝光设备，其特征在于，所述工作台包括：

第一扫描运动平台，所述第一扫描运动平台位于所述曝光组件的下方；

第二扫描运动平台，所述第二扫描运动平台位于所述曝光组件的下方，所述第二扫描运动平台和所述第一扫描运动平台沿所述龙门横梁的长度方向排列。

8.根据权利要求7所述的曝光设备，其特征在于，所述第一扫描运动平台和所述第二扫描运动平台均包括：

真空吸盘，所述第一扫描运动平台和所述第二扫描运动平台的所述真空吸盘分别适于吸附曝光件；

移动底座，所述第一扫描运动平台的所述移动底座和所述第二扫描运动平台的所述移动底座均沿垂直于所述龙门横梁的长度方向可移动。

9.根据权利要求1所述的曝光设备，其特征在于，所述龙门横梁的上表面设有直线电机定子，所述曝光移动台的顶板的底面设有直线电机动子，所述直线电机定子和所述直线电机定子均处于所述第一上滑轨和所述第二上滑轨之间。

10.根据权利要求1所述的曝光设备，其特征在于，还包括：

光栅尺，所述光栅安装于所述侧滑轨所在的所述龙门横梁的同一侧面，所述光栅尺与所述侧滑轨平行；

读数头，所述读数头连接于所述曝光移动台的侧板长度方向的一侧边缘。