CN219956822U - 一种工艺尾气吸附桶检测装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于半导体尾气处理技术领域，尤其为一种工艺尾气吸附桶检测装置，包括吸附桶以及安装在所述吸附桶顶部的桶盖和固定在所述桶盖中心处的排气管A，所述吸附桶的底部四周固定有支腿，所述吸附桶的底部中心处固定有进气管，所述进气管的外侧壁安装有阀门A，所述排气管A的顶端安装有排气管B；本实用新型使用时，将密封内衬插入连接管中，然后将连接管和密封内衬一起插入螺套中，转动连接管，使连接管和螺套连接牢固，完成本实用新型的安装，在进行测试时，吸附桶内的压强使密封内衬向外扩张，密封内衬与螺套贴合更紧密，进而提高螺套和连接管之间的密封性，用户可通过观察辅助指针和压力表，从而得知吸附桶是否有泄漏。

Description

一种工艺尾气吸附桶检测装置

技术领域

本实用新型属于半导体尾气处理技术领域，具体涉及一种工艺尾气吸附桶检测装置。

背景技术

加工半导体零部件时，会产生含有有害物质的尾气，这些尾气经过处理后才能够进行排放，处理尾气的方式有很多种，常见的方式将尾气通入吸附桶中，经过吸附剂处理后达标进行排放；

经查公开(公告)号：CN211585919U公开了一种干式吸附桶净化装置，此技术中公开了“包括空气发生组件、气体净化器和温度检测仪。干式吸附桶设置有第一进气口和第一排气口，空气发生组件连接于第一进气口，空气发生组件的气体通入干式吸附桶内，能够与干式吸附桶内的填料发生氧化反应”等技术方案；具有“本实用新型实现了连续在线氧化，操作人员可以通过温度变化判断填料的反应程度，同时确保产生的有毒气体不外漏，安全无污染，规范作业流程，提高作业安全性”等技术效果；

现有吸附桶更换内部的吸附剂之后，通常需要进行气密性检测，避免更换吸附剂导致吸附桶泄漏，提高吸附桶处理尾气的安全性，但是现有的检测装置安装拆卸不便，不方便用户使用。

为解决上述问题，本申请中提出一种工艺尾气吸附桶检测装置。

实用新型内容

为解决上述背景技术中提出的问题。本实用新型提供了一种工艺尾气吸附桶检测装置，具有便于安装拆卸，提高密封性，提高测试结果的准确性的特点。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种工艺尾气吸附桶检测装置，包括吸附桶以及安装在所述吸附桶顶部的桶盖和固定在所述桶盖中心处的排气管A，所述吸附桶的底部四周固定有支腿，所述吸附桶的底部中心处固定有进气管，所述进气管的外侧壁安装有阀门A，所述排气管A的顶端安装有排气管B，所述排气管B的外侧壁固定有螺套，所述排气管B的外侧壁靠近所述螺套的上方处安装有阀门B，所述螺套为内凹结构，所述螺套的内壁设有密封内衬，所述密封内衬为环形空心凸台结构，所述密封内衬的外侧壁与所述螺套的内壁贴合，所述螺套凸台处外侧壁套设有连接管，所述连接管的外侧壁与所述螺套螺纹连接，所述连接管的中部外侧壁安装有压力表，所述连接管的外侧壁远离所述螺套的一侧安装有阀门C，所述连接管远离所述螺套的一端连接有软管，所述软管远离所述连接管的一端安装有气泵。

作为本实用新型一种工艺尾气吸附桶检测装置优选的，所述密封内衬的内侧壁安装有支撑环，所述支撑环为圆环形结构。

作为本实用新型一种工艺尾气吸附桶检测装置优选的，所述压力表的表面吸附有吸盘，所述吸盘的外侧壁转动连接有辅助指针。

作为本实用新型一种工艺尾气吸附桶检测装置优选的，所述阀门B设有两个，两个所述阀门B对称设置安装在所述排气管B的外侧壁，所述阀门C设有两个，两个所述阀门C对称设置安装在所述连接管的外侧壁。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型使用时，将密封内衬插入连接管中，然后将连接管和密封内衬一起插入螺套中，转动连接管，使连接管和螺套连接牢固，完成本实用新型的安装，在进行测试时，吸附桶内的压强使密封内衬向外扩张，密封内衬与螺套贴合更紧密，进而提高螺套和连接管之间的密封性，用户可通过观察辅助指针和压力表，从而得知吸附桶是否有泄漏。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型中压力表的结构示意图；

图3为本实用新型中螺套的结构示意图；

图4为本实用新型中密封内衬的结构示意图；

图中：1、吸附桶；2、桶盖；3、支腿；4、排气管A；5、进气管；6、阀门A；7、排气管B；8、阀门B；9、螺套；10、连接管；11、密封内衬；12、支撑环；13、压力表；14、阀门C；15、辅助指针；16、吸盘；17、软管；18、气泵。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例1

如图1所示；

一种工艺尾气吸附桶检测装置，包括吸附桶1以及安装在吸附桶1顶部的桶盖2和固定在桶盖2中心处的排气管A4，吸附桶1的底部四周固定有支腿3，吸附桶1的底部中心处固定有进气管5，进气管5的外侧壁安装有阀门A6；

本实施方案中：加工半导体零部件时，会产生含有有害物质的尾气，这些尾气经过处理后才能够进行排放，处理尾气的方式有很多种，常见的方式将尾气通入吸附桶中，经过吸附剂处理后达标进行排放；

经查公开(公告)号：CN211585919U公开了一种干式吸附桶净化装置，此技术中公开了“包括空气发生组件、气体净化器和温度检测仪。干式吸附桶设置有第一进气口和第一排气口，空气发生组件连接于第一进气口，空气发生组件的气体通入干式吸附桶内，能够与干式吸附桶内的填料发生氧化反应”等技术方案；具有“本实用新型实现了连续在线氧化，操作人员可以通过温度变化判断填料的反应程度，同时确保产生的有毒气体不外漏，安全无污染，规范作业流程，提高作业安全性”等技术效果；

现有吸附桶更换内部的吸附剂之后，通常需要进行气密性检测，避免更换吸附剂导致吸附桶泄漏，提高吸附桶处理尾气的安全性，但是现有的检测装置安装拆卸不便，不方便用户使用；为了解决上述问题，提出以下改进方案。

进一步而言：

如图1至图4所示；

结合上述内容：

为了检测装置安装方便快捷，该工艺尾气吸附桶检测装置排气管A4的顶端安装有排气管B7，排气管B7的外侧壁固定有螺套9，排气管B7的外侧壁靠近螺套9的上方处安装有阀门B8，螺套9为内凹结构，螺套9的内壁设有密封内衬11，密封内衬11为环形空心凸台结构，密封内衬11的外侧壁与螺套9的内壁贴合，螺套9凸台处外侧壁套设有连接管10，连接管10的外侧壁与螺套9螺纹连接，连接管10的中部外侧壁安装有压力表13，连接管10的外侧壁远离螺套9的一侧安装有阀门C14，连接管10远离螺套9的一端连接有软管17，软管17远离连接管10的一端安装有气泵18。

本实施方案中：吸附桶1更换其中的吸附剂后，重新安装桶盖2时容易出现气密性问题，本实用新型对吸附桶1进行气密性检测时，关闭阀门A6以及阀门B8，然后将连接管10转动插入螺套9中，连接管10挤压密封内衬11，使其与螺套9内壁贴合更紧密，用户打开阀门C14，然后启动气泵18，气泵18将空气通入吸附桶1中，使吸附桶1内呈高压状态，用户可通过观察压力表13得知吸附桶1内的压力信息，用户停止气泵18，关闭阀门C14，使吸附桶1静止保持一段时间，通过观察压力表13，即可得知吸附桶1是否泄漏。

需要说明的是：气泵18与外部电源电性连接。

更进一步而言：

在一个可选的实施例中，密封内衬11的内侧壁安装有支撑环12，支撑环12为圆环形结构。

本实施例中：通过此设计，支撑环12可防止密封内衬11受连接管10挤压时向内变形，使密封内衬11密封效果稳定。

更进一步而言：

在一个可选的实施例中，压力表13的表面吸附有吸盘16，吸盘16的外侧壁转动连接有辅助指针15。

本实施例中：通过此设计，用户将辅助指针15和吸盘16吸附在压力表13的表面，当气泵18向吸附桶1中通入高压气体后，压力表13中的指针提示吸附桶1中的压力值，当关闭阀门C14后，用户转动辅助指针15，与压力表13的指针重合，等待一端时间后，用户可观察辅助指针15与压力表13指针是否错位，从而判断吸附桶1是否泄漏。

更进一步而言：

在一个可选的实施例中，阀门B8设有两个，两个阀门B8对称设置安装在排气管B7的外侧壁，阀门C14设有两个，两个阀门C14对称设置安装在连接管10的外侧壁。

本实施例中：通过此设计，两个阀门B8关闭时，可使排气管B7密封严密，避免在加压时，高压使气体从排气管B7处泄漏，两个阀门C14关闭后，可使连接管10密封严密。

本实用新型的工作原理及使用流程：吸附桶1更换其中的吸附剂后，重新安装桶盖2时容易出现气密性问题，本实用新型对吸附桶1进行气密性检测时，关闭阀门A6以及阀门B8，然后将连接管10转动插入螺套9中，连接管10挤压密封内衬11，使其与螺套9内壁贴合更紧密，用户打开阀门C14，然后启动气泵18，气泵18将空气通入吸附桶1中，使吸附桶1内呈高压状态，用户可通过观察压力表13得知吸附桶1内的压力信息，用户停止气泵18，关闭阀门C14，使吸附桶1静止保持一段时间，用户将辅助指针15和吸盘16吸附在压力表13的表面，用户转动辅助指针15，使其与压力表13的指针重合，等待一端时间后，用户可观察辅助指针15与压力表13指针是否错位，从而判断吸附桶1是否泄漏，本实用新型检测时安装拆卸简单，只需要转动连接管10即可完成连接，且连接牢固。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (4)

1.一种工艺尾气吸附桶检测装置，包括吸附桶(1)以及安装在所述吸附桶(1)顶部的桶盖(2)和固定在所述桶盖(2)中心处的排气管A(4)，所述吸附桶(1)的底部四周固定有支腿(3)，所述吸附桶(1)的底部中心处固定有进气管(5)，所述进气管(5)的外侧壁安装有阀门A(6)，其特征在于：所述排气管A(4)的顶端安装有排气管B(7)，所述排气管B(7)的外侧壁固定有螺套(9)，所述排气管B(7)的外侧壁靠近所述螺套(9)的上方处安装有阀门B(8)，所述螺套(9)为内凹结构，所述螺套(9)的内壁设有密封内衬(11)，所述密封内衬(11)为环形空心凸台结构，所述密封内衬(11)的外侧壁与所述螺套(9)的内壁贴合，所述螺套(9)凸台处外侧壁套设有连接管(10)，所述连接管(10)的外侧壁与所述螺套(9)螺纹连接，所述连接管(10)的中部外侧壁安装有压力表(13)，所述连接管(10)的外侧壁远离所述螺套(9)的一侧安装有阀门C(14)，所述连接管(10)远离所述螺套(9)的一端连接有软管(17)，所述软管(17)远离所述连接管(10)的一端安装有气泵(18)。

2.根据权利要求1所述的工艺尾气吸附桶检测装置，其特征在于：所述密封内衬(11)的内侧壁安装有支撑环(12)，所述支撑环(12)为圆环形结构。

3.根据权利要求1所述的工艺尾气吸附桶检测装置，其特征在于：所述压力表(13)的表面吸附有吸盘(16)，所述吸盘(16)的外侧壁转动连接有辅助指针(15)。

4.根据权利要求1所述的工艺尾气吸附桶检测装置，其特征在于：所述阀门B(8)设有两个，两个所述阀门B(8)对称设置安装在所述排气管B(7)的外侧壁，所述阀门C(14)设有两个，两个所述阀门C(14)对称设置安装在所述连接管(10)的外侧壁。