CN219918729U - 一种主功率电路及镀膜电源 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开一种主功率电路及镀膜电源，属于镀膜电源技术领域，主功率电路包括相互连接的谐振滤波模块和变压模块，以及与变压模块连接的控制模块；变压模块包括变压器，变压器的副边绕组包括多个中心抽头，每一中心抽头分别通过一开关元件并联，开关元件与控制模块连接。本实用新型解决了镀膜电源存在难以实现宽范围阻抗匹配的问题，实现了交流镀膜电源输出分段匹配宽范围阻抗负载的效果。

Description

一种主功率电路及镀膜电源

技术领域

本实用新型涉及镀膜电源技术领域，特别涉及一种主功率电路及镀膜电源。

背景技术

随着制造业的升级，真空镀膜领域不仅对等离子镀膜电源的功能提出更高要求，对其性能也提出了更高的要求。目前，交流镀膜电源中进行阻抗匹配多采用变压器方式实现。对于宽范围负载阻抗匹配，需要使用不同的变压器线包或不同变压器来使电源输出满足不同的负载阻抗范围，存在不便于实际应用的缺点，使得交流镀膜电源难以实现全范围阻抗匹配。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于：提供一种主功率电路及镀膜电源，旨在解决现有技术中镀膜电源存在难以实现宽范围阻抗匹配的技术问题。

为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

第一方面，本实用新型提出一种主功率电路，包括相互连接的谐振滤波模块和变压模块，以及与所述变压模块连接的控制模块；

所述变压模块包括变压器T1，所述变压器T1的副边绕组包括多个中心抽头，每一所述中心抽头分别通过一开关元件并联，所述开关元件与所述控制模块连接。

可选地，上述主功率电路中，所述谐振滤波模块用于输出正弦波信号；

所述变压模块用于对所述正弦波信号进行升压，以及根据所述控制模块发送的控制信号控制所述开关元件的通断，实现分段匹配负载阻抗；

所述控制模块还用于接收所述开关元件反馈的状态信号，给所述变压器T1提供副边短路保护。

可选地，上述主功率电路中，所述谐振滤波模块包括第一滤波电路、第二滤波电路和第三滤波电路；

所述第一滤波电路的输出端与所述第二滤波电路的输入端连接，所述第二滤波电路的输出端分别与所述变压模块的正输入端和所述第三滤波电路的输入端连接，所述第三滤波电路的输出端与所述变压模块的负输入端连接；

所述谐振滤波模块用于对接收到的方波信号进行三级谐振滤波，得到正弦波信号。

可选地，上述主功率电路中，所述第一滤波电路包括电感L1和电容C1；

所述电感L1的第一端作为所述谐振滤波模块的正输入端，所述电感L1的第二端与所述第二滤波电路的正输入端连接，所述电容C1的第一端作为所述谐振滤波模块的负输入端，所述电容C1的第二端与所述第二滤波电路的负输入端连接。

可选地，上述主功率电路中，所述第二滤波电路包括电容C2和电感L2；

所述电容C2的第一端和所述电感L2的第一端均与所述第一滤波电路的正输出端连接，并与所述变压模块的正输入端连接；所述电容C2的第二端和所述电感L2的第二端均与所述第一滤波电路的负输出端连接，并与所述第三滤波电路的输入端连接。

可选地，上述主功率电路中，所述第三滤波电路包括电容C3和电感L3；

所述电容C3的第一端与所述第二滤波电路的负输出端连接，所述电容C3的第二端与所述电感L3的第一端连接，所述电感L3的第二端与所述变压模块的负输入端连接。

可选地，上述主功率电路中，所述变压器T1原边绕组的一端与所述第二滤波电路的正输出端连接，所述变压器T1原边绕组的另一端与所述第三滤波电路的输出端连接。

可选地，上述主功率电路中，所述变压器T1副边绕组的一端和所述多个中心抽头分别通过一开关元件并联，作为所述变压模块的正输出端，所述变压模块的正输出端与负载的正极连接；所述变压器T1副边绕组的另一端作为所述变压模块的负输出端，所述变压模块的负输出端与负载的负极连接。

可选地，上述主功率电路中，还包括依次连接的整流模块和逆变模块，所述逆变模块与谐振滤波模块连接；

所述整流模块用于将三相交流电转换为双相直流电；

所述逆变模块用于将双相直流电转换为双相交流电，输出正负脉冲对称的方波信号给所述谐振滤波模块。

第二方面，本实用新型还提出一种镀膜电源，包括上述的主功率电路。

本实用新型提供的上述一个或多个技术方案，可以具有如下优点或至少实现了如下技术效果：

本实用新型提出的一种主功率电路及镀膜电源，通过相互连接的谐振滤波模块和变压模块以及与变压模块连接的控制模块，将变压模块中变压器的多个中心抽头分别通过一开关元件并联，由控制模块输出控制信号来控制开关元件的通断，在不同的负载下选择不同的开关元件闭合，实现不同变压器线包的自动选择，以实现分段匹配负载阻抗的目的。本实用新型解决了现有镀膜电源难以实现宽范围阻抗匹配的问题，实现了镀膜电源输出分段匹配宽范围阻抗负载的效果，保证输出电压正弦度的要求，提高了电源可靠性。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。

图1为本实用新型主功率电路第一实施例的电路拓扑图；

图2为本实用新型主功率电路第二实施例的连接框图；

图3为图2中整流模块的电路拓扑图；

图4为图2中逆变模块的电路拓扑图。

本实用新型目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

需要说明，在本实用新型中，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的装置或者系统不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种装置或者系统所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括……”限定的要素，并不排除在包括该要素的装置或者系统中还存在另外的相同要素。在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“连接”、“固定”等应做广义理解，例如，“连接”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连；可以是两个元件内部的连通，也可以是两个元件的相互作用关系。在本实用新型中，若有涉及“第一”、“第二”等的描述，则该“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本实用新型中，使用用于表示元件的诸如“模块”、“部件”或“单元”的后缀仅为了有利于本实用新型的说明，其本身没有特定的意义。因此，“模块”、“部件”或“单元”可以混合地使用。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。另外，各个实施例的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时，应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本实用新型要求的保护范围之内。

对现有技术进行分析发现，真空镀膜领域中，交流镀膜电源多采用谐振方式实现正弦波的输出。当输出端接负载时，负载阻抗与谐振电路作用，增加了谐振电路阻尼，降低了输出电压波形正弦度，同时，还增加了总谐波失真(Total Harmonic Distortion，THD)。在某些阻抗情况下，谐振电路谐振出的波形可能还会完全失真，不再是正弦波。但实际应用时一般要求交流镀膜电源能够在较宽的阻抗范围内持续稳定的运行，这就需要交流镀膜电源能够基于较宽的阻抗范围进行阻抗匹配，保证输出电压正弦度的要求。

目前，交流镀膜电源中进行阻抗匹配多采用变压器方式实现。对于宽范围负载阻抗匹配，需要使用不同的变压器线包或不同的变压器来使电源输出满足不同的负载阻抗范围，存在不便于实际应用的缺点，而且，当变压器匝比固定时，谐振电路的参数设定可能会限制阻抗匹配范围，使得交流镀膜电源难以实现全范围阻抗匹配。

鉴于现有技术中镀膜电源存在难以实现宽范围阻抗匹配的技术问题，本实用新型提供了一种主功率电路及镀膜电源，具体实施例及实施方式如下：

实施例一

参照图1，图1为本实用新型主功率电路的电路拓扑图，提出本实用新型主功率电路的第一实施例。该主功率电路可以应用于镀膜电源，例如交流镀膜电源，接收前级电路输出的正弦波信号，对正弦波信号进行处理，输出合适的电压给负载，实现阻抗匹配，其中，阻抗匹配是指负载阻抗与电源内部阻抗互相适配，得到最大功率输出的一种工作状态。

该主功率电路可以包括：

相互连接的谐振滤波模块和变压模块，以及与变压模块连接的控制模块；

变压模块可以包括变压器T1，变压器T1的副边绕组包括多个中心抽头，每一中心抽头分别通过一开关元件并联，开关元件与控制模块连接。

其中，开关元件可以是继电器、接触器等可控开关器件；

谐振滤波模块用于输出正弦波信号；

变压模块用于对正弦波信号进行升压，以及根据控制模块发送的控制信号控制开关元件的通断，实现分段匹配负载阻抗。

如图1所示，谐振滤波模块的正输出端与变压模块的正输入端连接，谐振滤波模块的负输出端与变压模块的负输入端连接，变压模块中包括变压器T1，变压器T1的副边绕组包括多个中心抽头，每一中心抽头分别连接一个开关元件，此处以继电器为例进行说明，即本实施例中变压模块对应还包括多个继电器K2-Kn。如图1所示，各中心抽头与对应的继电器的第一端连接，多个继电器的第二端并联，然后与副边绕组的一端s1构成变压器的正输出端。其中，副边绕组的一端s1可以直接与多个中心抽头上继电器的第二端并联，构成变压器的正输出端；也可以连接一继电器K1的第一端，使该继电器K1的第二端与多个中心抽头上继电器的第二端并联，构成变压器T1的正输出端；如图1所示，对应的，变压器副边绕组的另一端s0可以作为该变压器T1的负输出端。变压器T1的正输出端也是变压模块的正输出端，可以与负载的正极连接，变压器T1的负输出端也是变压模块的负输出端，可以与负载的负极连接。

其中，变压器T1的作用为，一方面实现输出升压，另一方面实现负载阻抗匹配。继电器可以是可控继电器，各个继电器的第三端均与控制模块连接，控制模块可以包括微控制器(Microcontroller Unit，MCU)，由MCU根据需要控制继电器接通或断开，以实现变压器T1不同线包的自动配置，从而实现分段匹配负载阻抗。

在固定变压器匝比时，变压器副边绕组折算到变压器原边绕组的阻抗可以表示为R_eq，谐振滤波模块在谐振点附近可以等效为单级并联LC谐振电路，其品质因数Q可以表示为：

其中，L表示谐振滤波模块等效为单级并联LC谐振电路的等效电感，C表示谐振滤波模块等效为单级并联LC谐振电路的等效电容。

在振荡电路中，当放大电路或正反馈网络具有选频特性时，电路才能输出所需频率的正弦信号。也就是说，在电路的选频特性作用下，只有频率符合要求的正弦信号才能满足振荡条件。此处，谐振滤波模块品质因数Q的高低决定其选频特性，品质因数Q越高，选频特性越好，输出电压的正弦度越高，THD值也越低。

然而，在真空镀膜领域里，一般要求镀膜电源能够满足在1:10负载阻抗范围内持续稳定运行，对应就要求能够在1:10负载阻抗范围内实现阻抗匹配，且要保证输出电压正弦度的要求。1:10负载阻抗范围意味着品质因数Q的变化范围也为1:10，这样宽范围的品质因数很难保证谐振滤波模块的选频特性。

本实施例中，提出了分段匹配负载阻抗，将1:10的负载阻抗分为多份，例如分为1:x1、x1:x2、……、X(n-1):X(n)，针对上述不同阻抗范围，对应设计谐振滤波模块的参数值，实现品质因数Q在合理范围内谐振滤波模块的有效选频，保证输出波形正弦度。实现谐振滤波模块的有效选频后，便可以在不同的阻抗范围下通过改变变压器匝比的方式来实现阻抗变换，本实施例则通过MCU控制不同继电器接通来配置变压器T1不同线包的方式实现阻抗变换，以保证在不同阻抗范围下品质因数Q与分段的阻抗范围一致，便实现了分段匹配阻抗，从而实现了镀膜电源的宽范围阻抗匹配功能。

可选的，控制模块还用于接收开关元件反馈的状态信号，给变压器T1提供副边短路保护。

本实施例中，如图1所示，变压器T1的多个中心抽头上连接的继电器K2-Kn的第三端连接至控制模块的MCU，可以接收MCU发送的控制信号，同时，可以将自身触点的粘合状态反馈给控制模块的MCU，控制模块接收该多个继电器反馈的状态信号后，可以提供变压器T1副边短路保护。可选的，继电器K1也可以连接至MCU，将自身触点的粘合状态一起反馈给MCU，以便MCU根据所有继电器反馈的状态信号提供短路保护。

每一中心抽头各连接一继电器，变压模块对应具有多个继电器，当继电器出现故障，主触点粘合无法断开的情况时，若再闭合其他继电器就会造成变压器副边短路。在主功率电路通电时，若变压器副边存在多个继电器主触点短路，就容易造成镀膜电源中其他部件损耗，而且人工方式很难判断故障位置，给实际应用带来较多不便。针对该问题，为了避免上述情况的发生，变压模块中的继电器可以统一采用带反馈的继电器，相比通过电流采样来判断继电器是否存在主触点粘合故障或通过电流采样来判断变压器副边是否短路的方式，本实施例由各个继电器向MCU反馈状态信号的方式可以减少硬件成本，还可以在主功率电路未上电之前，先通过MCU接收多个继电器的状态信号，判断继电器主触点是否存在粘合故障，及时采取故障保护，避免造成在主功率电路上电后镀膜电源中其他部件的损坏。

进一步地，谐振滤波模块包括第一滤波电路、第二滤波电路和第三滤波电路；

第一滤波电路的输出端与第二滤波电路的输入端连接，第二滤波电路的输出端分别与变压模块的正输入端和第三滤波电路的输入端连接，第三滤波电路的输出端与变压模块的负输入端连接；

谐振滤波模块用于对接收到的方波信号进行三级谐振滤波，得到正弦波信号。

如图1所示，第一滤波电路的正输出端和负输出端与第二滤波电路的正输入端和负输入端对应连接，第二滤波电路的正输出端与变压模块的正输入端连接，负输出端与第三滤波电路的输入端连接，第三滤波电路的输出端与变压模块的负输入端连接。第二滤波电路为并联谐振电路，第三滤波电路为串联谐振电路。

谐振滤波模块作为三级谐振滤波电路，依次经过第一滤波电路、第二滤波电路和第三滤波电路进行三次滤波处理，对接收到的方波信号进行有效滤波，可以更大程度地减弱电压的纹波和噪声，使得输出的正弦波信号具有很低的THD值，保证了输出波形的正弦度。

更进一步地，如图1所示，第一滤波电路包括电感L1和电容C1；

电感L1的第一端作为谐振滤波模块的正输入端，电感L1的第二端与第二滤波电路的正输入端连接，电容C1的第一端作为谐振滤波模块的负输入端，电容C1的第二端与第二滤波电路的负输入端连接。

更进一步地，如图1所示，第二滤波电路包括电容C2和电感L2；

电容C2的第一端和电感L2的第一端均与第一滤波电路的正输出端连接，并与变压模块的正输入端连接；电容C2的第二端和电感L2的第二端均与第一滤波电路的负输出端连接，并与第三滤波电路的输入端连接。

第二滤波电路作为并联谐振电路，其中的电容C2则为并联谐振电容，电感L2则为并联谐振电感。

更进一步地，第三滤波电路包括电容C3和电感L3；

电容C3的第一端与第二滤波电路的负输出端连接，电容C3的第二端与电感L3的第一端连接，电感L3的第二端与变压模块的负输入端连接。

第三滤波电路作为串联谐振电路，其中的电容C3则为串联谐振电容，电感L3则为串联谐振电感。

更进一步地，变压器T1原边绕组的一端与第二滤波电路的正输出端连接，变压器T1原边绕组的另一端与第三滤波电路的输出端连接。

更进一步地，变压器T1副边绕组的一端和多个中心抽头分别通过一开关元件并联，作为变压模块的正输出端，该变压模块的正输出端与负载的正极连接，变压器T1副边绕组的另一端作为变压模块的负输出端，该变压模块的负输出端与负载的负极连接。

具体实现中，谐振滤波模块可以连接在主功率电路的逆变模块之后，谐振滤波模块的谐振频率f_R可以设定为与逆变模块的切换频率f_s一致，即

其中，L表示谐振滤波模块的有效电感，C表示谐振滤波模块的有效电容。

谐振滤波模块可以对逆变模块输出的方波信号进行三级谐振滤波，得到正弦波信号，再通过变压器T1升压连接至负载端。当等离子体负载发生电弧时，负载呈现负阻抗特性，变压模块的输出电压被等离子体负载迅速拉低，同时输出电流迅速上升。本实施例中，当电弧发生，输出电压被迅速拉低时，作为并联谐振电路的第二滤波电路中电容C2上的电压几乎可以全部加到作为串联谐振电路的第三滤波电路中电感L3上，由于电感L3的电流不能突变，因此可以有效抑制输出电流迅速上升，即能够有效抑制电流弧的产生。

本实施例的主功率电路，通过相互连接的谐振滤波模块和变压模块以及与变压模块连接的控制模块，将变压模块中变压器的多个中心抽头分别通过一开关元件并联，由控制模块输出控制信号来控制开关元件的通断，在不同的负载下选择不同的开关元件闭合，实现不同变压器线包的自动选择，以实现分段匹配负载阻抗的目的。本实用新型解决了现有镀膜电源难以实现宽范围阻抗匹配的问题，实现了镀膜电源输出分段匹配宽范围阻抗负载的效果，保证输出电压正弦度的要求，提高了电源可靠性。

实施例二

参照图2，图2为本实用新型主功率电路的连接框图，在实施例一的基础上，提出本实用新型主功率电路的第二实施例。

进一步地，该主功率电路还可以包括依次连接的整流模块和逆变模块，逆变模块与谐振滤波模块连接；

整流模块用于将三相交流电转换为双相直流电；

逆变模块用于将双相直流电转换为双相交流电，输出正负脉冲对称的方波信号给谐振滤波模块。

整流模块将三相交流电转换为双相直流电；逆变模块将双相直流电再转换为双相交流电，输出正负脉冲对称的交流方波信号；谐振滤波模块对方波信号进行三级谐振滤波，输出正弦波信号；变压模块对正弦波信号进行升压处理，输出交流电压。整流模块可以采用AC/DC电路，逆变模块可以采用DC/AC电路。

进一步地，如图3所示为整流模块的电路拓扑图，整流模块可以包括二极管D1、二极管D2、二极管D3、二极管D4、二极管D5、二极管D6和电容C7；

二极管D1的正极和二极管D2的负极均与三相交流电网的第一相连接，二极管D3的正极和二极管D4的负极均与三相交流电网的第二相连接，二极管D5的正极和二极管D6的负极均与三相交流电网的第三相连接，二极管D1的负极、二极管D3的负极、二极管D5的负极以及电容C7的一端均与逆变模块的正输入端连接，二极管D2的正极、二极管D4的正极、二极管D6的正极以及电容C7的另一端均与逆变模块的负输入端连接。

具体的，二极管D1的正极和二极管D2的负极均与R相连接，二极管D3的正极和二极管D4的负极均与S相连接，二极管D5的正极和二极管D6的负极均与T相连接，二极管D1的负极、二极管D3的负极、二极管D5的负极以及电容C7的一端的连接点作为整流模块的正输出端DC+，与逆变模块的正输入端连接，二极管D2的正极、二极管D4的正极、二极管D6的正极以及电容C7的另一端的连接点作为整流模块的负输出端DC-，与逆变模块的负输入端连接。

整流模块采用二极管不控整流，将三相交流电转换为双相直流电，接线简单，电容C7作为滤波电容，保证整流模块输出直流电的稳定性。

进一步地，如图4所示为逆变模块的电路拓扑图，逆变模块可以包括开关管Q1、开关管Q2、开关管Q3和开关管Q4；

开关管Q1的漏极和开关管Q3的漏极均与整流模块的正输出端连接，开关管Q2的源极和开关管Q4的源极均与整流模块的负输出端连接，开关管Q1的源极和开关管Q2的漏极均与谐振滤波模块的正输入端连接，开关管Q3的源极和开关管Q4的漏极均与谐振滤波模块的负输入端连接。

更进一步地，开关管Q1的栅极、开关管Q2的栅极、开关管Q3的栅极和开关管Q4的栅极可以分别与控制模块连接，控制模块可以生成使能信号，并输出使能信号至逆变模块，控制逆变模块工作。

具体的，开关管Q1的漏极和开关管Q3的漏极均与整流模块的正输出端DC+连接，开关管Q2的源极和开关管Q4的源极均与整流模块的负输出端DC-连接，开关管Q1的源极和开关管Q2的漏极的连接点作为逆变模块的正输出端AC+，与谐振滤波模块的正输入端连接，开关管Q3的源极和开关管Q4的漏极的连接点作为逆变模块的负输出端AC-，与谐振滤波模块的负输入端连接。四个开关管可以按一定规律进行开通和关断，开关管的通断控制可以由外部控制器件实现，通过四个开关管的通断切换，将双相直流电转换为双相交流电，输出正负脉冲对称的交流方波信号。

具体的，开关管Q1、开关管Q2、开关管Q3和开关管Q4可以采用金属氧化物半导体场效应晶体管(MOS管)或绝缘栅双极型晶体管(IGBT管)。MOS管和IGBT管均可以作为功率开关管，实现功率切换控制。控制模块输出使能信号给各个开关管，控制对应的开关管开通或关断，还可以控制逆变模块按设定的切换频率f_s来控制开关管Q1、开关管Q2、开关管Q3和开关管Q4实现切换开通。

需要说明，本实施例中主功率电路的具体结构的更多实施细节可以参照上述实施例一中具体实施方式的描述，为了说明书的简洁，此处不再重复赘述。

本实施例的主功率电路，应用于镀膜电源，通过顺序连接的整流模块、逆变模块、谐振滤波模块和变压模块，作为正弦输出的交流镀膜电源，为等离子体负载供电，该电源既能将交流方波信号有效滤波为正弦波信号，保证输出电压的正弦度；也能在负载发生电弧时，由谐振滤波模块抑制输出电流迅速上升，有效抑制电流弧的产生。

实施例三

基于同一构思，本实施例提出一种镀膜电源，该镀膜电源可以包括实施例一或二的主功率电路。

需要说明，主功率电路的具体结构可以参照上述实施例，由于本实施例采用了上述所有实施例的全部技术方案，因此至少具有上述实施例的技术方案所带来的所有有益效果，在此不再一一赘述。

本实施例的镀膜电源，可以为正弦输出的交流镀膜电源，区别于电压型的直流镀膜电源以及电压型的方波镀膜电源，能有效抑制电弧能量，减小对工件表面的损伤。

需要说明，上述本实用新型实施例序号仅仅为了描述，不代表实施例的优劣。以上所述仅为本实用新型的可选实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是在本实用新型的构思下，利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均包括在本实用新型的专利保护范围内。

Claims (10)

1.一种主功率电路，其特征在于，包括相互连接的谐振滤波模块和变压模块，以及与所述变压模块连接的控制模块；

所述变压模块包括变压器T1，所述变压器T1的副边绕组包括多个中心抽头，每一所述中心抽头分别通过一开关元件并联，所述开关元件与所述控制模块连接。

2.如权利要求1所述的主功率电路，其特征在于，

所述谐振滤波模块用于输出正弦波信号；

所述变压模块用于对所述正弦波信号进行升压，以及根据所述控制模块发送的控制信号控制所述开关元件的通断，实现分段匹配负载阻抗；

所述控制模块还用于接收所述开关元件反馈的状态信号，给所述变压器T1提供副边短路保护。

3.如权利要求1所述的主功率电路，其特征在于，所述谐振滤波模块包括第一滤波电路、第二滤波电路和第三滤波电路；

所述第一滤波电路的输出端与所述第二滤波电路的输入端连接，所述第二滤波电路的输出端分别与所述变压模块的正输入端和所述第三滤波电路的输入端连接，所述第三滤波电路的输出端与所述变压模块的负输入端连接；

所述谐振滤波模块用于对接收到的方波信号进行三级谐振滤波，得到正弦波信号。

4.如权利要求3所述的主功率电路，其特征在于，所述第一滤波电路包括电感L1和电容C1；

所述电感L1的第一端作为所述谐振滤波模块的正输入端，所述电感L1的第二端与所述第二滤波电路的正输入端连接，所述电容C1的第一端作为所述谐振滤波模块的负输入端，所述电容C1的第二端与所述第二滤波电路的负输入端连接。

5.如权利要求3所述的主功率电路，其特征在于，所述第二滤波电路包括电容C2和电感L2；

所述电容C2的第一端和所述电感L2的第一端均与所述第一滤波电路的正输出端连接，并与所述变压模块的正输入端连接；所述电容C2的第二端和所述电感L2的第二端均与所述第一滤波电路的负输出端连接，并与所述第三滤波电路的输入端连接。

6.如权利要求3所述的主功率电路，其特征在于，所述第三滤波电路包括电容C3和电感L3；

所述电容C3的第一端与所述第二滤波电路的负输出端连接，所述电容C3的第二端与所述电感L3的第一端连接，所述电感L3的第二端与所述变压模块的负输入端连接。

7.如权利要求3所述的主功率电路，其特征在于，所述变压器T1原边绕组的一端与所述第二滤波电路的正输出端连接，所述变压器T1原边绕组的另一端与所述第三滤波电路的输出端连接。

8.如权利要求1所述的主功率电路，其特征在于，所述变压器T1副边绕组的一端和所述多个中心抽头分别通过一开关元件并联，作为所述变压模块的正输出端，所述变压模块的正输出端与负载的正极连接；所述变压器T1副边绕组的另一端作为所述变压模块的负输出端，所述变压模块的负输出端与负载的负极连接。

9.如权利要求1所述的主功率电路，其特征在于，还包括依次连接的整流模块和逆变模块，所述逆变模块与谐振滤波模块连接；

所述整流模块用于将三相交流电转换为双相直流电；

所述逆变模块用于将双相直流电转换为双相交流电，输出正负脉冲对称的方波信号给所述谐振滤波模块。

10.一种镀膜电源，其特征在于，包括如权利要求1-9任一项所述的主功率电路。