CN219873446U - 一种硅片花篮升降与切换机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种硅片花篮升降与切换机构，包括：底座；旋转切换组件，转动设于底座的上方，其包括立柱和旋转部，旋转部用于驱动立柱在竖直方向上旋转；至少两组升降组件，间隔固设于立柱的侧部，其包括花篮放置架和升降部，花篮放置架用于放置硅片花篮，花篮放置架安装在升降部上，升降部设于立柱上，升降部用于驱动花篮放置架沿立柱上升或者下降。本实用新型能实现快速完成满蓝搬运与空蓝切换，提高插片设备的产能。

Description

一种硅片花篮升降与切换机构

技术领域

本实用新型属于硅片生产技术领域，尤其涉及一种硅片花篮升降与切换机构。

背景技术

在硅片切片环节中，需要将脱胶后的硅片利用插片机插入专用的花篮内，装满硅片后的花篮需要使用移栽机械手搬运至清洗机的入料口，同时，移栽机械手将清洗机回篮口的空花篮搬运至插片机的花篮提升装置上，在此过程中，因移栽机械手等待花篮插片，而导致花篮与空花篮的切换时间太长，严重影响插片设备的产能。

因此，需要设计一种快速完成满篮搬运与空篮切换，提高生产效率的装置。

发明内容

本实用新型提供了一种硅片花篮升降与切换机构，实现快速完成满篮搬运与空篮切换，提高插片设备的产能。

为达到上述技术目的，本实用新型采用以下技术方案实现：

本申请一些实施例中，本实用新型提供了一种硅片花篮升降与切换机构，包括：

底座；

旋转切换组件，转动设于所述底座的上方，其包括立柱和旋转部，所述旋转部用于驱动所述立柱在竖直方向上旋转；

至少两组升降组件，间隔固设于所述立柱的侧部，其包括花篮放置架和升降部，所述花篮放置架用于放置硅片花篮，所述花篮放置架安装在所述升降部上，所述升降部设于所述立柱上，所述升降部用于驱动所述花篮放置架沿所述立柱上升或者下降。

本申请一些实施例中，所述旋转部包括回转部和旋转驱动部，所述回转部转动设于所述底座的上方，所述旋转驱动部用于驱动所述回转部在水平面内转动，所述立柱设在所述回转部上。旋转驱动部驱动回转部带动立柱上的花篮放置架进行转动，从而完成空的硅片花篮和插满片的硅片花篮在同一水平面内实现来回转动，便于移栽机械手进行操作。

本申请一些实施例中，所述旋转驱动部包括旋转电机，所述旋转电机设于所述底座上，所述旋转电机的动力输出端设有齿轮或蜗轮蜗杆，所述回转部的内周侧或外周侧设有齿圈，所述齿圈与所述齿轮或所述蜗轮啮合。使用旋转电机对回转部进行驱动，便于安装、操作，在旋转电机与回转部的内侧或者外侧之间设置齿轮或蜗轮蜗杆，增加传动距离，提高机构运行的稳定性。

本申请一些实施例中，所述升降部包括电缸，所述电缸设于所述立柱的侧部，所述电缸的动力输出端与所述花篮放置架连接。使用电缸驱动花篮放置架进行升降操作，结构简单，便于使用。

本申请一些实施例中，所述花篮放置架包括背板，所述背板上设有安装部，所述安装部与所述电缸的动力输出端连接，所述背板在背离所述安装部的一侧设有放置部，所述硅片花篮放置于所述放置部上。花篮放置架通过安装部固定在电缸上，并受电缸的驱动可在立柱上进行上升或者下降运动，通过放置部，移栽机械手可将硅片花篮放置在花篮放置架上或者从花篮放置架上取走。

本申请一些实施例中，所述背板上还设有夹紧定位结构，所述夹紧定位结构用于将所述硅片花篮固定在所述花篮放置架上。夹紧定位结构能对放置在花篮放置架上的硅片花篮进行固定，防止在旋转切换过程中，硅片花篮从花篮放置架上脱落，造成生产事故。

本申请一些实施例中，所述夹紧定位结构包括夹紧部和夹紧驱动部，所述夹紧部位于所述背板的两侧，所述夹紧部上设有夹紧螺栓，所述夹紧螺栓的端部对所述硅片花篮实现夹紧，所述夹紧驱动部设于所述背板上，所述夹紧驱动部的动力输出端与所述夹紧部连接。夹紧部能从硅片花篮的侧部对硅片花篮进行夹紧，夹紧部和夹紧驱动部的设置位置均有助于减小机构体积。

本申请一些实施例中，所述夹紧定位结构还包括定位块，所述定位块设于所述放置部上。定位块能为硅片花篮放置在花篮放置架上时提供定位点，便于进行固定。

本申请一些实施例中，所述背板上还设有缓冲件，所述缓冲件为硅片插入所述硅片花篮时提供缓冲力。能有效防止硅片插入硅片花篮时磕碰硅片花篮内壁，减少硅片花篮的使用寿命。

本申请一些实施例中，所述立柱的横截面为圆形或正多边形。横截面的形状可根据生产需求进行设计，在多个面上安装升降组件能减少机械手等待插片的时间，大大提升插片设备的产能。

与现有技术相比，本实用新型的优点和有益效果是：

（1）通过旋转切换组件，对空的硅片花篮和满片的硅片花篮实现快速切换，提高了插片作业的效率；

（2）通过设置至少两组升降组件，增加了等待搬运的位置，从而减少了机械手等待插片的时间，进而有了足够多的时间以快速完成满篮搬运与空篮切换的工作，且能够在升降过程中完成插片，大大提升了插片设备的产能与效率。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型硅片花篮升降与切换机构一实施例的结构示意图;

图2为本实用新型硅片花篮升降与切换机构一实施例的剖视图;

图3为本实用新型一实施例中硅片花篮升降与切换机构与插片设备的组装图；

图4为本实用新型一实施例中花篮放置架的结构示意图一；

图5为本实用新型一实施例中花篮放置架的结构示意图二；

图6为本实用新型一实施例中升降部与花篮放置架的组装图一；

图7为本实用新型一实施例中升降部与花篮放置架的组装图二。

附图标记说明：

1、底座；

2、立柱；

3、旋转部；31、回转部；32、旋转驱动部；33、齿轮或蜗轮蜗杆；34、减速机；

4、花篮放置架；41、背板；42、安装部；43、放置部；44、夹紧定位结构；441、夹紧部；442、夹紧螺栓；443、夹紧驱动部；444、定位块；

5、升降部；

6、硅片花篮；

7、硅片；

8、缓冲件；

9、插片设备；

10、拖链。

实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

需要说明的是，在本实用新型的描述中，术语”上”、”下”、”左”、”右”、”竖”、”横”、”内”、”外”等指示的方向或位置关系的术语是基于附图所示的方向或位置关系，这仅仅是为了便于描述，而不是指示或暗示所述装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语”第一”、”第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语”安装”、”相连”、”连接”、”固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸地连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之”上”或之”下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征”之上”、”上方”和”上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征”之下”、”下方”和”下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

下文的公开提供了许多不同的实施方式或例子用来实现本实用新型的不同结构。为了简化本实用新型的公开，下文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然，它们仅仅为示例，并且目的不在于限制本实用新型。此外，本实用新型可以在不同例子中重复参考数字和/或参考字母，这种重复是为了简化和清楚的目的，其本身不指示所讨论各种实施方式和/或设置之间的关系。此外，本实用新型提供了的各种特定的工艺和材料的例子，但是本领域普通技术人员可以意识到其他工艺的应用和/或其他材料的使用。

本申请一些实施例中，如图1至图3所示，本实用新型提供了一种硅片花篮升降与切换机构，包括：

底座1；

旋转切换组件，转动设于底座1的上方，其包括立柱2和旋转部3，旋转部3用于驱动立柱2在竖直方向上旋转；

至少两组升降组件，间隔固设于立柱2的侧部，其包括花篮放置架4和升降部5，花篮放置架4用于放置硅片花篮6，花篮放置架4安装在升降部5上，升降部5设于立柱2上，升降部5用于驱动花篮放置架4沿立柱2上升或者下降。

底座1包括底面和支架，支架包括台面和四条支撑腿，用于安装和支撑各部件。

旋转切换组件包括立柱2和旋转部3，立柱2为竖直放置的柱状结构，旋转部3用于带动立柱2在竖直方向内实现任意角度旋转。

升降组件，包括至少两组，间隔的设置在立柱2的侧部，升降组件包括花篮放置架4和升降部5，花篮放置架4用于放置硅片花篮6，升降组件用于驱动花篮放置架4做升降运动，从而带动硅片花篮6上升或者下降进行插片。

底座1的支架通过焊接的方式将四条支撑腿焊接在底面上，旋转部3转动连接在底座1的台面上方，立柱2固定在旋转部3上方，升降组件均匀的固定安装在立柱2的侧部。

使用时，机械手将空的硅片花篮6放置在花篮放置架4上，旋转切换组件带动立柱2上的花篮放置架4进行旋转，将花篮放置架4中的硅片花篮6旋转到插片设备9处，升降组件带动花篮放置架4中的硅片花篮6进行插片，待插满后，旋转部3再带动花篮放置架4进行旋转，将下一个空的硅片花篮6旋转到插片设备9处，在此过程中，机械手将插片后的满片硅片花篮6取走。

本申请一些实施例中，旋转部3包括回转部31和旋转驱动部32，回转部31转动设于底座1的上方，旋转驱动部32用于驱动回转部31在水平面内转动，立柱2设在回转部31上。

回转部31采用回转支承，回转支承包括内圈、外圈和滚珠，内圈设置在外圈的安装槽内，滚珠设置在内圈和外圈之间形成的滚道内，回转支承包括内齿型和外齿型，若采用内齿型回转支承则外圈固定在底座1的上方，内圈的顶部与立柱2的底部之间固定连接；若采用外齿型回转支承则内圈固定在底座1的上方，外圈的顶部与立柱2的底部之间固定连接。

旋转驱动部32可以驱动回转部31，即驱动回转支承带动立柱2进行任意角度的旋转，从而带动立柱2上的硅片花篮6进行旋转，使硅片花篮6分别位于插片的位置或插满片待搬运的位置。

本申请一些实施例中，旋转驱动部32包括旋转电机，旋转电机设于底座1上，旋转电机的动力输出端设有齿轮或蜗轮蜗杆33，回转部31的内周侧或外周侧设有齿圈，齿圈与齿轮或蜗轮啮合。

旋转电机通过安装座安装在底座1上，旋转电机可以采用伺服电机、步进电机、液压马达等，旋转电机的驱动轴和回转部31的齿圈之间通过齿轮或蜗轮蜗杆33啮合连接，增设齿轮和蜗轮蜗杆增加了传动距离，使旋转电机驱动回转部31的过程更为稳定，且齿轮和蜗轮蜗杆改变了旋转电机的驱动轴向，有效减小了整个机构的体积，从而减小了机构使用时所需要的空间。

当使用齿轮时，旋转电机的驱动轴与齿轮的转动轴之间固定连接，齿轮的轮齿与回转部31的齿圈之间啮合。

当使用蜗轮蜗杆机构时，旋转电机的驱动轴与蜗杆之间固定连接，蜗轮的轮齿与回转部31的齿圈之间啮合。

当回转部31的内周侧设有齿圈，即回转部31采用内齿回转支承时，旋转电机安装在回转支承的内侧，这样能进一步减小机构的体积，更为美观。

当回转部31的外周侧设有齿圈，即回转部31采用外齿回转支承时，旋转电机安装在回转支承的外侧，这样便于对机构进行检查、维修。

齿轮或蜗轮蜗杆33与旋转电机之间设有减速机34，减速机34能降低转速使旋转切换组件降低转速，保持硅片花篮6平稳切换。

本申请一些实施例中，如图4至图7所示，升降部5包括电缸，电缸设于立柱2的侧部，电缸的动力输出端与花篮放置架4连接。

电缸包括伺服电机和丝杠，丝杠将伺服电机的旋转运动转换成直线运动，伺服电机和丝杠均固定安装在立柱2的侧面，丝杠的端部上连接有安装块，用于与花篮安装架连接，使用电缸能有效减小机构的体积。

本申请一些实施例中，花篮放置架4包括背板41，背板41上设有安装部42，安装部42与电缸的动力输出端连接，背板41在背离安装部42的一侧设有放置部43，硅片花篮6放置于放置部43上。

背板41为一块中部开设矩形通孔的矩形板，矩形板的两端之间连接形成安装部42，安装部42与电缸上连接的安装块之间通过螺栓连接；背板41在背离安装部42的一侧固定连接有放置部43，放置部43的形状与硅片花篮6底部形状相适配，硅片花篮6放置在放置部43上。

本申请一些实施例中，背板41上还设有夹紧定位结构44，夹紧定位结构44用于将硅片花篮6固定在花篮放置架4上。

由于硅片花篮6放置在放置部43上进行旋转切换的过程中，可能会发生硅片花篮6失去平衡从花篮放置架4上脱落的情况，夹紧定位结构44可以将硅片花篮6固定在花篮放置架4上，保证在进行旋转切换的过程中，硅片花篮6不脱落。

夹紧定位结构44可以设置在背板41上的任意位置，本实施例中夹紧定位结构44设置在背板41上与硅片花篮6等高的位置处，便于从硅片花篮6的上方进行固定，固定效果好。

本申请一些实施例中，夹紧定位结构44包括夹紧部441和夹紧驱动部443，夹紧部441位于背板41的两侧，夹紧部441上设有夹紧螺栓442，夹紧螺栓442的端部对硅片花篮6实现夹紧，夹紧驱动部443设于背板41上，夹紧驱动部443的动力输出端与夹紧部441连接。

本实施例中，共包括三组夹紧定位机构，其中两组相对应地位于背板41靠近顶端的位置，另外一组设置在放置部43的一侧位置。

位于背板41靠近顶端位置的两组夹紧定位机构，夹紧部441为杆状结构，每根夹紧部441上分别设有两个夹紧螺栓442，夹紧驱动部443采用气缸，气缸通过螺栓固定在背板41上，位于背板41远离放置部43的一侧，气缸的活塞杆穿过背板41上的安装孔与夹紧部441靠近背板41的一端固定连接，夹紧驱动部443驱动夹紧部441在水平方向上往复移动实现夹紧或释放硅片花篮6。

位于放置部43的一侧位置的一组夹紧机构，夹紧部441同样为杆状结构，夹紧部441上设有两个夹紧螺栓442，夹紧驱动部443采用气缸，气缸安装在放置部43上，气缸的活塞杆穿过放置部43与夹紧部441的一端固定连接，夹紧驱动部443驱动夹紧部441在水平方向上往复移动实现夹紧或释放硅片花篮6。

本申请一些实施例中，夹紧定位结构44还包括定位块444，定位块444设于放置部43上。

定位块444为硅片花篮6放置在花篮放置架4上时提供定位点。定位块444设置在放置部43上没有夹紧定位机构的一端，定位块444与放置部43对面的一组夹紧定位机构相配合，能对硅片花篮6底部进行固定。

使用时，硅片花篮6放置在安装部42上后，三组夹紧驱动部443驱动夹紧部441靠近硅片花篮6方向移动，定位块444给硅片花篮6提供一个固定的定位点，定位块444协同夹紧部441对硅片花篮6进行固定。

本申请一些实施例中，背板41上还设有缓冲件8，缓冲件8为硅片7插入硅片花篮6时提供缓冲力。

本实施例中，缓冲件8包括固定板、软胶皮以及气缸，软胶皮固定安装在固定板上，固定板位于背板41中部的通孔内，气缸可驱动固定板随硅片花篮6同步进行升降，固定板上的软胶皮能有效避免硅片7进入硅片花篮6后磕碰硅片花篮6的内壁的问题。

在其他一些实施例中，缓冲件8也可以采用橡胶条，橡胶条设置在硅片花篮6的内壁上，同样能实现避免硅片7磕碰硅片花篮6的内壁效果。

本申请一些实施例中，立柱2上还设有拖链10，拖链10的移动端部固定在花篮放置架4上，拖链10内部放置有线缆，线缆用于为花篮放置架4上的夹紧驱动部443进行供电，拖链10的设置便于保护线缆，防止线缆破损发生安全事故。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施方式”、“一些实施方式”、“示意性实施方式”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施方式或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施方式或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施方式或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施方式或示例中以合适的方式结合。

以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其进行限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的普通技术人员来说，依然可以对前述实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型所要求保护的技术方案的精神和范围。

Claims (10)

1.一种硅片花篮升降与切换机构，其特征在于，包括：

底座；

旋转切换组件，转动设于所述底座的上方，其包括立柱和旋转部，所述旋转部用于驱动所述立柱在竖直方向上旋转；

至少两组升降组件，间隔固设于所述立柱的侧部，其包括花篮放置架和升降部，所述花篮放置架用于放置硅片花篮，所述花篮放置架安装在所述升降部上，所述升降部设于所述立柱上，所述升降部用于驱动所述花篮放置架沿所述立柱上升或者下降。

2.根据权利要求1所述的一种硅片花篮升降与切换机构，其特征在于，所述旋转部包括回转部和旋转驱动部，所述回转部转动设于所述底座的上方，所述旋转驱动部用于驱动所述回转部在水平面内转动，所述立柱设在所述回转部上。

3.根据权利要求2所述的一种硅片花篮升降与切换机构，其特征在于，所述旋转驱动部包括旋转电机，所述旋转电机设于所述底座上，所述旋转电机的动力输出端设有齿轮或蜗轮蜗杆，所述回转部的内周侧或外周侧设有齿圈，所述齿圈与所述齿轮或所述蜗轮啮合。

4.根据权利要求1所述的一种硅片花篮升降与切换机构，其特征在于，所述升降部包括电缸，所述电缸设于所述立柱的侧部，所述电缸的动力输出端与所述花篮放置架连接。

5.根据权利要求4所述的一种硅片花篮升降与切换机构，其特征在于，所述花篮放置架包括背板，所述背板上设有安装部，所述安装部与所述电缸的动力输出端连接，所述背板在背离所述安装部的一侧设有放置部，所述硅片花篮放置于所述放置部上。

6.根据权利要求5所述的一种硅片花篮升降与切换机构，其特征在于，所述背板上还设有夹紧定位结构，所述夹紧定位结构用于将所述硅片花篮固定在所述花篮放置架上。

7.根据权利要求6所述的一种硅片花篮升降与切换机构，其特征在于，所述夹紧定位结构包括夹紧部和夹紧驱动部，所述夹紧部位于所述背板的两侧，所述夹紧部上设有夹紧螺栓，所述夹紧螺栓的端部对所述硅片花篮实现夹紧，所述夹紧驱动部设于所述背板上，所述夹紧驱动部的动力输出端与所述夹紧部连接。

8.根据权利要求6所述的一种硅片花篮升降与切换机构，其特征在于，所述夹紧定位结构还包括定位块，所述定位块设于所述放置部上。

9.根据权利要求5所述的一种硅片花篮升降与切换机构，其特征在于，所述背板上还设有缓冲件，所述缓冲件为硅片插入所述硅片花篮时提供缓冲力。

10.根据权利要求1至9中任一项所述的一种硅片花篮升降与切换机构，其特征在于，所述立柱的横截面为圆形或正多边形。