CN219861554U - 一种具有温度调节功能的蒸镀样品架 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于蒸镀技术领域，涉及一种具有温度调节功能的蒸镀样品架，包括夹持组件、冷板组件、第一驱动杆和第二驱动杆，所述冷板组件包括冷板以及设于所述冷板上表面中部的密封连接头，所述冷板内设有回环往复的冷却液回路，所述冷却液回路的进出口均位于所述密封连接头的下投影范围内，所述第一驱动杆的下端穿过所述密封连接头与所述冷板固定，所述第一驱动杆内设有分别与所述冷却液回路的进出口对接的两个冷却液输送管。本磁性样品架冷却液通过第一驱动杆内部的冷却液输送管进入冷板，通过调节冷板相对样件的远近精确控制散热速度，保证蒸镀时的镀膜质量，密封位置设置于密封连接头处，避免渗漏。

Description

一种具有温度调节功能的蒸镀样品架

技术领域

本实用新型涉及蒸镀技术领域，特别涉及一种具有温度调节功能的蒸镀样品架。

背景技术

钙钛矿太阳能电池的生产过程中，需要采用真空蒸镀的方式进行镀膜。在其蒸镀的时候需要在基片上沉积不同的蒸镀材料，且蒸镀具有不同的范围和厚度。其中蒸镀的一开始需要再样件的表面完整蒸镀一层膜，样件的温度需要得到严格控制。太热则蒸镀材料不会固化，温度不均匀又可能引发镀层厚度不均。

中国专利CN 207468713 U披露了一种蒸镀装置，其中冷板和磁铁能在牵引组件的驱动下上下运动，使冷板贴到玻璃基板上，且通过凸起组件保证冷板与金属掩膜板之间的高度距离保持稳定。但是这里并未披露冷板中管路的设置方式，因为冷板位于真空腔室内，如果按照通常侧面进出的结构，有冷却液滴漏到蒸镀源上的风险，继而可能会影响蒸镀质量。

因此有必要改进样品架结构以解决以上问题。

发明内容

本实用新型的主要目的在于提供一种具有温度调节功能的蒸镀样品架，能够通过调节冷板相对样件的远近精确控制散热速度，而且避免了冷却液滴漏到真空腔室内，保证了镀膜质量。

本实用新型通过如下技术方案实现上述目的：一种具有温度调节功能的蒸镀样品架，包括夹持组件、冷板组件、第一驱动杆和第二驱动杆，所述第二驱动杆中空并被所述第一驱动杆沿轴向穿过，所述第二驱动杆驱动所述夹持组件做升降运动，所述第一驱动杆驱动所述冷板组件在所述夹持组件的内部做升降运动，所述冷板组件内设有回环往复的冷却液回路，所述冷板组件的上表面中部设有密封连接头，所述冷却液回路的进出口均位于所述密封连接头内，所述第一驱动杆的下端固定于所述密封连接头上，且所述第一驱动杆内设有分别与所述冷却液回路的进出口对接的两个冷却液输送管。

具体的，所述夹持组件包括中空的框体和连接于所述框体下部的隔板，所述框体下部边缘浮动设置有托具。

进一步的，所述夹持组件包括连接所述第二驱动杆的十字框，所述框体固定于所述十字框的下部，所述十字框、所述框体和所述隔板形成限制所述冷板组件升降高度范围的包围结构。

进一步的，还包括基板，所述夹持组件在所述基板的下方做升降运动。

进一步的，所述框体的四周设有若干收容弹簧的沉孔，所述托具上设有穿过所述沉孔和所述弹簧的钉头部件，所述沉孔内具有托起所述弹簧下端的内平台，所述弹簧的上端抵持所述钉头部件的头部，所述基板的下表面设有若干配合所述钉头部件的顶销。

进一步的，所述弹簧的下端与所述内平台之间夹持有下弹簧座，所述弹簧的上端与所述钉头部件之间夹持有上弹簧座，所述上弹簧座具有包围于所述弹簧外的侧壁，所述侧壁的外表面与所述沉孔的内壁之间具有空隙。

本实用新型技术方案的有益效果是：

本磁性样品架冷却液通过第一驱动杆内部的冷却液输送管进入冷板，通过调节冷板相对样件的远近精确控制散热速度，保证蒸镀时的镀膜质量。密封位置设置于密封连接头处，密封连接头与第一驱动杆之间、密封连接头与冷板之间都设有密封件，这样可以避免渗漏。

附图说明

图1为实施例蒸镀样品架在夹持样件时的立体图；

图2为实施例蒸镀样品架的局部剖视图；

图3为夹持组件的立体图；

图4为冷板组件的俯视透视图；

图5为顶销未接触钉头部件时沉孔位置的剖视图；

图6为顶销压迫钉头部件时沉孔位置的剖视图。

图中数字表示：

1-基板，11-顶销；

2-夹持组件，21-框体，211-沉孔，212-内平台，22-隔板，221-钉头部件，23-托具，24-弹簧，25-下弹簧座，26-上弹簧座，261-侧壁，27-十字框；

3-冷板组件，31-冷板，311-冷却液回路，32-密封连接头；

4-第一驱动杆，41-冷却液输送管；

5-第二驱动杆；

6-样件。

具体实施方式

下面结合具体实施例对本实用新型作进一步详细说明。

实施例：

如图1和图2所示，本实用新型的一种具有温度调节功能的蒸镀样品架，包括基板1、夹持组件2、冷板组件3、第一驱动杆4和第二驱动杆5，第二驱动杆5中空并被第一驱动杆4沿轴向穿过，第二驱动杆5夹持组件2在基板1的下方做升降运动，第一驱动杆4驱动冷板组件3在夹持组件2的内部做升降运动。

基板1的下方属于蒸镀真空腔内，夹持组件2和冷板组件3能够独立升降，且结构紧凑。夹持组件2用来夹住样件6，冷板组件3会在样件6的上方升降。冷板组件3内会有流动的冷却液，将蒸镀时样件6上产生的热量带走。冷板组件3接近样件6时，降温速度更快，远离时则降温速度变慢。所以通过精确调节冷板组件3与样件6的相对距离，就能精确控制样件6的散热速度，保证蒸镀工艺中的温度稳定。样件6能够先装夹于夹持组件2上，然后冷板组件3再落下。对于不够平整的薄膜状样件也可以通过调整下压力来确保冷板组件3充分贴合样品，保证镀膜工艺温度。

如图2所示，冷板组件3包括冷板31以及设于冷板31上表面中部的密封连接头32，冷板31内设有回环往复的冷却液回路31，冷却液回路31的进出口均位于密封连接头32的下投影范围内，第一驱动杆4的下端穿过密封连接头32与冷板31固定，第一驱动杆4内设有分别与冷却液回路31的进出口对接的两个冷却液输送管41。

第一驱动杆4和第二驱动杆5采用同轴设置方式，而冷却液通过第一驱动杆4内部的冷却液输送管41进入冷板组件3，密封位置设置于密封连接头32处，密封连接头32与第一驱动杆4之间、密封连接头32与冷板31之间都设有密封件，这样可以避免渗漏。第二驱动杆5对第一驱动杆4的外部也起到一定的支撑作用，避免第一驱动杆4被液压影响而撑大变形。

如图2和图3所示，夹持组件2包括连接第二驱动杆5的十字框27、固定于十字框27下部且中空的框体21、连接于框体21下部的隔板22，十字框27、框体21和隔板22形成限制冷板组件3升降高度范围的包围结构。

因为隔板22是个平板，框体21是一个方框，第二驱动杆5要从框体21的重心上方连接到框体21上，所以要采用十字框27进行连接。冷板组件3与夹持组件2形成一种内外嵌套的紧凑结构，冷板组件3上升时会被十字框27阻挡，下降时会被隔板22阻挡。

如图2和图3、图5和图6所示，框体21下部边缘浮动设置有托具23，框体21的四周设有若干收容弹簧24的沉孔211，托具23上设有穿过沉孔211和弹簧24的钉头部件221，沉孔211内具有托起弹簧24下端的内平台212，弹簧24的上端抵持钉头部件221的头部，基板1的下表面设有若干配合钉头部件221的顶销11。

在本实施例中，托具23为两个C字形部件，适用的样件6可以是不同厚度的剥离。托具23托住样件6的边缘。在顶销11不接触钉头部件221的时候，弹簧24的弹力会使托具23向上运动直到托具23的第二平台面232接触隔板22的下表面。在装夹样件6时，夹持组件2升高到钉头部件221接触顶销11，弹簧24被压缩，托具23就会相对隔板22下降，使隔板22与托具23之间会出现一个缝隙，样件6就能通过该缝隙放到托具23上。等夹持组件2相对基板1下降到顶销11脱离钉头部件221，此时弹簧24复位，样件6就被隔板22和托具23夹紧。相比于气缸驱动托具23升降运动，以上方式可以保证所有钉头部件221同步升降，使托具23的平稳，而且节省了样品架高度空间，减少了驱动部件。

如图5和图6所示，弹簧24的下端与内平台212之间夹持有下弹簧座25，弹簧24的上端与钉头部件221之间夹持有上弹簧座26，上弹簧座26具有包围于弹簧24外的侧壁261，侧壁261的外表面与沉孔211的内壁之间具有空隙。

弹簧24、框体21和钉头部件221都是金属件，下弹簧座25和上弹簧座26为塑胶件，下弹簧座25和上弹簧座26能够避免弹簧24的两端与内平台212和钉头部件221直接接触而产生金属碎屑。上弹簧座26还具有引导升降方向的作用，上弹簧座26的外径相比沉孔211上段的内径稍微小一点，这样才能避免卡顿。

本蒸镀样品架的工作流程是：先夹持组件2和冷板组件3一起上升，基板1上的顶销11碰到钉头部件221，从而令弹簧24压缩，托具23下降离开框体21一定距离，留出供样件6插入的缝隙，将样件6放入缝隙并让样件6的边缘放在托具23上；随后冷板组件3不动，第一驱动杆4驱动夹持组件2下降，弹簧24弹力释放，托具23靠近框体21从而将样件6夹住；第二驱动杆5驱动冷板组件2下降，控制其与样件6之间的相对距离，继而控制样件6的散热温度平稳，以完成蒸镀，并保证镀膜质量。

以上所述的仅是本实用新型的一些实施方式。对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型创造构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。

Claims (6)

1.一种具有温度调节功能的蒸镀样品架，其特征在于：包括夹持组件、冷板组件、第一驱动杆和第二驱动杆，所述第二驱动杆中空并被所述第一驱动杆沿轴向穿过，所述第二驱动杆驱动所述夹持组件做升降运动，所述第一驱动杆驱动所述冷板组件在所述夹持组件的内部做升降运动，所述冷板组件内设有回环往复的冷却液回路，所述冷板组件的上表面中部设有密封连接头，所述冷却液回路的进出口均位于所述密封连接头内，所述第一驱动杆的下端固定于所述密封连接头上，且所述第一驱动杆内设有分别与所述冷却液回路的进出口对接的两个冷却液输送管。

2.根据权利要求1所述的具有温度调节功能的蒸镀样品架，其特征在于：所述夹持组件包括中空的框体和连接于所述框体下部的隔板，所述框体下部边缘浮动设置有托具。

3.根据权利要求2所述的具有温度调节功能的蒸镀样品架，其特征在于：所述夹持组件包括连接所述第二驱动杆的十字框，所述框体固定于所述十字框的下部，所述十字框、所述框体和所述隔板形成限制所述冷板组件升降高度范围的包围结构。

4.根据权利要求2所述的具有温度调节功能的蒸镀样品架，其特征在于：还包括基板，所述夹持组件在所述基板的下方做升降运动。

5.根据权利要求4所述的具有温度调节功能的蒸镀样品架，其特征在于：所述框体的四周设有若干收容弹簧的沉孔，所述托具上设有穿过所述沉孔和所述弹簧的钉头部件，所述沉孔内具有托起所述弹簧下端的内平台，所述弹簧的上端抵持所述钉头部件的头部，所述基板的下表面设有若干配合所述钉头部件的顶销。

6.根据权利要求5所述的具有温度调节功能的蒸镀样品架，其特征在于：所述弹簧的下端与所述内平台之间夹持有下弹簧座，所述弹簧的上端与所述钉头部件之间夹持有上弹簧座，所述上弹簧座具有包围于所述弹簧外的侧壁，所述侧壁的外表面与所述沉孔的内壁之间具有空隙。