CN219859067U - 一种用于向晶托上塑料板的装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种用于向晶托上塑料板的装置,该装置包括上塑料板小车和上料机构,所述上塑料板小车用于将塑料板运输至上料机构处,所述上料机构用于将上塑料板小车上的塑料板运送至晶托端面上;所述上塑料小车包括放板模块、小车框架和行走定位模块,所述小车框架下端安装行走定位模块,所述小车框架上端安装放板模块,所述放板模块用于放置塑料板,所述行走定位模块用于将小车框架移至上料机构处并将上塑料板小车固定;所述上料机构包括上料框架和上料抓手,所述上料框架上端设置上料抓手。本实用新型的装置通过上塑料板小车和上料机构的配合使用,实现了向晶托连续上塑料板的同时减少了人力成本,提高了上塑料板的效率。
Description
技术领域
本实用新型属于晶棒加工设备技术领域,尤其涉及一种用于向晶托上塑料板的装置。
背景技术
晶棒在放置在晶托上时,需在晶托上放置塑料板,使晶托与晶棒分别与塑料板固定连接,现有技术通常采用人工放塑料板的形式完成晶托放置塑料板的工序;由人工将所需要的塑料板安照晶托(纯钢制作)种类以及每日的生产要求,将对应的塑料板放到对应的晶托上面。耗时耗力且有人员漏放的风险。
实用新型内容
本实用新型的目的在于克服上述现有技术中存在的不足,提供一种用于向晶托上塑料板的装置,本实用新型的装置通过上塑料板小车和上料机构的配合使用,实现了向晶托连续上塑料板的同时减少了人力成本,提高了上塑料板的效率。
为了实现上述实用新型目的,本实用新型专利提供的技术方案如下:
一种用于向晶托上塑料板的装置,该装置包括上塑料板小车和上料机构,所述上塑料板小车用于将塑料板运输至上料机构处,所述上料机构用于将上塑料板小车上的塑料板运送至晶托端面上;所述上塑料小车包括放板模块、小车框架和行走定位模块,所述小车框架下端安装行走定位模块,所述小车框架上端安装放板模块,所述放板模块用于放置塑料板,所述行走定位模块用于将小车框架移至上料机构处并将上塑料板小车固定;所述上料机构包括上料框架和上料抓手,所述上料框架上端设置上料抓手,所述上料抓手用于将塑料板拿取固定并将塑料板运输至晶托端面上。
上述小车框架整体为长方体形框架,所述行走定位模块包括滚轮、左导向板、右导向板、传感器和加紧气缸,所述滚轮设置在小车框架底部四角,所述小车框架一侧安装左导向板,所述小车框架另一侧安装右导向板,所述小车框架前端下部安装挡板,所述挡板上设置有传感器和加紧气缸,所述小车框架前端上部安装有把手。
上述放板模块包括底板和定位柱,定位柱包括第一定位柱和第二定位柱,所述第一定位柱和第二定位柱对称设置,所述第一定位柱整体呈U型,所述第二定位柱与所述第一定位柱结构相同,所述塑料板放置在所述第一定位柱和第二定位柱之间,所述第一定位柱和第二定位柱之间放置多个塑料板,所述底板上设置有多排定位柱。
上述第二定位柱一侧所述的底板上设置有定位孔,所述定位孔所在的底板下端设置有传感器,定位孔处的传感器用于判断定位柱所在的底板上是否有塑料板。
上述上料框架包括第一框架和第二框架,所述上料框架整体呈L形框架结构,所述第一框架与所述第二框架一侧垂直连接,所述第一框架高度低于第二框架高度,所述第一框架长度小于小车框架长度,所述第一框架底部和所述第二框架底部四角分别设置地脚组件,所述地脚组件用于调整上料框架安装的水平度。
上述第二框架上端设置有两条平行导轨,所述上料抓手沿着导轨滑动;所述导轨两端设置有限位挡停机构。
上述上料抓手包括横板、滑柱和抓手,所述横板一端与所述导轨滑动连接,所述横板另一端与所述滑柱一侧下部垂直连接,所述滑柱中部设置有槽型光电,所述滑柱另一侧面上设置有两条相互平行的模齿条,模齿条之间设置有模齿轮,模齿轮在模齿条上下滑动,模齿条下部与所述抓手垂直连接,所述抓手与所述滑柱相互垂直,所述抓手设置在所述滑柱下端,所述滑柱侧面设置有拖链,所述拖链通过拖链支架与所述滑柱连接,所述第二框架上端侧面设置有拖链;所述滑柱两端设置有限位挡停机构;所述滑柱上安装有真空发生器;所述横板上设置有第二伺服电机和第二减速机,所述第二伺服电机用于驱动横板在所述导轨上滑动,所述第二减速机用于控制横板横移速度。
上述滑柱上设置有第一伺服电机和第一减速机,所述第一伺服电机用于驱动抓手在滑柱长度方向上滑动,所述第一减速机用于控制抓手运行速度。
上述抓手包括固定板、真空发生器安装板和吸盘,所述固定板上端面中部与所述模齿轮连接,所述固定板下端与所述真空发生器安装板连接,所述真空发生器安装板四角分别安装吸盘,所述固定板上端面四角设置有导柱,导柱内设置有弹簧,所述固定板两侧设置有传感器支架,所述传感器支架上设置有传感器;所述真空发生器用于控制吸盘吸取塑料板。
基于上述方案,本实用新型的装置经过实践取得了积极有益的效果:
1.本实用新型一种用于向晶托上塑料板的装置通过上塑料板小车和上料机构的配合使用,实现了向晶托连续上塑料板的同时减少了人力成本,提高了上塑料板的效率。
2.本实用新型一种用于向晶托上塑料板的装置通过上塑料板小车装载多排的塑料板用于上料,且可装载不同尺寸的塑料板,适用于不同型号的晶托上塑料板,提高了上塑料板的效率。
附图说明
图1是本实用新型一种用于向晶托上塑料板的装置中的上塑料板装置立体图。
图2是本实用新型一种用于向晶托上塑料板的装置中的上塑料板装置主视图。
图3是本实用新型一种用于向晶托上塑料板的装置中的上塑料板装置侧视图。
图4是本实用新型一种用于向晶托上塑料板的装置中的上塑料板装置俯视图。
图5是本实用新型一种用于向晶托上塑料板的装置中的抓手结构图。
具体实施方式
为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚明了,下面通过附图中示出的具体实例来描述本发明。但是应该理解,这些描述只是示例性的,而并非要限制本实用新型的范围。此外,在以下说明中,省略了对公知结构和技术的描述,以避免不必要地混淆本实用新型的概念。
如图1-5中所示,本实用新型属于一种用于向晶托上塑料板的装置,该装置包括上塑料板小车2和上料机构,所述上塑料板小车2用于将塑料板运输至上料机构处,所述上料机构用于将上塑料板小车2上的塑料板运送至晶托端面上;所述上塑料小车包括放板模块、小车框架和行走定位模块,所述小车框架下端安装行走定位模块,所述小车框架上端安装放板模块,所述放板模块用于放置塑料板,所述行走定位模块用于将小车框架移至上料机构处并将上塑料板小车2固定;所述上料机构包括上料框架1和上料抓手,所述上料框架1上端设置上料抓手,所述上料抓手用于将塑料板拿取固定并将塑料板运输至晶托端面上;通过上塑料板小车和上料机构的配合使用,实现了向晶托连续上塑料板的同时减少了人力成本,提高了上塑料板的效率。
其中,小车框架整体为长方体形框架,所述行走定位模块包括滚轮、左导向板6、右导向板7、传感器5和加紧气缸4,所述滚轮设置在小车框架底部四角,所述小车框架一侧安装左导向板6,所述小车框架另一侧安装右导向板7,所述小车框架前端下部安装挡板3,所述挡板3上设置有传感器5和加紧气缸4,所述小车框架前端上部安装有把手;左导向板6和右导向板7能够使上塑料小车2平行进入上料机构处,提高了上塑料板的精确度。
放板模块包括底板和定位柱12,定位柱12包括第一定位柱和第二定位柱,所述第一定位柱和第二定位柱对称设置,所述第一定位柱整体呈U型,所述第二定位柱与所述第一定位柱结构相同,所述塑料板放置在所述第一定位柱和第二定位柱之间,所述第一定位柱和第二定位柱之间放置多个塑料板,所述底板上设置有多排定位柱12。
第二定位柱一侧所述的底板上设置有定位孔,所述定位孔所在的底板下端设置有传感器5,定位孔处的传感器5用于判断定位柱12所在的底板上是否有塑料板。
上料框架1包括第一框架101和第二框架102,所述上料框架1整体呈L形框架结构,所述第一框架101与所述第二框架102一侧垂直连接,所述第一框架101高度低于第二框架102高度,所述第一框架101长度小于小车框架长度,所述第一框架101底部和所述第二框架102底部四角分别设置地脚组件8,所述地脚组件8用于调整上料框架1安装的水平度。
第二框架102上端设置有两条平行导轨9,所述上料抓手沿着导轨9滑动;所述导轨9两端设置有限位挡停机构11。
上料抓手包括横板30、滑柱22和抓手,所述横板30一端与所述导轨9滑动连接,所述横板30另一端与所述滑柱22一侧下部垂直连接,所述滑柱22中部设置有槽型光电15,所述滑柱22另一侧面上设置有两条相互平行的模齿条13,模齿条13之间设置有模齿轮14,模齿轮14在模齿条13上下滑动,模齿条13下部与所述抓手垂直连接,所述抓手与所述滑柱22相互垂直,所述抓手设置在所述滑柱22下端,所述滑柱22侧面设置有拖链10,所述拖链10通过拖链支架16与所述滑柱22连接,所述第二框架102上端侧面设置有拖链10;所述滑柱22两端设置有限位挡停机构11;所述滑柱22上安装有真空发生器;所述横板30上设置有第二伺服电机19和第二减速机20,所述第二伺服电机19用于驱动横板30在所述导轨9上滑动,所述第二减速机20用于控制横板30横移速度。
滑柱22上设置有第一伺服电机32和第一减速机,所述第一伺服电机32用于驱动抓手在滑柱22长度方向上滑动,所述第一减速机用于控制抓手运行速度。
抓手包括固定板27、真空发生器安装板28和吸盘29,所述固定板27上端面中部与所述模齿轮14连接,所述固定板27下端与所述真空发生器安装板28连接,所述真空发生器安装板28四角分别安装吸盘29,所述固定板27上端面四角设置有导柱,导柱内设置有弹簧,所述固定板27两侧设置有传感器支架,所述传感器支架上设置有传感器5;所述真空发生器用于控制吸盘29吸取塑料板。
一种用于向晶托上塑料板的装置具体的工作过程为:将塑料板装载上塑料板小车2的定位柱12之间,多排定位柱12可放置不同型号的塑料板,通过把手将上塑料板小车2推至上料机构处,上塑料板小车2的左导向板6靠近第一框架101,并与第一框架101侧面平行,当上塑料板小车2后端接近第二框架102时,上塑料板小车2的挡板3上的传感器5触发,使加紧气缸4旋转锁定上塑料板小车2;根据不用型号的晶托选择不同的塑料板,第一伺服电机32驱动横板30移动使抓手移至相应的定位柱12上方同时滑柱22上的槽型光电15判断抓手是否移动到位,第二伺服电机19驱动抓手下移,固定板27上的传感器5判断抓手是否移至塑料板上,启动真空发生器使吸盘29吸取塑料板,第二伺服电机19驱动抓手上移,第一伺服电机32驱动横板30带动抓手沿着滑轨移动,使抓手吸取的塑料板放置在晶托上,完成晶托上塑料板的操作。
最后应当说明的是:以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案而非对其限制;尽管参照较佳实施例对本实用新型进行了详细的说明,所属领域的普通技术人员应当理解;依然可以对实用新型的具体实施方式进行修改或者对部分技术特征进行等同替换;而不脱离本实用新型技术方案的精神,其均应涵盖在本实用新型请求保护的技术方案范围当中。
Claims (9)
1.一种用于向晶托上塑料板的装置,其特征在于,该装置包括上塑料板小车和上料机构,所述上塑料板小车用于将塑料板运输至上料机构处,所述上料机构用于将上塑料板小车上的塑料板运送至晶托端面上;所述上塑料板小车包括放板模块、小车框架和行走定位模块,所述小车框架下端安装行走定位模块,所述小车框架上端安装放板模块,所述放板模块用于放置塑料板,所述行走定位模块用于将小车框架移至上料机构处并将上塑料板小车固定;所述上料机构包括上料框架和上料抓手,所述上料框架上端设置上料抓手,所述上料抓手用于将塑料板拿取固定并将塑料板运输至晶托端面上。
2.根据权利要求1所述的一种用于向晶托上塑料板的装置,其特征在于,所述小车框架整体为长方体形框架,所述行走定位模块包括滚轮、左导向板、右导向板、传感器和加紧气缸,所述滚轮设置在小车框架底部四角,所述小车框架一侧安装左导向板,所述小车框架另一侧安装右导向板,所述小车框架前端下部安装挡板,所述挡板上设置有传感器和加紧气缸,所述小车框架前端上部安装有把手。
3.根据权利要求1所述的一种用于向晶托上塑料板的装置,其特征在于,所述放板模块包括底板和定位柱,定位柱包括第一定位柱和第二定位柱,所述第一定位柱和第二定位柱对称设置,所述第一定位柱整体呈U型,所述第二定位柱与所述第一定位柱结构相同,所述塑料板放置在所述第一定位柱和第二定位柱之间,所述第一定位柱和第二定位柱之间放置多个塑料板,所述底板上设置有多排定位柱。
4.根据权利要求3所述的一种用于向晶托上塑料板的装置,其特征在于,所述第二定位柱一侧所述的底板上设置有定位孔,所述定位孔所在的底板下端设置有传感器,定位孔处的传感器用于判断定位柱所在的底板上是否有塑料板。
5.根据权利要求1所述的一种用于向晶托上塑料板的装置,其特征在于,所述上料框架包括第一框架和第二框架,所述上料框架整体呈L形框架结构,所述第一框架与所述第二框架一侧垂直连接,所述第一框架高度低于第二框架高度,所述第一框架长度小于小车框架长度,所述第一框架底部和所述第二框架底部四角分别设置地脚组件,所述地脚组件用于调整上料框架安装的水平度。
6.根据权利要求5所述的一种用于向晶托上塑料板的装置,其特征在于,所述第二框架上端设置有两条平行导轨,所述上料抓手沿着导轨滑动;所述导轨两端设置有限位挡停机构。
7.根据权利要求6所述的一种用于向晶托上塑料板的装置,其特征在于,所述上料抓手包括横板、滑柱和抓手,所述横板一端与所述导轨滑动连接,所述横板另一端与所述滑柱一侧下部垂直连接,所述滑柱中部设置有槽型光电,所述滑柱另一侧面上设置有两条相互平行的模齿条,模齿条之间设置有模齿轮,模齿轮在模齿条上下滑动,模齿条下部与所述抓手垂直连接,所述抓手与所述滑柱相互垂直,所述抓手设置在所述滑柱下端,所述滑柱侧面设置有拖链,所述拖链通过拖链支架与所述滑柱连接,所述第二框架上端侧面设置有拖链;所述滑柱两端设置有限位挡停机构;所述滑柱上安装有真空发生器;所述横板上设置有第二伺服电机和第二减速机,所述第二伺服电机用于驱动横板在所述导轨上滑动,所述第二减速机用于控制横板横移速度。
8.根据权利要求7所述的一种用于向晶托上塑料板的装置,其特征在于,所述滑柱上设置有第一伺服电机和第一减速机,所述第一伺服电机用于驱动抓手在滑柱长度方向上滑动,所述第一减速机用于控制抓手运行速度。
9.根据权利要求7所述的一种用于向晶托上塑料板的装置,其特征在于,所述抓手包括固定板、真空发生器安装板和吸盘,所述固定板上端面中部与所述模齿轮连接,所述固定板下端与所述真空发生器安装板连接,所述真空发生器安装板四角分别安装吸盘,所述固定板上端面四角设置有导柱,导柱内设置有弹簧,所述固定板两侧设置有传感器支架,所述传感器支架上设置有传感器;所述真空发生器用于控制吸盘吸取塑料板。
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