CN219799193U - 一种晶圆片用背面检测设备 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及晶片检测领域，具体为一种晶圆片用背面检测设备，包括外壳、机械臂、上表面检测组件和下表面检测组件，所述机械臂固定安装在外壳内部，所述上表面检测组件固定安装在外壳内部的上表面，所述下表面检测组件固定安装在外壳内部的下表面，所述上表面检测组件和下表面检测组件位置相对应，通过设置气缸一端固定安装在第二安装板的一面，气缸的另一端固定安装在外壳内部检测区的底部，光源组件与第二检测相机固定安装在同一面上，控制器通过控制气缸使得第二安装板，以接住晶片对其进行检测，这样设置大大减少了光反射的次数，大大降低了光在反射过程中的损耗，使得对晶片的检测更加直接，提高了对晶片检测的精度。
Description
技术领域
本实用新型涉及晶片检测领域，具体为一种晶圆片用背面检测设备。
背景技术
在生产中需要对晶片背面进行检测以避免晶片背面的缺陷或是异物给生产带来不便，传统晶片背面检测机构一般采用反射机构，并且一次只检测一面，这种检测主要采用棱镜反射的方式进行的，由于光在棱镜中存在较大的损耗，并且反射次数较多的话还会影响光的强度，大大降低了检测的精度，一次只检测一面需要检测多次，这就增大了检测误差的可能。
实用新型内容
本实用新型提供一种晶圆片用背面检测设备，其目的在于对晶片背面进行检测。
为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：
提供一种晶圆片用背面检测设备，包括外壳、机械臂、上表面检测组件和下表面检测组件，所述机械臂固定安装在外壳内部，所述上表面检测组件固定安装在外壳内部的上表面，所述下表面检测组件固定安装在外壳内部的下表面，所述上表面检测组件和下表面检测组件位置相对应。
所述外壳分为检测区和搬运区，所述机械臂固定安装在搬运区，所述上表面检测组件和下表面检测组件均固定安装在检测区，所述外壳内部下表面检测组件安装位置上开设有四个圆柱槽口。
所述上表面检测组件包括第一安装板、第一检测相机和四个第一光源，所述第一安装板一面靠近边缘处均匀开设有圆柱槽，四个所述第一光源固定安装在圆柱槽内，所述第一检测相机固定安装在第一安装板中间位置上，所述第一检测相机与四个第一光源安装在第一安装板的同一面上，所述安装板固定安装在外壳检测区内部上表面，。
所述下表面检测组件包括气缸、第二安装板、第二检测相机和四个第二光源组件，所述气缸一端固定安装在第二安装板的一面，所述气缸的另一端固定安装在外壳内部检测区的底部，所述第二检测相机固定安装在第二安装板的另一面的中间位置上，所述光源组件与第二检测相机固定安装在同一面上。
所述第二安装板下表面开设有四个圆柱，所述圆柱与外壳内部下表面检测区开设有的四个圆柱槽口滑动连接，四个所述第二光源组件均包括支撑杆和第二光源，所述第二光源固定安装在支撑杆上，所述支撑杆固定安装在第二安装板靠近边缘处。
本实用新型的有益效果是：
1、本实用新型的一种晶圆片用背面检测设备，通过设置气缸、第二安装板、第二检测相机和四个第二光源组件，气缸一端固定安装在第二安装板的一面，气缸的另一端固定安装在外壳内部检测区的底部，第二检测相机固定安装在第二安装板的另一面的中间位置上，光源组件与第二检测相机固定安装在同一面上，控制器通过控制气缸使得第二安装板、第二检测相机和四个第二光源组件上下移动，以接住晶片对其进行检测，这样设置大大减少了光反射的次数，大大降低了光在反射过程中的损耗，使得对晶片的检测更加直接，提高了对晶片检测的精度。
2、本实用新型的一种晶圆片用背面检测设备，通过设置上表面检测组件使得上表面和下表面能够同时对晶片进行检测，大大提高了检测的效率，避免了因检测次数过多造成的误差。
附图说明
图1为本实用新型的整体立体结构示意图；
图2为本实用新型的上表面检测组件整体立体结构示意图；
图3为本实用新型的上表面检测组件整体立体结构分解示意图；
图4为本实用新型的下表面检测组件整体立体机构分解示意图；
附图中，各标号所代表的零部件列表如下：
1、外壳；
2、机械臂；
3、上表面检测组件；31、第一安装板；32、第一检测相机；33、第一光源；
4、下表面检测组件；41、气缸；42、第二安装板；43、第二检测相机；44、第二光源组件；441、支撑杆；442、第二光源。
具体实施方式
其中，附图仅用于示例性说明，表示的仅是示意图，而非实物图，不能理解为对本专利的限制；为了更好地说明本实用新型的实施例，附图某些部件会有省略、放大或缩小，并不代表实际产品的尺寸。
一种晶圆片用背面检测设备，包括外壳1、机械臂2、上表面检测组件3和下表面检测组件4，所述机械臂2固定安装在外壳1内部，所述上表面检测组件3固定安装在外壳1内部的上表面，所述下表面检测组件4固定安装在外壳1内部的下表面，所述上表面检测组件3和下表面检测组件4位置相对应。
设置机械臂2固定安装在外壳1内部便于机械臂2拿取晶片进行检测，上表面检测组件3固定安装在外壳1内部上表面，下表面检测组件4固定安装在外壳1内部的下表面使得晶片上表面和下表面能够同时得到检测，大大提高了检测效率。
所述外壳1分为检测区和搬运区，所述机械臂2固定安装在搬运区，所述上表面检测组件3和下表面检测组件4均固定安装在检测区，所述外壳1内部下表面检测组件4安装位置上开设有四个圆柱槽口。
设置机械臂2固定安装在搬运区，上表面检测组件3和下表面检测组件4固定安装在检测区使得搬运和检测能够分开，避免检测受到干扰，影响检测精度。
所述上表面检测组件3包括第一安装板31、第一检测相机32和四个第一光源33，所述第一安装板31一面靠近边缘处均匀开设有圆柱槽，四个所述第一光源33固定安装在圆柱槽内，所述第一检测相机32固定安装在第一安装板31中间位置上，所述第一检测相机32与四个第一光源33安装在第一安装板31的同一面上，所述安装板固定安装在外壳1检测区内部上表面。
设置四个第一光源33固定安装在第一安装板31的一面，第一检测相机32固定安装在第一安装板31的中间位置上，第一检测相机32与四个第一光源33安装在套第一安装板31的同一个面上使得光能够直接照射到晶片上反射给第一检测相机32，避免了因反射次数过多而造成的检测误差，大大提高了晶片表面的检测精度。
所述下表面检测组件4包括气缸41、第二安装板42、第二检测相机43和四个第二光源组件44，所述气缸41一端固定安装在第二安装板42的一面，所述气缸41的另一端固定安装在外壳1内部检测区的底部，所述第二检测相机43固定安装在第二安装板42的另一面的中间位置上，所述光源组件与第二检测相机43固定安装在同一面上。
设置气缸41一端固定安装在第二安装板42的一面，气缸41的另一端固定安装在外壳1内部检测区的底部，第二检测相机43固定安装在第二安装板42的另一面的中间位置上，光源组件与第二检测相机43固定安装在同一面上，控制器控制机械臂2拿取晶片后，控制器控制气缸41伸缩进而达到下表面检测组件4上移从而使得晶片落在下表面检测组件4上，便于对晶片下表面进行检测。
所述第二安装板42下表面开设有四个圆柱，所述圆柱与外壳1内部下表面检测区开设有的四个圆柱槽口滑动连接，四个所述第二光源组件44均包括支撑杆441和第二光源442，所述第二光源442固定安装在支撑杆441上，所述支撑杆441固定安装在第二安装板42靠近边缘处。
设置圆柱与外壳1内部下表面检测区开设有的四个圆柱槽口滑动连接使得下表面检测组件4在上下移动时位置更加稳定，避免位置便宜造成晶片脱落带来的损失，第二光源442固定安装在支撑杆441上，支撑杆441固定安装在第二安装板42靠近边缘处，晶片放置在支撑杆441的一端，使得第二光源442能够照射到晶片的下表面便于对晶片下表面检测。
以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
Claims (5)
1.一种晶圆片用背面检测设备，其特征在于：包括外壳(1)、机械臂(2)、上表面检测组件(3)和下表面检测组件(4)，所述机械臂(2)固定安装在外壳(1)内部，所述上表面检测组件(3)固定安装在外壳(1)内部的上表面，所述下表面检测组件(4)固定安装在外壳(1)内部的下表面，所述上表面检测组件(3)和下表面检测组件(4)位置相对应。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆片用背面检测设备，其特征在于：所述外壳(1)分为检测区和搬运区，所述机械臂(2)固定安装在搬运区，所述上表面检测组件(3)和下表面检测组件(4)均固定安装在检测区，所述外壳(1)内部下表面检测组件(4)安装位置上开设有四个圆柱槽口。
3.根据权利要求2所述的一种晶圆片用背面检测设备，其特征在于：所述上表面检测组件(3)包括第一安装板(31)、第一检测相机(32)和四个第一光源(33)，所述第一安装板(31)一面靠近边缘处均匀开设有圆柱槽，四个所述第一光源(33)固定安装在圆柱槽内，所述第一检测相机(32)固定安装在第一安装板(31)中间位置上，所述第一检测相机(32)与四个第一光源(33)安装在第一安装板(31)的同一面上，所述安装板固定安装在外壳(1)检测区内部上表面。
4.根据权利要求3所述的一种晶圆片用背面检测设备，其特征在于：所述下表面检测组件(4)包括气缸(41)、第二安装板(42)、第二检测相机(43)和四个第二光源组件(44)，所述气缸(41)一端固定安装在第二安装板(42)的一面，所述气缸(41)的另一端固定安装在外壳(1)内部检测区的底部，所述第二检测相机(43)固定安装在第二安装板(42)的另一面的中间位置上，所述光源组件与第二检测相机(43)固定安装在同一面上。
5.根据权利要求4所述的一种晶圆片用背面检测设备，其特征在于：所述第二安装板(42)下表面开设有四个圆柱，所述圆柱与外壳(1)内部下表面检测区开设有的四个圆柱槽口滑动连接，四个所述第二光源组件(44)均包括支撑杆(441)和第二光源(442)，所述第二光源(442)固定安装在支撑杆(441)上，所述支撑杆(441)固定安装在第二安装板(42)靠近边缘处。
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