CN219787923U - 一种吸附固定晶圆的研磨设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种吸附固定晶圆的研磨设备，涉及晶圆研磨技术领域，解决了晶圆两面快速研磨以及碎片液体阻挡收集的问题，包括安装台，所述安装台的上方安装有一组推动机构，推动机构由推动气缸和推动座共同组成，安装台的上方通过螺栓安装有一个锁定架，推动气缸安装在锁定架的内侧，推动气缸的推动杆和推动座相连接，安装台的底部设有一个收集壳体。通过推动气缸的设置实现晶圆的左右位置调节，配合两个方向相反的吸附架实现，配合两组方向相反的研磨组件，将晶圆呈竖向状态进行研磨，因此由于重力的因素，通过收集壳体对研磨后的碎片与液体进行收集，从而方便碎片与液体的清理。

Description

一种吸附固定晶圆的研磨设备

技术领域

本实用新型涉及晶圆研磨技术领域，特别涉及一种吸附固定晶圆的研磨设备。

背景技术

晶圆在生产后表面粗糙，因此需要对晶圆进行研磨，在晶圆研磨时会借助研磨设备进行抛光，晶圆会通过真空吸附的方式固定在研磨设备上，总所周知，在晶圆研磨时会进行两面研磨，需要对晶圆进行翻转，在晶圆翻转时有手动和自动翻转两种方式，在研磨盘的外侧会设置清洁座对晶圆的表面进行清理，自动翻转基本采用机械手的方式进行翻转，但是通过手动翻转晶圆的效率低，通过机械手对晶圆方向切换造成的夹伤问题，存在晶圆受力损坏的现象，因此上述两种方式均存在不足之处，在实际研磨过程中，晶圆的残留物需要冲刷，晶圆研磨时也会发生碎片，造成液体和碎片飞溅的现象，不同的研磨剂混合会产生化学反应，当混合的液体飞溅到晶圆上时，晶圆产生反应造成缺陷，晶圆碎片飞溅到研磨设备上后，设备工程师需要对研磨结构进行更换，同时还需要对碎片进行收集清理，增加了研磨设备的维护成本，另外在对吸附座进行清洗时，工作人员会手持吸附座进行清洗，增加了工作人员的劳动力，同时也降低了晶圆研磨时的效率，清洁座在转动过程中会摩擦起热，清洁座堆积的热量散发不出来就会缩短使用寿命。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供一种吸附固定晶圆的研磨设备，以解决晶圆两面快速研磨以及碎片液体阻挡收集的问题。

本实用新型提供了一种吸附固定晶圆的研磨设备，具体包括：安装台，所述安装台的上方安装有一组推动机构，推动机构由推动气缸和推动座共同组成，安装台的上方通过螺栓安装有一个锁定架，推动气缸安装在锁定架的内侧，推动气缸的推动杆和推动座相连接，安装台的底部设有一个收集壳体，收集壳体的底部安装有一个第二挡板，第二挡板设有拉动手柄；

驱动机构，所述驱动机构安装在推动座的上方位置，驱动机构由第一驱动马达和控制箱共同组成，控制箱的外侧安装有一个吸附架，吸附架的内侧设有真空吸附盘；

研磨组件，所述研磨组件安装在安装台的上方位置，研磨组件由第二驱动马达、安装架和研磨轮共同组成，研磨组件共有两组，研磨轮和吸附架之间安装有一个晶圆；

安装板，所述安装板共有两个，两个安装板对称安装在安装架上，安装板的端部安装有一个转动连接的清洁座，清洁座和研磨轮相接触，清洁座的外侧位置安装有一个散热风扇。

进一步的，所述推动座的底部设有两个矩形结构的滑动板，安装台的上方开设有两个滑动槽，推动座的滑动板安装在滑动槽的内侧。

进一步的，所述安装台的上方设有一个凵字形结构的第一挡板，第一挡板的底部位置开设有矩形结构的通孔，第一挡板的通孔和收集壳体相连通。

进一步的，所述收集壳体的底部内侧位置开设有两个凵字形结构的安装槽，第二挡板安装在安装槽的内侧，第二挡板的端部安装有一个锁紧螺栓。

进一步的，所述推动座的上方设有一个带有锁紧螺栓的安装套筒，第一驱动马达安装在安装套筒的内侧，推动座的外侧面设有两个转动轴，转动轴与第一驱动马达的驱动轴相连接。

进一步的，所述吸附架开设有一个矩形结构的安装槽，控制箱设有一个驱动轴，驱动轴的端部为矩形结构，吸附架通过安装槽安装在驱动轴的外侧。

进一步的，所述安装台的上方设有一个带有锁紧螺栓的安装套筒，第二驱动马达安装在安装套筒的内侧，第二驱动马达和安装架之间安装有一个腰圆状的连接板，安装架的端部安装有一个研磨轮，第一挡板的底部开设有一个安装孔，第二驱动马达的驱动轴穿插于安装孔的内侧。

进一步的，所述安装架开设有两个矩形结构的滑动槽，滑动槽为矩形结构，安装板安装在安装架的滑动槽内，安装架的端部安装有锁紧螺栓。

有益效果：

1，本实用新型解决了晶圆两面快速研磨的问题，通过推动气缸的设置实现晶圆的左右位置调节，配合两个方向相反的吸附架实现，配合两组方向相反的研磨组件，解决了晶圆手动切换的问题，解决了通过机械手对晶圆方向切换造成的夹伤问题。

2，本实用新型通过第一挡板解决了晶圆在研磨时碎片与液体阻挡的效果，避免了碎片与液体四处飞溅的现象，将晶圆呈竖向状态进行研磨，因此由于重力的因素，通过收集壳体对研磨后的碎片与液体进行收集，从而方便碎片与液体的清理；

此外，通过第一驱动马达驱动吸附架和晶圆进行角度调节，实现晶圆灵活切换的效果，从而方便晶圆的安装与研磨；

此外，通过吸附架的角度调节设置方便进行清洗，解决了在吸附架清洗时工作人员手持清洗的问题，清洗后的液体会进入收集壳体内进行收集。

3，本实用新型解决了清洁座的散热问题，通过清洁座将晶圆外侧的碎片进行扫除，在清洁座的外侧设置有散热风扇，在清洁座转动时会带动散热风扇转动，使散热风扇对清洁座进行散热，解决了清洁座在转动过程中摩擦起热造成的散热不及时的问题。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型的实施例的技术方案，下面将对实施例的附图作简单地介绍。

下面描述中的附图仅仅涉及本实用新型的一些实施例，而非对本实用新型的限制。

在附图中：

图1是本实用新型的实施例的研磨设备轴侧结构示意图。

图2是本实用新型的实施例的图1的后视角轴侧结构示意图。

图3是本实用新型的实施例的图1的仰视角轴侧结构示意图。

图4是本实用新型的实施例的安装台和第一挡板剖切轴侧结构示意图。

图5是本实用新型的实施例的图4的另一视角轴侧结构示意图。

图6是本实用新型的实施例的图4的A处放大结构示意图。

附图标记列表

1、安装台；101、第一挡板；102、收集壳体；2、推动机构；201、推动气缸；202、推动座；3、驱动机构；301、第一驱动马达；302、控制箱；4、吸附架；5、晶圆；6、第二挡板；7、研磨组件；701、第二驱动马达；702、安装架；703、研磨轮；8、安装板；9、清洁座；901、散热风扇。

具体实施方式

为了使得本实用新型的技术方案的目的、方案和优点更加清楚，下文中将结合本实用新型的具体实施例的附图，对本实用新型实施例的技术方案进行清楚、完整的描述。除非另有说明，否则本文所使用的术语具有本领域通常的含义。附图中相同的附图标记代表相同的部件。

实施例：请参考图1至图6所示：

本实用新型提供一种吸附固定晶圆的研磨设备，包括安装台1，安装台1的上方安装有一组推动机构2，安装台1的上方设有一个凵字形结构的第一挡板101，通过第一挡板101对晶圆5研磨后的碎片与液体进行阻挡，避免了碎片与液体四处飞溅的现象，第一挡板101的底部位置开设有矩形结构的通孔，第一挡板101的通孔和收集壳体102相连通，因此研磨后的碎片与液体通过重力因素会通过通孔进入收集壳体102内进行收集，解决了碎片与液体需要借助专门的负压设备吸收的问题；

推动机构2由推动气缸201和推动座202共同组成，推动座202的底部设有两个矩形结构的滑动板，安装台1的上方开设有两个滑动槽，推动座202的滑动板安装在滑动槽的内侧，因此通过滑动板和滑动槽相配合实现推动座202的定位效果，使得推动座202稳定的滑动，安装台1的上方通过螺栓安装有一个锁定架，推动气缸201安装在锁定架的内侧，通过锁定架对推动气缸201进行位置锁定，推动气缸201的推动杆和推动座202相连接，因此通过推动气缸201带动推动座202移动，实现晶圆5往复移动的效果；

安装台1的底部设有一个收集壳体102，收集壳体102的底部安装有一个第二挡板6，第二挡板6设有拉动手柄，通过拉动手柄方便的第二挡板6安装与拆除，收集壳体102的底部内侧位置开设有两个凵字形结构的安装槽，第二挡板6安装在安装槽的内侧，通过收集壳体102的安装槽对第二挡板6进行定位，通过第二挡板6对收集壳体102的底部进行阻挡，通过第二挡板6的设置方便收集壳体102收集的碎片与液体进行清理，第二挡板6的端部安装有一个锁紧螺栓，通过锁紧螺栓将第二挡板6锁定在收集壳体102的内侧；

驱动机构3安装在推动座202的上方位置，驱动机构3由第一驱动马达301和控制箱302共同组成，控制箱302的外侧安装有一个吸附架4，吸附架4的内侧设有真空吸附盘，通过真空吸附盘实现晶圆5的吸附固定效果，推动座202的上方设有一个带有锁紧螺栓的安装套筒，第一驱动马达301安装在安装套筒的内侧，通过安装套筒对第一驱动马达301进行位置锁定，推动座202的外侧面设有两个转动轴，转动轴与第一驱动马达301的驱动轴相连接，因此在转动轴定位后，通过第一驱动马达301驱动控制箱302进行转动，从而调节控制箱302的角度，实现晶圆5的竖向安装与横向移动效果；

研磨组件7安装在安装台1的上方位置，研磨组件7由第二驱动马达701、安装架702和研磨轮703共同组成，研磨组件7共有两组，研磨轮703和吸附架4之间安装有一个晶圆5，吸附架4开设有一个矩形结构的安装槽，控制箱302设有一个驱动轴，驱动轴的端部为矩形结构，吸附架4通过安装槽安装在驱动轴的外侧，因此通过控制箱302能够稳定的驱动吸附架4转动，另外通过矩形结构的安装槽方便吸附架4的安装与拆卸，安装台1的上方设有一个带有锁紧螺栓的安装套筒，第二驱动马达701安装在安装套筒的内侧，通过安装套筒实现第二驱动马达701的定位，第二驱动马达701和安装架702之间安装有一个腰圆状的连接板，通过连接板将第二驱动马达701和安装架702相连接，另外第二驱动马达701和安装架702相互交错，因此通过第二驱动马达701能够驱动安装架702呈圆弧状摆动，安装架702的端部安装有一个研磨轮703，因此通过安装架702的加快了研磨轮703对晶圆5的研磨效率，第一挡板101的底部开设有一个安装孔，第二驱动马达701的驱动轴穿插于安装孔的内侧，安装架702开设有两个矩形结构的滑动槽，滑动槽为矩形结构，安装板8安装在安装架702的滑动槽内，通过滑动槽使得安装板8能够进行位置调节，从而使清洁座9有效的与不同大小的研磨轮703相接触，同时通过安装板8的滑动设置方便研磨轮703的安装与拆卸，安装架702的端部安装有锁紧螺栓，通过锁紧螺栓实现安装板8的锁定；

安装板8共有两个，两个安装板8对称安装在安装架702上，安装板8的端部安装有一个转动连接的清洁座9，清洁座9和研磨轮703相接触，在研磨轮703转动时会带动清洁座9转动，从而使清洁座9将晶圆5外侧的碎片进行扫除，从而使晶圆5更好的进行研磨，同时也减轻了后期晶圆5处理的负担，清洁座9的外侧位置安装有一个散热风扇901，在清洁座9转动时会带动散热风扇901转动，从而使散热风扇901对清洁座9进行散热，解决了清洁座9在转动过程中摩擦起热造成的散热不及时的问题。

本实施例的具体使用方式与作用：

本实用新型在使用时，首先将第二挡板6安装在收集壳体102的内侧，通过螺栓对收集壳体102进行锁定，而后将推动气缸201和推动座202依次安装在安装台1的上方，将第一驱动马达301、控制箱302依次安装在推动座202的上方，而后将带有真空吸附盘的吸附架4通过安装槽安装在控制箱302的驱动轴外侧；

将吸附架4通过第一驱动马达301调节到竖直方向，而后将晶圆5放置在吸附架4的上方，通过真空吸附盘对晶圆5吸附固定，而后通过第一驱动马达301驱动控制箱302和吸附架4调整到横向位置，完成晶圆5的位置调节，而后通过推动气缸201推动控制箱302和吸附架4移动，使晶圆5与研磨轮703相接触，通过研磨轮703对晶圆5进行研磨，通过第一挡板101对晶圆5研磨后的碎片与液体进行阻挡，避免了碎片与液体四处飞溅的现象，研磨后的碎片与液体通过重力因素会通过通孔进入收集壳体102内进行收集，在研磨轮703转动时会带动清洁座9转动，使清洁座9将晶圆5外侧的碎片进行扫除，减轻了后期晶圆5处理的负担，在清洁座9转动时会带动散热风扇901转动，使散热风扇901对清洁座9进行散热，借助现有技术中的机械手将晶圆5切换到另一个吸附架4上，重复上述操作对晶圆5的另一面进行研磨；

在晶圆5研磨完成后，通过推动气缸201将晶圆5进行拉动，将研磨后的晶圆5进行拆除，将第二挡板6拆除，将收集壳体102收集的碎片与液体进行清理。

Claims (8)

1.一种吸附固定晶圆的研磨设备，其特征在于，包括：安装台(1)，所述安装台(1)的上方安装有一组推动机构(2)，推动机构(2)由推动气缸(201)和推动座(202)共同组成，安装台(1)的上方通过螺栓安装有一个锁定架，推动气缸(201)安装在锁定架的内侧，推动气缸(201)的推动杆和推动座(202)相连接，安装台(1)的底部设有一个收集壳体(102)，收集壳体(102)的底部安装有一个第二挡板(6)，第二挡板(6)设有拉动手柄；

驱动机构(3)，所述驱动机构(3)安装在推动座(202)的上方位置，驱动机构(3)由第一驱动马达(301)和控制箱(302)共同组成，控制箱(302)的外侧安装有一个吸附架(4)，吸附架(4)的内侧设有真空吸附盘；

研磨组件(7)，所述研磨组件(7)安装在安装台(1)的上方位置，研磨组件(7)由第二驱动马达(701)、安装架(702)和研磨轮(703)共同组成，研磨组件(7)共有两组，研磨轮(703)和吸附架(4)之间安装有一个晶圆(5)；

安装板(8)，所述安装板(8)共有两个，两个安装板(8)对称安装在安装架(702)上，安装板(8)的端部安装有一个转动连接的清洁座(9)，清洁座(9)和研磨轮(703)相接触，清洁座(9)的外侧位置安装有一个散热风扇(901)。

2.如权利要求1所述一种吸附固定晶圆的研磨设备，其特征在于：所述推动座(202)的底部设有两个矩形结构的滑动板，安装台(1)的上方开设有两个滑动槽，推动座(202)的滑动板安装在滑动槽的内侧。

3.如权利要求1所述一种吸附固定晶圆的研磨设备，其特征在于：所述安装台(1)的上方设有一个第一挡板(101)，第一挡板(101)的底部位置开设有矩形结构的通孔，第一挡板(101)的通孔和收集壳体(102)相连通。

4.如权利要求1所述一种吸附固定晶圆的研磨设备，其特征在于：所述收集壳体(102)的底部内侧位置开设有两个安装槽，第二挡板(6)安装在安装槽的内侧，第二挡板(6)的端部安装有一个锁紧螺栓。

5.如权利要求1所述一种吸附固定晶圆的研磨设备，其特征在于：所述推动座(202)的上方设有一个带有锁紧螺栓的安装套筒，第一驱动马达(301)安装在安装套筒的内侧，推动座(202)的外侧面设有两个转动轴，转动轴与第一驱动马达(301)的驱动轴相连接。

6.如权利要求1所述一种吸附固定晶圆的研磨设备，其特征在于：所述吸附架(4)开设有一个矩形结构的安装槽，控制箱(302)设有一个驱动轴，驱动轴的端部为矩形结构，吸附架(4)通过安装槽安装在驱动轴的外侧。

7.如权利要求1所述一种吸附固定晶圆的研磨设备，其特征在于：所述安装台(1)的上方设有一个带有锁紧螺栓的安装套筒，第二驱动马达(701)安装在安装套筒的内侧，第二驱动马达(701)和安装架(702)之间安装有一个腰圆状的连接板，安装架(702)的端部安装有一个研磨轮(703)，第一挡板(101)的底部开设有一个安装孔，第二驱动马达(701)的驱动轴穿插于安装孔的内侧。

8.如权利要求1所述一种吸附固定晶圆的研磨设备，其特征在于：所述安装架(702)开设有两个矩形结构的滑动槽，滑动槽为矩形结构，安装板(8)安装在安装架(702)的滑动槽内，安装架(702)的端部安装有锁紧螺栓。