CN219778832U - 一种晶圆位置检测装置 - Google Patents

Abstract

本申请涉及晶圆测试设备技术领域，公开了一种晶圆位置检测装置，包括机器视觉识别系统，机器视觉识别系统用于识别晶圆上的批号信息；晶圆识别系统，晶圆识别系统用于识别晶舟固定位上是否容置有晶圆；信息处理系统，信息处理系统连接于机器视觉识别系统和晶圆识别系统，信息处理系统用于储存机器视觉识别系统产生的信息以及晶圆识别系统产生的信息。该晶圆位置检测装置，通过设置机器视觉识别系统对晶圆上的批号信息进行识别读取，再利用晶圆识别系统识别晶舟上每个固定位上是否存在晶圆，利用信息处理系统将晶圆的批号与晶舟固定位的编号对应，完成了晶圆位置信息的确认，信息确认过程迅速，解决了人工确认晶圆位置信息导致确认效率低的问题。

Description

一种晶圆位置检测装置

技术领域

本申请涉及晶圆测试设备技术领域，具体为一种晶圆位置检测装置。

背景技术

相关现有技术中，一批晶圆的输送需要使用到一种具有多个固定位的晶舟，每个晶圆分别固定于晶舟对应的固定位上。利用晶舟对晶圆固定，再将晶舟输运到检测工位，从而完成晶圆平稳的运输。

为了确保晶圆放置在了晶舟上正确的固定位，通常采用人工确认的方式，将晶舟固定位上的刻号标识与对应晶圆的批号信息对应，从而确认晶圆的位置信息。然而通过人工确认晶圆位置信息的方式耗时长，使得确认效率低。

发明内容

针对现有技术的不足，本申请提供了一种晶圆位置检测装置，解决了人工确认晶圆位置信息导致确认效率低的问题。

为实现上述目的，本申请提供如下技术方案：一种晶圆位置检测装置，其特征在于，包括：

机器视觉识别系统，所述机器视觉识别系统用于识别晶圆上的批号信息；

晶圆识别系统，所述晶圆识别系统用于识别晶舟固定位上是否容置有晶圆；

信息处理系统，所述信息处理系统连接于所述机器视觉识别系统和所述晶圆识别系统，所述信息处理系统用于储存所述机器视觉识别系统产生的信息以及所述晶圆识别系统产生的信息。

优选的，还包括承载台，所述承载台上设置有用于固定晶舟的固定治具。

优选的，所述固定治具包括支撑台和限位板，所述支撑台设置于所述承载台上，所述支撑台的顶面为沿第一方向倾斜的斜面，所述限位板固定设置于支撑台的顶面上。

优选的，所述机器视觉识别系统包括用于拍摄晶圆上批号信息的图像摄取装置、用于锐化图像上批号信息的图像处理装置和用于识别图像上批号信息的图像识别装置，所述图像摄取装置、图像处理装置和图像识别装置依次连接。

优选的，所述承载台上设置有支撑杆，所述支撑杆位于所述固定治具第一方向上的一侧，所述图像摄取装置转动设置于所述支撑杆上。

优选的，所述晶圆识别系统包括信号控制器和若干组信号验证装置，每组所述信号验证装置均包括信号发射装置和信号接收装置，所述信号发射装置和所述信号接收装置相对设置并且分别设置于所述固定治具的两侧，所述信号发射装置和所述信号接收装置均与所述信号控制器连接。

优选的，所述承载台上设置有两排支撑架，两排所述支撑架分别设置于所述固定治具第二方向上的两侧，所述信号发射装置设置于其中一个所述支撑架上，所述信号接收装置设置于另一个所述支撑架上；

当晶舟固定位内未设置有晶圆时，所述信号发射装置发出的信号被所述信号接收装置接收；当晶舟固定位内设置有晶圆时，所述信号发射装置发出的信号被晶圆阻挡。

优选的，所述信息处理系统包括数据汇总模块、数据对比模块和储存器，所述数据对比模块与所述数据汇总模块均与所述储存器连接，所述数据汇总模块用于整合所述机器视觉识别系统和所述晶圆识别系统的信息，所述储存器用于储存来自所述数据汇总模块的数据，所述数据对比模块用于比对所述晶圆识别系统传递的信息和所述储存器中储存的信息。

本申请提供了一种晶圆位置检测装置，具备以下有益效果：

该晶圆位置检测装置，通过设置机器视觉识别系统对晶圆上的批号信息进行识别读取，不仅能够确认晶圆对应的批号，而且能够根据识别到批号的数量确定晶圆的数量，再利用晶圆识别系统识别晶舟上每个固定位上是否存在晶圆，并且记录存在晶圆的固定位的编号，信息处理系统接收到来自晶圆识别系统的信息和来自机器视觉识别系统的信息，将晶圆的批号与其所在的晶舟固定位的编号对应，从而完成了晶圆位置信息的确认，信息确认过程迅速，解决了人工确认晶圆位置信息导致确认效率低的问题。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。

图1为本申请实施例原理框图。

图2为本申请实施例整体结构剖视图。

图3为本申请实施例另一侧整体结构剖视图。

图4为本申请实施例中晶圆识别系统数据对比示意图。

图中：1、机器视觉识别系统；11、图像摄取装置；12、图像处理装置；13、图像识别装置；2、晶圆识别系统；21、信号控制器；22、信号发射装置；23、信号接收装置；3、信息处理系统；31、数据汇总模块；32、数据对比模块；33、储存器；4、承载台；5、支撑板；6、限位板；7、支撑杆；8、支撑架。

具体实施方式

为使得本申请的申请目的、特征、优点能够更加的明显和易懂，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，下面所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而非全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本申请保护的范围。

在本申请的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

下面结合附图1-附图4并通过具体实施方式来进一步说明本申请的技术方案。

本申请提供一种技术方案：一种晶圆位置检测装置，包括承载台4、固定治具、机器视觉识别系统1、晶圆识别系统2和信息处理系统3。

固定治具用于固定晶舟的位置，以便于机器视觉识别系统1对晶圆进行识别，固定治具固定连接于承载台4上，固定治具包括支撑板5和限位板6，支撑板5固定安装于承载台4的上表面，支撑台的顶面沿第一方向向下倾斜成为斜面，在本实施例中，第一方向为支撑台的长度方向，限位板6固定安装于支撑台的顶面上，并且限位板6位于斜面的底端。特别的，支撑台的顶面与支撑台的底面之间的夹角为α，20°≤α≤40°，当20°≤α≤40°时，能够使机器视觉识别系统1获取较好的拍摄角度，有利于机器视觉识别系统1对晶圆进行识别，在本实施例中，α的值优选为30°。

通过将支撑台的上表面设置为斜面，使得当晶舟被放置到承载台4上时，晶舟也成倾斜设置，有利于机器视觉识别系统1对固定位内的晶圆进行识别。通过在斜面的底端设置限位板6，能够限制晶舟从承载台4上滑下，提高整体稳定性。

机器视觉识别系统1用于识别晶圆上的批号信息，机器视觉识别系统1包括用于拍摄晶圆上批号信息的图像摄取装置11、用于锐化图像上批号信息的图像处理装置12和用于识别图像上批号信息的图像识别装置13，图像摄取装置11、图像处理装置12和图像识别装置13依次连接。通过图像摄取装置11拍取晶圆上的批号，然后图像处理装置12将照片分层锐化并且合成新的照片，最后图像识别设备根据合成后的照片识别出晶圆上的批号信息并且将批号信息传递至信息处理系统3。在本实施例中，图像摄取装置11为工业CCD相机，承载台4的顶部固定连接有支撑杆7，并且支撑杆7位于支撑台顶端的一侧，工业CCD相机通过销轴转动连接于支撑杆7的顶端。

晶圆识别系统2用于识别晶舟固定位上是否容置有晶圆，晶圆识别系统2包括信号控制器21和若干组信号验证装置，每组信号验证装置与晶舟上的每个固定位一一对应设置。每组信号验证装置均包括信号发射装置22和信号接收装置23，信号发射装置22和信号接收装置23相对设置并且分别设置于固定治具的两侧，信号发射装置22和信号接收装置23均与信号控制器21连接。在本实施例中，信号发射装置22为红外线发射器，信号接收装置23为红外线接收器，承载台4的顶部设置有两排支撑架8，两排支撑架8分别固定连接于支撑台第二方向上的两侧，第二方向为水平面内与第一方向垂直的方向，信号发射装置22设置于其中一个支撑架8上，信号接收装置23设置于另一个支撑架8上。当晶舟固定位内未设置有晶圆时，信号发射装置22发出的信号被信号接收装置23接收，信号接收装置23向信号控制器21返回“0”信号；当晶舟固定位内设置有晶圆时，信号发射装置22发出的信号被晶圆阻挡，信号发射装置22向信号控制器21返回“1”信号。

信息处理系统3包括数据汇总模块31、数据对比模块32和储存器33，数据对比模块32与数据汇总模块31均与储存器33连接，数据汇总模块31用于整合机器视觉识别系统1和晶圆识别系统2的信息，储存器33用于储存来自数据汇总模块31的数据，数据对比模块32用于比对晶圆识别系统2传递的信息和储存器33中储存的信息。通过数据汇总模块31对数据进行汇总使得能够将晶圆的批号与其所在的晶舟固定位的编号对应，不仅快速确认了晶圆的位置信息，而且通过数据对比模块32对晶圆加工前后的位置信息进行比对，则能够判断晶圆是否满足流转需求。

综上所述，通过设置机器视觉识别系统1对晶圆上的批号信息进行识别读取，不仅能够确认晶圆对应的批号，而且能够根据识别到批号的数量确定晶圆的数量，再利用晶圆识别系统2识别晶舟上每个固定位上是否存在晶圆，并且记录存在晶圆的固定位的编号，信息处理系统3接收到来自晶圆识别系统2的信息和来自机器视觉识别系统1的信息，将晶圆的批号与其所在的晶舟固定位的编号对应，从而完成了晶圆位置信息的确认，信息确认过程迅速，解决了人工确认晶圆位置信息导致确认效率低的问题。需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本申请的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本申请的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本申请的范围由所附权利要求及其等同物限定。

以上所述，以上实施例仅用以说明本申请的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本申请进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本申请各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (8)

1.一种晶圆位置检测装置，其特征在于，包括：

机器视觉识别系统(1)，所述机器视觉识别系统(1)用于识别晶圆上的批号信息；

晶圆识别系统(2)，所述晶圆识别系统(2)用于识别晶舟固定位上是否容置有晶圆；

信息处理系统(3)，所述信息处理系统(3)连接于所述机器视觉识别系统(1)和所述晶圆识别系统(2)，所述信息处理系统(3)用于储存所述机器视觉识别系统(1)产生的信息以及所述晶圆识别系统(2)产生的信息。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆位置检测装置，其特征在于，还包括承载台(4)，所述承载台(4)上设置有用于固定晶舟的固定治具。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆位置检测装置，其特征在于，所述固定治具包括支撑台和限位板(6)，所述支撑台设置于所述承载台(4)上，所述支撑台的顶面为沿第一方向倾斜的斜面，所述限位板(6)固定设置于支撑台的顶面上。

4.根据权利要求2所述的一种晶圆位置检测装置，其特征在于，所述机器视觉识别系统(1)包括用于拍摄晶圆上批号信息的图像摄取装置(11)、用于锐化图像上批号信息的图像处理装置(12)和用于识别图像上批号信息的图像识别装置(13)，所述图像摄取装置(11)、图像处理装置(12)和图像识别装置(13)依次连接。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆位置检测装置，其特征在于，所述承载台(4)上设置有支撑杆(7)，所述支撑杆(7)位于所述固定治具第一方向上的一侧，所述图像摄取装置(11)转动设置于所述支撑杆(7)上。

6.根据权利要求2所述的一种晶圆位置检测装置，其特征在于，所述晶圆识别系统(2)包括信号控制器(21)和若干组信号验证装置，每组所述信号验证装置均包括信号发射装置(22)和信号接收装置(23)，所述信号发射装置(22)和所述信号接收装置(23)相对设置并且分别设置于所述固定治具的两侧，所述信号发射装置(22)和所述信号接收装置(23)均与所述信号控制器(21)连接。

7.根据权利要求6所述的一种晶圆位置检测装置，其特征在于，所述承载台(4)上设置有两排支撑架(8)，两排所述支撑架(8)分别设置于所述固定治具第二方向上的两侧，所述信号发射装置(22)设置于其中一个所述支撑架(8)上，所述信号接收装置(23)设置于另一个所述支撑架(8)上；

当晶舟固定位内未设置有晶圆时，所述信号发射装置(22)发出的信号被所述信号接收装置(23)接收；当晶舟固定位内设置有晶圆时，所述信号发射装置(22)发出的信号被晶圆阻挡。

8.根据权利要求1所述的一种晶圆位置检测装置，其特征在于，所述信息处理系统(3)包括数据汇总模块(31)、数据对比模块(32)和储存器(33)，所述数据对比模块(32)与所述数据汇总模块(31)均与所述储存器(33)连接，所述数据汇总模块(31)用于整合所述机器视觉识别系统(1)和所述晶圆识别系统(2)的信息，所述储存器(33)用于储存来自所述数据汇总模块(31)的数据，所述数据对比模块(32)用于比对所述晶圆识别系统(2)传递的信息和所述储存器(33)中储存的信息。