CN219772331U - 双套扩散炉管及扩散炉 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于光伏与半导体制造技术领域，公开了一种双套扩散炉管及扩散炉，该双套扩散炉管包括至少一端开口的外管，外管内设置有沿外管轴向的若干内管环，内管环与外管可拆卸连接，还包括连接件，多个连接件可拆卸的设置在至少部分内管环的内壁，以用于固定气管。扩散炉采用上述双套扩散炉管，一方面方便扩散管中连接件的制作和维修，并且在扩散炉中的长期反应中，若出现连接件损坏，则无需更换整个炉管，将安装损坏连接件的内管环拆掉更换即可，节约资源。

Description

双套扩散炉管及扩散炉

技术领域

本实用新型涉及光伏与半导体制造技术领域，尤其涉及一种双套扩散炉管及扩散炉。

背景技术

半导体或光伏材料广泛应用于电子、新能源等行业，半导体和光伏材料通常都需要经过各种加工处理后才能够应用到产品上，例如将片状材料送入炉中，在一定温度和压力等工艺条件下进行反应来获得所需产品。而目前的扩散炉的炉管中需要装入各种气管，而需要在炉管的内壁上设置连接件固定气管，现有技术采用在炉管的内壁上焊接连接件，一方面会导致在较长的炉管上焊接连接件的难度大；由此导致加工难度大，同时若进行维修则需要更换整根炉管，维修不便。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种双套扩散炉管及扩散炉，方便连接件的安装，并且方便维修的同时也能够节省资源。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

双套扩散炉管，包括：

外管，至少一端开口；

内管环，若干所述内管环沿所述外管的轴向可拆卸的设置在所述外管内；

至少部分所述内管环设置有连接件，所述连接件用于固定气管。

作为优选，若干所述内管环沿所述外管的轴向连续拼接设置。

作为优选，所述内管环粘接在所述外管内壁，或/和所述连接件粘贴在所述内管环的内壁。

作为优选，多个所述连接件对称设置在同一所述内管环上。

作为优选，所述连接件为成L型挂钩，所述连接件对称设置于所述内管环的两侧，位于同一侧的所述连接件朝向相同。

作为优选，多个所述连接件对称设置在多个所述内管环上，位于同一侧的所述连接件沿所述内管环的轴向对齐。

作为优选，还包括多个定位件，所述定位件可拆卸设置在所述内管环与所述外管之间以用于对所述内管环定位。

作为优选，所述定位件沿所述外管的轴向粘接于所述外管的内壁。

作为优选，同一个所述内管环上的所述连接件对称设置于所述定位件的两侧。

还提供一种扩散炉，包括如上所述的双套扩散炉管。

本实用新型的有益效果：

采用上述在外管设置内管环并将连接件设置在内管环上的结构，可以在内管环置入外管之前在内管环上安装连接件，方便连接件的安装；此外在长期的使用中若存在连接件损坏，无需更换整个炉管，只需将部分内管环拆掉重新更换安装即可，方便维修的同时也能够节省资源。

附图说明

图1是本实用新型双套扩散炉管的示意图；

图2是本实用新型双套扩散炉管的沿外管轴向的剖面图。

图中：

1、外管；2、内管环；3、连接件；4、定位件。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本实用新型，而非对本实用新型的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本实用新型相关的部分而非全部结构。

在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本实施例的描述中，术语“上”、“下”、“左”、“右”、等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。

如图1-2所示，本实施例提供一种双套扩散炉管，该双套扩散炉管包括至少一端开口的外管1，外管1内设置有沿外管1轴向的若干内管环2，内管环2与外管1可拆卸连接，还包括连接件3，连接件3设置在至少部分内管环2的内壁，以用于固定气管。

采用上述在外管1设置内管环2并将连接件3设置在内管环2上的结构，由于内管环2的长度小与外管1的长度，可以在内管环2置入外管1之前在内管环2上安装连接件3，而后将内管环2设置到外管1中，由此方便连接件3的安装；此外在长期的使用中若存在连接件3损坏，无需更换整个炉管，只需将部分内管环2拆掉重新更换安装即可，方便维修的同时也能够节省资源。

下面详细介绍本实施例，如图1-2所示，本实施例中的双套扩散炉管包括至少一端开口的外管1和若干内管环2，内管环2沿外管1的轴向可拆卸设置在外管1内。具体的，若干内管环2沿外管1的轴向连续拼接设置，内管环2的拼接长度与外管1的长度相适应，本实施例中内管环2连续粘接在外管1内壁，采用上述粘贴形式能够更加方便进行固定操作；而连续设置的内管环2还可以作为外管1的保护层，避免外管接触到扩散中产生的酸性气体和堆积，延长外管1的使用寿命。进一步，相邻两个内管环2的端面之间紧密连接，能够防止酸性气体从内管环2之间泄露，延长外管1的使用寿命。但需要理解的是，在外力作用下能够解除相邻两个内管环2的端面之间的紧密连接状态，实现内管环2之间的可拆卸，从而实现对内管环2重新更换安装。本实施例中可以采用高温胶水进行粘贴。而其他实施例中可以采用在外管1和内管环2的接触面设置插接件，从而可拆卸的插接。双套扩散炉管还包括多个连接件3，至少部分内管环2设置有连接件3，这里连接件3的数量可根据实际需要进行设置，比如，当气管较长时，全部内管环2均设置有连接件3，有利于更好固定气管；当气管相对较短时，无需每个内管环2都设有连接件3，有利于节省成本。连接件3可拆卸的设置在至少部分内管环2的内壁，以能够在内管环2内固定气管。具体的，连接件3粘贴在内管环2的内壁，本实施例中可以采用高温胶水进行粘贴，可以理解的是，粘接方便操作处理，同时采用粘接还能够避免传统的焊接方式产生的内应力，从而减少退火工序。其他实施例中也可采用在内管环2的内壁设置凹槽以将连接件3可拆卸的插接。更为具体的，多个连接件3对称设置在同一内管环2上，从而方便从内管环2的两侧设置气管。示例性的，本实施例中连接件3采用的是L型挂钩，挂钩的拐角处为圆弧过渡连接，连接件3的一端连接内管环2，位于同一侧的连接件3朝向相同从而方便进行固定气管。而在其他实施例中，还可以采用多个连接件3对称设置在多个内管环2上，而位于同一侧的连接件3沿内管环2的轴向对齐从而能够方便固定气管，使气管位于内管环2顺直。可以理解的是，以上仅为示例性的连接件形式，连接件3的固定位置和数量可以根据具体的设计要求进行调整。

本实施例中，双套扩散炉管还包括定位件4，定位件4可拆卸设置在内管环2与外管1之间以用于对内管环2定位从而保证连接件3的位置一致。本实施例中，定位件4沿外管1的轴向粘接于外管1的内壁，可以理解的是，定位件4的安装数量和长度可以根据现场安装情况进行调整，不做具体的限制；优选的，本实施例中采用的是一个定位件4，定位件4成长条片状，定位件4从外管1的一端延伸至另一端。本实施例中，同一内管环2上的连接件3对称设置于定位件4的两侧，使整个内管环2连续拼接而成的内管顺直。

下面简要介绍双套扩散炉管的制作过程，扩散炉管以石英管为例，首先制将石英管切割成内管环2，而后制作连接件3(L型挂钩)，并将连接件3按照需求位置用高温胶水粘贴在内管环2上，一般采用对称粘贴。而后制作外管1，外管1的尺寸按照多个内管环2的拼接尺寸进行调整，外管1至少一端开口，然后用高温胶水将定位件4沿外管1的轴向固定在外管1的内壁，而后将制作好的内管环2依次从外管1的开口处推进外管1内，并用高温胶水粘贴在外管1内，在安装每一个内管环2的过程中使用定位件4进行定位，本实施例中使同一个内管环2上的连接件3对称于定位件4的两侧从而使带内管环2顺直拼接。

本实施例还提供一种扩散炉，该扩散炉包括上述的双套扩散炉管，一方面方便扩散管中连接件3的制作和维修，并且在扩散炉中的长期反应中，若出现连接件3损坏，则无需更换整个炉管，将安装损坏连接件3的内管环2拆掉更换即可，节约资源；另一方面连续拼接的内管环2作为外管1的保护层，避免外管1接触到扩散中产生的酸性气体和堆积，延长外管1的使用寿命，能够进一步节约资源。

显然，本实用新型的上述实施例仅仅是为了清楚说明本实用新型所作的举例，而并非是对本实用新型的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本实用新型的保护范围。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型权利要求的保护范围之内。

Claims (10)

1.双套扩散炉管，其特征在于，包括：

外管(1)，至少一端开口；

内管环(2)，若干所述内管环(2)沿所述外管(1)的轴向可拆卸设置在所述外管(1)内；

至少部分所述内管环(2)设置有连接件(3)，所述连接件(3)用于固定气管。

2.根据权利要求1所述的双套扩散炉管，其特征在于，若干所述内管环(2)沿所述外管(1)的轴向连续拼接设置。

3.根据权利要求1所述的双套扩散炉管，其特征在于，所述内管环(2)粘接在所述外管(1)内壁，或/和所述连接件(3)粘贴在所述内管环(2)的内壁。

4.根据权利要求1所述的双套扩散炉管，其特征在于，多个所述连接件(3)对称设置在同一所述内管环(2)上。

5.根据权利要求3所述的双套扩散炉管，其特征在于，所述连接件(3)为L型挂钩，所述连接件(3)对称设置于所述内管环(2)的两侧，位于同一侧的所述连接件(3)朝向相同。

6.根据权利要求1所述的双套扩散炉管，其特征在于，多个所述连接件(3)对称设置在多个所述内管环(2)上，位于同一侧的所述连接件(3)沿所述内管环(2)的轴向对齐。

7.根据权利要求1-6任一所述的双套扩散炉管，其特征在于，还包括多个定位件(4)，所述定位件(4)可拆卸设置在所述内管环(2)与所述外管(1)之间以用于对所述内管环(2)定位。

8.根据权利要求7所述的双套扩散炉管，其特征在于，所述定位件(4)沿所述外管(1)的轴向粘接于所述外管(1)的内壁。

9.根据权利要求7所述的双套扩散炉管，其特征在于，同一个所述内管环(2)上的所述连接件(3)对称设置于所述定位件(4)的两侧。

10.扩散炉，其特征在于，包括如权利要求1-9任一所述的双套扩散炉管。