CN219768291U - 一种多芯片取放机械手 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种多芯片取放机械手，包括固定结构、滑动结构、动力结构和吸附结构；滑动结构滑动连接在固定结构上，动力结构设于固定结构上，动力结构与滑动结构传动连接并驱动滑动结构沿z轴位移；吸附结构包括背板和至少两排吸附排组,每一排吸附排组具有多个吸附装置；背板固定在滑动结构上，背板上设置有沿y轴方向延伸的第一导向杆，吸附排组滑动穿设在第一导向杆上，吸附排组可沿着第一导向杆移动并定位于第一导向杆上任一位置，以供调节吸附排组之间的距离。本实用新型通可实现吸附排组在第一导向杆上的位置调整功能，以及可实现多个吸附排组之间的间距调节功能，以便于适配不同型号尺寸的料盘及芯片，扩大适用范围，提高调节便捷度。

Description

一种多芯片取放机械手

技术领域

本实用新型涉及芯片制造技术领域，具体涉及一种多芯片取放机械手。

背景技术

随着集成电路行业的快速发展，芯片的封装和检测设备需求愈加旺盛。在芯片的生产和检测过程中，经常需要将其从一个位置转移到另一个位置，存在大量的物料取放工作，因此转移芯片用的机械手在芯片的自动化设备中是重要的组成部分，机械手上通常设置有真空吸盘等吸附装置对芯片进行吸放。

但由于各类芯片大小规格不同，所使用的料盘规格亦不同，因此机械手上吸附装置之间的距离不同。当机械手适配于不同类型料盘使用时，需要对机械手上的多个吸附装置进行拆装来实现位置调整，较为繁琐不便，有待改进。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供了一种多芯片取放机械手，用于解决相关技术中机械手上吸附装置位置调整不便的问题。

为达上述之一或部分或全部目的或是其他目的，本实用新型提出一种多芯片取放机械手，包括固定结构、滑动结构、动力结构和吸附结构；

所述滑动结构滑动连接在所述固定结构上，所述动力结构设置于所述固定结构上，所述动力结构与所述滑动结构传动连接并驱动所述滑动结构沿z轴位移；

所述吸附结构包括背板和至少两排吸附排组,每一排吸附排组具有多个吸附装置；

所述背板固定在所述滑动结构上，所述背板上设置有沿y轴方向延伸的第一导向杆，所述吸附排组滑动穿设在所述第一导向杆上，所述吸附排组可沿着所述第一导向杆移动并定位于第一导向杆上的任一位置，以供调节吸附排组之间的距离。

在一可选实施例中，所述吸附排组包括至少一根沿x轴方向延伸的第二导向杆和两个导向套，每一根所述第二导向杆均设于两个导向套之间；

所述吸附装置滑动穿设在所述第二导向杆上，多个所述吸附装置呈直线排列，所述吸附装置可沿着所述第二导向杆移动并定位于所述第二导向杆上的任一位置，以供调节吸附装置之间的距离；

所述导向套穿设在所述第一导向杆上，所述导向套可沿着所述第一导向杆移动并定位在所述第一导向杆上。

在一可选实施例中，所述吸附装置上开设有第二顶丝孔，所述第二顶丝孔内旋设有第二顶丝，将所述第二顶丝朝所述第二导向杆方向旋入可顶压所述第二导向杆，使所述吸附装置紧定在所述第二导向杆上，将所述第二顶丝背离所述第二导向杆方向旋出可解除所述吸附装置紧定在所述第二导向杆上的状态。

在一可选实施例中，所述导向套上开设有第一顶丝孔，所述第一顶丝孔内旋设有第一顶丝，将所述第一顶丝朝所述第一导向杆方向旋入可顶压所述第一导向杆，使所述导向套紧定在所述第一导向杆上，将所述第一顶丝背离所述第一导向杆方向旋出可解除所述导向套紧定在所述第一导向杆上的状态。

在一可选实施例中，所述固定结构包括安装板和固定在所述安装板上且沿着z轴方向竖直布置的第一滑轨；

所述滑动结构包括运动板和固定在所述运动板上的第二滑轨，所述第一滑轨和所述第二滑轨滑动连接；

所述背板与所述运动板连接，所述动力结构设置在所述安装板上。

在一可选实施例中，所述动力结构包括设置在所述安装板上的第一电机、轴承连接件和偏心随动轴承；

所述轴承连接件的两端分别与所述偏心随动轴承和所述第一电机的输出轴连接，所述轴承连接件相对于所述第一电机的输出轴做偏心旋转运动；

所述运动板上设置有导向件，所述导向件上开设有导向槽，所述偏心随动轴承位于所述导向槽内，所述偏心随动轴承与所述导向槽的槽壁抵接。

在一可选实施例中，所述安装板上开设通孔供所述轴承连接件和所述偏心随动轴承穿过，所述安装板在z轴方向上间隔设置有第一限位结构和第二限位结构，所述偏心随动轴承位于所述第一限位结构和所述第二限位结构之间，所述第一限位结构和所述第二限位结构用于抵顶所述偏心随动轴承实现限位。

在一可选实施例中，所述多芯片取放机械手包括复位弹簧，所述复位弹簧的一端与所述安装板连接，所述复位弹簧的另一端与所述运动板连接，在所述运动板在z轴方向移动到最低位时，所述复位弹簧产生形变对所述运动板具有拉力。

在一可选实施例中，所述多芯片取放机械手还包括搬运轨道，所述搬运轨道连接并控制所述固定结构沿x轴方向进行往复运动。

在一可选实施例中，所述吸附装置的一端为缓冲式吸嘴。

实施本实用新型实施例，将具有如下有益效果：

本实用新型通过将带有多个吸附装置的吸附排组设置为可滑动调节的结构，以便于适配不同型号尺寸的料盘以及芯片，需要调节时，移动第一导向杆上的吸附排组至所需位置并定位在第一导向杆上，实现吸附排组在第一导向杆上的位置调整功能，以及可实现多个吸附排组之间的间距调节功能，扩大多芯片取放机械手的适用范围，提高调节便捷度。

解决了相关技术中机械手上吸附装置位置调整不便的问题。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或相关技术中的技术方案，下面将对实施例或相关技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

其中：

图1为本实用新型一可选实施例多芯片取放机械手的立体图；

图2为图1中多芯片取放机械手拆除搬运轨道后结构的立体图；

图3为本实用新型一可选实施例多芯片取放机械手局部结构的分解图。

附图标记说明如下：1-搬运轨道；11-轨道骨架；12-导轨；13-同步带模组；14-滑块；15-第二电机；2-固定结构；21-安装板；211-第一限位结构；212-第二限位结构；213-限位结构支架；22-第一滑轨；3-滑动结构；31-运动板；32-导向件；321-导向槽；33-第二滑轨；4-动力结构；41-第一电机；42-轴承连接件；43-偏心随动轴承；5-吸附结构；51-背板；511-第一导向杆；52-吸附排组；521-导向套；5211-第一顶丝孔；522-第二导向杆；523-吸附装置；5231-第二顶丝孔；6-复位弹簧。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

本实用新型旨在于提供一种吸附装置523位置可调的多芯片取放机械手，以便适配于不同型号尺寸的料盘以及芯片。

请综合参阅图2和图3，本实用新型一实施例提供一种多芯片取放机械手，包括固定结构2、滑动结构3、动力结构4和吸附结构5。

滑动结构3滑动连接在固定结构2上，动力结构4设置于固定结构2上，动力结构4与滑动结构3传动连接并驱动滑动结构3沿z轴位移。

吸附结构5包括背板51和至少两排吸附排组52,每一排吸附排组52具有多个吸附装置523。

背板51固定在滑动结构3上，背板51上设置有沿y轴方向延伸的第一导向杆511，吸附排组52滑动穿设在第一导向杆511上，吸附排组52可沿着第一导向杆511移动并定位于第一导向杆511上的任一位置，以供调节吸附排组52之间的距离。

吸附装置523用于拾取放置芯片，吸附装置523可为常用的真空吸盘。优选的，吸附装置523的一端为缓冲式吸嘴。需要说明的是，缓冲式吸嘴为标准件，在本实施例中，采用市面上使用弹簧结构进行缓冲的缓冲式吸嘴，增加吸附装置523吸附芯片时的适应性。

工作时，动力结构4控制滑动结构3相对固定结构2移动，滑动结构3在z轴方向上进行往复运动。吸附排组52可具备多个吸附装置523，吸附排组52的数量可为一排或多排，当为多排时，吸附排组52并排穿设在第一导向杆511上，如图2和图3中所示，本实用新型设置有两组的吸附排组52。

调节时，移动第一导向杆511上的吸附排组52至所需位置并定位在第一导向杆511上，实现吸附排组52在第一导向杆511上的位置调整功能，以及可实现多个吸附排组52之间的间距调节功能，扩大多芯片取放机械手的适用范围，提高调节便捷度。

吸附排组52可定位于第一导向杆511上的任一位置。例如，第一导向杆511的两端分别为A点和B点，吸附排组52可定位在A点与B点之间(包括A点和B点)的任意位点。多个吸附排组52可定位在第一导向杆511上的多个位点处。示例的，吸附排组52数量为三，在第一导向杆511的A点和B点之间分别取三个位点为C点、D点和E点，三个吸附排组52可分别定位于C点、D点和E点处。

上述的第一导向杆511和吸附排组52配合，实现了吸附装置523在y轴方向上的位置调节功能。为了实现吸附装置523在x轴方向上的位置同样具有调节功能，在一可选实施例中，吸附排组52包括至少一根沿x轴方向延伸的第二导向杆522和两个导向套521，每一根第二导向杆522均设于两个导向套521之间。吸附装置523滑动穿设在第二导向杆522上，多个吸附装置523呈直线排列，吸附装置523可沿着第二导向杆522移动并定位于第二导向杆522上的任一位置，以供调节吸附装置523之间的距离。导向套521穿设在第一导向杆511上，导向套521可沿着第一导向杆511移动并定位在第一导向杆511上。如此，便可实现吸附装置523在x轴方向上的位置调节功能，每个吸附装置523在第二导向杆522上的位置均可单独调节，吸附装置523与吸附装置523之间的距离可调，进一步扩大多芯片取放机械手的适用范围，适配于更多不同型号尺寸的料盘以及芯片。

吸附装置523可定位于第二导向杆522上的任一位置。例如，上的两端分别为a点和b点，吸附装置523可定位在a点与b点之间(包括a点和b点)的任意位点。

多个吸附装置523可定位于第二导向杆522上的多个位点处。示例的，吸附装置523数量为四，在第二导向杆522的a点和b点之间分别取四个位点为c点、d点、e点和f点，四个吸附装置523可分别定位于c点、d点、e点和f点处。

可采用顶丝、杆套、卡簧等紧定件将吸附排组52固定在第一导向杆511的指定位置，用于定位吸附排组52。

作为一示例，如图2中所示，导向套521上开设有第一顶丝孔5211，第一顶丝孔5211内旋设有第一顶丝，将第一顶丝朝第一导向杆511方向旋入可顶压第一导向杆511，使导向套521紧定在第一导向杆511上，将第一顶丝背离第一导向杆511方向旋出可解除导向套521紧定在第一导向杆511上的状态。

作为另一示例，采用杆套(附图未示出)，杆套紧套在第一导向杆511上，位于导向套521y轴方向上的两端，用于顶压导向套521导向套521从而实现定位。

同理的，可采用为顶丝、杆套、卡簧等紧定件将吸附装置523固定在第二导向杆522上，用于定位吸附装置523。

作为一示例，吸附装置523上开设有第二顶丝孔5231，第二顶丝孔5231内旋设有第二顶丝，将第二顶丝朝第二导向杆522方向旋入可顶压第二导向杆522，使吸附装置523紧定在第二导向杆522上，将第二顶丝背离第二导向杆522方向旋出可解除吸附装置523紧定在第二导向杆522上的状态。每个吸附装置523对应设置一个第二顶丝。需要调位时，松开第二顶丝，即可移动吸附装置523，调整处于同一吸附排组52上的吸附装置523之间的间距，调节完毕后，锁紧第二顶丝实现定位。

如图2和图3中所示，为了实现对滑动结构3进行导向，使滑动结构3沿z轴方向移动，固定结构2包括安装板21和固定在安装板21上且沿着z轴方向竖直布置的第一滑轨22。滑动结构3包括运动板31和固定在运动板31上的第二滑轨33，第一滑轨22和第二滑轨33滑动连接。背板51与运动板31连接，动力结构4设置在安装板21上。可选的，第一滑轨22和第二滑轨33两者中的一者开设滑槽，另一者凸设导块，导块位于导槽内并沿着导槽滑动。

动力结构4包括设置在安装板21上的第一电机41、轴承连接件42和偏心随动轴承43。轴承连接件42的两端分别与偏心随动轴承43和第一电机41的输出轴连接，轴承连接件42相对于第一电机41的输出轴做偏心旋转运动，即偏心随动轴承43的轴线与第一电机41的输出轴的轴线不重叠。运动板31上设置有导向件32，导向件32上开设有导向槽321，偏心随动轴承43位于导向槽321内，偏心随动轴承43与导向槽321的槽壁抵接。

工作时，第一电机41的输出轴带动轴承连接件42转动，进而带动偏心随动轴承43做偏心旋转运动，偏心随动轴承43在导向槽321内移动，偏心随动轴承43抵顶导向件32，在第二滑轨33和第一滑轨22的导向作用下，偏心随动轴承43带动导向件32在z轴上往复运动，进而带动滑动结构3和吸附结构5整体在在z轴上往复运动。

轴承连接件42可呈之字型，两端分别与偏心随动轴承43和第一电机41的输出轴连接，以带动偏心随动轴承43进行偏心转动。

安装板21上开设通孔供轴承连接件42和偏心随动轴承43穿过。安装板21在z轴方向上间隔设置有第一限位结构211和第二限位结构212，偏心随动轴承43位于第一限位结构211和第二限位结构212之间，第一限位结构211和第二限位结构212用于抵顶偏心随动轴承43实现限位。

可选的，安装板21上设置有限位结构支架213，用于安装第一限位结构211和第二限位结构212。限位结构支架213在z轴方向上的两端分别固定第一限位结构211和第二限位结构212，

多芯片取放机械手包括复位弹簧6，复位弹簧6的一端与安装板21连接，复位弹簧6的另一端与运动板31连接，在运动板31在z轴方向移动到最低位时，复位弹簧6产生形变对运动板31具有拉力。复位弹簧6用于在动力结构4断开使能后提供缓冲力，可避免吸附结构5因为重力直接掉落至最低位，起到保护作用。

复位弹簧6可为拉力弹簧，拉力弹簧的两端分别连接安装板21与运动板31。

如图1中所示，多芯片取放机械手还包括搬运轨道1，搬运轨道1连接并控制固定结构2沿x轴方向进行往复运动。从而实现带动图2中结构整体沿x轴方向进行往复运动。

搬运轨道1包括轨道骨架11、导轨12、同步带模组13、滑块14和第二电机15。导轨12和同步带模组13均呈x轴方向设置在轨道骨架11上。滑块14滑动连接在导轨12上并沿着导轨12移动。第二电机15设置在轨道骨架11上，连接并控制同步带模组13运转，同步带模组13连接并带动滑块14移动，滑块14与固定结构2固定连接。

轨道骨架11或导轨12两端可设置位置传感器，用于检测机械手主体，所述检测机械手主体为图2所示的结构，以供实现机械手主体的复位及防撞。

以上所述仅是本申请的较佳实施方式而已，并非对本申请做任何形式上的限制，虽然本申请已以较佳实施方式揭露如上，然而并非用以限定本申请，任何熟悉本专业的技术人员，在不脱离本申请技术方案的范围内，当可利用上述揭示的技术内容做出些许更动或修饰为等同变化的等效实施方式，但凡是未脱离本申请技术方案的内容，依据本申请的技术实质对以上实施方式所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本申请技术方案的范围内。

Claims (10)

1.一种多芯片取放机械手，其特征在于：包括固定结构(2)、滑动结构(3)、动力结构(4)和吸附结构(5)；

所述滑动结构(3)滑动连接在所述固定结构(2)上，所述动力结构(4)设置于所述固定结构(2)上，所述动力结构(4)与所述滑动结构(3)传动连接并驱动所述滑动结构(3)沿z轴位移；

所述吸附结构(5)包括背板(51)和至少两排吸附排组(52),每一排吸附排组(52)具有多个吸附装置(523)；

所述背板(51)固定在所述滑动结构(3)上，所述背板(51)上设置有沿y轴方向延伸的第一导向杆(511)，所述吸附排组(52)滑动穿设在所述第一导向杆(511)上，所述吸附排组(52)可沿着所述第一导向杆(511)移动并定位于第一导向杆(511)上的任一位置，以供调节吸附排组(52)之间的距离。

2.如权利要求1所述的多芯片取放机械手，其特征在于：所述吸附排组(52)包括至少一根沿x轴方向延伸的第二导向杆(522)和两个导向套(521)，每一根所述第二导向杆(522)均设于两个导向套(521)之间；

所述吸附装置(523)滑动穿设在所述第二导向杆(522)上，多个所述吸附装置(523)呈直线排列，所述吸附装置(523)可沿着所述第二导向杆(522)移动并定位于所述第二导向杆(522)上的任一位置，以供调节吸附装置(523)之间的距离；

所述导向套(521)穿设在所述第一导向杆(511)上，所述导向套(521)可沿着所述第一导向杆(511)移动并定位在所述第一导向杆(511)上的任一位置。

3.如权利要求2所述的多芯片取放机械手，其特征在于：所述吸附装置(523)上开设有第二顶丝孔(5231)，所述第二顶丝孔(5231)内旋设有第二顶丝，将所述第二顶丝朝所述第二导向杆(522)方向旋入可顶压所述第二导向杆(522)，使所述吸附装置(523)紧定在所述第二导向杆(522)上，将所述第二顶丝背离所述第二导向杆(522)方向旋出可解除所述吸附装置(523)紧定在所述第二导向杆(522)上的状态。

4.如权利要求2所述的多芯片取放机械手，其特征在于：所述导向套(521)上开设有第一顶丝孔(5211)，所述第一顶丝孔(5211)内旋设有第一顶丝，将所述第一顶丝朝所述第一导向杆(511)方向旋入可顶压所述第一导向杆(511)，使所述导向套(521)紧定在所述第一导向杆(511)上，将所述第一顶丝背离所述第一导向杆(511)方向旋出可解除所述导向套(521)紧定在所述第一导向杆(511)上的状态。

5.如权利要求1所述的多芯片取放机械手，其特征在于：所述固定结构(2)包括安装板(21)和固定在所述安装板(21)上且沿着z轴方向竖直布置的第一滑轨(22)；

所述滑动结构(3)包括运动板(31)和固定在所述运动板(31)上的第二滑轨(33)，所述第一滑轨(22)和所述第二滑轨(33)滑动连接；

所述背板(51)与所述运动板(31)连接，所述动力结构(4)设置在所述安装板(21)上。

6.如权利要求5所述的多芯片取放机械手，其特征在于：所述动力结构(4)包括设置在所述安装板(21)上的第一电机(41)、轴承连接件(42)和偏心随动轴承(43)；

所述轴承连接件(42)的两端分别与所述偏心随动轴承(43)和所述第一电机(41)的输出轴连接，所述轴承连接件(42)相对于所述第一电机(41)的输出轴做偏心旋转运动；

所述运动板(31)上设置有导向件(32)，所述导向件(32)上开设有导向槽(321)，所述偏心随动轴承(43)位于所述导向槽(321)内，所述偏心随动轴承(43)与所述导向槽(321)的槽壁抵接。

7.如权利要求6所述的多芯片取放机械手，其特征在于：所述安装板(21)上开设通孔供所述轴承连接件(42)和所述偏心随动轴承(43)穿过，所述安装板(21)在z轴方向上间隔设置有第一限位结构(211)和第二限位结构(212)，所述偏心随动轴承(43)位于所述第一限位结构(211)和所述第二限位结构(212)之间，所述第一限位结构(211)和所述第二限位结构(212)用于抵顶所述偏心随动轴承(43)实现限位。

8.如权利要求5所述的多芯片取放机械手，其特征在于：所述多芯片取放机械手包括复位弹簧(6)，所述复位弹簧(6)的一端与所述安装板(21)连接，所述复位弹簧(6)的另一端与所述运动板(31)连接，在所述运动板(31)在z轴方向移动到最低位时，所述复位弹簧(6)产生形变对所述运动板(31)具有拉力。

9.如权利要求1～8任一所述的多芯片取放机械手，其特征在于：所述多芯片取放机械手还包括搬运轨道(1)，所述搬运轨道(1)连接并控制所述固定结构(2)沿x轴方向进行往复运动。

10.如权利要求1～8任一所述的多芯片取放机械手，其特征在于：所述吸附装置(523)的一端为缓冲式吸嘴。