CN219737282U - 一种带密封结构的阴极荧光探头装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种带密封结构的阴极荧光探头装置，包括：探头部、固定件、第一可活动件、第二可活动件以及调节部；探头部包括可移动管体和固定连接在可移动管体第一端的探头；可移动管体的第二端轴向穿过固定件、第一可活动件以及第二可活动件并设置成自由端；第一可活动件的轴向第一端与固定件的轴向第一端上下滑动密封连接；第一可活动件的轴向第二端与第二可活动件的轴向中部横向滑动密封连接；第二可活动件的轴向第一端设置在第一可活动件的轴向通孔内；第二可活动件的轴向第一端的径向外表面与轴向通孔的内表面之间设置有间隙；第二可活动件的轴向第一端的径向内表面与可移动管体的径向外表面滑动连接；调节部包括纵向调节件和横向调节件。

Description

一种带密封结构的阴极荧光探头装置

技术领域

本实用新型属于电子显微镜技术领域，具体涉及一种带密封结构的阴极荧光探头装置。

背景技术

现有探头装置的密封结构一般通过焊接保证其密封功能，但是由于无法实现探头装置的多个自由度的调整，因此导致探头装置的运动受限。然而，在实际应用中，探头装置由于需要在真空环境下实现多个自由度的调节，因此密封变成了一个重要的因素，如果一旦密封失效，则电子显微镜内部的真空环境会失效，进而导致电子显微镜进入真空保护状态无法正常工作，甚至会导致某些部件的损坏。因此，如何在实现多个自由度调整的情况下，保证探头装置的密封稳定性，变成了一个很重要的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于针对现有技术的不足之处，提供一种带密封结构的阴极荧光探头装置。

为解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案：一种带密封结构的阴极荧光探头装置，包括：探头部、固定件、第一可活动件、第二可活动件以及调节部；所述探头部包括可移动管体和固定连接在所述可移动管体第一端的探头；所述可移动管体的第二端轴向穿过所述固定件、所述第一可活动件以及所述第二可活动件并设置成自由端；所述第一可活动件的轴向第一端与所述固定件的轴向第一端上下滑动密封连接；所述第一可活动件的轴向第二端与所述第二可活动件的轴向中部横向滑动密封连接；所述第二可活动件的轴向第一端设置在所述第一可活动件的轴向通孔内；所述第二可活动件的所述轴向第一端的径向外表面与所述轴向通孔的内表面之间设置有间隙；所述第二可活动件的所述轴向第一端的径向内表面与所述可移动管体的径向外表面滑动连接；所述调节部包括纵向调节件和横向调节件；所述纵向调节件用于使得所述第一可活动件相对所述固定件进行上下移动，进而带动所述探头部进行上下移动；所述横向调节件用于使得所述第二可活动件相对所述第一可活动件进行左右移动，进而带动所述探头部进行左右移动。

在一个具体实施例中，所述阴极荧光探头装置包括真空连接部，所述真空连接部的轴向第一端与电子显微镜样品室侧壁密封连接，所述真空连接部的轴向第二端与所述固定件的轴向第二端密封连接，所述真空连接部供所述可移动管体的所述第二端轴向穿过，所述探头用于可移动地设置在电子显微镜样品室内。

在一个具体实施例中，所述真空连接部的轴向第一端与所述电子显微镜样品室侧壁的连接处设置有第一密封圈。

在一个具体实施例中，所述真空连接部的轴向第二端与所述固定件的所述轴向第二端的连接处设置有第二密封圈。

在一个具体实施例中，所述真空连接部的所述轴向第二端的内部通过第一连接件与所述固定件的所述轴向第二端连接。

在一个具体实施例中，所述真空连接部包括真空法兰，所述真空法兰的内部是中空的。

在一个具体实施例中，所述固定件的所述轴向第一端纵向设置有第一导向槽，所述第一可活动件的所述轴向第一端的左右两侧嵌设在所述第一导向槽内并与所述第一导向槽的左右两侧滑动密封连接。

在一个具体实施例中，所述固定件的所述轴向第一端端面与所述第一可活动件的所述轴向第一端端面的连接处设置有第三密封圈。

在一个具体实施例中，所述纵向调节件包括：纵调固定块和纵调螺杆；所述纵调固定块与所述固定件的顶部固定连接；所述纵调螺杆的末端穿过所述纵调固定块与所述第一可活动件螺纹连接。

在一个具体实施例中，所述第一可活动件上纵向设置有第一腰型孔并通过第二连接件与所述固定件连接在一起。

在一个具体实施例中，所述第一可活动件的所述轴向第二端横向设置有第二导向槽，所述第二可活动件的所述轴向中部的上下两侧嵌设在所述第二导向槽内并与所述第二导向槽的上下两侧滑动密封连接。

在一个具体实施例中，所述第二可活动件的所述轴向中部端面与所述第一可活动件的所述轴向第二端端面的连接处设置有第四密封圈。

在一个具体实施例中，所述横向调节件包括横调第一固定块、横调第一螺杆、横调第二固定块以及横调第二螺杆；所述横调第一固定块和所述横调第二固定块呈间隔设置并均与所述第一可活动件固定连接；所述横调第一螺杆的末端穿过所述横调第一固定块与所述第二可活动件的所述轴向中部的左侧接触；所述横调第二螺杆的末端穿过所述横调第二固定块与所述第二可活动件的所述轴向中部的右侧接触。

在一个具体实施例中，所述第二可活动件上横向设置有第二腰型孔并通过第三连接件与所述第一可活动件连接在一起。

在一个具体实施例中，所述第二可活动件的所述轴向第一端的径向内表面与所述可移动管体的径向外表面的连接处设置有第五密封圈。

在一个具体实施例中，所述第二可活动件的轴向第二端的径向内表面与所述可移动管体的径向外表面滑动密封连接。

在一个具体实施例中，所述第二可活动件的所述轴向第二端设置有第六密封圈、垫片以及锁紧螺母，所述第二可活动件的所述轴向第二端的内部设置有环形斜面，所述第六密封圈设置在所述环形斜面的径向内表面与所述可移动管体的径向外表面之间，并通过所述垫片和所述锁紧螺母锁紧。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果为：

1、本实用新型的带密封结构的阴极荧光探头装置设置了固定件、第一可活动件、第二可活动件以及调节部，不仅能够简捷高效地实现探头部的多个自由度的调节，而且不易出现密封失效，密封稳定性好。

2、本实用新型的带密封结构的阴极荧光探头装置设置了真空连接部，使得装置能够根据需要在真空环境下简捷高效地实现多个自由度的调节，而且不易出现密封失效，密封稳定性好。

3、本实用新型的带密封结构的阴极荧光探头装置设置了第三密封圈、第四密封圈、第五密封圈以及第六密封圈，能够实现在探头部进行前后、左右以及上下自由度调整时，装置整体的密封效果好，稳定性好，可靠性好，且结构简单，使用方便。

4、本实用新型的带密封结构的阴极荧光探头装置设置了第一密封圈和第二密封圈，能够进一步提高装置整体的密封效果，且结构简单，使用方便。

5、本实用新型的带密封结构的阴极荧光探头装置结构简单，使用方便，市场前景广阔。

附图说明

图1示出了本实用新型的带密封结构的阴极荧光探头装置的一个具体实施例的结构示意图；

图2示出了本实用新型的带密封结构的阴极荧光探头装置的另一个具体实施例的结构示意图；

图3示出了本实用新型的带密封结构的阴极荧光探头装置的再一个具体实施例的结构示意图；

图4示出了本实用新型的带密封结构的阴极荧光探头装置的第二可活动件的轴向第二端的径向内表面与可移动管体的径向外表面滑动密封连接的局部放大结构示意图。

其中，1-探头部；11-可移动管体；12-探头；2-固定件；21-第一导向槽；3-第一可活动件；31-轴向通孔；32-第二导向槽；4-第二可活动件；41-轴向中部；42-第五密封圈；43-第六密封圈；44-垫片；45-锁紧螺母；46-环形斜面；5-调节部；51-纵向调节件；511-纵调固定块；512-纵调螺杆；52-横向调节件；521-横调第一固定块；522-横调第一螺杆；523-横调第二固定块；524-横调第二螺杆；6-间隙；7-真空连接部；8-电子显微镜样品室侧壁；9-第一密封圈；10-第二密封圈；13-第三密封圈；14-第四密封圈。

具体实施方式

下面结合附图所示的实施例对本实用新型作进一步说明。

本实用新型所提到的方向用语例如“内”、“外”、“左”、“右”、“上”、“下”、“纵向”、“横向”等，仅是参考附加图式的方式。因此，使用的方向用语是用以说明及理解本实用新型，而非用以限制本实用新型。

如图1～3所示，本实用新型的带密封结构的阴极荧光探头装置，包括：探头部1、固定件2、第一可活动件3、第二可活动件4以及调节部5。其中，

探头部1包括可移动管体11和固定连接在可移动管体11第一端的探头12。可移动管体11的第二端轴向穿过固定件2、第一可活动件3以及第二可活动件4并设置成自由端。

第一可活动件3的轴向第一端与固定件2的轴向第一端上下滑动密封连接。第一可活动件3的轴向第二端与第二可活动件4的轴向中部41横向滑动密封连接。

第二可活动件4的轴向第一端设置在第一可活动件3的轴向通孔31内。第二可活动件4的轴向第一端的径向外表面与轴向通孔31的内表面之间设置有间隙6。第二可活动件4的轴向第一端的径向内表面与可移动管体11的径向外表面滑动连接。

调节部5包括纵向调节件51和横向调节件52。纵向调节件51用于使得第一可活动件3相对固定件2进行上下移动，进而带动探头部1进行上下移动。横向调节件52用于使得第二可活动件4相对第一可活动件3进行左右移动，进而带动探头部1进行左右移动。

其中，利用纵向调节件51使得第一可活动件3相对固定件2进行上下移动时，能够带动第一可活动件3、第二可活动件4以及可移动管体11整体进行上下移动，从而能够实现探头部1上下自由度的调节。利用横向调节件52使得第二可活动件4相对第一可活动件3进行左右移动时，能够带动第二可活动件4和可移动管体11整体进行左右移动，从而能够实现探头部1左右自由度的调节。该装置能够简化探头部1上下自由度和/或左右自由度的调节过程，便捷高效，且灵活性好。并且，由于第一可活动件3的轴向第一端与固定件2的轴向第一端上下滑动密封连接，第一可活动件3的轴向第二端与第二可活动件4的轴向中部41横向滑动密封连接，因此能够使得探头部1在进行多个自由度调节的过程中不易出现密封失效，且密封稳定性好。

在一个具体的实施例中，如图1～3所示，阴极荧光探头装置包括真空连接部7。真空连接部7的轴向第一端与电子显微镜样品室侧壁8密封连接，真空连接部7的轴向第二端与固定件2的轴向第二端密封连接。真空连接部7供可移动管体11的第二端轴向穿过。探头12用于可移动地设置在电子显微镜样品室内。其中，利用真空连接部，使得装置能够根据需要在真空环境下简捷高效地实现多个自由度的调节，而且不易出现密封失效，密封稳定性好。

在一个具体的实施例中，如图3所示，真空连接部7的轴向第一端与电子显微镜样品室侧壁8的连接处设置有第一密封圈9，密封性好，且结构简单，使用方便。

在一个具体的实施例中，如图3所示，真空连接部7的轴向第二端与固定件2的轴向第二端的连接处设置有第二密封圈10，密封性好，且结构简单，使用方便。

在一个具体的实施例中，真空连接部7的轴向第二端的内部通过第一连接件与固定件2的轴向第二端连接，密封性好。

在一个具体的实施例中，真空连接部7包括真空法兰，真空法兰的内部是中空的，能够为探头部1进出电子显微镜样品室提供运动空间。

在一个具体的实施例中，如图1、图2所示，固定件2的轴向第一端纵向设置有第一导向槽21，第一可活动件3的轴向第一端的左右两侧嵌设在第一导向槽21内并与第一导向槽21的左右两侧滑动密封连接，能够提高第一可活动件3上下移动的密封性、平稳性以及可靠性，且结构简单，使用方便。

在一个具体的实施例中，如图3所示，固定件2的轴向第一端端面与第一可活动件3的轴向第一端端面的连接处设置有第三密封圈13，能够实现第一可活动件3相对于固定件2的运动密封，密封效果好，且结构简单，使用方便。

在一个具体的实施例中，如图1～3所示，纵向调节件51包括：纵调固定块511和纵调螺杆512。其中，

纵调固定块511与固定件2的顶部固定连接。

纵调螺杆512的末端穿过纵调固定块511与第一可活动件3螺纹连接。

其中，利用纵调螺杆512的旋转运动能够实现第一可活动件3相对固定件2进行上下移动，进而带动探头部1进行上下移动，便捷高效，灵活性好，且稳定性好，可靠性好。

在一个具体的实施例中，第一可活动件3上纵向设置有第一腰型孔并通过第二连接件与固定件2连接在一起。其中，第二连接件穿过第一腰型孔与固定件2上的连接孔进行连接固定，同时利用第一腰型孔也能够便于第一可活动件3进行上下移动。

在一个具体的实施例中，如图1所示，第一可活动件3的轴向第二端横向设置有第二导向槽32，第二可活动件4的轴向中部41的上下两侧嵌设在第二导向槽42内并与第二导向槽42的上下两侧滑动密封连接，能够提高第二可活动件4左右移动的密封性、平稳性以及可靠性，且结构简单，使用方便。

在一个具体的实施例中，如图3所示，第二可活动件4的轴向中部41端面与第一可活动件3的轴向第二端端面的连接处设置有第四密封圈14，能够实现第二可活动件4相对于第一可活动件3的运动密封，密封效果好，且结构简单，使用方便。

在一个具体的实施例中，如图1所示，横向调节件52包括横调第一固定块521、横调第一螺杆522、横调第二固定块523以及横调第二螺杆524。其中，

横调第一固定块521和横调第二固定块523呈间隔设置并均与第一可活动件3固定连接。

横调第一螺杆522的末端穿过横调第一固定块521与第二可活动件4的轴向中部51的左侧接触。

横调第二螺杆524的末端穿过横调第二固定块523与第二可活动件4的轴向中部51的右侧接触。

其中，通过旋转横调第一螺杆522，能够使得横调第一螺杆522的末端顶着第二可活动件4相对第一可活动件3向右移动，同时应当旋转横调第二螺杆524也使其向右移动，能够便于第二可活动件4向右移动。通过反向旋转横调第二螺杆524，能够使得横调第二螺杆524的末端顶着第二可活动件4相对第一可活动件3向左移动，同时应当反向旋转横调第一螺杆522也使其向左移动，能够便于第二可活动件4向左移动。这样，利用横调第一螺杆522和横调第二螺杆524能够简化第二可活动件4相对第一可活动件3左右移动的调节过程，便捷高效，灵活性好，且稳定性好，可靠性好。

在一个具体的实施例中，第二可活动件4上横向设置有第二腰型孔并通过第三连接件与第一可活动件3连接在一起。其中，第二连接件穿过第二腰型孔与第一可活动件3上的连接孔进行连接固定，同时利用第二腰型孔也能够便于第二可活动件4进行左右移动。

在一个具体的实施例中，如图3所示，第二可活动件4的轴向第一端的径向内表面与可移动管体11的径向外表面的连接处设置有第五密封圈42，能够提高可移动管体11前后移动的径向密封效果。

在一个具体的实施例中，如图1～4所示，第二可活动件4的轴向第二端的径向内表面与可移动管体11的径向外表面滑动密封连接，能够提高可移动管体11前后移动的径向密封效果。

在一个具体的实施例中，如图1～4所示，第二可活动件4的轴向第二端设置有第六密封圈43、垫片44以及锁紧螺母45。第二可活动件4的轴向第二端的内部设置有环形斜面46，第六密封圈43设置在环形斜面46的径向内表面与可移动管体11的径向外表面之间，并通过垫片44和锁紧螺母45锁紧。其中，锁紧螺母45通过第六密封圈43和垫片44将第二可活动件4的轴向第二端与可移动管体11压紧，能够避免可移动管体11在前后移动过程中产生晃动，并且能够提高可移动管体11前后移动的径向密封效果。

在一个具体的实施例中，如图3所示，第一密封圈9、第二密封圈10、第三密封圈13、第四密封圈14、第五密封圈42以及第六密封圈43的材质均包括丁腈橡胶或氟橡胶，密封性好，且结构简单，制造方便。

在一个具体的实施例中，第一连接件、第二连接件和/或第三连接件包括螺钉，结构简单，使用方便。

在一个具体的实施例中，可移动管体11内部所接的线缆均通过与电气端子焊接实现其密封，密封效果好。

本实用新型使用时，利用第一可活动件3的轴向第一端与固定件2的轴向第一端上下滑动密封连接，以及第一可活动件3的轴向第二端与第二可活动件4的轴向中部41横向滑动密封连接，能够使得探头部1在进行上下自由度和/或左右自由度的调整过程中不易出现密封失效，且密封稳定性好。同时利用第二可活动件4的轴向第一端的径向内表面与可移动管体11的径向外表面滑动密封连接，以及第二可活动件4的轴向第二端的径向内表面与可移动管体11的径向外表面滑动密封连接，能够实现探头部1在进行前后自由度调整时，不易出现密封失效，且密封稳定性好。并且利用真空连接部7，能够使得装置根据需要在真空环境下实现多个自由度的调节，而且不易出现密封失效，从而能够提高装置的整体密封效果和密封稳定性。

本实用新型的保护范围不限于上述的实施例，显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变形而不脱离本实用新型的范围和精神。倘若这些改动和变形属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围，则本实用新型的意图也包含这些改动和变形在内。

Claims (17)

1.一种带密封结构的阴极荧光探头装置，其特征在于，包括：探头部(1)、固定件(2)、第一可活动件(3)、第二可活动件(4)以及调节部(5)；

所述探头部(1)包括可移动管体(11)和固定连接在所述可移动管体(11)第一端的探头(12)；所述可移动管体(11)的第二端轴向穿过所述固定件(2)、所述第一可活动件(3)以及所述第二可活动件(4)并设置成自由端；

所述第一可活动件(3)的轴向第一端与所述固定件(2)的轴向第一端上下滑动密封连接；所述第一可活动件(3)的轴向第二端与所述第二可活动件(4)的轴向中部(41)横向滑动密封连接；

所述第二可活动件(4)的轴向第一端设置在所述第一可活动件(3)的轴向通孔(31)内；所述第二可活动件(4)的所述轴向第一端的径向外表面与所述轴向通孔(31)的内表面之间设置有间隙(6)；所述第二可活动件(4)的所述轴向第一端的径向内表面与所述可移动管体(11)的径向外表面滑动连接；

所述调节部(5)包括纵向调节件(51)和横向调节件(52)；所述纵向调节件(51)用于使得所述第一可活动件(3)相对所述固定件(2)进行上下移动，进而带动所述探头部(1)进行上下移动；所述横向调节件(52)用于使得所述第二可活动件(4)相对所述第一可活动件(3)进行左右移动，进而带动所述探头部(1)进行左右移动。

2.根据权利要求1所述的带密封结构的阴极荧光探头装置，其特征在于，所述阴极荧光探头装置包括真空连接部(7)，所述真空连接部(7)的轴向第一端与电子显微镜样品室侧壁(8)密封连接，所述真空连接部(7)的轴向第二端与所述固定件(2)的轴向第二端密封连接，所述真空连接部(7)供所述可移动管体(11)的所述第二端轴向穿过，所述探头(12)用于可移动地设置在电子显微镜样品室内。

3.根据权利要求2所述的带密封结构的阴极荧光探头装置，其特征在于，所述真空连接部(7)的轴向第一端与所述电子显微镜样品室侧壁(8)的连接处设置有第一密封圈(9)。

4.根据权利要求2所述的带密封结构的阴极荧光探头装置，其特征在于，所述真空连接部(7)的轴向第二端与所述固定件(2)的所述轴向第二端的连接处设置有第二密封圈(10)。

5.根据权利要求2所述的带密封结构的阴极荧光探头装置，其特征在于，所述真空连接部(7)的所述轴向第二端的内部通过第一连接件与所述固定件(2)的所述轴向第二端连接。

6.根据权利要求2所述的带密封结构的阴极荧光探头装置，其特征在于，所述真空连接部(7)包括真空法兰，所述真空法兰的内部是中空的。

7.根据权利要求1所述的带密封结构的阴极荧光探头装置，其特征在于，所述固定件(2)的所述轴向第一端纵向设置有第一导向槽(21)，所述第一可活动件(3)的所述轴向第一端的左右两侧嵌设在所述第一导向槽(21)内并与所述第一导向槽(21)的左右两侧滑动密封连接。

8.根据权利要求7所述的带密封结构的阴极荧光探头装置，其特征在于，所述固定件(2)的所述轴向第一端端面与所述第一可活动件(3)的所述轴向第一端端面的连接处设置有第三密封圈(13)。

9.根据权利要求1所述的带密封结构的阴极荧光探头装置，其特征在于，所述纵向调节件(51)包括：纵调固定块(511)和纵调螺杆(512)；

所述纵调固定块(511)与所述固定件(2)的顶部固定连接；

所述纵调螺杆(512)的末端穿过所述纵调固定块(511)与所述第一可活动件(3)螺纹连接。

10.根据权利要求1所述的带密封结构的阴极荧光探头装置，其特征在于，所述第一可活动件(3)上纵向设置有第一腰型孔并通过第二连接件与所述固定件(2)连接在一起。

11.根据权利要求1所述的带密封结构的阴极荧光探头装置，其特征在于，所述第一可活动件(3)的所述轴向第二端横向设置有第二导向槽(32)，所述第二可活动件(4)的所述轴向中部(41)的上下两侧嵌设在所述第二导向槽(32)内并与所述第二导向槽(32)的上下两侧滑动密封连接。

12.根据权利要求11所述的带密封结构的阴极荧光探头装置，其特征在于，所述第二可活动件(4)的所述轴向中部(41)端面与所述第一可活动件(3)的所述轴向第二端端面的连接处设置有第四密封圈(14)。

13.根据权利要求1所述的带密封结构的阴极荧光探头装置，其特征在于，所述横向调节件(52)包括横调第一固定块(521)、横调第一螺杆(522)、横调第二固定块(523)以及横调第二螺杆(524)；

所述横调第一固定块(521)和所述横调第二固定块(523)呈间隔设置并均与所述第一可活动件(3)固定连接；

所述横调第一螺杆(522)的末端穿过所述横调第一固定块(521)与所述第二可活动件(4)的所述轴向中部(41)的左侧接触；

所述横调第二螺杆(524)的末端穿过所述横调第二固定块(523)与所述第二可活动件(4)的所述轴向中部(41)的右侧接触。

14.根据权利要求1所述的带密封结构的阴极荧光探头装置，其特征在于，所述第二可活动件(4)上横向设置有第二腰型孔并通过第三连接件与所述第一可活动件(3)连接在一起。

15.根据权利要求1所述的带密封结构的阴极荧光探头装置，其特征在于，所述第二可活动件(4)的所述轴向第一端的径向内表面与所述可移动管体(11)的径向外表面的连接处设置有第五密封圈(42)。

16.根据权利要求1所述的带密封结构的阴极荧光探头装置，其特征在于，所述第二可活动件(4)的轴向第二端的径向内表面与所述可移动管体(11)的径向外表面滑动密封连接。

17.根据权利要求16所述的带密封结构的阴极荧光探头装置，其特征在于，所述第二可活动件(4)的所述轴向第二端设置有第六密封圈(43)、垫片(44)以及锁紧螺母(45)，所述第二可活动件(4)的所述轴向第二端的内部设置有环形斜面(46)，所述第六密封圈(43)设置在所述环形斜面(46)的径向内表面与所述可移动管体(11)的径向外表面之间，并通过所述垫片(44)和所述锁紧螺母(45)锁紧。