CN219726836U - 一种晶棒快速定位夹具 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开一种晶棒快速定位夹具，多线切割机料板上方放置毛玻璃板，毛玻璃板两侧通过压板固定在多线切割机料板上，多线切割机料板两侧均固定连接定位板，定位板垂直于多线切割机料板，定位板上端均设置法兰直线轴承，法兰直线轴承内穿设导向轴，导向轴末端连接定位刮板。定位刮板对晶棒进行定位，防止晶棒偏扭；在晶棒两头均需进行切割时，晶棒的一端切割完毕后，不需要把晶棒从夹具上拆卸下来调头后再重新夹装，可以提高晶棒两端切割的同轴精度。且所述定位夹具一次可以定位固定多根晶棒，从而实现多根晶棒同时切割，提高切割效率，整体结构简单，操作容易，拆装方便。

Description

一种晶棒快速定位夹具

技术领域

本实用新型属于大功率半导体器件辅助工装技术领域，具体涉及一种晶棒快速定位夹具。

背景技术

随着科学技术的不断进步，工业生产水平也不断提高，其中晶棒行业也得到迅速的发展，国内晶棒生产技术不断进步，使得晶棒生产规模和产品质量也大大提高。

晶棒在加工的过程中，需要进行切割处理，切割处理时需要对晶棒进行定位并固定，现有晶棒的定位固定方式多为在晶棒下方粘接石墨托或树脂托，采用粘接石墨或树脂托的方式，固定相对牢固，但在晶棒加工完成后还需去除石墨托或树脂托，由于石墨托或树脂托与晶棒粘接固定牢固，是由于粘接是在整个接触面涂胶，所以去除石墨托或树脂托时较困难。另外，晶棒切割时，石墨托或树脂托也被随之切割，石墨托或树脂托为一次性用品，生产成本高，且石墨托或树脂托随晶棒一起切割还会造成晶元表面污染。一个石墨托或树脂托内放置一根晶棒，为了提高切割效率，考虑同时进行多根晶棒切割，此时需要将多根石墨托或树脂托并排放置，由于石墨托或树脂托精度不高，多根石墨托或树脂托并排时，端部较难对齐，因此，会造成晶棒切割质量不稳定，切割效率低。

中国专利201820957328.6公开一种晶棒夹具和晶棒切割治具，通过转动螺栓可以调节夹持空间的大小，适应不同尺寸的晶棒，但是夹具本体是将晶棒一端夹持，只适用一端需要切割的晶棒，如果晶棒两端都需要进行切割时，还要将晶棒从夹具上卸下，调头后再重新夹装，操作繁琐。

发明内容

针对现有技术中存在的上述缺陷，本实用新型提供一种结构简单，操作容易，一次定位固定可以实现多根晶棒同时切割的晶棒快速定位夹具。

本实用新型的目的是以下述方式实现的：

一种晶棒快速定位夹具，包括多线切割机料板，多线切割机料板上方放置毛玻璃板，毛玻璃板两侧通过压板固定在多线切割机料板上，多线切割机料板两侧均固定连接定位板，定位板垂直于多线切割机料板，定位板上端均设置法兰直线轴承，法兰直线轴承内穿设导向轴，导向轴末端连接定位刮板。

毛玻璃板两侧边均设置限位槽，压板侧边设置与所述限位槽相配合的凸块，压板通过压板螺栓固定在多线切割机料板。

压板上平行设置滑道，滑道垂直于所述凸块，压板螺栓穿过滑道固定到多线切割机料板上。

每块定位板上端设置两个法兰直线轴承，法兰直线轴承位于定位板上部的两端部。

所述定位刮板为L型或一字型。

相对于现有技术，本实用新型采用定位刮板不仅对晶棒的左右两侧进行定位，防止晶棒偏扭，从而晶棒定位更准确，更利于保证后续切割质量，提高切割速度，提高了经济效益；在晶棒两头均需进行切割时，晶棒的一端切割完毕后，不需要把晶棒从夹具上拆卸下来调头后再重新夹装，可以提高晶棒两端切割的同轴精度。且所述定位夹具一次可以定位固定多根晶棒，从而实现多根晶棒同时切割，提高切割效率，整体结构简单，操作容易，拆装方便。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

如图1所示，一种晶棒快速定位夹具，包括多线切割机料板1，多线切割机料板1支撑整个夹具，承受整个构件的重量，它结构很简单，就是一块厚度为18毫米的矩形板，当然，也可根据待夹持晶棒的情况适当调整尺寸。多线切割机料板1上方放置毛玻璃板2，毛玻璃板2两侧通过压板3固定在多线切割机料板1上，毛玻璃板2上面放置的则是待夹持的单根或多根晶棒。多线切割机料板1两侧均通过定位板螺栓51固定连接一定位板5，定位板5垂直于多线切割机料板1，定位板螺栓51优选内六角圆柱头螺栓，多线切割机料板1两侧的两定位板5上均设置法兰直线轴承7，法兰直线轴承7通过螺栓将其法兰固定在定位板5上，法兰直线轴承7内穿设导向轴6，导向轴6末端连接L型的定位刮板4，每块定位刮板4上均有两个孔用来放置沉头内六角螺栓，将定位刮板4和导向轴6固定连接在一起。L型的定位刮板4底面高于毛玻璃板2，在导向轴6带动下可以在毛玻璃板2表面左右移动。

图1所示每块定位板5上端设置两个法兰直线轴承7，法兰直线轴承7位于定位板上部的两端部。设置两个法兰直线轴承7，定位刮板4受力更均匀，夹持作业时晶棒不易发生偏移。更理想情况下，每块定位板5上也可设置一个法兰直线轴承7，位于定位板5长度方向的中间位置。

导向轴6为长度113毫米的圆柱体，调节法兰直线轴承7的松紧，可以使导向轴6在法兰直线轴承7内进行左右移动，进而推动定位刮板4夹紧晶棒。直线轴承是一种直线运动机构，用于直线行程，与圆柱体的导向轴6相互配合使用。法兰直线轴承7是带有法兰的直线轴承，标准的法兰直线轴承的轴承套与法兰为一体化结构，可以用螺栓直接将轴承固定在定位板上。

毛玻璃板2两侧通过压板3固定在多线切割机料板1上，具体为毛玻璃板2两侧边均设置限位槽21，压板3侧边设置与所述限位槽21相配合的凸块31，压板3通过压板螺栓33固定在多线切割机料板1。凸块31插入到毛玻璃板两侧边的限位槽21中，压板3上表面还平行设置两道滑道32，滑道32垂直于所述凸块31，压板螺栓33穿过滑道32将压板3固定到多线切割机料板1上，从而对毛玻璃板2进行限制。压板螺栓33选用内六角圆柱头螺栓，滑道32的设置，方便对压板3进行左右移动，适应不同尺寸的毛玻璃板2，从而调节定位夹具的夹持空间，以适应不同尺寸的晶棒，或者多根晶棒。通过调节内六角圆柱头螺钉的松紧，即可使压板3进行左右移动。

本实用新型公开的晶棒快速定位夹具，由多线切割机料板、毛玻璃板、两块压板、两块定位刮板、两块定位板、四根导向轴、四个法兰直线轴承组成，各个组件通过螺栓连接在一起。法兰直线轴承可以和导向轴随机组合使用，具有良好的互换性。导向轴在法兰直线轴承中做往复直线运动。通过调节压板滑道中压板螺栓的松紧，可以使两块压板左右移动，进而适应不同尺寸的毛玻璃板。

所述定位刮板为L型或一字型。

在晶棒两头均需进行切割时，定位刮板优选一字型，方便两端进行切割，不需一端切割后把晶棒从夹具上拆卸下来调头后再重新夹装，可以提高晶棒两端切割的同轴精度。

晶棒一端进行切割时，定位刮板可以采用L型，不仅对晶棒的左右两侧进行定位，防止晶棒偏扭，还对晶棒的圆柱端面一端进行了定位，使晶棒的一端与毛玻璃板端部保持合理间隙，使晶棒位于毛玻璃板的合适位置，限制晶棒的多个自由度，从而晶棒定位更准确，更利于后续保证切割质量，提高切割速度，提高了经济效益；整体结构简单，操作容易，拆装方便。

经所述晶棒快速定位夹具定位完成后的晶棒，使用胶水固定在毛玻璃板上，然后通过法兰直线轴承7将定位刮板4及导向轴6后退，拧松压板螺栓33，将压板3拆卸，从而将毛玻璃板2及晶棒8从多线切割机料板1上卸下，将带有晶棒8的毛玻璃板2固定于晶棒切割治具上，进行晶棒切割。晶棒与毛玻璃板的粘接为线接触，进行晶棒切割时，仅切割晶棒，毛玻璃板不会被切割，或仅被切割很浅，切割后的晶圆与毛玻璃板很容易分开，毛玻璃板仍是一个整体，还可以重新再利用，毛玻璃板被切割到的情况下，反面还可以再利用，相比较一次性的石墨托或树脂托，节约成本，且不会污染晶圆表面，一次可完成多根晶棒的定位固定，提高后续切割效率和切割质量。

以上所述的仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本领域的技术人员来说，在不脱离本实用新型整体构思前提下，还可以做出若干改变和改进，这些也应该视为本实用新型的保护范围。

Claims (5)

1.一种晶棒快速定位夹具，其特征在于：包括多线切割机料板（1），多线切割机料板（1）上方放置毛玻璃板（2），毛玻璃板（2）两侧通过压板（3）固定在多线切割机料板（1）上，多线切割机料板（1）两侧均固定连接定位板（5），定位板（5）垂直于多线切割机料板（1），定位板（5）上端均设置法兰直线轴承（7），法兰直线轴承（7）内穿设导向轴（6），导向轴（6）末端连接定位刮板（4）。

2.根据权利要求1所述一种晶棒快速定位夹具，其特征在于：毛玻璃板（2）两侧边均设置限位槽（21），压板（3）侧边设置与所述限位槽（21）相配合的凸块（31），压板（3）通过压板螺栓（33）固定在多线切割机料板（1）。

3.根据权利要求2所述一种晶棒快速定位夹具，其特征在于：压板（3）上平行设置滑道（32），滑道（32）垂直于所述凸块（31），压板螺栓（33）穿过滑道（32）固定到多线切割机料板（1）上。

4.根据权利要求1所述一种晶棒快速定位夹具，其特征在于：每块定位板（5）上端设置两个法兰直线轴承（7），法兰直线轴承（7）位于定位板上部的两端部。

5.根据权利要求1所述一种晶棒快速定位夹具，其特征在于：所述定位刮板（4）为L型或一字型。