CN219707006U - 一种晶圆运输车 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种晶圆运输车，包括基础框架、搁置台及移动车轮组件，基础框架包括矩形横向框架与竖向框架，矩形横向框架包括在X‑Y平面上首尾依次连接的第一支撑杆至第四支撑杆，竖向框架包括四根与矩形横向框架的四个角一一对应连接并沿Z方向延伸的竖向支撑杆；搁置台与基础框架连接以承载晶圆盒，包括沿Y方向依次相对倾斜设置的第一载板及第二载板；移动车轮组件包括多个与竖向支撑杆底部连接的移动车轮以移动晶圆运输车。本实用新型的晶圆运输车能够有效防止装载于晶圆运输车中的晶圆承载盒在运输过程中发生晃动或侧翻的状况，显著降低晶圆运输过程中发生损伤的风险，实现安全高效的晶圆运输，从而提升生产效率和良品率。

Description

一种晶圆运输车

技术领域

本实用新型属于半导体生产辅助载具领域，涉及一种晶圆运输车。

背景技术

半导体集成电路是将很多元器件集成到一个芯片内以处理和储存各种功能的电子组件。由于半导体集成电路是通过在晶圆的薄基板上制作多个相同的电路而产生的，因此，晶圆是半导体的基础，目前晶圆的尺寸有4英寸、6英寸及8英寸12英寸等常见规格，近年来发展出12英寸甚至更大规格的晶圆，晶圆越薄，制造成本越低，直径越大，依次可生产的半导体芯片的数量就越多，因此晶圆呈现逐渐变薄和扩大的趋势。

在半导体制造过程中，环境微粒和制造过程中产生的微粒污染会直接影响晶圆良率，为减少微粒污染，提高良率，常把晶圆储存在晶圆盒当中，生产过程中由于芯片制造工序繁多，装有晶圆的晶圆盒需要在不同的机台之间来回运输，常用的运输工具是空中行走式无人搬送车，但并不是所有的情况都可以自动化作业，比如芯片测试，晶圆搬送到货架，这些过程都是需要人为运输的，晶圆载车便是常用的人力运输晶圆的工具，请参阅图1，显示为一种晶圆运输车的整体结构示意图，载车由上下两层载板100组成，每层载板可放置两个晶圆盒，但随着晶圆尺寸的增大，晶圆盒也越来越重，现有的晶圆载车无法固定晶圆盒，晶圆盒在人为运输过程中就会有左右晃动甚至侧翻的风险，从而对放置于晶圆盒内部的晶圆造成损伤，降低产品良率。

因此，如何提供一种晶圆运输车，以实现在运送晶圆的过程中有效防止晶圆盒左右晃动，从而降低晶圆运输过程中发生损伤的风险，成为本领域技术人员亟待解决的一个重要技术问题。

应该注意，上面对技术背景的介绍只是为了方便对本申请的技术方案进行清楚、完整的说明，并方便本领域技术人员的理解而阐述的。不能仅仅因为这些方案在本申请的背景技术部分进行了阐述而认为上述技术方案为本领域技术人员所公知。

实用新型内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种晶圆运输车，用于解决现有技术中的晶圆运输车运送晶圆时晶圆在晶圆运输车上左右晃动甚至侧翻造成损伤的问题。

为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种晶圆运输车，包括：

基础框架，包括矩形横向框架及与所述矩形横向框架垂直连接的竖向框架，所述矩形横向框架包括首尾依次连接的第一支撑杆、第二支撑杆、第三支撑杆及第四支撑杆，所述第一支撑杆与所述第三支撑杆相互平行并均往X方向延伸，所述第二支撑杆与所述第四支撑杆相互平行并均往Y方向延伸，所述竖向框架包括四根相互平行且均往Z方向延伸的竖向支撑杆，四根所述竖向支撑杆与所述矩形横向框架的四个角一一对应连接，其中所述X方向、所述Y方向及所述Z方向相互垂直；

搁置台，与所述基础框架连接以承载晶圆盒，所述搁置台包括沿Y方向依次设置的第一载板及第二载板，所述第一载板朝向所述第二载板的一侧边的X方向两端与所述矩形横向框架连接，所述第一载板远离所述第二载板的一侧边的X方向两端与所述竖向框架连接，所述第一载板朝向所述第二载板的一侧边高于所述第一载板远离所述第二载板的一侧边，所述第二载板朝向所述第一载板的一侧边的X方向两端与所述矩形横向框架连接，所述第二载板远离所述第一载板的一侧边的X方向两端与所述竖向框架连接，所述第二载板朝向所述第一载板的一侧边高于所述第二载板远离所述第一载板的一侧边；

移动车轮组件，包括多个移动车轮，每根所述竖向支撑杆的底部均连接有所述移动车轮。

可选地，所述第一载板与X-Y平面的夹角范围是5°～30°，所述第二载板与X-Y平面的夹角范围是5°～30°。

可选地，所述晶圆运输车包括自下而上依次设置的多个所述矩形横向框架及自下而上依次设置的多个所述搁置台，多个所述搁置台与多个所述矩形横向框架一一对应连接。

可选地，所述第一载板朝向所述第二载板的一侧边高出所述第一载板远离所述第二载板的一侧边1cm～5cm，所述第二载板朝向所述第一载板的一侧边高出所述第二载板远离所述第一载板的一侧边1cm～5cm。

可选地，所述第一载板与所述第二载板的相向两侧边相接。

可选地，所述第一载板与所述第二载板的相向两侧边在Y方向上间隔预设距离。

可选地，所述第一载板朝向所述第二载板的一侧边的X方向两端分别与所述第四支撑杆与所述第二支撑杆连接，所述第二载板朝向所述第一载板的一侧边的X方向两端分别与所述第四支撑杆与所述第二支撑杆连接。

可选地，所述矩形横向框架还包括第五支撑杆，所述第一支撑杆、所述第五支撑杆及所述第三支撑杆在Y方向上依次且间隔设置，所述第一载板朝向所述第二载板的一侧边及所述第二载板朝向所述第一载板的一侧边均与所述第五支撑杆连接。

可选地，所述第一支撑杆、所述第二支撑杆、所述第三支撑杆及所述第四支撑杆的表面均设有缓冲套。

可选地，所述第一载板远离所述第二载板的一侧边与所述第一支撑杆之间连接有至少一根护栏，所述第二载板远离所述第一载板的一侧边与所述第三支撑杆之间连接有至少一根护栏。

如上所述，本实用新型的晶圆运输车包括基础框架、搁置台及移动车轮组件，其中搁置台包括倾斜设置的第一载板及第二载板，能够有效防止装载于晶圆运输车中的晶圆盒在运输过程中发生晃动或侧翻的状况，显著降低晶圆运输过程中晶圆发生损伤的风险，实现安全高效的晶圆运输，从而提升生产效率和良品率。

附图说明

图1显示为一种晶圆运输车的三维结构示意图。

图2显示为本实用新型的晶圆运输车于实施例一中的三维结构示意图。

图3显示为本实用新型的晶圆运输车于实施例一中搁置板的俯视结构示意图。

图4显示为本实用新型的晶圆运输车于实施例一中局部结构的侧视结构示意图。

图5显示为本实用新型的晶圆运输车于实施例一中设有第五支撑杆时的三维结构示意图。

图6显示为本实用新型的晶圆运输车于实施例二中的三维结构示意图。

图7显示为本实用新型的晶圆运输车于实施例三中的三维结构示意图。

图8显示为本实用新型的晶圆运输车与实施例三中第一支撑杆设有缓冲套后沿Y方向的剖面结构示意图。

元件标号说明

100 载板

1 基础框架

11 矩形横向框架

111 第一支撑杆

112 第二支撑杆

113 第三支撑杆

114 第四支撑杆

115 第五支撑杆

12 竖向框架

121 竖向支撑杆

2 搁置台

21 第一载板

22 第二载板

3 移动车轮组件

31 移动车轮

4 护栏

5 缓冲套

具体实施方式

以下通过特定的具体实例说明本实用新型的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点与功效。本实用新型还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本实用新型的精神下进行各种修饰或改变。

请参阅图2至图8。需要说明的是，本实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本实用新型的基本构想，遂图式中仅显示与本实用新型中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。

实施例一

本实施例提供一种晶圆运输车，请参阅图2，显示为该晶圆运输车的三维结构示意图，包括基础框架1、搁置台2及移动车轮组件3。

具体的，所述基础框架1包括矩形横向框架11及与所述矩形横向框架11垂直连接的竖向框架12，所述矩形横向框架11包括首尾依次连接的第一支撑杆111、第二支撑杆112、第三支撑杆113及第四支撑杆114，所述第一支撑杆111与所述第三支撑杆113相互平行并均往X方向延伸，所述第二支撑杆112与所述第四支撑杆114相互平行并均往Y方向延伸，所述竖向框架12包括四根相互平行且均往Z方向延伸的竖向支撑杆121，四根所述竖向支撑杆121与所述矩形横向框架11的四个角一一对应连接，其中所述X方向、所述Y方向及所述Z方向相互垂直。此处所说的“横向”指的是平行于X-Y面，“竖向”指的是垂直于X-Y面。

具体的，所述搁置台2与所述基础框架1连接以承载晶圆盒，请参阅图3，显示为所述搁置台2的俯视结构示意图，所述搁置台2包括沿Y方向依次设置的第一载板21及第二载板22，所述第一载板21朝向所述第二载板22的一侧边的X方向两端与所述矩形横向框架11连接，所述第一载板21远离所述第二载板22的一侧边的X方向两端与所述竖向框架12连接，请参阅图4，显示为该晶圆运输车的侧视结构示意图，所述第一载板21朝向所述第二载板22的一侧边高于所述第一载板21远离所述第二载板22的一侧边，所述第二载板22朝向所述第一载板21的一侧边的X方向两端与所述矩形横向框架11连接，所述第二载板22远离所述第一载板21的一侧边的X方向两端与所述竖向框架12连接，所述第二载板22朝向所述第一载板21的一侧边高于所述第二载板22远离所述第一载板21的一侧边。

具体的，所述移动车轮组件3包括多个移动车轮31，每根所述竖向支撑杆121的底部均连接有所述移动车轮31，用于移动所述晶圆运输车。

作为示例，所述第一载板21与X-Y平面的夹角(图4中α所示)范围是5°～30°，所述第二载板22与X-Y平面的夹角(图4中β所示)范围是5°～30°，优选地，所述第一载板21与X-Y平面的夹角等于所述第二载板22与X-Y平面的夹角，本实施例中，所述第一载板21与X-Y平面的夹角及所述第二载板22与X-Y平面的夹角均为15°，在其他实施例中，所述第一载板21及所述第二载板22与X-Y平面的夹角可以不等，也可以为其他的角度数值，包括但不限于10°、20°、25°等。

作为示例，所述晶圆运输车包括自下而上依次设置的多个所述矩形横向框架11及自下而上依次设置的多个所述搁置台2，多个所述搁置台2与多个所述矩形横向框架11一一对应连接。本实施例中所述矩形横向框架11及所述搁置台2的数量均为2个，在其他实施例中所述矩形横向框架11及所述搁置台2的数量可以为1个、3个等，基于产线运输需要合理设置调整。

作为示例，所述第一载板21朝向所述第二载板22的一侧边高出所述第一载板21远离所述第二载板22的一侧边1cm～5cm，所述第二载板22朝向所述第一载板21的一侧边高出所述第二载板22远离所述第一载板21的一侧边1cm～5cm，优选地，所述第一载板21朝向所述第二载板22的一侧边高出所述第一载板21远离所述第二载板22的一侧边的距离优选为等于所述第二载板22朝向所述第一载板21的一侧边高出所述第二载板22远离所述第一载板21的一侧边的距离，本实施例中，上述两个距离均为3cm，能够有效避免放置于所述第一载板21及所述第二载板22上的晶圆盒滑落，在其他实施例中，上述两个距离可以不等，也可以为其他的数值，包括但不限于10°、2cm、4cm等。

作为示例，所述第一载板21与所述第二载板22的相向两侧边相接，此处所说的所述第一载板21与所述第二载板22的相向两侧边分别指的是所述第一载板21朝向所述第二载板22的一侧边以及所述第二载板22朝向所述第一载板21的一侧边。

作为示例，所述第一载板21与所述第二载板22的相向两侧边在Y方向上间隔预设距离，也就是所述第一载板21与所述第二载板22各自与所述矩形横向框架11向连接的一侧边可以相互连接设置也可以相互间隔设置，本实施例中，所述第一载板21与所述第二载板22的相向两侧边相接，能够增加所述第一载板21与所述第二载板22固定于所述矩形横向框架11与所述竖向框架12之间的稳定性。

进一步地，所述第一载板21朝向所述第二载板22的一侧边的X方向两端分别与所述第四支撑杆114与所述第二支撑杆112连接，所述第二载板22朝向所述第一载板21的一侧边的X方向两端分别与所述第四支撑杆114与所述第二支撑杆112连接。

作为示例，所述矩形横向框架11还包括第五支撑杆115，请参阅图5，显示为设有第五支撑杆115时晶圆运输车的整体结构示意图，所述第一支撑杆111、所述第五支撑杆115及所述第三支撑杆113在Y方向上依次且间隔设置，所述第一载板21朝向所述第二载板22的一侧边及所述第二载板22朝向所述第一载板21的一侧边均与所述第五支撑杆115连接。所述第五支撑杆115的设置能够增强所述第一载板21与所述第二载板22与所述矩形横向框架11之间的连接作用，增强稳定性。

作为示例，所述移动车轮31包括万向轮。采用万向轮能够使得晶圆运输车运输晶圆时更加方便灵活。当然，所述移动车轮31也可以使用其他旋转角度的车轮，能够实现晶圆运输车的移动即可。

作为示例，该晶圆运输车还可设置把手(图中未显示)，所述把手与所述竖向框架12的其中两个竖向支撑杆121连接。所述把手的设置能够方便所述晶圆运输车的使用，并能够使得推动或拉动晶圆运输车时对晶圆运输车施加的力更为均匀，避免人为地造成晶圆运输车的晃动，提高晶圆运输车的使用便捷性且能够提供更为稳定的晶圆运输作业。

具体的，本实施例的晶圆运输车，通过在由矩形横向框架11和竖向框架12构成的基础框架1上设置由与矩形横向框架11和竖向框架12连接的第一载板21和第二载板22构成的搁置台2，并且第一载板21与第二载板22均倾斜设置，将多个装有晶圆的晶圆承载盒放置于所述搁置台2上时，晶圆盒会分布排列在第一载板21和第二载板22上使得其侧面倚靠在矩形横向框架11上，在生产线的运送过程中，即使产生颠簸造成晶圆运输车整体发生晃动，也不会对放置于其中的晶圆承载盒的稳定性造成影响，从而避免在运送过程中因晃动或侧翻导致的晶圆损伤状况。

本实施例还提供该晶圆运输车的实际使用方法，首先，提供一个如上所述的晶圆运输车，包括两层搁置台和两个矩形横向框架；然后，将装载有多片晶圆的晶圆盒分别平稳放置于搁置台的第一载板和第二载板上，每一载板上搁置两个晶圆盒并使位于第一载板和第二载板上的各晶圆盒的晶盒门(用于拿取晶圆的侧面开口)相对，晶盒门相对的侧面依靠矩形横向支撑杆上，最后，推动该晶圆运输车使其移动到目标位置并将搁置台上放置的晶圆盒转移下来。

本实施例的晶圆运输车能够有效防止装载于晶圆运输车中的晶圆承载盒在运输过程中发生晃动或侧翻的状况，显著降低晶圆运输过程中发生损伤的风险，实现安全高效的晶圆运输，从而提升生产效率和良品率。

实施例二

本实施例提供一种实施例一中所述的具体的晶圆运输车，请参阅图6，显示为该晶圆运输车的三维结构示意图，包括基础框架1、搁置台2及移动车轮组件3。与实施例一的区别在于，本实施例中晶圆运输车中设有护栏4，而实施例一中均未设置护栏4。

具体的，所述基础框架1包括矩形横向框架11及与所述矩形横向框架11垂直连接的竖向框架12；所述搁置台2包括第一载板21及第二载板22；所述移动车轮组件3包括至少四个移动车轮31。

作为示例，所述第一载板21远离所述第二载板22的一侧边与所述第一支撑杆111之间连接有至少一根护栏4，所述第二载板22远离所述第一载板21的一侧边与所述第三支撑杆113之间连接有至少一根护栏4，所述护栏4的设置使得所述晶圆运输车能够运输装载有不同尺寸(厚度、直径)规格晶圆的晶圆盒，实现晶圆运输车的灵活使用，所述护栏4的设置数量可根据实际生产数量进行合理调整。

本实施例的晶圆运输车能够有效防止装载于晶圆运输车中的晶圆承载盒在运输过程中发生晃动或侧翻的状况，显著降低晶圆运输过程中发生损伤的风险，实现安全高效的晶圆运输，从而提升生产效率和良品率。此外，本实施例的晶圆运输车设有多根护栏，能够对使得晶圆运输车能够运送不同尺寸的晶圆，提高晶圆运输车的利用率。

实施例三

本实施例提供一种实施例一中所述的具体的晶圆运输车，请参阅图7，显示为该晶圆运输车的三维结构示意图，包括基础框架1、搁置台2及移动车轮组件3。与实施例一及实施例二的区别在于，本实施例中晶圆运输车的横向支撑杆表面还设有缓冲套5，而在实施例一及实施例二中晶圆运输车均未设置缓冲套5。

具体的，所述基础框架1包括矩形横向框架11及与所述矩形横向框架11垂直连接的竖向框架12；所述搁置台2包括第一载板21及第二载板22；所述移动车轮组件3包括至少四个移动车轮31。

作为示例，请参阅图8，显示为横向支撑杆套设由缓冲套5后的纵向剖面结构示意图，所述第一支撑杆111、所述第二支撑杆112、所述第三支撑杆113及所述第四支撑杆114的表面均设有缓冲套5，所述缓冲套5的设置可以使得晶圆放置于所述搁置台2上并与所述横向支撑杆接触时，实现接触面的柔性连接，在运输过程中如出现特别大的晃动时，对晶圆起到缓冲作用，尽可能地避免晃动对晶圆造成的不利影响。

本实施例的晶圆运输车能够有效防止装载于晶圆运输车中的晶圆承载盒在运输过程中发生晃动或侧翻的状况，显著降低晶圆运输过程中发生损伤的风险，实现安全高效的晶圆运输，从而提升生产效率和良品率。此外，本实施例的晶圆运输车设有缓冲套，能够在特殊情况下进一步降低运输过程中晃动对晶圆造成的不利影响。

综上所述，本实用新型的晶圆运输车能够有效防止装载于晶圆运输车中的晶圆承载盒在运输过程中发生晃动或侧翻的状况，显著降低晶圆运输过程中发生损伤的风险，实现安全高效的晶圆运输，从而提升生产效率和良品率。所以，本实用新型有效克服了现有技术中的种种缺点而具高度产业利用价值。

上述实施例仅例示性说明本实用新型的原理及其功效，而非用于限制本实用新型。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本实用新型的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本实用新型所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本实用新型的权利要求所涵盖。

Claims (10)

1.一种晶圆运输车，其特征在于，包括：

基础框架，包括矩形横向框架及与所述矩形横向框架垂直连接的竖向框架，所述矩形横向框架包括首尾依次连接的第一支撑杆、第二支撑杆、第三支撑杆及第四支撑杆，所述第一支撑杆与所述第三支撑杆相互平行并均往X方向延伸，所述第二支撑杆与所述第四支撑杆相互平行并均往Y方向延伸，所述竖向框架包括四根相互平行且均往Z方向延伸的竖向支撑杆，四根所述竖向支撑杆与所述矩形横向框架的四个角一一对应连接，其中所述X方向、所述Y方向及所述Z方向相互垂直；

搁置台，与所述基础框架连接以承载晶圆盒，所述搁置台包括沿Y方向依次设置的第一载板及第二载板，所述第一载板朝向所述第二载板的一侧边的X方向两端与所述矩形横向框架连接，所述第一载板远离所述第二载板的一侧边的X方向两端与所述竖向框架连接，所述第一载板朝向所述第二载板的一侧边高于所述第一载板远离所述第二载板的一侧边，所述第二载板朝向所述第一载板的一侧边的X方向两端与所述矩形横向框架连接，所述第二载板远离所述第一载板的一侧边的X方向两端与所述竖向框架连接，所述第二载板朝向所述第一载板的一侧边高于所述第二载板远离所述第一载板的一侧边；

移动车轮组件，包括多个移动车轮，每根所述竖向支撑杆的底部均连接有所述移动车轮。

2.根据权利要求1所述的晶圆运输车，其特征在于：所述第一载板与X-Y平面的夹角范围是5°～30°，所述第二载板与X-Y平面的夹角范围是5°～30°。

3.根据权利要求1所述的晶圆运输车，其特征在于：所述晶圆运输车包括自下而上依次设置的多个所述矩形横向框架及自下而上依次设置的多个所述搁置台，多个所述搁置台与多个所述矩形横向框架一一对应连接。

4.根据权利要求1所述的晶圆运输车，其特征在于：所述第一载板朝向所述第二载板的一侧边高出所述第一载板远离所述第二载板的一侧边1cm～5cm，所述第二载板朝向所述第一载板的一侧边高出所述第二载板远离所述第一载板的一侧边1cm～5cm。

5.根据权利要求1所述的晶圆运输车，其特征在于：所述第一载板与所述第二载板的相向两侧边相接。

6.根据权利要求1所述的晶圆运输车，其特征在于：所述第一载板与所述第二载板的相向两侧边在Y方向上间隔预设距离。

7.根据权利要求1所述的晶圆运输车，其特征在于：所述第一载板朝向所述第二载板的一侧边的X方向两端分别与所述第四支撑杆与所述第二支撑杆连接，所述第二载板朝向所述第一载板的一侧边的X方向两端分别与所述第四支撑杆与所述第二支撑杆连接。

8.根据权利要求1所述的晶圆运输车，其特征在于：所述矩形横向框架还包括第五支撑杆，所述第一支撑杆、所述第五支撑杆及所述第三支撑杆在Y方向上依次且间隔设置，所述第一载板朝向所述第二载板的一侧边及所述第二载板朝向所述第一载板的一侧边均与所述第五支撑杆连接。

9.根据权利要求1所述的晶圆运输车，其特征在于：所述第一支撑杆、所述第二支撑杆、所述第三支撑杆及所述第四支撑杆的表面均设有缓冲套。

10.根据权利要求1所述的晶圆运输车，其特征在于：所述第一载板远离所述第二载板的一侧边与所述第一支撑杆之间连接有至少一根护栏，所述第二载板远离所述第一载板的一侧边与所述第三支撑杆之间连接有至少一根护栏。