CN219702934U - 一种半导体设备零部件清洗辅助固定工装 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种半导体设备零部件清洗辅助固定工装，包括清洗台，所述清洗台上设有固定机构，所述清洗台上设有驱动机构，所述固定机构包括三个固定杆，三个所述固定杆呈三角形固定在清洗台的内周壁，所述固定杆的外表面活动套装有弹簧，所述固定杆远离清洗台的一端固定有挡板，所述固定杆的外表面滑动连接有活动板，所述固定机构还包括设置在清洗台内部中心处的绕线轮，所述活动板靠近绕线轮一侧底面的中心处固定有拉绳。该半导体设备零部件清洗辅助固定工装，设有固定机构，通过防水电机驱动绕线轮转动并配合拉绳可带动三个夹持板对零件进行夹持固定，固定效果好，同时可适配不同尺寸的零件，适用范围更广。

Description

一种半导体设备零部件清洗辅助固定工装

技术领域

本实用新型涉及半导体零件清洗技术领域，具体为一种半导体设备零部件清洗辅助固定工装。

背景技术

半导体技术领域使用的零部件，对清洁度、表面均匀度、工艺稳定性的要求较高，微小的杂质和尘埃，不均匀的颗粒大小都会影响半导体的性能，因此在半导体领域内清洗、打磨、除杂等工序是非常重要的一系列技术。

例如中国专利(公共号：CN 213378155 U)中公开了一种半导体设备零件清洗台，该实用新型所安装的过滤板容易更换，避免了长期使用过滤板堵塞影响清洗效果的缺点，与传统半导体设备零件清洗台相比，更加利于长期使用，本实用新型具有清洗效果好，过滤板更换方便，操作简单等优点。

上述实用新型中在对半导体零件清洗的过程中仅仅通过扣带将其固定，由于在清洗过程中大多使用的是高压水枪，因此在冲洗过程中会有较大的水压，扣带固定效果不好，同时上述实用新型不便于对零件多角度清洗，清洗效率不高。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种半导体设备零部件清洗辅助固定工装，具备固定效果好，清洗效率高等优点，解决了现有装置固定效果不好，清洗效率低的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体设备零部件清洗辅助固定工装，包括清洗台，所述清洗台上设有固定机构，所述清洗台上设有驱动机构；

此外，所述固定机构包括三个固定杆，三个所述固定杆呈三角形固定在清洗台的内周壁，所述固定杆的外表面活动套装有弹簧，所述固定杆远离清洗台的一端固定有挡板，所述固定杆的外表面滑动连接有活动板，所述固定机构还包括设置在清洗台内部中心处的绕线轮，所述活动板靠近绕线轮一侧底面的中心处固定有拉绳，所述固定机构还包括固定在清洗台内底壁的三个导轮，所述活动板的顶面固定有夹持板，所述固定机构还包括固定在清洗台外表面的围板。

进一步，所述清洗台呈圆柱形，所述清洗台内底壁的中心处固定安装有防水电机，所述防水电机的输出轴与绕线轮的底面相固定。

进一步，所述固定杆为矩形杆，所述活动板上开设有方形孔，所述固定杆贯穿方形孔并与其滑动连接。

进一步，所述弹簧的两端分别抵接在挡板与活动板之间，所述拉绳远离活动板的一端绕过导轮并与绕线轮相固定。

进一步，所述清洗台的顶面开设有三个让位孔，所述夹持板的底端贯穿让位孔并延伸至清洗台的内部，所述清洗台的左右两侧均开设有漏水孔。

进一步，所述驱动机构包括底座，所述底座设置在清洗台的下方，所述底座的顶面开设有固定槽，所述固定槽的顶面通过轴承转动连接有转动杆，所述转动杆的外表面固定有从动齿轮，所述固定槽顶面的右侧固定安装有驱动电机，所述驱动电机的输出轴固定有主动齿轮。

进一步，所述主动齿轮与从动齿轮相啮合，所述转动杆的顶端与清洗台地面的中心处相固定。

与现有技术相比，本申请的技术方案具备以下有益效果：

1、该半导体设备零部件清洗辅助固定工装，设有固定机构，通过防水电机驱动绕线轮转动并配合拉绳可带动三个夹持板对零件进行夹持固定，固定效果好，同时可适配不同尺寸的零件，适用范围更广。

2、该半导体设备零部件清洗辅助固定工装，设有驱动机构，通过驱动电机驱动主动齿轮转动，并通过从动齿轮和转动杆可带动清洗台进行旋转，从而带动固定在清洗台顶面的零件转动，便于对零件多角度的清洗，更加方便清洗效率更高。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型固定机构的结构示意图；

图3为本实用新型夹持板和清洗台的连接结构示意图；

图4为本实用新型驱动机构的结构示意图。

图中：1清洗台、2固定机构、201固定杆、202弹簧、203挡板、204活动板、205拉绳、206绕线轮、207导轮、208夹持板、209围板、3驱动机构、301底座、302固定槽、303转动杆、304从动齿轮、305驱动电机、306主动齿轮。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1，本实施例中的一种半导体设备零部件清洗辅助固定工装，包括清洗台1，其特征在于：清洗台1上设有固定机构2，清洗台1上设有驱动机构3。

请参阅图2-3，为了便于将待清洗的零件进行固定，固定机构2包括三个固定杆201，三个固定杆201呈三角形固定在清洗台1的内周壁，固定杆201的外表面活动套装有弹簧202，固定杆201远离清洗台1的一端固定有挡板203，固定杆201的外表面滑动连接有活动板204，固定机构2还包括设置在清洗台1内部中心处的绕线轮206，活动板204靠近绕线轮206一侧底面的中心处固定有拉绳205，固定机构2还包括固定在清洗台1内底壁的三个导轮207，活动板204的顶面固定有夹持板208，固定机构2还包括固定在清洗台1外表面的围板209。

其中，清洗台1呈圆柱形，清洗台1内底壁的中心处固定安装有防水电机，防水电机的输出轴与绕线轮206的底面相固定，便于通过防水电机带动绕线轮206转动。

同时，固定杆201为矩形杆，活动板204上开设有方形孔，固定杆201贯穿方形孔并与其滑动连接，避免活动板204在固定杆201上转动。

此外，弹簧202的两端分别抵接在挡板203与活动板204之间，拉绳205远离活动板204的一端绕过导轮207并与绕线轮206相固定，可利用弹簧202的弹性势能将零件进行固定，同时便于根据零件的尺寸进行调整。

此外，清洗台1的顶面开设有三个让位孔，夹持板208的底端贯穿让位孔并延伸至清洗台1的内部，清洗台1的左右两侧均开设有漏水孔，当清洗过程中清洗水通过让位孔进入到清洗台1内部时可通过漏水孔将水排出清洗台1内。

请参阅图4，为了便于提高清洗效率，驱动机构3包括底座301，底座301设置在清洗台1的下方，底座301的顶面开设有固定槽302，固定槽302的顶面通过轴承转动连接有转动杆303，转动杆303的外表面固定有从动齿轮304，固定槽302顶面的右侧固定安装有驱动电机305，驱动电机305的输出轴固定有主动齿轮306。

其中，主动齿轮306与从动齿轮304相啮合，转动杆303的顶端与清洗台1地面的中心处相固定，便于通过主动齿轮306带动从动齿轮304转动，进一步带动转动杆303转动。

上述实施例的工作原理为：使用时将待清洗的零件放置在清洗台1的顶面，然后通过防水电机驱动绕线轮206转动，并通过绕线轮206的转动并将拉绳205缠绕在绕线轮206的外表面，便可通过拉绳205拉动三个活动板204向靠近绕线轮206的一侧进行移动，进一步便可带动三个夹持板208向靠近零件的一侧进行移动，进一步便可通过三个夹持板208对零件进行夹持固定，固定完成后在清洗的过程中可通过驱动电机305带动主动齿轮306转动，进一步通过主动齿轮306的转动带动从动齿轮304转动，并带动转动杆303转动便可带动清洗台1进行旋转，紧接着便可带动零件进行转动从而对零件多个角度进行清洗提高清洗效率。

本实用新型的控制方式是通过控制器来控制的，控制器的控制电路通过本领域的技术人员简单编程即可实现，电源的提供也属于本领域的公知常识，并且本实用新型主要用来保护机械装置，所以本实用新型不再详细解释控制方式和电路连接。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (7)

1.一种半导体设备零部件清洗辅助固定工装，包括清洗台(1)，其特征在于：所述清洗台(1)上设有固定机构(2)，所述清洗台(1)上设有驱动机构(3)；

此外，所述固定机构(2)包括三个固定杆(201)，三个所述固定杆(201)呈三角形固定在清洗台(1)的内周壁，所述固定杆(201)的外表面活动套装有弹簧(202)，所述固定杆(201)远离清洗台(1)的一端固定有挡板(203)，所述固定杆(201)的外表面滑动连接有活动板(204)，所述固定机构(2)还包括设置在清洗台(1)内部中心处的绕线轮(206)，所述活动板(204)靠近绕线轮(206)一侧底面的中心处固定有拉绳(205)，所述固定机构(2)还包括固定在清洗台(1)内底壁的三个导轮(207)，所述活动板(204)的顶面固定有夹持板(208)，所述固定机构(2)还包括固定在清洗台(1)外表面的围板(209)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体设备零部件清洗辅助固定工装，其特征在于：所述清洗台(1)呈圆柱形，所述清洗台(1)内底壁的中心处固定安装有防水电机，所述防水电机的输出轴与绕线轮(206)的底面相固定。

3.根据权利要求1所述的一种半导体设备零部件清洗辅助固定工装，其特征在于：所述固定杆(201)为矩形杆，所述活动板(204)上开设有方形孔，所述固定杆(201)贯穿方形孔并与其滑动连接。

4.根据权利要求1所述的一种半导体设备零部件清洗辅助固定工装，其特征在于：所述弹簧(202)的两端分别抵接在挡板(203)与活动板(204)之间，所述拉绳(205)远离活动板(204)的一端绕过导轮(207)并与绕线轮(206)相固定。

5.根据权利要求1所述的一种半导体设备零部件清洗辅助固定工装，其特征在于：所述清洗台(1)的顶面开设有三个让位孔，所述夹持板(208)的底端贯穿让位孔并延伸至清洗台(1)的内部，所述清洗台(1)的左右两侧均开设有漏水孔。

6.根据权利要求1所述的一种半导体设备零部件清洗辅助固定工装，其特征在于：所述驱动机构(3)包括底座(301)，所述底座(301)设置在清洗台(1)的下方，所述底座(301)的顶面开设有固定槽(302)，所述固定槽(302)的顶面通过轴承转动连接有转动杆(303)，所述转动杆(303)的外表面固定有从动齿轮(304)，所述固定槽(302)顶面的右侧固定安装有驱动电机(305)，所述驱动电机(305)的输出轴固定有主动齿轮(306)。

7.根据权利要求6所述的一种半导体设备零部件清洗辅助固定工装，其特征在于：所述主动齿轮(306)与从动齿轮(304)相啮合，所述转动杆(303)的顶端与清洗台(1)地面的中心处相固定。