CN219695624U - 曝光对位结构和具有其的曝光机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种曝光对位结构和具有其的曝光机，所述曝光对位结构包括：曝光台，所述曝光台设有水平延伸的曝光平面；标定板，所述标定板铺设于所述曝光平面，所述标定板设有第一标记；光致变色膜，所述光致变色膜贴附于所述标定板；曝光头，所述曝光头设于所述曝光台的上方且用于对所述光致变色膜曝光，所述曝光头在所述光致变色膜曝光以及形成第二标记；采集相机，所述采集相机可移动地安装于所述曝光台，所述采集相机用于拍照采集所述第一标记和所述第二标记的位置。根据本实用新型实施例的曝光对位结构，具有对位准确性高、对位效率高等优点。

Description

曝光对位结构和具有其的曝光机

技术领域

本实用新型涉及曝光机技术领域，尤其是涉及一种曝光对位结构和具有其的曝光机。

背景技术

相关技术中的LDI曝光机，曝光对位的过程是曝光头对贴附感光膜的PCB基板进行曝光形成第一层标记，再在感光膜上曝光出与第一标记位置对应的第二层标记，使用曝光机自带的采集相机捕捉的第一层标记和第二层标记，这种方法曝光第一层标记并由第二层标记抓取第一层标记进行对位无法避免曝光机本身的误差(例如曝光头的镜头畸变，拼接误差，平台精度误差等)，且第一标记是曝光上去的，第一标记的位置也不一定十分准确，误差引入到第一层图形内，无法体现光路调试差异，导致局部偏位的现象，对位结果只能大致参考，不能体现设备的对准能力。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型的一个目的在于提出一种曝光对位结构，该曝光对位结构具有对位准确性高、对位效率高等优点。

本实用新型还提出了一种具有曝光对位结构的曝光机。

为实现上述目的，根据本实用新型第一方面实施例的曝光对位结构，包括：曝光台，所述曝光头可移动地安装于所述曝光台，所述曝光台设有水平延伸的曝光平面；标定板，所述标定板铺设于所述曝光平面，所述标定板设有多个第一标记；光致变色膜，所述光致变色膜贴附于所述标定板；曝光头，所述曝光头设于所述曝光台的上方用于对所述光致变色膜曝光，所述曝光头适于在所述光致变色膜曝光以及形成第二标记；采集相机，所述采集相机可移动地安装于所述曝光台，所述采集相机用于拍照采集所述第一标记和所述第二标记的位置。

根据本实用新型实施例的曝光头对位结构，具有对位准确性高、对位效率高等优点。

根据本实用新型的一些具体实施例，所述第一标记构造成多行多列的矩形点阵，所述曝光头在所述光致变色膜形成与所述第一标记位置对应的第二标记。

根据本实用新型的一些具体实施例，所述第一标记为圆形，所述第二标记为圆环形。

根据本实用新型的一些具体实施例，所述第一标记的直径为1.8～2.2mm，所述第二标记的内直径为2.8～3.2mm。

根据本实用新型的一些具体实施例，所述曝光台构造有吸盘，所述标定板覆盖于所述曝光台且由所述吸盘吸附。

根据本实用新型的一些具体实施例，所述曝光头为多个，多个所述曝光头沿直线间隔排列，所述曝光头与每行的所述第一标记与一一对应设置，每行相邻的所述第一标记的距离均相等，每列相邻的所述第一标记的距离均相等。

根据本实用新型的一些具体实施例，每行相邻的所述第一标记和每列所述第一标记之间的距离均为8mm～12mm，所述标定板的误差不大于500nm。

根据本实用新型的一些具体实施例，所述光致变色膜为树脂光致变色膜，所述光致变色膜曝光的第二标记呈黑色且感光褪色。

根据本实用新型第二方面的实施例提出了一种曝光机，包括：根据本实用新型第一方面实施例的曝光对位结构。

根据本实用新型实施例的曝光机，通过利用根据本实用新型上述实施例的曝光对位结构，具有对位准确性高、对位效率高等优点。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1是根据本实用新型实施例的曝光机的结构示意图；

图2是根据本实用新型实施例的曝光对位结构的标定板和光致变色膜的示意图；

图3是根据本实用新型实施例的曝光对位结构的标定板和光致变色膜另一示意图；

附图标记：

曝光台100、标定板200、第一标记210、光致变色膜300、

曝光头400、第二标记310。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，“第一特征”、“第二特征”可以包括一个或者更多个该特征。

在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，“若干”的含义是一个或多个。

下面参考附图描述根据本实用新型实施例的曝光对位结构。

如图1-图3所示，根据本实用新型实施例的曝光对位结构包括曝光台100、标定板200，光致变色膜300，曝光头400和采集相机(图中未示意)。

曝光台100设有水平延伸的曝光平面，标定板200铺设于曝光平面，标定板200设有多个第一标记210，光致变色膜300贴附于标定板200，曝光头400可移动地安装于曝光台100，曝光头400设于曝光台100的上方且用于对光致变色膜300曝光，曝光头400适于在光致变色膜300曝光以及形成第二标记310。采集相机可移动地安装于曝光台100，采集相机用于拍照采集第一标记210和第二标记310的位置。

其中，本实用新型的曝光对位结构为PCB板外层板的单面对位结构，曝光机曝光时使用LDI技术将线路图形以激光束的形式直接投影在涂有光致抗蚀剂的电路板上，从而实现图形转移光刻在电路板上。LDI曝光对位精度直接影响到PCB产品的良率。因而需要提升曝光头400在特定位置曝光的准确性。

举例而言，标定板200为玻璃标定板200，标定板200作为调试曝光机的标尺，第一标记210的位置精度为理论精度。光致变色膜300贴附于标定板200的曝光区域内，光致变色膜300轻薄透明，不影响标定板200上的第一标记210显像，使采集相机可以同时捕捉第一标记210和第二标记310。在曝光对位时，首先根据标定板200厚度准确设置Z轴高度，调节曝光焦距，使第二标记310形成特定的形状，方便测量第一标记210和第二标记310之间的距离。采集相机可以和曝光头400彼此固定，共同相对移动曝光台100。

根据本实用新型实施例的曝光对位结构，通过在标定板200的第一标记210，无需在PCB基板上形成曝光基准的标记点，避免光路本身带来的误差。进一步地，标定板200相比PCB基板具有更高的精度。采集相机捕捉并记录每一个第一标记210的中心点坐标以及对应的第二标记310的中心点坐标。

通过计算对应的第二标记310和第一标记210的差值，获得对应的第一标记210的理论中心的偏差距离。曝光头400依次经过多个第一标记210在不同位置对光致变色膜300曝光形成多个第二标记310，在对光致变色膜300曝光后，第二标记310分别与对应的第一标记210对位，标定板200上的第一标记210与第二标记310进行比对，调整曝光头400的位置，提高对位精度。并且，通过标定板200进行标定，第一标记210相比在光致变色膜300形成的标记点更加清晰，有利于提高设备的对准精度，且操作人员可以更容易更准确地确认曝光偏移的距离，调整更加准确，对位效率更高。

因此，根据本实用新型实施例的曝光对位结构，具有对位准确性高、对位效率高等优点。

在本实用新型的一些具体实施例中，如图2和图3所示，第一标记210构造成多行多列的矩形点阵，曝光头400在光致变色膜300形成与第一标记210位置对应的第二标记310。

例如，在曝光对位时，抓取标定板200四个拐角的第一标记210进行对位曝光圆环形成第二标记310料号，从而对准曝光的区域，再对所有的第一标记210和第二标记310比对，调整曝光头400的对位精度。

在本实用新型的一些具体实施例中，如图2和图3所示，第一标记210为圆形，第二标记310为圆环形。例如采集相机捕捉的第一标记210点的圆心坐标为(X_圆1，Y_圆1)，(X_圆2，Y_圆2)...(X_圆n，Y_圆n)；第二标记310的圆心坐标为(X_环1，Y_环1)，

(X_环2，Y_环2)...(X_环n，Y_环n)。

通过计算第一标记210和第二标记310的对准圆心距，分析整版曝光偏移量取平均值并补偿后判断是否符合技术指标，分析异常光路参数并调试，填入补偿参数。

在本实用新型的一些具体实施例中，第一标记210的直径为1.8～2.2mm，第二标记310的内直径为2.8～3.2mm。第一标记210和第二标记310较有利于测量和观察，防止第一标记210和第二标记310重叠，第一标记210的圆点可以保持在圆环形的中心处，便于圆心距测量取值。

在本实用新型的一些具体实施例中，曝光台100构造有吸盘，标定板200覆盖于曝光台100且由吸盘吸附。吸盘吸附标定板200时，通过吸盘吸附标定板200可以保证标定板200与曝光面贴合，标定板200保持水平状态，并避免标定板200与曝光台100产生间隙，对位更加准确。

在本实用新型的一些具体实施例中，如图1-图3所示，曝光头400为多个，多个曝光头400沿直线间隔排列，曝光头400与每行的第一标记210与一一对应设置，每行相邻的第一标记210的距离均相等，每列相邻的第一标记210的距离均相等。

曝光头400沿第一标记210依次经过每列的第一标记210，并在光致变色膜300的与第一标记210对应的位置曝光形成第二标记310，从而计算每个曝光头400的圆心距的偏差值，调整补偿参数，从而符合技术指标。由于每个曝光头400与一行的第一标记210一一对应，每个曝光头400均需要根据曝光出的第二标记310与第一标记210比对从而调整对位，直到每个曝光头400均达到对位精度的要求。

在本实用新型的一些具体实施例中，每行相邻的第一标记210和每列第一标记210之间的距离均相等。进一步地，每行相邻的第一标记210和每列第一标记210之间的距离均为8mm～12mm，标定板200的误差不大于500nm。每行每列的第一标记210的距离相等，在相互垂直的行列的方向的固定距离均可以保持较高的精度，保证曝光头400移动时曝光的准确性。通过每间隔一段距离设有一个第一标记210，曝光过程中，曝光头每经过一段距离均可以保证曝光位置的准确性。

在本实用新型的一些具体实施例中，光致变色膜300为树脂光致变色膜300，光致变色膜300曝光的第二标记310呈黑色且感光褪色。光致变色膜300感光一定时间后，曝光区域感光褪色，如此，光致变色膜300可以长期重复使用。

光致变色膜300曝光的第二标记310显色较明显，可以容易分辨并测量第一标记210和第二标记310的距离。在保证光致变色膜300轻薄透明的同时，具有较好的耐用性，重复进行标定，曝光机每经过一段时间均需要对位，每次对位无需更换光致变色膜300和标定板200，降低了成本，提高了对位效率。

下面描述根据本实用新型实施例的曝光机。

根据本实用新型实施例的曝光机包括本实用新型上述实施例的曝光对位结构。

根据本实用新型实施例的曝光机，通过利用根据本实用新型上述实施例的曝光对位结构，具有对位准确性高、对位效率高等优点。

根据本实用新型实施例的曝光对位结构和曝光机的其他构成以及操作对于本领域普通技术人员而言都是已知的，这里不再详细描述。

在本说明书的描述中，参考术语“具体实施例”、“具体示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，本领域的普通技术人员可以理解：在不脱离本实用新型的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由权利要求及其等同物限定。

Claims (10)

1.一种曝光对位结构，其特征在于，包括：

曝光台，所述曝光台设有水平延伸的曝光平面；

标定板，所述标定板铺设于所述曝光平面，所述标定板设有多个第一标记；

光致变色膜，所述光致变色膜贴附于所述标定板；

曝光头，所述曝光头可移动地安装于所述曝光台，所述曝光头设于所述曝光台的上方且用于对所述光致变色膜曝光，所述曝光头适于在所述光致变色膜曝光以及形成第二标记；

采集相机，所述采集相机可移动地安装于所述曝光台，所述采集相机用于拍照采集所述第一标记和所述第二标记的位置。

2.根据权利要求1所述的曝光对位结构，其特征在于，所述第一标记构造成多行多列的矩形点阵，所述曝光头在所述光致变色膜形成与所述第一标记位置对应的第二标记。

3.根据权利要求2所述的曝光对位结构，其特征在于，所述第一标记为圆形，所述第二标记为圆环形。

4.根据权利要求3所述的曝光对位结构，其特征在于，所述第一标记的直径为1.8～2.2mm，所述第二标记的内直径为2.8～3.2mm。

5.根据权利要求1所述的曝光对位结构，其特征在于，所述曝光台构造有吸盘，所述标定板覆盖于所述曝光台且由所述吸盘吸附。

6.根据权利要求2所述的曝光对位结构，其特征在于，所述曝光头为多个，多个所述曝光头沿直线间隔排列，所述曝光头与每行的所述第一标记与一一对应设置，每行相邻的所述第一标记的距离均相等，每列相邻的所述第一标记的距离均相等。

7.根据权利要求6所述的曝光对位结构，其特征在于，所述每行相邻的所述第一标记和每列所述第一标记之间的距离均相等。

8.根据权利要求7所述的曝光对位结构，其特征在于，每行相邻的所述第一标记和每列所述第一标记之间的距离均为8mm～12mm，所述标定板的误差不大于500nm。

9.根据权利要求8所述的曝光对位结构，其特征在于，所述光致变色膜为树脂光致变色膜，所述光致变色膜曝光的第二标记呈黑色且感光褪色。

10.一种曝光机，其特征在于，包括：根据权利要求1-9中任一项所述的曝光对位结构。