CN219695296U - 一种防静电椅检测装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及防静电测试技术领域，尤其涉及一种防静电椅检测装置，包括检测箱和设在所述检测箱上的绝缘盘，所述绝缘盘上设有呈环形分布且相互独立的用于承载防静电椅支腿的至少三块导电板，所述检测箱内设有控制器、测试电源、兆欧表及与所述导电板对应设置的继电器，所述继电器通过导线与所述导电板连接，所述控制器用于控制所述继电器的通断使得任意两块所述导电板通过所述导线与所述测试电源及所述兆欧表连通。在本实用新型中，通过使任意两块导电板与测试电源及兆欧表连通，启动测试电源既能得到防静电椅对应两条支腿之间的电阻值，并以此判断这两条支腿是否符合防静电的要求，操作简单快捷，检测效率高。

Description

一种防静电椅检测装置

技术领域

本实用新型涉及防静电测试技术领域，尤其涉及一种防静电椅检测装置。

背景技术

半导体制造业为了控制静电对产品带来的损害，通常要求员工坐在防静电椅上进行作业，其目的为将人体产生的静电通过防静电椅的椅脚导入大地，因此，半导体生产车间需要使用到大量的防静电椅。为了保证防静电椅传导静电的能力，需要对所有椅脚之间的系统电阻进行检测，只有所有椅脚之间的系统电阻均小于1.0×108Ω，才能保证良好的静电导出能力。

目前的防静电椅种类较多，但一般都为三条支腿或四条支腿或五条支腿，采用现有检测装置对其支腿之间的系统电阻进行检测较为麻烦，操作不便，效率不高。

实用新型内容

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种防静电椅检测装置。

该实用新型提供以下技术方案，一种防静电椅检测装置，包括检测箱和设在所述检测箱上的绝缘盘，所述绝缘盘上设有呈环形分布且相互独立的用于承载防静电椅支腿的至少三块导电板，所述检测箱内设有控制器、测试电源、兆欧表及与所述导电板对应设置的继电器，所述继电器通过导线与所述导电板连接，所述控制器用于控制所述继电器的通断使得任意两块所述导电板通过所述导线与所述测试电源及所述兆欧表连通。

本实用新型一实施例的防静电椅检测装置，通过设置绝缘盘能够使得防静电椅与测试箱或大地绝缘隔离，保证测试数据准确，导电板环形分布能够使得防静电椅的支腿均与导电板连接，通过使任意两块导电板与测试电源及兆欧表连通，启动测试电源既能得到防静电椅对应两条支腿之间的电阻值，并以此判断这两条支腿是否符合防静电的要求，具体操作时，只需将防静电椅的支腿放在导电板上即可，简单快捷，检测效率高。

进一步的，所述导电板活动设于所述绝缘盘上。

进一步的，所述绝缘盘的上端面设有呈环形的容纳槽，所述导电板位于所述容纳槽内并与其相适配，所述导电板与所述容纳槽的内壁滑动连接。

进一步的，所述导线的一端通过设置电极与所述导电板连通，所述电极活动设于所述导电板上。

进一步的，所述导电板上设有定位槽，所述电极位于所述定位槽内。

进一步的，所述电极的下端设有导电橡胶层，所述导电橡胶层与所述定位槽的内底面抵接。

进一步的，所述检测箱上设有与所述继电器对应设置的多个按钮，所述按钮与所述控制器连接。

进一步的，所述检测箱上还设有用于显示所述兆欧表检测数值的显示屏。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型的防静电椅检测装置的结构示意图；

图2为本实用新型的防静电椅检测装置的剖面结构示意图；

图3为图1中局部A的放大示意图；

图4为本实用新型的防静电椅检测装置中电极的结构示意图；

图5为本实用新型的防静电椅检测装置使用状态时的结构示意图。

附图标记说明：

10、检测箱；11、控制器；12、测试电源；13、兆欧表；14、继电器；15、导线；16、电极；161、导电橡胶层；17、按钮；18、显示屏；20、绝缘盘；21、导电板；211、定位槽；22、容纳槽。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型的实施例，而不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型实施例的描述中，需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型实施例和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型实施例的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型实施例中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型实施例中的具体含义。

参照图1至图5，在本实用新型的一个实施例中，一种防静电椅检测装置，包括检测箱10和设在检测箱10上的绝缘盘20，绝缘盘20上设有呈环形分布且相互独立的用于承载防静电椅支腿的至少三块导电板21，检测箱10内设有控制器11、测试电源12、兆欧表13及与导电板21数量对应的继电器14，继电器14通过导线15与导电板21连接，控制器11用于控制继电器14的通断使得任意两块导电板21通过导线15与测试电源12及兆欧表13连通。

本实施例中，绝缘盘20为表面电阻大于1.0×1011Ω的高强度塑料制成；导电板21为铜材质制成，导电板21设有五块，基本适用市面所有的防静电椅，当防静电椅的支腿为三个时，只需将其放在对应的三块导电板21上即可，在测试时，其他两块导电板21由继电器14控制保持其与测试电源12断开连接，同理，当防静电椅的支腿为四个时也可以采取上述方法进行检测；测试电源12可以为外接电源，也可为自带电源，本实施例中为测试箱自带电源，测试电源12可输出一个100V(精度：±5％)的电压，兆欧表13的检测范围至少为1.0×103Ω-1.0×1011Ω(精度：±5％)；其中，测试箱分为测试部和控制部，绝缘盘20置于测试部的上端，控制器11、继电器14、测试电源12及兆欧表13均设在控制部内，测试部的上端设有多个接线插口，导线15的一端采用香蕉接头直接与接线插口连接，接线插口的另一端与控制部内的继电器14连接，布线简单。

本实用新型一实施例的防静电椅检测装置，通过设置绝缘盘20能够使得防静电椅与测试箱或大地绝缘隔离，保证测试数据准确，导电板21环形分布能够使得防静电椅的支腿均与导电板21连接，通过使任意两块导电板21与测试电源12及兆欧表13连通，启动测试电源12既能得到防静电椅对应两条支腿之间的电阻值，并以此判断这两条支腿是否符合防静电的要求，具体操作时，只需将防静电椅的支腿放在导电板21上即可，简单快捷，检测效率高。

导电板21可活动的设在绝缘盘20上，导电板21可活动，当导电板21的位置与防静电椅的支腿位置不匹配时，可通过移动导电板21来解决；具体的，绝缘盘20的上端面设有呈环形的容纳槽22，导电板21位于容纳槽22内并与其相适配，导电板21与容纳槽22的内壁滑动连接；通过设置容纳槽22，能够有效对导电板21限位，而且便于导电板21的位置调节。

导线15的一端通过设置电极16与导电板21连通，电极16可活动的置于导电板21上，电极16与导电板21抵接既能实现电性连接，无需将导线15与导电板21焊接，避免出现接线不良的情况，而且便于对导电板21的安装及后期维护；导电板21上设有定位槽211，电极16位于定位槽211内，定位槽211能够对电极16定位，避免在移动导电板21时电极16出现倾倒的情况，保证电极16与导电板21连接的稳定性；电极16的下端设有导电橡胶层161，导电橡胶层161与定位槽211的内底面抵接，设置导电橡胶层161能够增加电极16的导电作用，使电子均匀、平缓的从整个电极16流向导电板21；本实施例中，电极16的质量为2.27kg，直径为63.5mm，采用铜材质制成；导电橡胶层161的厚度为3mm。

检测箱10上设有与继电器14数量对应的多个按钮17，按钮17与控制器11连接，通过控制按钮17来控制继电器14的通断，便于操作；本实施例中，按钮17与控制器11及继电器14直接的电性连接关系已被本领域技术人员所熟知，故在此不另作详述；本实施例中，按钮17共设有五个，且分别对其标注了“1、2、3、4、5”的字号，五个按钮17与五个继电器14相对应；控制器11选用单片机。

检测箱10上还设有用于显示兆欧表13检测数值的显示屏18，显示屏18能够显示检测数值，便于工作人员观察；本实施例中，显示屏18与控制器11及兆欧表13的电性连接的关系已为本领域技术人员所熟知，故在此不另作详述。

具体实施时，将被测防静电椅(简称样品)放置在湿度为12％RH±3％RH、温度为23℃±3℃的环境下预处理48h；

预处理完成后，在相同的温湿度环境下，开始对各椅脚间的系统电阻进行检测，将样品放置在绝缘盘20上，样品的5个支腿分别放置在一块导电板21上(可左右滑动导电板21的位置来匹配支腿，保证支腿均可放置在导电板21上)；

样品放置好后，按下显示屏18边上1、2号按钮17，单片机将控制1、2号继电器14为通路状态，其他继电器14为断路状态，并由单片机控制测试电源12向样品的1、2号支腿输入一个100V的电压，15s后，根据欧姆定律，自动检测1、2号支腿间的系统电阻，并反馈到显示屏18上，1、2号支腿间的系统电阻检测完成；

按下1、3号按钮17，继续对1、3号支腿间的系统电阻进行测试，同理可对1、4号，1、5号，2、3号等支腿组合进行检测，直至完成所有支腿间的系统电阻测试；

若所有支腿间的系统电阻均小于1.0×108Ω，则检测合格，表明所有支腿间均为电气连接，可正常的将静电通过支腿导入大地；若有支腿间的系统电阻大于1.0×108Ω，则检测不合格，需要对不合格支腿进行维修。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种防静电椅检测装置，其特征在于，包括检测箱和设在所述检测箱上的绝缘盘，所述绝缘盘上设有呈环形分布且相互独立的用于承载防静电椅支腿的至少三块导电板，所述检测箱内设有控制器、测试电源、兆欧表及与所述导电板对应设置的继电器，所述继电器通过导线与所述导电板连接，所述控制器用于控制所述继电器的通断使得任意两块所述导电板通过所述导线与所述测试电源及所述兆欧表连通。

2.根据权利要求1所述的防静电椅检测装置，其特征在于，所述导电板活动设于所述绝缘盘上。

3.根据权利要求1所述的防静电椅检测装置，其特征在于，所述绝缘盘的上端面设有呈环形的容纳槽，所述导电板位于所述容纳槽内并与其相适配，所述导电板与所述容纳槽的内壁滑动连接。

4.根据权利要求1所述的防静电椅检测装置，其特征在于，所述导线的一端通过设置电极与所述导电板连通，所述电极活动设于所述导电板上。

5.根据权利要求4所述的防静电椅检测装置，其特征在于，所述导电板上设有定位槽，所述电极位于所述定位槽内。

6.根据权利要求5所述的防静电椅检测装置，其特征在于，所述电极的下端设有导电橡胶层，所述导电橡胶层与所述定位槽的内底面抵接。

7.根据权利要求1所述的防静电椅检测装置，其特征在于，所述检测箱上设有与所述继电器对应设置的多个按钮，所述按钮与所述控制器连接。

8.根据权利要求1所述的防静电椅检测装置，其特征在于，所述检测箱上还设有用于显示所述兆欧表检测数值的显示屏。