CN219689828U - 一种dbr镀膜治具 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种DBR镀膜治具，包括卡环以及镀锅，卡环包括卡环本体以及限位装置，卡环本体包括延伸部以及设于延伸部下方的接触部，延伸部的外径大于接触部的外径，延伸部用于架设在镀锅的上表面，在延伸部上贯穿设置有两第一通孔，在镀锅相对于两第一通孔处的位置贯穿设置有两第二通孔，限位装置包括在第一通孔内弹性移动的弹性杆以及与弹性杆垂直的连接杆，连接杆靠近弹性杆回弹的一侧设有第一抵靠部，弹性杆的回弹，以使第一抵靠部挤压第二通孔的侧壁，两第一通孔中的两弹性杆的回弹方向一致，本实用新型中的DBR镀膜治具，将卡环的上沿边拉长，并在其中设置可回弹的弹性杆，当弹性杆复位时，通过抵靠部挤压镀锅内的侧壁，对卡环实现固定。

Description

一种DBR镀膜治具

技术领域

本实用新型涉及半导体制备装置技术领域，特别涉及一种DBR镀膜治具。

背景技术

由于发光二极管芯片(Light Emitting Diode，简称LED)是一种具有节能、环保、和寿命长等诸多优点的半导体元器件，所以目前阶段，其已经成为国内外最受重视的光源技术之一，LED芯片通常的制作方法，是采用金属有机化合物的化学气相沉积，从而在衬底上生长外延层，然后再通过一系列的芯片制程制作而成。

在LED芯片的制作当中，分布式布拉格反射镜(简称DBR)镀膜是一个关键的环节，镀膜过程中需将LED芯片稳定的放置在卡环治具之上，然后将卡环治具放置在镀锅上的片源孔洞中，在光学镀膜机里旋转蒸镀，然而现有技术中，由于旋转产生的离心力会导致卡环甩飞，最后震锅碎片。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型的目的在于提供一种DBR镀膜治具，旨在解决现有技术中在蒸镀时，由于旋转产生的离心力会导致卡环甩飞，最后震锅碎片的技术问题。

为了实现上述目的，本实用新型是通过如下技术方案来实现的：

一种DBR镀膜治具，用于制备分布式布拉格反射镜，所述DBR镀膜治具包括卡环以及镀锅，所述卡环包括卡环本体以及限位装置，所述卡环本体包括延伸部以及设于所述延伸部下方的接触部，所述延伸部的外径大于所述接触部的外径，所述延伸部用于架设在所述镀锅的上表面，在所述延伸部上贯穿设置有两第一通孔，在所述镀锅相对于两所述第一通孔处的位置贯穿设置有两第二通孔，所述限位装置包括在所述第一通孔内弹性移动的弹性杆以及与所述弹性杆垂直的连接杆，所述连接杆靠近所述弹性杆回弹的一侧设有第一抵靠部，所述弹性杆的回弹，以使所述第一抵靠部挤压所述第二通孔的侧壁，两所述第一通孔中的两所述弹性杆的回弹方向一致。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：

当所述第一通孔对准所述第二通孔将所述卡环放置在预定位置上时，将两所述弹性杆向外波动，使所述第一抵靠部能进入所述第一通孔和所述第二通孔内，然后松两所述弹性杆，两所述第一抵靠部跟随所述弹性杆回弹，挤压所述第二通孔的侧壁，相对设置的两所述限位装置朝同一个点回弹，所述第二通孔的侧壁对所述第一抵靠部施加反作用力，使所述卡环达到平衡，实现对所述卡环的固定。

进一步的，两所述第一通孔以所述卡环的中心线为轴对称设置，且两所述第二通孔靠近所述弹性杆回弹方向的侧壁相距180°，以使两所述第一抵靠部接触两所述第二通孔的侧壁时，两所述第一抵靠部相距180°。

进一步的，所述连接杆的底端自所述第一抵靠部处延伸、并朝向所述弹性杆回弹的一侧垂直弯折形成弯折部，在所述弯折部靠近所述弹性杆的一面设有抵压组件。

进一步的，所述抵压组件包括与所述弯折部固定连接的支撑部，所述支撑部为中空筒体结构、其内部设有压缩弹簧，所述压缩弹簧的两端分别与所述支撑部内的底面和第二抵靠部连接，所述第二抵靠部通过所述压缩弹簧在所述支撑部内弹性移动，所述第二抵靠部通过所述压缩弹簧复位回弹，以使所述第二抵靠部与所述镀锅的下表面接触。

进一步的，所述弯折部和所述支撑部相对的一侧分别设有第一滑动槽和第二滑动槽。

进一步的，所述限位装置还包括连动组件，所述连动组件包括设于所述连接杆内的推动杆以及连接所述推动杆和所述第二抵靠部的连动杆，所述连动杆在所述第一滑动槽和所述第二滑动槽上移动。

进一步的，所述第二抵靠部和所述第一抵靠部在所述弯折部上的投影无交集。

进一步的，在无外力作用时，所述第二抵靠部上表面的水平高度高于所述镀锅下表面的水平高度。

进一步的，所述第二抵靠部的周壁上设有多个抵靠杆，所述抵靠杆靠近所述支撑部的一端与所述第二抵靠部转动连接，所述第二抵靠部的周壁上设有多个供所述抵靠杆嵌入的容纳槽，当所述抵靠杆跟随所述第二抵靠部进入所述支撑部内时，所述抵靠杆收纳于所述容纳槽内，所述抵靠杆收纳于所述容纳槽时，所述抵靠杆凸出于所述第二抵靠部的上表面。

进一步的，所述第一抵靠部靠近所述第二通孔侧壁的一面设有多个摩擦块。

附图说明

图1为本实用新型实施例中卡环的立体图；

图2为本实用新型实施例中镀锅的立体图；

图3为图1中限位装置在第一视角下的立体图；

图4为图1中限位装置在第二视角下的立体图；

图5为本实用新型实施例中卡环固定至镀锅时的正面立体图；

图6为本实用新型实施例中卡环固定至镀锅时的底面立体图；

图7为本实用新型中限位装置在卡环固定状态下的剖面图；

图8未本实用新型中限位装置在卡环未固定状态下的剖面图；

主要元件符号说明：

如下具体实施方式将结合上述附图进一步说明本实用新型。

具体实施方式

为了便于理解本实用新型，下面将参照相关附图对本实用新型进行更全面的描述。附图中给出了本实用新型的若干实施例。但是，本实用新型可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本实用新型的公开内容更加透彻全面。

需要说明的是，当元件被称为“固设于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

请参阅图1至图8，所示为本实用新型实施例中的DBR镀膜治具，用于制备分布式布拉格反射镜，所述DBR镀膜治具包括卡环10以及镀锅20，所述镀锅20为半球状结构，其中设有多个片源孔洞67，在本实施例中，只截取所述镀锅20的一个片源孔洞67以作说明，所述卡环10包括卡环10本体以及限位装置50，所述卡环10本体包括延伸部15以及设于所述延伸部15下方的接触部16，所述延伸部15的外径大于所述接触部16的外径，所述延伸部15用于架设在所述镀锅20的上表面，所述接触部16的外表面与所述镀锅20中片源孔洞67的内侧壁相接触。

在所述延伸部15上贯穿设置有两第一通孔30，在所述镀锅20相对于两所述第一通孔30处的位置贯穿设置有两第二通孔40，所述限位装置50包括在所述第一通孔30内弹性移动的弹性杆51以及与所述弹性杆51垂直的连接杆54，所述连接杆54靠近所述弹性杆51回弹的一侧设有第一抵靠部55，两所述第一通孔30中的两所述弹性杆51的回弹方向一致。

在本实施例中，所述第一通孔30、所述第二通孔40以及所述弹性杆51均呈圆弧状、且弧度与所述延伸部15的弧度一致，两所述弹性杆51的回弹方向沿弧线移动。

具体的，所述弹性杆51靠近回弹方向的一侧固定连接有伸缩弹簧52，所述伸缩弹簧52的另一侧在所述延伸部15内固定，在所述伸缩弹簧52的弹簧线内设有轨道杆53，所述轨道杆53同样呈圆弧状、且弧度与所述弹性杆51的弧度一致，所述轨道杆53一端在所述弹性杆51内移动，一端固定在所述延伸部15内，所述轨道杆53用于稳定所述伸缩弹簧52的形变路径。

可以理解地，所述连接杆54带动所述弹性杆51向外拨动时，所述弹性杆51带动所述伸缩弹簧52拉伸、使其产生弹性势能，当所述第一通孔30对准所述第二通孔40将所述卡环10放置在预定位置上时，将两所述弹性杆51向外波动，使所述第一抵靠部55能进入所述第一通孔30和所述第二通孔40内，然后松两所述弹性杆51，两所述第一抵靠部55跟随所述弹性杆51回弹，挤压所述第二通孔40的侧壁，相对设置的两所述限位装置50朝同一个点回弹，所述第二通孔40的侧壁对所述第一抵靠部55施加反作用力，使所述卡环10达到平衡，实现对所述卡环10的固定。

需要说明的是，使所述弹性杆51回弹的组件并不局限于所述轨道杆53和所述伸缩弹簧52。

优选的，所述第一抵靠部55靠近所述第二通孔40侧壁的一面设有多个摩擦块66。

可以理解的，所述摩擦块66用于加大所述第一抵靠部55和所述第二通孔40侧壁的摩擦系数，加强了水平方向和竖直方向的固定力度。

优选的，两所述第一通孔30以所述卡环10的中心线为轴对称设置，且两所述第二通孔40靠近所述弹性杆51回弹方向的侧壁相距180°，以使两所述第一抵靠部55接触两所述第二通孔40的侧壁时，两所述第一抵靠部55相距180°。

可以理解的，当两所述第一抵靠部55接触到所述第二通孔40的侧壁时，受力点便产生了，当两所述第一抵靠部55距离过近时，两所述第一抵靠部55远离回弹方向一侧的卡环10部分会因此失去平衡，将两所述第二抵靠部58接触两所述第二通孔40的距离控制在180°，以使所述卡环10达到平衡。

进一步的，请再次参阅图7至图8，所述连接杆54的底端自所述第一抵靠部55处延伸、并朝向所述弹性杆51回弹的一侧垂直弯折形成弯折部56，在所述弯折部56靠近所述弹性杆51的一面设有抵压组件，所述抵压组件包括与所述弯折部56固定连接的支撑部57，所述支撑部57为中空筒体结构、其内部设有压缩弹簧59，所述压缩弹簧59的两端分别与所述支撑部57内的底面和第二抵靠部58连接，所述第二抵靠部58通过所述压缩弹簧59在所述支撑部57内弹性移动。

可以理解的，当所述压缩弹簧59朝所述支撑部57的下方压缩时，所述弯折部56作为所述支撑部57的支点。

所述第二抵靠部58通过所述压缩弹簧59复位回弹，以使所述第二抵靠部58与所述镀锅20的下表面接触，所述弯折部56和所述支撑部57相对的一侧分别设有第一滑动槽62和第二滑动槽63，所述弯折部56和所述支撑部57相对的一侧分别设有第一滑动槽62和第二滑动槽63，所述限位装置50还包括连动组件，所述连动组件包括设于所述连接杆54内的推动杆60以及连接所述推动杆60和所述第二抵靠部58的连动杆61，所述连动杆61在所述第一滑动槽62和所述第二滑动槽63上移动，所述第二抵靠部58和所述第一抵靠部55在所述弯折部56上的投影无交集，所述第二抵靠部58上表面的水平高度高于所述镀锅20下表面的水平高度。

需要说明的是，当所述第一抵靠部55接触所述第二通孔40的侧壁时，只是完成了对所述卡环10水平方向的限位，在蒸镀过程中，由于所述镀锅20的表面为斜面，所述镀锅20的旋转除了产生水平方向的离心力、同样会产生竖直方向的离心力，因此需要对所述卡环10的竖直方向加以固定。

可以理解的，在所述卡环10的第一通孔30对准所述镀锅20的第二通孔40时，按压所述推动杆60，使所述推动杆60带动所述连动杆61在所述第一滑槽和所述第二滑槽内滑动，直至所述第二抵靠部58上表面的水平高度低于所述镀锅20下表面的水平高度，所述连接杆54在所述弹性杆51的带动下移动，使所述第一抵靠部55接触所述第二通孔40的侧壁时，此时，放松对所述推动杆60的施压，所述压缩弹簧59回弹带动所述第二抵靠部58挤压所述镀锅20的下表面，完成对所述卡环10竖直方向的固定。

进一步的，所述第二抵靠部58的周壁上设有多个抵靠杆64，所述抵靠杆64靠近所述支撑部57的一端与所述第二抵靠部58转动连接，所述第二抵靠部58的周壁上设有多个供所述抵靠杆64嵌入的容纳槽65，当所述抵靠杆64跟随所述第二抵靠部58进入所述支撑部57内时，所述抵靠杆64收纳于所述容纳槽65内，所述抵靠杆64收纳于所述容纳槽65时，所述抵靠杆64凸出于所述第二抵靠部58的上表面。

可以理解的，此设计结构，加大了所述第二抵靠部58与所述镀锅20下表面的接触面积，加强了水平方向和竖直方向的固定力度。

综上，本实用新型上述实施例当中的DBR镀膜治具，通过在所述卡环上设置所述限位组件，通过所述第一抵靠部实现对所述卡环水平方向上的固定，通过所述第二抵靠部实现对所述卡环竖直方向上的固定，该结构简单合理，避免了所述卡环在蒸镀过程中，由于旋转产生的离心力导致所述卡环甩飞，最后震锅碎片。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种DBR镀膜治具，用于制备分布式布拉格反射镜，其特征在于，所述DBR镀膜治具包括卡环以及镀锅，所述卡环包括卡环本体以及限位装置，所述卡环本体包括延伸部以及设于所述延伸部下方的接触部，所述延伸部的外径大于所述接触部的外径，所述延伸部用于架设在所述镀锅的上表面，在所述延伸部上贯穿设置有两第一通孔，在所述镀锅相对于两所述第一通孔处的位置贯穿设置有两第二通孔，所述限位装置包括在所述第一通孔内弹性移动的弹性杆以及与所述弹性杆垂直的连接杆，所述连接杆靠近所述弹性杆回弹的一侧设有第一抵靠部，所述弹性杆的回弹，以使所述第一抵靠部挤压所述第二通孔的侧壁，两所述第一通孔中的两所述弹性杆的回弹方向一致。

2.根据权利要求1所述的DBR镀膜治具，其特征在于，两所述第一通孔以所述卡环的中心线为轴对称设置，且两所述第二通孔靠近所述弹性杆回弹方向的侧壁相距180°，以使两所述第一抵靠部接触两所述第二通孔的侧壁时，两所述第一抵靠部相距180°。

3.根据权利要求1所述的DBR镀膜治具，其特征在于，所述连接杆的底端自所述第一抵靠部处延伸、并朝向所述弹性杆回弹的一侧垂直弯折形成弯折部，在所述弯折部靠近所述弹性杆的一面设有抵压组件。

4.根据权利要求3所述的DBR镀膜治具，其特征在于，所述抵压组件包括与所述弯折部固定连接的支撑部，所述支撑部为中空筒体结构、其内部设有压缩弹簧，所述压缩弹簧的两端分别与所述支撑部内的底面和第二抵靠部连接，所述第二抵靠部通过所述压缩弹簧在所述支撑部内弹性移动，所述第二抵靠部通过所述压缩弹簧复位回弹，以使所述第二抵靠部与所述镀锅的下表面接触。

5.根据权利要求4所述的DBR镀膜治具，其特征在于，所述弯折部和所述支撑部相对的一侧分别设有第一滑动槽和第二滑动槽。

6.根据权利要求5所述的DBR镀膜治具，其特征在于，所述限位装置还包括连动组件，所述连动组件包括设于所述连接杆内的推动杆以及连接所述推动杆和所述第二抵靠部的连动杆，所述连动杆在所述第一滑动槽和所述第二滑动槽上移动。

7.根据权利要求4所述的DBR镀膜治具，其特征在于，所述第二抵靠部和所述第一抵靠部在所述弯折部上的投影无交集。

8.根据权利要求4所述的DBR镀膜治具，其特征在于，在无外力作用时，所述第二抵靠部上表面的水平高度高于所述镀锅下表面的水平高度。

9.根据权利要求4所述的DBR镀膜治具，其特征在于，所述第二抵靠部的周壁上设有多个抵靠杆，所述抵靠杆靠近所述支撑部的一端与所述第二抵靠部转动连接，所述第二抵靠部的周壁上设有多个供所述抵靠杆嵌入的容纳槽，当所述抵靠杆跟随所述第二抵靠部进入所述支撑部内时，所述抵靠杆收纳于所述容纳槽内，所述抵靠杆收纳于所述容纳槽时，所述抵靠杆凸出于所述第二抵靠部的上表面。

10.根据权利要求1所述的DBR镀膜治具，其特征在于，所述第一抵靠部靠近所述第二通孔侧壁的一面设有多个摩擦块。