CN219688034U - 用于晶元储存与运输装置的门盖排液组件及其装置 - Google Patents
用于晶元储存与运输装置的门盖排液组件及其装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN219688034U CN219688034U CN202320453886.XU CN202320453886U CN219688034U CN 219688034 U CN219688034 U CN 219688034U CN 202320453886 U CN202320453886 U CN 202320453886U CN 219688034 U CN219688034 U CN 219688034U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- door
- liquid
- cover body
- wafer storage
- liquid hole
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000007788 liquid Substances 0.000 title claims abstract description 145
- 238000003860 storage Methods 0.000 title claims abstract description 63
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 50
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 2
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
一种用于晶元储存与运输装置的门盖排液组件及其装置,涉及门盖排水技术领域。该用于晶元储存与运输装置的门盖排液组件包括门盖本体和盖体;所述门盖本体连接在所述盖体上,且所述门盖本体与所述盖体之间形成门盖空腔;所述门盖本体与所述盖体的结合部位设置有第一液孔;所述盖体上设置有第二液孔;沿所述门盖本体的厚度方向,所述第一液孔与所述第二液孔不重合;所述第一液孔和所述第二液孔均连通所述门盖空腔。该晶片储存与运输装置包括用于晶元储存与运输装置的门盖排液组件。本实用新型的目的在于提供一种用于晶元储存与运输装置的门盖排液组件及其装置,以在一定程度上解决现有技术中存在的排水通孔易掉入异物的技术问题。
Description
技术领域
本实用新型涉及门盖排水技术领域,具体而言,涉及一种用于晶元储存与运输装置的门盖排液组件及其装置。
背景技术
晶片是制造半导体芯片的基本材料,市场现售的晶片为圆形薄片状,如果将多块晶片堆叠在一起包装后运输,极易造成晶片的污染、划伤、破损,影响产品质量。多年来,制造商已经生产出了晶片储存装置,以实现晶片的安全储存与运输。
晶片储存装置的门盖组件在生产过程中,有浸水清洗的需要。因为门盖组件的结构是内部中空的原因,导致门盖组件内部出现积水的现象。为了使门盖组件内部积水快速的彻底排出,在门盖组件开设上下直通的排水通孔;然而在生产、运输与使用过程中,异物容易穿过排水通孔掉落到门盖组件内部的其他结构部分形成污染源。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种用于晶元储存与运输装置的门盖排液组件及其装置,以在一定程度上解决现有技术中存在的排水通孔易掉入异物的技术问题。
为了实现上述目的,本实用新型提供了以下技术方案:
一种用于晶元储存与运输装置的门盖排液组件,包括门盖本体和盖体;所述门盖本体连接在所述盖体上,且所述门盖本体与所述盖体之间形成门盖空腔;
所述门盖本体与所述盖体的结合部位设置有第一液孔;
所述盖体上设置有第二液孔;
沿所述门盖本体的厚度方向,所述第一液孔与所述第二液孔不重合;
所述第一液孔和所述第二液孔均连通所述门盖空腔。
在上述任一技术方案中,可选地,所述第一液孔位于所述门盖本体的内周与所述盖体的外周之间。
在上述任一技术方案中,可选地,所述第一液孔沿所述盖体的外周呈环形。
在上述任一技术方案中,可选地,所述第一液孔的数量为多个;
多个所述第一液孔沿所述盖体的外周依次间隔设置。
在上述任一技术方案中,可选地,沿垂直于所述门盖本体的厚度方向,所述第一液孔的截面形状为矩形、梯形、长圆形或者圆形;
所述盖体的每个边上至少设置有两个所述第一液孔。
在上述任一技术方案中,可选地,所述门盖本体的与所述第一液孔对应的内壁为内斜面,所述盖体的与所述第一液孔对应的外壁为外斜面,所述内斜面与所述外斜面之间形成所述第一液孔。
在上述任一技术方案中,可选地,沿垂直于所述门盖本体的厚度方向,所述第一液孔的尺寸不小于0.5mm。
在上述任一技术方案中,可选地,所述盖体靠近所述门盖本体的一面连接有遮挡物;
所述遮挡物与所述第二液孔相对应,且沿垂直于所述门盖本体的厚度方向,所述遮挡物的截面积不小于所述第二液孔截面积的90%;
所述遮挡物的至少一端与所述门盖之间具有通液间隙;
所述通液间隙连通所述第二液孔与所述门盖空腔。
在上述任一技术方案中,可选地,所述第二液孔的数量为一个或者多个;
单个所述第二液孔包括依次间隔设置的多个进液条形孔。
一种晶片储存与运输装置,包括用于晶元储存与运输装置的门盖排液组件。
本实用新型的有益效果主要在于:
本实用新型提供的用于晶元储存与运输装置的门盖排液组件及其装置,通过门盖本体与盖体的结合部位设置第一液孔,盖体上设置有第二液孔,且沿门盖本体的厚度方向第一液孔与第二液孔不重合,既可以有效排出门盖空腔内的积水,又可以有效防止异物直接穿过第二液孔和第一液孔而掉落到盖体下方的其他结构内。
为使本申请的上述目的、特征和优点能更明显易懂,下文特举较佳实施例,并配合附图,作详细说明如下。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案,下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍,应当理解,以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例,因此不应被看作是对范围的限定,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
图1为本实用新型实施例提供的用于晶元储存与运输装置的门盖排液组件的结构示意图;
图2为图1所示的用于晶元储存与运输装置的门盖排液组件的A区放大图;
图3为图1所示的用于晶元储存与运输装置的门盖排液组件的B区放大图;
图4为图1所示的用于晶元储存与运输装置的门盖排液组件的局部放大图;
图5为图1所示的用于晶元储存与运输装置的门盖排液组件的立体图;
图6为图5所示的用于晶元储存与运输装置的门盖排液组件的变形例;
图7为图6所示的用于晶元储存与运输装置的门盖排液组件的局部放大图。
图标:110-门盖本体;120-盖体;121-遮挡物;122-通液间隙;130-门盖空腔;140-第一液孔;150-第二液孔;160-连接件。
具体实施方式
为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以采用各种不同的配置来布置和设计。
因此,以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围,而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
应注意到:相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项,因此,一旦某一项在一个附图中被定义,则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
在本实用新型的描述中,需要说明的是,术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。此外,术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述,而不能理解为指示或暗示相对重要性。
此外,术语“水平”、“竖直”、“悬垂”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂,而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平,并不是表示该结构一定要完全水平,而是可以稍微倾斜。
在本实用新型的描述中,还需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
下面结合附图,对本实用新型的一些实施方式作详细说明。在不冲突的情况下,下述的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
实施例
本实施例提供一种用于晶元储存与运输装置的门盖排液组件及其装置;请参照图1-图7,图1和图5为本实施例提供的用于晶元储存与运输装置的门盖排液组件的两个视角的结构示意图,其中,图1所示为用于晶元储存与运输装置的门盖排液组件的主视图,图5所示为用于晶元储存与运输装置的门盖排液组件的立体图;为了更加清楚的显示结构,图2为图1所示的用于晶元储存与运输装置的门盖排液组件的A区放大图,图3为图1所示的用于晶元储存与运输装置的门盖排液组件的B区放大图,图4为图1所示的用于晶元储存与运输装置的门盖排液组件的局部放大图,图2-图4所示的视角与图1所示的视角不同。图6为图5所示的用于晶元储存与运输装置的门盖排液组件的变形例,图7为图6所示的用于晶元储存与运输装置的门盖排液组件的局部放大图。
本实施例提供的用于晶元储存与运输装置的门盖排液组件,可用于晶元储存与运输装置。其中,晶元储存与运输装置包括箱体及扣合于箱体上的门盖。门盖至少为两层,内部为中空结构且设置有机械结构;例如门盖设置有与箱体抵接的锁舌等结构。本实施例所述的用于晶元储存与运输装置的门盖排液组件可以为门盖,也可以为门盖的一部分。
参见图1-图7所示,本实施例的用于晶元储存与运输装置的门盖排液组件,包括门盖本体110和盖体120;门盖本体110连接在盖体120上,且门盖本体110与盖体120之间形成门盖空腔130。
门盖本体110与盖体120的结合部位设置有第一液孔140。
盖体120上设置有第二液孔150。
沿门盖本体110的厚度方向,第一液孔140与第二液孔150不重合;可选地,第一液孔140与第二液孔150既可以同时作为进液孔,又可以同时作为排液孔,也可以第一液孔140作为进液孔,第二液孔150作为排液孔,还可以第一液孔140作为排液孔,第二液孔150作为进液孔。
第一液孔140和第二液孔150均连通门盖空腔130。
本实施例中所述用于晶元储存与运输装置的门盖排液组件,通过门盖本体110与盖体120的结合部位设置第一液孔140,盖体120上设置有第二液孔150,且沿门盖本体110的厚度方向第一液孔140与第二液孔150不重合,既可以有效排出门盖空腔130内的积水,又可以有效防止异物直接穿过第二液孔150和第一液孔140而掉落到盖体120下方的其他结构内。
参见图1-图7所示,本实施例的可选方案中,第一液孔140位于门盖本体110的内周与盖体120的外周之间。通过在门盖本体110的内周与盖体120的外周之间设置第一液孔140,以便于有效排出门盖空腔130内的积水。
本实施例的可选方案中,第一液孔140可以为环形结构,例如第一液孔140沿盖体120的外周呈环形,如图1-图5所示;第一液孔140可以为多个缺口,例如第一液孔140的数量为多个,多个第一液孔140沿盖体120的外周依次间隔设置,如图6和图7所示。本实施例中,第一液孔140还可以采用其他结构。
可选地,多个第一液孔140沿盖体120的外周均匀间隔设置。
参见图6和图7所示,本实施例的可选方案中,盖体120的每个边上至少设置有两个第一液孔140。例如,盖体120的每个边上设置第一液孔140的数量两个、三个或五个等。
本实施例的可选方案中,沿垂直于门盖本体110的厚度方向,第一液孔140的截面形状为矩形、梯形、长圆形或者圆形,或者其他形状。
参见图2和图4所示,本实施例的可选方案中,门盖本体110的与第一液孔140对应的内壁为内斜面,盖体120的与第一液孔140对应的外壁为外斜面,内斜面与外斜面之间形成第一液孔140。通过第一液孔140为倾斜的结构,既可以无死角排液,便于门盖空腔130内的液体彻底排出,又能够减小沿垂直于门盖本体110的厚度方向上门盖本体110与盖体120的投影间隙,以在一定程度上降低异物直接穿过第一液孔140而掉落到门盖空腔130内。
参见图2所示,本实施例的可选方案中,沿垂直于门盖本体110的厚度方向,第一液孔140的尺寸不小于0.5mm;例如,第一液孔140的尺寸为0.5mm、0.7mm、0.8mm,或者其他数值。通过第一液孔140的尺寸不小于0.5mm,以在一定程度上保障门盖空腔130内积水排出的有效性。
参见图3所示,本实施例的可选方案中,盖体120靠近门盖本体110的一面连接有遮挡物121。
遮挡物121与第二液孔150相对应,且沿垂直于门盖本体110的厚度方向,遮挡物121的截面积不小于第二液孔150截面积的90%。可选地,沿垂直于门盖本体110的厚度方向,遮挡物121的截面积不小于第二液孔150截面积。
遮挡物121的至少一端与门盖之间具有通液间隙122;例如,遮挡物121的两个面上设置有通液间隙122,或者遮挡物121的三个面上设置有通液间隙122,乃至遮挡物121的四个面上都设置有通液间隙122。
通液间隙122连通第二液孔150与门盖空腔130。通过在盖体120上设置遮挡物121,以在一定程度上降低异物直接穿过第二液孔150而掉落到门盖空腔130内,同时还可以保障门盖空腔130内快速进入液体与快速排出液体,以在一定程度上缩短清洗进排液的时间与清洗更彻底的目的。
参见图1所示,本实施例的可选方案中,第二液孔150的数量为一个或者多个;例如第二液孔150的数量为1个、2个、5个或者其他数量。
参见图1所示,本实施例的可选方案中,单个第二液孔150包括依次间隔设置的多个进液条形孔。通过多个进液条形孔形成第二液孔150,以便于浸水清洗。
参见图4所示,本实施例的可选方案中,门盖本体110和盖体120通过连接件160连接。例如,连接件160为螺钉、铆钉等零件。
本实施例还提供一种晶片储存与运输装置,包括上述任一实施例所述的用于晶元储存与运输装置的门盖排液组件。所述晶片储存与运输装置还包括箱体,用于晶元储存与运输装置的门盖排液组件扣合于箱体上。
本实施例中所述晶片储存与运输装置,通过用于晶元储存与运输装置的门盖排液组件的门盖本体110与盖体120的结合部位设置第一液孔140,盖体120上设置有第二液孔150,且沿门盖本体110的厚度方向第一液孔140与第二液孔150不重合,既可以有效排出门盖空腔130内的积水,又可以有效防止异物直接穿过第二液孔150和第一液孔140而掉落到盖体120下方的其他结构内。
本实施例提供的晶片储存与运输装置,包括上述的用于晶元储存与运输装置的门盖排液组件,上述所公开的用于晶元储存与运输装置的门盖排液组件的技术特征也适用于该晶片储存与运输装置,上述已公开的用于晶元储存与运输装置的门盖排液组件的技术特征不再重复描述。本实施例中所述晶片储存与运输装置具有上述用于晶元储存与运输装置的门盖排液组件的优点,上述所公开的所述用于晶元储存与运输装置的门盖排液组件的优点在此不再重复描述。
最后应说明的是:以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案,而非对其限制;尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明,本领域的普通技术人员应当理解:其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换;而这些修改或者替换,并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围。此外,本领域的技术人员能够理解,尽管在此所述的一些实施例包括其它实施例中所包括的某些特征而不是其它特征,但是不同实施例的特征的组合意味着处于本实用新型的范围之内并且形成不同的实施例。公开于该背景技术部分的信息仅仅旨在加深对本实用新型的总体背景技术的理解,而不应当被视为承认或以任何形式暗示该信息构成已为本领域技术人员所公知的现有技术。
Claims (10)
1.一种用于晶元储存与运输装置的门盖排液组件,其特征在于,包括门盖本体和盖体;所述门盖本体连接在所述盖体上,且所述门盖本体与所述盖体之间形成门盖空腔;
所述门盖本体与所述盖体的结合部位设置有第一液孔;
所述盖体上设置有第二液孔;
沿所述门盖本体的厚度方向,所述第一液孔与所述第二液孔不重合;
所述第一液孔和所述第二液孔均连通所述门盖空腔。
2.根据权利要求1所述的用于晶元储存与运输装置的门盖排液组件,其特征在于,所述第一液孔位于所述门盖本体的内周与所述盖体的外周之间。
3.根据权利要求2所述的用于晶元储存与运输装置的门盖排液组件,其特征在于,所述第一液孔沿所述盖体的外周呈环形。
4.根据权利要求2所述的用于晶元储存与运输装置的门盖排液组件,其特征在于,所述第一液孔的数量为多个;
多个所述第一液孔沿所述盖体的外周依次间隔设置。
5.根据权利要求4所述的用于晶元储存与运输装置的门盖排液组件,其特征在于,沿垂直于所述门盖本体的厚度方向,所述第一液孔的截面形状为矩形、梯形、长圆形或者圆形;
所述盖体的每个边上至少设置有两个所述第一液孔。
6.根据权利要求2所述的用于晶元储存与运输装置的门盖排液组件,其特征在于,所述门盖本体的与所述第一液孔对应的内壁为内斜面,所述盖体的与所述第一液孔对应的外壁为外斜面,所述内斜面与所述外斜面之间形成所述第一液孔。
7.根据权利要求6所述的用于晶元储存与运输装置的门盖排液组件,其特征在于,沿垂直于所述门盖本体的厚度方向,所述第一液孔的尺寸不小于0.5mm。
8.根据权利要求1-7任一项所述的用于晶元储存与运输装置的门盖排液组件,其特征在于,所述盖体靠近所述门盖本体的一面连接有遮挡物;
所述遮挡物与所述第二液孔相对应,且沿垂直于所述门盖本体的厚度方向,所述遮挡物的截面积不小于所述第二液孔截面积的90%;
所述遮挡物的至少一端与所述门盖之间具有通液间隙;
所述通液间隙连通所述第二液孔与所述门盖空腔。
9.根据权利要求1-7任一项所述的用于晶元储存与运输装置的门盖排液组件,其特征在于,所述第二液孔的数量为一个或者多个;
单个所述第二液孔包括依次间隔设置的多个进液条形孔。
10.一种晶片储存与运输装置,其特征在于,包括如权利要求1-9任一项所述的用于晶元储存与运输装置的门盖排液组件。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202320453886.XU CN219688034U (zh) | 2023-03-03 | 2023-03-03 | 用于晶元储存与运输装置的门盖排液组件及其装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202320453886.XU CN219688034U (zh) | 2023-03-03 | 2023-03-03 | 用于晶元储存与运输装置的门盖排液组件及其装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN219688034U true CN219688034U (zh) | 2023-09-15 |
Family
ID=87970246
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202320453886.XU Active CN219688034U (zh) | 2023-03-03 | 2023-03-03 | 用于晶元储存与运输装置的门盖排液组件及其装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN219688034U (zh) |
-
2023
- 2023-03-03 CN CN202320453886.XU patent/CN219688034U/zh active Active
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
RU2537284C2 (ru) | Пластмассовый поддон | |
CN219688034U (zh) | 用于晶元储存与运输装置的门盖排液组件及其装置 | |
CA2882142C (en) | Injection molded tray for blood collection tubes | |
JP5194654B2 (ja) | シリコン材料用洗浄籠 | |
DE10393523T5 (de) | Behälter zum Lagern von Präzision erfordernden Substratscheiben mit Halbleiter-Wafern | |
CN205525515U (zh) | 一种具有防呆结构的tray盘 | |
TWI546229B (zh) | 棧板組件及用於棧板組件之定位柱 | |
CN203842904U (zh) | 籽晶清洗花篮 | |
US20020023660A1 (en) | Ring-shaped part washing method and washing jig used in the method | |
KR200341351Y1 (ko) | 납골 안치단 | |
KR200418867Y1 (ko) | 전자 장치 제조용 챔버 및 그 챔버의 형성 방법 | |
CN113968400A (zh) | 托盘箱 | |
CN218629478U (zh) | 芯片检查治具 | |
JPS588778Y2 (ja) | 鍍金用回転バレル | |
CN104971542A (zh) | 安全壳再循环过滤器 | |
DE19927069C2 (de) | Transportbehälter | |
CN219370986U (zh) | 具有排水及补强结构的基板容器 | |
CN215795087U (zh) | 可拆卸式晶片承载盒 | |
CN219682580U (zh) | 一种用于生物安全无尘环境的洗涤台 | |
JP6259971B2 (ja) | 洗濯機用防水パン | |
CN108661348B (zh) | 用作卫生间的卫生箱 | |
KR101394090B1 (ko) | 습식세정장치의 냉각구조 | |
CN209064055U (zh) | 汽车洗涤壶及洗涤器 | |
KR20090124884A (ko) | 콘텍트 렌즈용 바스켓 | |
EP3317196B1 (de) | Stapelbehälter |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |