CN219669142U - 一种晶圆盒传输机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种晶圆盒传输机构，其技术方案要点是：包括输送皮带，输送皮带的下侧面边缘固定设置有多个均匀排列的夹取机构，夹取机构包括升降杆，升降杆的下端固定有水平的夹取杆，夹取杆可进行伸缩调节，且夹取杆的一端与升降杆的下端部固定连接，夹取杆的下侧靠近两端位置均可拆卸安装有对晶圆盒进行夹取的夹头，输送皮带对夹取机构进行连续的输送，并通过夹取机构上的夹取杆配合夹头对晶圆盒进行夹取，并通过升降杆对夹取的晶圆盒进行升降控制，从而实现对晶圆盒的夹取和连续性的传输，从而大大的提高清洗传输的效率。

Description

一种晶圆盒传输机构

技术领域

本实用新型涉及晶圆加工技术领域，具体涉及一种晶圆盒传输机构。

背景技术

在晶圆加工时，需要对晶圆进行清洗，而在清洗时的晶圆通常以一定数量存放到晶圆盒中，然后由晶圆盒传输机构将晶圆盒连通晶圆送入各种清洗设备中。

公告号为CN211929456U的中国专利，公开了一种晶圆盒传输机构，成对的长方形框架结构的抓取架能够在旋转驱动件的转动下向相反方向转动，并能够抵靠住晶圆盒的侧边凸缘，抓取架由通过紧固螺母固定在支撑架上的伸入U形的支撑架内的U形抓取杆组成，U形抓取杆可以根据实际需要使用的清洗液的情况更换U形抓取杆，从而使U形抓取杆能够与清洗液形成配合关系，使U形抓取杆能够使用不同酸碱性的清洗液。

但是上述的晶圆传输机构在对晶圆盒进行清洗输送时则是通过机械手组件来回的移动从而对晶圆盒进行抓取清洗和输送，这种晶圆盒传输方式无法实现连续性的传输，不利于晶圆盒传输效率的提高。

实用新型内容

针对背景技术中提到的问题，本实用新型的目的是提供一种晶圆盒传输机构，以解决上述的晶圆传输机构无法实现连续性的传输，不利于晶圆盒传输效率提高的问题。

本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：

一种晶圆盒传输机构，包括输送皮带，输送皮带的下侧面边缘固定设置有多个均匀排列的夹取机构，夹取机构包括升降杆，升降杆的下端固定有水平的夹取杆，夹取杆可进行伸缩调节，且夹取杆的一端与升降杆的下端部固定连接，夹取杆的下侧靠近两端位置均可拆卸安装有对晶圆盒进行夹取的夹头。

通过采用上述技术方案，输送皮带对夹取机构进行连续的输送，并通过夹取机构上的夹取杆配合夹头对晶圆盒进行夹取，并通过升降杆对夹取的晶圆盒进行升降控制，从而实现对晶圆盒的夹取和连续性的传输，从而大大的提高清洗传输的效率。

较佳的，输送皮带的上侧设置有支撑板，且输送皮带的两端均设置有辊轮，其中一个辊轮的中心轴穿过支撑板连接有电机，电机的输出轴与辊轮的中心轴固定连接。

通过采用上述技术方案，电机驱动辊轮转动从而驱动输送皮带进行滚动，从而带动夹取机构进行连续性的夹取晶圆盒进行输送。

较佳的，输送皮带的上侧面设置有两个环状的导电条，支撑板上安装有两个分别与两个导电条接触的接电机构。

通过采用上述技术方案，输送皮带上设置的导电条与接电机构进行导电连接，同时实现对夹取机构的电器元件的供电。

较佳的，接电机构包括竖直的塑料杆，塑料杆的内侧中心设置有铜芯，且塑料杆的下端设置有与铜芯连接的导电块。

通过采用上述技术方案，塑料杆用于对铜芯的绝缘保护同时实现对导电块的固定支撑。

较佳的，夹头包括安插在夹取杆上的插杆，插杆的下端设置有夹板，夹板的一面设置有对晶圆盒进行夹取配合的夹槽面，且夹槽面设置为锯齿状。

通过采用上述技术方案，利用夹板对晶圆盒进行夹取，并通过插杆安插在夹取杆上方便对夹头的更换。

较佳的，夹取杆的下侧靠近两端位置均设置有与插杆配合的插套，插套的内孔与插杆的横截面尺寸相同。

通过采用上述技术方案，夹取杆通过插套对插杆进行安插固定。

综上所述，本实用新型主要具有以下有益效果：

通过输送皮带对夹取机构进行连续的输送，并通过夹取机构上的夹取杆配合夹头对晶圆盒进行夹取，并通过升降杆对夹取的晶圆盒进行升降控制，从而实现对晶圆盒的夹取和连续性的传输，从而大大的提高清洗传输的效率。

附图说明

图1是本实用新型的立体图；

图2是本实用新型的夹取机构示意图；

图3是本实用新型的输送皮带示意图；

图4是本实用新型的接电机构示意图；

图5是本实用新型的夹头示意图。

附图标记：1、支撑板；2、输送皮带；21、导电条；3、夹取机构；31、升降杆；32、夹取杆；321、插套；33、夹头；331、插杆；332、夹板；333、夹槽面；4、接电机构；41、铜芯；42、塑料杆；43、导电块；5、辊轮。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

参考图1和图2，一种晶圆盒传输机构，包括输送皮带2，输送皮带2的上侧设置有支撑板1，且输送皮带2的两端均设置有辊轮5，其中一个辊轮5的中心轴穿过支撑板1连接有电机，电机的输出轴与辊轮5的中心轴固定连接，电机驱动辊轮5转动从而驱动输送皮带2进行滚动，从而带动夹取机构3进行连续性的夹取晶圆盒进行输送，输送皮带2的下侧面边缘固定设置有多个均匀排列的夹取机构3，夹取机构3包括升降杆31，通过升降杆31对夹取的晶圆盒进行升降控制，从而实现对晶圆盒的清洗时的升降控制，升降杆31的下端固定有水平的夹取杆32，夹取杆32可进行伸缩调节，且夹取杆32的一端与升降杆31的下端部固定连接，夹取杆32的下侧靠近两端位置均可拆卸安装有对晶圆盒进行夹取的夹头33，输送皮带2对夹取机构3进行连续的输送，并通过夹取机构3上的夹取杆32配合夹头33对晶圆盒进行夹取。

参考图1、图3和图4，输送皮带2的上侧面设置有两个环状的导电条21，支撑板1上安装有两个分别与两个导电条21接触的接电机构4，输送皮带2上设置的导电条21与接电机构4进行导电连接，同时实现对夹取机构3的电器元件的供电，接电机构4包括竖直的塑料杆42，塑料杆42的内侧中心设置有铜芯41，且塑料杆42的下端设置有与铜芯41连接的导电块43，塑料杆42用于对铜芯41的绝缘保护同时实现对导电块43的固定支撑。

参考图5，夹头33包括安插在夹取杆32上的插杆331，夹取杆32的下侧靠近两端位置均设置有与插杆331配合的插套321，夹取杆32通过插套321对插杆331进行安插固定，插套321的内孔与插杆331的横截面尺寸相同实现相互插接固定，通过插杆331安插在夹取杆32上方便对夹头33的更换，插杆331的下端设置有夹板332，利用夹板332对晶圆盒进行夹取，夹板332的一面设置有对晶圆盒进行夹取配合的夹槽面333，且夹槽面333设置为锯齿状，夹板332上设置的锯齿状的夹槽面333更好的对晶圆盒进行夹取。

工作原理：通过升降杆31下降使得两个夹板332与晶圆盒对齐，并通过夹取杆32的收缩使得两个夹板332对晶圆盒进行夹紧，电机驱动辊轮5转动从而驱动输送皮带2进行滚动，两个夹板332夹取的晶圆盒跟随输送皮带2进行输送，在到达清洗处时，通过升降杆31下降使得晶圆盒进入清洗液中进行清洗，从而完成清洗输送。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种晶圆盒传输机构，包括输送皮带(2)，其特征在于：所述输送皮带(2)的下侧面边缘固定设置有多个均匀排列的夹取机构(3)，所述夹取机构(3)包括升降杆(31)，所述升降杆(31)的下端固定有水平的夹取杆(32)，所述夹取杆(32)可进行伸缩调节，且夹取杆(32)的一端与升降杆(31)的下端部固定连接，所述夹取杆(32)的下侧靠近两端位置均可拆卸安装有对晶圆盒进行夹取的夹头(33)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆盒传输机构，其特征在于：所述输送皮带(2)的上侧设置有支撑板(1)，且输送皮带(2)的两端均设置有辊轮(5)，其中一个所述的辊轮(5)的中心轴穿过支撑板(1)连接有电机，所述电机的输出轴与辊轮(5)的中心轴固定连接。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆盒传输机构，其特征在于：所述输送皮带(2)的上侧面设置有两个环状的导电条(21)，所述支撑板(1)上安装有两个分别与两个导电条(21)接触的接电机构(4)。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆盒传输机构，其特征在于：所述接电机构(4)包括竖直的塑料杆(42)，所述塑料杆(42)的内侧中心设置有铜芯(41)，且塑料杆(42)的下端设置有与铜芯(41)连接的导电块(43)。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆盒传输机构，其特征在于：所述夹头(33)包括安插在夹取杆(32)上的插杆(331)，所述插杆(331)的下端设置有夹板(332)，所述夹板(332)的一面设置有对晶圆盒进行夹取配合的夹槽面(333)，且夹槽面(333)设置为锯齿状。

6.根据权利要求5所述的一种晶圆盒传输机构，其特征在于：所述夹取杆(32)的下侧靠近两端位置均设置有与插杆(331)配合的插套(321)，所述插套(321)的内孔与插杆(331)的横截面尺寸相同。