CN219625389U - 晶圆表面缺陷检测系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及晶圆流片检测技术领域，具体为晶圆表面缺陷检测系统，包括底座，所述底座的顶部设置有调节检测机构所述调节检测机构包括与底座的顶部固定安装的固定轴，所述固定轴的外侧转动连接有工作台，所述工作台的左右两侧螺纹连接有固定螺纹棒，两个所述固定螺纹棒相对的一侧转动连接有夹持盘。该晶圆表面缺陷检测系统，通过设置的调节检测机构，在夹持盘的作用下对晶圆进行固定，通过第一电机和齿圈使工作台转动，通过步进电机和移动杆的作用带动镭射眼发光器移动，有助于提高镭射光束在晶圆流片顶端的照射范围，方便更换不同大小的检测晶圆，而且调节方位非常便捷，降低使用局限性，减少人为因素，提高了装置的实用性。

Description

晶圆表面缺陷检测系统

技术领域

本实用新型涉及晶圆流片检测领域，尤其是涉及晶圆表面缺陷检测系统。

背景技术

请参阅公告号“CN207540992U”提出的一种晶圆表面缺陷检测装置，在该专利中提出“目前通常采用线下人工检验方式，即磨削加工完成后取下晶圆，而后进行人工检验，这种方式检验效率低，很多微小缺陷用肉眼难以分辨，且需要投入大量质检人员，检测成本高”，而且现有的装置不便于对晶圆进行多方位检测，影响检测准确度，因此针对上述问题我们提出了另一种方案来解决。

实用新型内容

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：晶圆表面缺陷检测系统，包括底座，所述底座的顶部设置有调节检测机构；

所述调节检测机构包括与底座的顶部固定安装的固定轴，所述固定轴的外侧转动连接有工作台，所述工作台的左右两侧螺纹连接有固定螺纹棒，两个所述固定螺纹棒相对的一侧转动连接有夹持盘，所述夹持盘的底部固定安装有与工作台滑动连接的限位杆，所述工作台的外侧固定有齿圈，所述底座的顶部固定安装有第一电机，所述第一电机的输出轴固定安装有与齿圈相啮合的齿轮，所述底座的顶部固定安装有支撑板；

所述调节检测机构还包括固定安装于右侧支撑板左侧的步进电机，两个所述支撑板之间固定安装有顶板架，所述步进电机的输出轴固定安装有与顶板架转动连接的螺纹杆，所述螺纹杆的外侧螺纹连接有移动杆，所述移动杆的底部固定安装有镭射发光器。

可选的，所述工作台的底部开设有圆筒槽，所述工作台通过圆筒槽与固定轴转动连接。

通过采用上述技术方案，方便工作台通过圆筒槽与固定轴连接，有助于工作台在固定轴上转动。

可选的，所述工作台的左右两侧开设有螺纹槽，所述固定螺纹棒通过螺纹槽与工作台螺纹连接。

通过采用上述技术方案，方便固定螺纹棒通过螺纹槽移动。

可选的，所述齿轮的内部开设有固定槽，所述齿轮通过固定槽与第一电机固定连接。

通过采用上述技术方案，方便齿轮与第一电机固定连接，有助于第一电机带动齿轮转动。

可选的，右侧所述支撑板的左侧开设有安装槽，所述步进电机通过安装槽与步进电机固定连接。

通过采用上述技术方案，方便对步进电机进行固定安装。

可选的，所述工作台的顶部开设有限位槽，所述限位杆通过限位槽与工作台滑动连接。

通过采用上述技术方案，方便通过限位槽对限位杆进行限位，有助于对夹持盘进行限位。

可选的，所述移动杆的内部开设有螺纹孔，所述移动杆通过螺纹孔与螺纹杆螺纹连接。

通过采用上述技术方案，方便移动杆在螺纹杆上进行左右移动。

进一步，所述顶板架的底部开设有限位孔，所述移动杆通过限位孔与顶板架滑动连接。

通过采用上述技术方案，方便通过限位孔对移动杆进行限位。

与现有技术相比，本申请的技术方案具备以下有益效果：

该晶圆表面缺陷检测系统，通过设置的调节检测机构，在夹持盘的作用下对晶圆进行固定，通过第一电机和齿圈使工作台转动，通过步进电机和移动杆的作用带动镭射眼发光器移动，有助于提高镭射光束在晶圆流片顶端的照射范围，方便更换不同大小的检测晶圆，而且调节方位非常便捷，降低使用局限性，减少人为因素，提高了装置的实用性。

附图说明

图1为本实用新型结构主视图；

图2为本实用新型结构正视图。

附图标记说明：

1、底座；2、固定轴；3、工作台；4、固定螺纹棒；5、夹持盘；6、限位杆；7、齿圈；8、第一电机；9、齿轮；10、支撑板；11、步进电机；12、顶板架；13、螺纹杆；14、移动杆；15、镭射发光器；301、圆筒槽；302、螺纹槽；303、限位槽；901、固定槽；101、安装槽；1401、螺纹孔；1201、限位孔。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-2，本实施例中的晶圆表面缺陷检测系统，包括底座1，底座1的顶部设置有调节检测机构。

本实施例中，调节检测机构包括与底座1的顶部固定安装的固定轴2，固定轴2的外侧转动连接有工作台3，工作台3的底部开设有圆筒槽301，工作台3通过圆筒槽301与固定轴2转动连接，有助于工作台3通过圆筒槽301在固定轴2上旋转。

其中，工作台3的左右两侧螺纹连接有固定螺纹棒4，工作台3的左右两侧开设有螺纹槽302，固定螺纹棒4通过螺纹槽302与工作台3螺纹连接，有助于转动两个固定螺纹棒4相互靠近或远离移动，两个固定螺纹棒4相对的一侧转动连接有夹持盘5，夹持盘5的底部固定安装有与工作台3滑动连接的限位杆6。

本实施例中工作台3的顶部开设有限位槽303，限位杆6通过限位槽303与工作台3滑动连接，方便通过对限位杆6限位实现对夹持盘5的限位，工作台3的外侧固定有齿圈7，底座1的顶部固定安装有第一电机8，第一电机8的输出轴固定安装有与齿圈7相啮合的齿轮9，齿轮9的内部开设有固定槽901，齿轮9通过固定槽901与第一电机8固定连接，有助于第一电机8带动齿轮9旋转，底座1的顶部固定安装有支撑板10。

其中，调节检测机构还包括固定安装于右侧支撑板10左侧的步进电机11，右侧支撑板10的左侧开设有安装槽101，步进电机11通过安装槽101与步进电机11固定连接，方便对步进电机11安装，两个支撑板10之间固定安装有顶板架12，步进电机11的输出轴固定安装有与顶板架12转动连接的螺纹杆13，螺纹杆13的外侧螺纹连接有移动杆14。

还有，移动杆14的内部开设有螺纹孔1401，移动杆14通过螺纹孔1401与螺纹杆13螺纹连接，有助于移动杆14在限位的情况下在螺纹杆13上移动，顶板架12的底部开设有限位孔1201，移动杆14通过限位孔1201与顶板架12滑动连接，有助于对移动杆14进行限位，移动杆14的底部固定安装有镭射发光器15。

上述实施例的工作原理为：

该晶圆表面缺陷检测系统，在使用时首先将晶圆流片放在夹持盘5上，然后转动固定螺纹棒4，两个固定螺纹棒4相互靠近并带动限位杆6和两个夹持盘5相互靠近，对晶圆流片进行夹持稳定，然后启动镭射发光器15对晶圆流片进行扫描，最后启动第一电机8，第一电机8带动齿轮9旋转，齿轮9带动啮合的齿圈7旋转，齿圈7带动工作台3旋转，进行旋转扫描，与此同时启动步进电机11，步进电机11带动螺纹杆13旋转，螺纹杆13外侧的移动杆14在顶板架12的限位下进行移动，以此带动镭射发光器15移动，有助于提高镭射光束在晶圆流片顶端的照射范围，方便更换不同大小的检测晶圆，而且调节方位非常便捷，降低使用局限性，减少人为因素，提高了装置的实用性。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (8)

1.晶圆表面缺陷检测系统，包括底座（1），其特征在于：所述底座（1）的顶部设置有调节检测机构；

所述调节检测机构包括与底座（1）的顶部固定安装的固定轴（2），所述固定轴（2）的外侧转动连接有工作台（3），所述工作台（3）的左右两侧螺纹连接有固定螺纹棒（4），两个所述固定螺纹棒（4）相对的一侧转动连接有夹持盘（5），所述夹持盘（5）的底部固定安装有与工作台（3）滑动连接的限位杆（6），所述工作台（3）的外侧固定有齿圈（7），所述底座（1）的顶部固定安装有第一电机（8），所述第一电机（8）的输出轴固定安装有与齿圈（7）相啮合的齿轮（9），所述底座（1）的顶部固定安装有支撑板（10）；

所述调节检测机构还包括固定安装于右侧支撑板（10）左侧的步进电机（11），两个所述支撑板（10）之间固定安装有顶板架（12），所述步进电机（11）的输出轴固定安装有与顶板架（12）转动连接的螺纹杆（13），所述螺纹杆（13）的外侧螺纹连接有移动杆（14），所述移动杆（14）的底部固定安装有镭射发光器（15）。

2.根据权利要求1所述的晶圆表面缺陷检测系统，其特征在于：所述工作台（3）的底部开设有圆筒槽（301），所述工作台（3）通过圆筒槽（301）与固定轴（2）转动连接。

3.根据权利要求1所述的晶圆表面缺陷检测系统，其特征在于：所述工作台（3）的左右两侧开设有螺纹槽（302），所述固定螺纹棒（4）通过螺纹槽（302）与工作台（3）螺纹连接。

4.根据权利要求1所述的晶圆表面缺陷检测系统，其特征在于：所述齿轮（9）的内部开设有固定槽（901），所述齿轮（9）通过固定槽（901）与第一电机（8）固定连接。

5.根据权利要求1所述的晶圆表面缺陷检测系统，其特征在于：右侧所述支撑板（10）的左侧开设有安装槽（101），所述步进电机（11）通过安装槽（101）与步进电机（11）固定连接。

6.根据权利要求1所述的晶圆表面缺陷检测系统，其特征在于：所述工作台（3）的顶部开设有限位槽（303），所述限位杆（6）通过限位槽与工作台（3）滑动连接。

7.根据权利要求1所述的晶圆表面缺陷检测系统，其特征在于：所述移动杆（14）的内部开设有螺纹孔（1401），所述移动杆（14）通过螺纹孔（1401）与螺纹杆（13）螺纹连接。

8.根据权利要求1所述的晶圆表面缺陷检测系统，其特征在于：所述顶板架（12）的底部开设有限位孔（1201），所述移动杆（14）通过限位孔（1201）与顶板架（12）滑动连接。