CN219610376U - 一种石墨舟片及石墨舟 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种石墨舟片及石墨舟，属于太阳能电池技术领域，包括舟片本体和开设于舟片本体上的承载孔位，承载孔位内设有中心舟片和用于连接中心舟片和舟片本体的连接件，连接件、中心舟片及舟片本体为相同材质制件；硅片安装于舟片本体上，且与承载孔位相对应，硅片与中心舟片相接触。本实用新型提供的石墨舟片，通过在承载孔位增加中心舟片，增加了传输到硅片中心位置的电流量，降低了因为电流不均匀而对硅片成膜均匀性的影响，从而提高了硅片的镀膜均匀性。

Description

一种石墨舟片及石墨舟

技术领域

本实用新型属于太阳能电池技术领域，更具体地说，是涉及一种石墨舟片及石墨舟。

背景技术

太阳能电池行业对石墨舟的需求量越来越大，除正背面氮化硅膜外，氧化铝膜，poly-si等沉积也开始使用PECVD或PEALD设备，随着目前生产用的硅片越来越大，尤其是在N型硅片上，由于电流存在差异，片内不均匀的问题越来越明显。目前的石墨舟片为镂空结构，硅片安装在石墨舟上进行镀膜时，由于镂空石墨舟片的原因，石墨舟片上出现电流不均匀的现象，导致硅片对应区域上的镀膜较薄，镀膜均匀性较差。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种石墨舟片及石墨舟，以解决现有技术中存在的硅片上出现镀膜较薄的区域，镀膜均匀性较差的技术问题。

为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是：提供一种石墨舟片，包括舟片本体和开设于所述舟片本体上的承载孔位，所述承载孔位内设有中心舟片和用于连接所述中心舟片和所述舟片本体的连接件，所述连接件、所述中心舟片及所述舟片本体为相同材质制件；硅片安装于所述舟片本体上，且与所述承载孔位相对应，硅片与所述中心舟片相接触。

在一种可能的实现方式中，所述连接件为多个，且多个所述连接件围绕所述中心舟片设置。

在一种可能的实现方式中，多个所述连接件均匀布置。

在一种可能的实现方式中，所述连接件为杆状，两端分别与所述中心舟片及所述舟片本体固定连接。

在一种可能的实现方式中，多个所述连接件以所述中心舟片为中心呈放射状分布。

在一种可能的实现方式中，所述舟片本体、所述中心舟片及所述连接件一体成型。

在一种可能的实现方式中，所述中心舟片为圆形或者多边形。

在一种可能的实现方式中，所述中心舟片的中心轴线与所述承载孔位的中心轴线共线。

在一种可能的实现方式中，所述承载孔位为多个，且沿所述舟片本体的长度方向呈线性布置。

本实用新型提供的石墨舟片的有益效果在于：与现有技术相比，本实用新型石墨舟片，使用时，在舟片本体上承载孔位内安装中心舟片，并借助连接件将中心舟片与舟片本体相连接且连通，由多个石墨舟片组成石墨舟用于为硅片进行镀膜，硅片安装在石墨舟上后，硅片的背面覆盖于承载孔位上，且与舟片本体和中心舟片相接触，增大了硅片与石墨舟的接触面积，通过在承载孔位增加中心舟片达到增加传输到硅片中心位置的电流量，降低了因为电流不均匀而对硅片成膜均匀性的影响，从而提高了硅片的镀膜均匀性。

本实用新型的另一个目的在于提供一种石墨舟，包括任意一项上述的石墨舟片。

本实用新型提供的石墨舟，在承载孔位增加中心舟片达到增加传输到硅片中心位置的电流量，降低了因为电流不均匀而对硅片成膜均匀性的影响，从而提高了硅片的镀膜均匀性。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例提供的石墨舟片的结构示意图。

其中，图中各附图标记：

100、舟片本体；200、承载孔位；210、中心舟片；220、连接件。

具体实施方式

为了使本实用新型所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。

需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

请参阅图1，现对本实用新型提供的石墨舟片进行说明。一种石墨舟片，包括舟片本体100和开设于舟片本体100上的承载孔位200，承载孔位200内设有中心舟片210和用于连接中心舟片210和舟片本体100的连接件220，连接件220、中心舟片210及舟片本体100为相同材质制件；硅片安装于舟片本体100上，且与承载孔位200相对应，硅片与中心舟片210相接触。

本实用新型提供的石墨舟片，与现有技术相比，使用时，在舟片本体100上承载孔位200内安装中心舟片210，并借助连接件220将中心舟片210与舟片本体100相连接且连通，由多个石墨舟片组成石墨舟用于为硅片进行镀膜，硅片安装在石墨舟上后，硅片的背面覆盖于承载孔位200上，且与舟片本体100和中心舟片210相接触，增大了硅片与石墨舟的接触面积，通过在承载孔位200增加中心舟片210，增加了传输到硅片中心位置的电流量，降低了因为电流不均匀而对硅片成膜均匀性的影响，从而提高了硅片的镀膜均匀性。

采用镂空结构的石墨舟片时，硅片的中心区域镀膜较薄，均匀性较差，且硅片越大中心区域的镀膜越薄；而采用实心结构的石墨舟片时，硅片镀膜的均匀性得到改善，但是石墨舟整体重量增大过大，对目前越来越大的石墨舟而言，并不实用。

请参阅图1，作为本实用新型提供的石墨舟片的一种具体实施方式，连接件220为多个，且多个连接件220围绕中心舟片210设置；多个连接件220安装在中心舟片210和承载孔位200之间，因此使中心舟片210可以更为牢靠地固定。并且多个连接件220围绕中心舟片210设置，从而使中心舟片210周向位置均受到作用力，进而更为牢固地与舟片本体100相连接。

请参阅图1，作为本实用新型提供的石墨舟片的一种具体实施方式，多个连接件220均匀布置；多个连接件220围绕中心舟片210均匀布置，从而使中心舟片210在周向侧面上各向受力均匀，在硅片安装进石墨舟内后并与中心舟片210发生相互作用时，整个中心舟片210可以更为可靠、稳定地工作，而不易发生断裂等问题。

设置连接件220的一端与中心舟片210外侧面固定连接，另一端与承载孔位200内壁固定连接。设置连接件220的径向尺寸等于中心舟片210的厚度，且连接件220在中心舟片210的轴向投影完全位于中心舟片210的外侧面上。

请参阅图1，作为本实用新型提供的石墨舟片的一种具体实施方式，连接件220为杆状，两端分别与中心舟片210及舟片本体100固定连接；杆状的连接件220强度较高，可以稳固、牢靠地将中心舟片210固定在承载孔位200的中心位置。并且杆状的连接件220重量也较小，不会对整个石墨舟的质量产生较大的影响。

优选地，多个连接件220以中心舟片210为中心呈放射状分布，外观更精美，对中心舟片210的支撑稳定性更高。

请参阅图1，作为本实用新型提供的石墨舟片的一种具体实施方式，舟片本体100、中心舟片210及连接件220一体成型，使整个石墨舟片的承载性能、支撑强度等更高，因此该石墨舟片的使用寿命更长，且镀膜效果更好。一体成型的舟片本体100、中心舟片210及连接件220也不需要进行三者之间的固定连接等操作。

可选地，中心舟片210为圆形或者多边形。

请参阅图1，作为本实用新型提供的石墨舟片的一种具体实施方式，中心舟片210的中心轴线与承载孔位200的中心轴线共线；即，中心舟片210位于承载孔位200的正中心，在硅片安装到位后，硅片的背面与中心舟片210接触，硅片的中心抵靠在中心舟片210上，使硅片放置更为稳定、牢靠。

请参阅图1，作为本实用新型提供的石墨舟片的一种具体实施方式，承载孔位200为多个，且沿舟片本体100的长度方向呈线性布置；设置多个承载孔位200，可以在石墨舟上同时安装较多的硅片，进而一次性地可以对多个硅片进行镀膜。并且多个承载孔位200呈线性布置，多个硅片整齐放置，因此硅片的安装和拆卸均可以使用机械手等方便、快捷地进行操作。

图中未示，本实用新型实施例还提供了一种石墨舟，石墨舟包括任意一项上述的石墨舟片。

本实用新型提供的石墨舟，在承载孔位200增加中心舟片210，增加了传输到硅片中心位置的电流量，降低了因为电流不均匀而对硅片成膜均匀性的影响，从而提高了硅片的镀膜均匀性。

以上仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种石墨舟片，其特征在于，包括舟片本体和开设于所述舟片本体上的承载孔位，所述承载孔位内设有中心舟片和用于连接所述中心舟片和所述舟片本体的连接件，所述连接件、所述中心舟片及所述舟片本体为相同材质制件；硅片安装于所述舟片本体上，且与所述承载孔位相对应，硅片与所述中心舟片相接触，用于增大硅片与石墨舟的接触面积和传输到硅片中心位置的电流量；连接件的径向尺寸等于中心舟片的厚度，且连接件在中心舟片的轴向投影位于中心舟片的外侧面。

2.如权利要求1所述的石墨舟片，其特征在于，所述连接件为多个，且多个所述连接件围绕所述中心舟片设置。

3.如权利要求2所述的石墨舟片，其特征在于，多个所述连接件均匀布置。

4.如权利要求1所述的石墨舟片，其特征在于，所述连接件为杆状，两端分别与所述中心舟片及所述舟片本体固定连接。

5.如权利要求4所述的石墨舟片，其特征在于，多个所述连接件以所述中心舟片为中心呈放射状分布。

6.如权利要求1所述的石墨舟片，其特征在于，所述舟片本体、所述中心舟片及所述连接件一体成型。

7.如权利要求1所述的石墨舟片，其特征在于，所述中心舟片为圆形或者多边形。

8.如权利要求1所述的石墨舟片，其特征在于，所述中心舟片的中心轴线与所述承载孔位的中心轴线共线。

9.如权利要求1所述的石墨舟片，其特征在于，所述承载孔位为多个，且沿所述舟片本体的长度方向呈线性布置。

10.一种石墨舟，其特征在于，包括如权利要求1-9任一项所述的石墨舟片。