CN219586256U - 一种单晶炉炉底保温装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型属于单晶硅生产制造技术领域，涉及一种单晶炉炉底保温装置，包括内筒、保温板和空腔，所述内筒和所述保温板活动连接且均铺设在炉底顶部，所述内筒、所述保温板与护盘压片围成密闭的空腔，所述空腔内填充保温材料。本实用新型的有益效果是，设置外筒、内筒和保温板，对空腔起到了稳定的支撑作用；结合两种保温材料的优势，既可以既可起保温作用，又可以保证热场长期使用不下沉；内筒外侧包裹外筒，内外筒之间设有安全缝隙，使得热传导不会直接传递给内筒，实现了更好的保温效果；保温板的材质为固化毡，其与炉底接触，可避免发生异常漏硅时硅液渗透过石墨毡，烫穿炉底板。
Description
技术领域
本实用新型属于单晶硅生产制造技术领域，涉及一种单晶炉炉底保温装置。
背景技术
在单晶炉中，炉底为单晶炉热损失的重要部位，目前炉底保温材质主要有两种类型，一种为石墨毡，一种为固化毡，实际使用时一般会选择一种放置在炉底顶部作为保温材料，石墨毡优点是保温性能较好，但耐腐蚀性差，长期使用后会塌陷，导致热场下沉；而固化毡优点是抗腐蚀性好，但保温性能不如石墨毡。因此，需要一种单晶炉炉底保温装置来解决上述技术问题。
实用新型内容
为解决上述存在的技术问题，本实用新型提供了一种单晶炉炉底保温装置，能够兼顾石墨毡和固化毡的性能优势，既可以保证热场长期使用不下沉，又可保证炉底的保温性、同时降低热场成本。
本实用新型采用的技术方案是：一种单晶炉炉底保温装置，连接护盘压片和炉底，其特征在于：包括内筒、保温板和空腔，所述内筒和所述保温板活动连接且均铺设在所述炉底顶部，所述内筒、所述保温板与所述护盘压片围成密闭的空腔，所述空腔内填充保温材料。
进一步的，排气管、坩埚轴、电极轴依次贯穿所述护盘压片、所述空腔和所述保温板，将所述空腔分割成多个。
进一步的，所述保温材料为石墨毡。
进一步的，所述保温板设有第一安装孔，所述排气管插入所述第一安装孔。
进一步的，所述保温板设有第二安装孔，所述坩埚轴插入所述第二安装孔。
进一步的，所述保温板设有第三安装孔，所述电极轴插入所述第三安装孔。
进一步的，所述内筒外侧包裹有外筒，所述外筒两端分别连接所述护盘压片和所述炉底。
进一步的，所述内筒和所述外筒高度相同，且所述外筒的内径尺寸大于所述内筒的外径尺寸。
进一步的，所述内筒靠近所述炉底的端部设有第一凹槽，所述保温板插入所述第一凹槽。
进一步的，所述保温板的材质为固化毡。
本实用新型设计的一种单晶炉炉底保温装置，在炉底顶部设置外筒、内筒和保温板，对空腔起到了稳定的支撑作用，空腔内填充保温材料，结合两种保温材料的优势，既可以既可起保温作用，又可以保证热场长期使用不下沉；内筒外侧包裹外筒，内外筒之间设有安全缝隙，使得热传导不会直接传递给内筒，实现了更好的保温效果；保温板的材质为固化毡，其与炉底接触，可避免发生异常漏硅时硅液渗透过石墨毡，烫穿炉底板。此外，这种分体式结构设计，可在炉底损坏时更换部分热场件，大幅度节约热场成本。
附图说明
图1是本实用新型提供的实施例的主视图；
图2是本实用新型提供的实施例的仰视图；
图3是本实用新型提供的实施例的俯视图；
图4是本实用新型提供的实施例的内筒的截面图。
图中：
1、护盘压片；11、排气管安装孔；12、坩埚轴安装孔；13、电极轴安装孔；2、炉底；3、内筒；31、第一凹槽；4、保温板；41、第一安装孔；42、第二安装孔；43、第三安装孔；5、空腔；6、排气管；7、坩埚轴；8、电极轴。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例对本实用新型做进一步的说明。
参照图1所示，一种单晶炉炉底保温装置，连接护盘压片1和炉底2，其特征在于：包括内筒3、保温板4和空腔5，内筒3和保温板4活动连接接且均铺设在炉底2顶部，内筒3、保温板4与护盘压片1围成密闭的空腔5，空腔5内填充保温材料。炉底2顶部设置保温板4，保温板4的外侧活动连接内筒3，内筒3、保温板4与护盘压片1围成密闭的空腔5，空腔5内填充保温材料，内筒3和保温板4对空腔5内的保温材料起到了稳定的支撑作用，其相互配合，既能起到较好的保温效果，同时抗腐蚀性好，长期使用能够保证热场不下沉，同时降低热场成本。
优选的，排气管6、坩埚轴7、电极轴8依次贯穿护盘压片1、空腔5和保温板4，将空腔5分割成多个。
优选的，保温材料为石墨毡。
优选的，如图2所示，保温板设有第一安装孔41，排气管6插入第一安装孔41。
优选的，保温板设有第二安装孔42，坩埚轴7插入第二安装孔42。
优选的，保温板设有第三安装孔43，电极轴8插入第三安装孔43。
在本实施例中，如图3所示，护盘压片1上设有排气管安装孔11、坩埚轴安装孔12、电极轴安装孔13，排气管6依次贯穿排气管安装孔11、空腔5和第一安装孔41，坩埚轴7依次贯穿坩埚轴安装孔12、空腔5和第二安装孔42，电极轴8依次贯穿电极轴安装孔13、空腔5和第三安装孔43，第三安装孔43的孔径尺寸大于电极轴安装孔13的尺寸，电极轴8靠近炉底2的端部设有垫片10，垫片10的外径尺寸小于第三安装孔43的内径尺寸。
优选的，内筒3外侧包裹有外筒8，外筒8两端分别连接护盘压片1和炉底2。在本实施例中，外筒8、内筒3和保温板4由外而内设置，均铺设在炉底2顶部，起到了稳定的支撑作用，防止热场下沉。
优选的，内筒3和外筒8高度相同，且外筒8的内径尺寸大于内筒的外径尺寸。在本实施例中，外筒8套设在内筒3外侧，两者高度相同且两者之间有一定的安全缝隙，使得热传导不会直接传递给内筒3，降低热场的使用成本。
优选的，如图4所示，内筒3靠近炉底2的端部设有第一凹槽31，保温板4插入第一凹槽31。在本实施例中，内筒3为中空的筒状结构，其靠近炉底2的端部设有第一凹槽31，保温板4上设有与第一凹槽31相匹配的第一突起部，可以将保温板4与内筒插接在一起。需要注意的是，对第一凹槽31的形状不做具体限定，只要能实现相同功能即可。
优选的，内筒3和/或外筒8靠近炉底2的端部设有第二凹槽，相对应的炉底2顶部设有与第二凹槽相匹配的第二突起部，这种分体式连接，在使用过程中损坏时，只需要更换部分损坏件，从而降低热场使用成本。
优选的，保温板4的材质为固化毡。在本实施例中，空腔5内的保温材料为石墨毡，保温板4的材质为固化毡，避免发生异常漏硅时硅液渗透过石墨毡，烫穿炉底板。
实施例一：
该装置设在护盘压片1和炉底2之间，排气管6、坩埚轴7和电极轴8均贯穿护盘压片1、空腔5和保温板4，把空腔5分隔成多个空腔，空腔内部填充石墨毡，起到了较好的保温性能，同时，空腔5的底部设有保温板4，保温板4的材质为固化毡，抗腐蚀性好，长期使用不塌陷，结合两种材料的优点，可以既保证热场长期使用不下沉，又可保证炉底保温的保温性、同时降低热场成本。
设置铺设在炉底2顶部的内筒3、保温板4和外筒8，保温板4靠近炉底2的端部与内筒3活动连接，内筒3、保温板4与护盘压片1围成密闭的空腔5，空腔5内填充保温材料，外筒8套设在内筒3外侧。内筒3和外筒8与炉底2活动连接，内筒3与保温板4活动连接，这种分体式设计结构，结合两种保温材料的优势，既可以既可起保温作用，又可在炉底2损坏时更换部分热场件，大幅度节约热场成本，空腔5为中空结构，填充石墨毡，保证炉底2的保温性，同时保温板4的材质为固化毡，其与炉底2接触，可避免发生异常漏硅时硅液渗透过石墨毡，烫穿炉底板。
本实用新型设计的一种单晶炉炉底保温装置，在炉底顶部设置外筒、内筒和保温板，对空腔起到了稳定的支撑作用，空腔内填充保温材料，结合两种保温材料的优势，既可以既可起保温作用，又可以保证热场长期使用不下沉；内筒外侧包裹外筒，内外筒之间设有安全缝隙，使得热传导不会直接传递给内筒，实现了更好的保温效果；保温板的材质为固化毡，其与炉底接触，可避免发生异常漏硅时硅液渗透过石墨毡，烫穿炉底板。此外，这种分体式结构设计，可在炉底损坏时更换部分热场件，大幅度节约热场成本。
以上对本实用新型的实施例进行了详细说明，但所述内容仅为本实用新型的较佳实施例，不能被认为用于限定本实用新型的实施范围。凡依本实用新型申请范围所作的均等变化与改进等，均应仍归属于本实用新型的专利涵盖范围之内。
Claims (10)
1.一种单晶炉炉底保温装置，连接护盘压片和炉底，其特征在于：包括内筒、保温板和空腔，所述内筒和所述保温板活动连接且均铺设在所述炉底顶部，所述内筒、所述保温板与所述护盘压片围成密闭的空腔，所述空腔内填充保温材料。
2.根据权利要求1所述的单晶炉炉底保温装置，其特征在于：排气管、坩埚轴、电极轴依次贯穿所述护盘压片、所述空腔和所述保温板，将所述空腔分割成多个。
3.根据权利要求1所述的单晶炉炉底保温装置，其特征在于：所述保温材料为石墨毡。
4.根据权利要求2所述的单晶炉炉底保温装置，其特征在于：所述保温板设有第一安装孔，所述排气管插入所述第一安装孔。
5.根据权利要求4所述的单晶炉炉底保温装置，其特征在于：所述保温板设有第二安装孔，所述坩埚轴插入所述第二安装孔。
6.根据权利要求5所述的单晶炉炉底保温装置，其特征在于：所述保温板设有第三安装孔，所述电极轴插入所述第三安装孔。
7.根据权利要求1至6任一项所述的单晶炉炉底保温装置，其特征在于：所述内筒外侧包裹有外筒，所述外筒两端分别连接所述护盘压片和所述炉底。
8.根据权利要求7所述的单晶炉炉底保温装置，其特征在于：所述内筒和所述外筒高度相同，且所述外筒的内径尺寸大于所述内筒的外径尺寸。
9.根据权利要求8所述的单晶炉炉底保温装置，其特征在于：所述内筒靠近所述炉底的端部设有第一凹槽，所述保温板插入所述第一凹槽。
10.根据权利要求9所述的单晶炉炉底保温装置，其特征在于：所述保温板的材质为固化毡。
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| CN202320721243.9U CN219586256U (zh) | 2023-04-04 | 2023-04-04 | 一种单晶炉炉底保温装置 |
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Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
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| CN219586256U true CN219586256U (zh) | 2023-08-25 |
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Family Applications (1)
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2023
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