CN219582239U - 一种五轴加工中心加工光刻机支座的工装夹具 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种五轴加工中心加工光刻机支座的工装夹具，包括底板，底板上分别设置有若干个底部支撑柱、侧面定位柱、螺纹压紧件；底部支撑柱用于支撑光刻机支座的底面；侧面定位柱位于光刻机支座的一侧，其沿着光刻机支座的边缘轮廓分布，用于顶紧光刻机支座的侧边；螺纹压紧件分为两组，一组用于压紧光刻机支座的顶面，另一组用于压紧光刻机支座的底部上表面。本实用新型对光刻机支座通过底部支撑、侧面定位、以及顶部和底部的压紧进行全方位的固定，有效防止了光刻机支座在加工的过程中出现振动的现象，本实用新型固定后，光刻机支座的加工面均可露出，利用本夹具固定后并不影响对光刻机支座的加工。

Description

一种五轴加工中心加工光刻机支座的工装夹具

技术领域

本实用新型属于工装夹具技术领域，具体涉及一种五轴加工中心加工光刻机支座的工装夹具。

背景技术

光刻机支座要求加工的精度和位置度高，产品结构镂空状态，平均壁厚只有12mm。光刻机支座包括底面，顶面，用于连接底面和顶面的中部支撑面和侧边支撑面。加工时利用五轴加工中心对光刻机支座的六个面进行处理。现有的光刻机支座加工时利用夹具将工件固定在工作台上，但由于光刻机支座本身的构造，其底面并非一个规整的矩形或圆形，现有夹具只固定支座的四周，其固定效果并不理想，且其底面如若出现不平整的情况，直接固定在工作台上时，加工过程中容易因为工装夹具对工件固定不牢固而发生震动产生颤刀，进而影响了加工精度。因此亟需设计一种用于五轴加工中心的，可以牢固地对光刻机支座进行全方位的固定，同时又可以将光刻机支座的多个加工面暴露出来的光刻机支座的工装夹具。

实用新型内容

为了实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种五轴加工中心加工光刻机支座的工装夹具，包括底板，所述底板上分别设置有若干个底部支撑柱、侧面定位柱、以及螺纹压紧件；所述底部支撑柱用于支撑光刻机支座的底面；所述侧面定位柱位于所述光刻机支座的一侧，其沿着光刻机支座的边缘轮廓分布，且用于顶紧所述光刻机支座的侧边；所述螺纹压紧件分为两组，一组用于压紧光刻机支座的顶面，另一组用于压紧光刻机支座的底部上表面。

进一步地，所述侧面定位柱包括设置在底板上的固定部，以及位于固定部上的调节部；所述调节部为贯穿所述固定部的定位杆，所述定位杆与所述固定部之间螺纹连接。

进一步地，还包括有用于压紧所述光刻机支座的底部上表面的底部预压紧件；所述底部预压紧件包括设置在底板上的固定座，位于固定座上方的安装柱，以及设置在安装柱上的、用于压紧光刻机支座底面的压紧杆；所述安装柱的下端连接有旋转轴，所述固定座内设置有与所述旋转轴匹配的凹槽，所述旋转轴延伸至所述凹槽内；所述旋转轴位于所述固定座内的部分上套装有限位环，所述固定座内设置有与该限位环配合的环状槽，所述环状槽与所述凹槽连通；所述限位环的外壁上设置有限位块，所述固定座的内壁上设置有与该限位块配合的竖槽，所述竖槽的下端连通有水平的弧形槽，所述竖槽与所述弧形槽连通形成L形结构；当所述限位块位于所述弧形槽内时，所述压紧杆压紧在所述光刻机支座的表面。

进一步地，所述环状槽内位于所述限位环的下方设置有套装在旋转轴外的复位弹簧。

进一步地，所述底板上设置有浮动定位件；所述浮动定位组件靠近所述光刻机支座的边缘处设置；所述浮动定位件包括设置在底板上的外套筒，以及位于外套筒内的、与其滑动连接的伸缩杆；所述伸缩杆的上端用于支撑所述光刻机支座的底面；所述伸缩杆下端设置有卡盘；所述卡盘与所述外套筒内壁之间滑动连接；所述外套筒内位于所述卡盘的下方设置有调节弹簧；所述外套筒上螺纹连接有定位螺栓；所述定位螺栓的端部顶紧在所述伸缩杆的外壁上。

进一步地，所述螺纹压紧件包括设置在所述底板上的固定杆，以及套装在固定杆上的压板；所述固定杆贯穿所述光刻机支座上的镂空处，所述压板位于所述光刻机支座的上方；所述固定杆的上部设置有螺纹，其上螺纹连接有用于将压板压紧在所述光刻机支座表面的螺母。

进一步地，所述安装柱上设置有手柄。

本实用新型的有益效果：1、本实用新型对光刻机支座通过底部支撑、侧面定位、底部预压以及顶部和底部的压紧进行全方位的固定，有效防止了光刻机支座在加工的过程中出现振动的现象，另外，本实用新型固定后，光刻机支座的加工面，即底部上表面、中间支撑面、侧边支撑面、顶面，均可露出，也即利用本夹具固定后并不影响对光刻机支座的加工。2、本实用新型在底部增设有浮动定位件，即使用时，先将浮动定位件的伸缩杆固定在最低位置处，也即不与工件表面接触，再将光刻机支座放着底部支撑柱上，然后再利用底部预压件对表面进行初步固定，使得压紧杆与工件表面接触，最后利用螺纹压紧件，对工件的顶面和底面固定，使得压板与工件表面接触，此时松开浮动定位件上的定位螺栓，使得伸缩杆向上与工件表面接触，且由于伸缩杆的作用，使得工件的表面与压板接触，然后再紧固定位螺栓。通过设置浮动定位件，防止了因为底面平整度不够造成固定不牢固的情形，使得工件的固定更加稳固，有效防止工件震动造成的颤刀现象。

附图说明

图1为本实用新型夹装工件后的整体结构示意图；

图2为本实用新型的另一视角结构示意图(带有工件)；

图3为本实用新型的俯视图(带有工件)；

图4为本实用新型的结构示意图；

图5为本实用新型的另一视角结构示意图；

图6为本实用新型的浮动定位件结构示意图；

图7为本实用新型的底部预压紧件结构示意图；

图8为A-A向结构示意图；

图9为本实用新型的B-B向结构示意图；

附图标记：1、底板；2、底部支撑柱；3、固定部；4、定位杆；5、固定杆；6、压板；7、螺母；8、外套筒；9、伸缩杆；10、定位螺栓；11、固定座；12、安装柱；13、压紧杆；14、手柄；15、卡盘；16、调节弹簧；17、限位环；18、限位块；19、环状槽；20、复位弹簧；21、弧形槽；22、竖槽；23、光刻机支座；24、凹槽；25、旋转轴。

具体实施方式

以下将结合附图和实施例对本实用新型的技术方案进行进一步地说明，以期本领域技术人员能够更清楚地理解该技术方案的内容。

实施例1：

如附图1-5所示，本实施例中的一种五轴加工中心加工光刻机支座的工装夹具，包括底板1，所述底板1上分别设置有若干个底部支撑柱2、侧面定位柱、以及螺纹压紧件；所述底部支撑柱2用于支撑光刻机支座23的底面；所述侧面定位柱位于所述光刻机支座23的一侧，其沿着光刻机支座23的边缘轮廓分布，且用于顶紧所述光刻机支座23的侧边；所述螺纹压紧件分为两组，一组用于压紧光刻机支座23的顶面，另一组用于压紧光刻机支座23的底部上表面。

所述侧面定位柱包括设置在底板1上的固定部3，以及位于固定部3上的调节部；所述调节部为贯穿所述固定部3的定位杆4，所述定位杆4与所述固定部3之间螺纹连接。本实施例中的侧面定位柱设置在光刻机支座的一侧，也即使用时按照光刻机支座形状，先行对侧面定位柱进行调节，使得侧面定位柱与光刻机支座的轮廓匹配，用于对工件的侧面进行顶紧，之后便不需要对侧面定位柱进行调节，即只需要在初次使用时进行调节，后面加工时由于工件不变，故不需要再次调节。

所述螺纹压紧件包括设置在所述底板1上的固定杆5，以及套装在固定杆5上的压板6；所述固定杆5贯穿所述光刻机支座23上的镂空处，所述压板6位于所述光刻机支座23的上方；所述固定杆5的上部设置有螺纹，其上螺纹连接有用于将压板6压紧在所述光刻机支座23表面的螺母7。本实施例中设置有螺纹压紧件，且固定杆从镂空处穿过，不影响工件的使用，紧固时，利用螺母调节使得压板对光刻机支座进行固定。

本实施例中可以对工件进行全方位的固定，而非仅仅对工件的边缘固定。

实施例2：

如附图1-9所示，本实施例中与实施例1的区别在于，本实施例中还包括有用于压紧所述光刻机支座23的底部上表面的底部预压紧件；本实施例中的底部预压紧件有多个，其分布为工件的两侧。

所述底部预压紧件包括设置在底板1上的固定座11，位于固定座11上方的安装柱12，以及设置在安装柱12上的、用于压紧光刻机支座23底面的压紧杆13；所述安装柱12上部设置有手柄14。所述安装柱12的下端连接有旋转轴25，所述固定座11内设置有与所述旋转轴25匹配的凹槽24，所述旋转轴25延伸至所述凹槽24内；所述旋转轴25位于所述固定座11内的部分上套装有限位环17，所述固定座11内设置有与该限位环17配合的环状槽19，所述环状槽19与所述凹槽24连通；所述限位环17的外壁上设置有限位块18，所述固定座11的内壁上设置有与该限位块18配合的竖槽22，所述竖槽22的下端连通有水平的弧形槽21，所述竖槽22与所述弧形槽21连通形成L形结构；所述环状槽19内位于所述限位环17的下方设置有套装在旋转轴25外的复位弹簧20。

当所述限位块18位于所述弧形槽21内时，所述压紧杆13压紧在所述光刻机支座23的表面。首先限位块位于竖槽内，由于复位弹簧的作用，使得压紧杆远离所述工件的表面，使用时按动手柄，此时限位块沿着竖槽向下移动，直至其移动至竖槽与弧形槽的交接处，然后转动手柄，使得限位块移动至弧形槽内，此时压紧杆的下端与工件表面抵接，从而对工件起到限位的作用。

本实施例中的底部预压紧件快捷方便，可以快速对工件上的底部上表面进行固定。

实施例3：

本实施例与实施例2的区别在于：本实施例中在所述底板1上设置有浮动定位件；所述浮动定位组件靠近所述光刻机支座23的边缘处设置；所述浮动定位件包括设置在底板1上的外套筒8，以及位于外套筒8内的、与其滑动连接的伸缩杆9；所述伸缩杆9的上端用于支撑所述光刻机支座23的底面；所述伸缩杆9下端设置有卡盘15；所述卡盘15与所述外套筒8内壁之间滑动连接；所述外套筒8内位于所述卡盘15的下方设置有调节弹簧16；所述外套筒8上螺纹连接有定位螺栓10；所述定位螺栓10的端部顶紧在所述伸缩杆9的外壁上。

本实施例中增设浮动定位件，由于工件尺寸较大，故有时其底面也会出现平整度不一致的情形，增设浮动定位件，可以对其进行更好的固定。具体使用时，先利用定位螺栓将伸缩杆固定至最低处，也即伸缩杆与工件的底面不接触，然后利用底部预压紧件和螺纹压紧件对工件进行固定，使得压紧杆和压板与工件表面接触，再松开定位螺栓，使得伸缩杆向上伸出，从而使得伸缩杆与工件底面接触，故而工件被夹紧在伸缩杆和压紧杆、压板之间，防止因为固定不牢固出现颤刀现象。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种五轴加工中心加工光刻机支座的工装夹具，包括底板(1)，其特征在于：所述底板(1)上分别设置有若干个底部支撑柱(2)、侧面定位柱、以及螺纹压紧件；所述底部支撑柱(2)用于支撑光刻机支座(23)的底面；所述侧面定位柱位于所述光刻机支座(23)的一侧，其沿着光刻机支座(23)的边缘轮廓分布，且用于顶紧所述光刻机支座(23)的侧边；所述螺纹压紧件分为两组，一组用于压紧光刻机支座(23)的顶面，另一组用于压紧光刻机支座(23)的底部上表面。

2.如权利要求1所述的一种五轴加工中心加工光刻机支座的工装夹具，其特征在于：所述侧面定位柱包括设置在底板(1)上的固定部(3)，以及位于固定部(3)上的调节部；所述调节部为贯穿所述固定部(3)的定位杆(4)，所述定位杆(4)与所述固定部(3)之间螺纹连接。

3.如权利要求1所述的一种五轴加工中心加工光刻机支座的工装夹具，其特征在于：还包括有用于压紧所述光刻机支座(23)的底部上表面的底部预压紧件；所述底部预压紧件包括设置在底板(1)上的固定座(11)，位于固定座(11)上方的安装柱(12)，以及设置在安装柱(12)上的、用于压紧光刻机支座(23)底面的压紧杆(13)；所述安装柱(12)的下端连接有旋转轴(25)，所述固定座(11)内设置有与所述旋转轴(25)匹配的凹槽(24)，所述旋转轴(25)延伸至所述凹槽(24)内；所述旋转轴(25)位于所述固定座(11)内的部分上套装有限位环(17)，所述固定座(11)内设置有与该限位环(17)配合的环状槽(19)，所述环状槽(19)与所述凹槽(24)连通；所述限位环(17)的外壁上设置有限位块(18)，所述固定座(11)的内壁上设置有与该限位块(18)配合的竖槽(22)，所述竖槽(22)的下端连通有水平的弧形槽(21)，所述竖槽(22)与所述弧形槽(21)连通形成L形结构；当所述限位块(18)位于所述弧形槽(21)内时，所述压紧杆(13)压紧在所述光刻机支座(23)的表面。

4.如权利要求3所述的一种五轴加工中心加工光刻机支座的工装夹具，其特征在于：所述环状槽(19)内位于所述限位环(17)的下方设置有套装在旋转轴(25)外的复位弹簧(20)。

5.如权利要求1所述的一种五轴加工中心加工光刻机支座的工装夹具，其特征在于：所述底板(1)上设置有浮动定位件；所述浮动定位件靠近所述光刻机支座(23)的边缘处设置；所述浮动定位件包括设置在底板(1)上的外套筒(8)，以及位于外套筒(8)内的、与其滑动连接的伸缩杆(9)；所述伸缩杆(9)的上端用于支撑所述光刻机支座(23)的底面；所述伸缩杆(9)下端设置有卡盘(15)；所述卡盘(15)与所述外套筒(8)内壁之间滑动连接；所述外套筒(8)内位于所述卡盘(15)的下方设置有调节弹簧(16)；所述外套筒(8)上螺纹连接有定位螺栓(10)；所述定位螺栓(10)的端部顶紧在所述伸缩杆(9)的外壁上。

6.如权利要求1所述的一种五轴加工中心加工光刻机支座的工装夹具，其特征在于：所述螺纹压紧件包括设置在所述底板(1)上的固定杆(5)，以及套装在固定杆(5)上的压板(6)；所述固定杆(5)贯穿所述光刻机支座(23)上的镂空处，所述压板(6)位于所述光刻机支座(23)的上方；所述固定杆(5)的上部设置有螺纹，其上螺纹连接有用于将压板(6)压紧在所述光刻机支座(23)表面的螺母(7)。

7.如权利要求3所述的一种五轴加工中心加工光刻机支座的工装夹具，其特征在于：所述安装柱(12)上设置有手柄(14)。