CN219577287U - 一种移动式微型加热装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于加热装置技术领域，具体涉及一种移动式微型加热装置，包括底座以及加热器，所述底座的顶部设置有固定架，所述加热器与所述固定架连接，所述加热器的中部开设有通槽，所述加热器上开设有加热孔，所述加热孔内设置有加热棒。本实用新型结构新颖、设计巧妙，使用时，将石英管放入通槽当中，加热棒工作，加热棒发热使得加热器整体的温度上升，进而通槽内的石英管温度上升，达到加热的效果，本实用新型操作简单，通过加热棒工作即可，升温快速，加热器导热使得通槽内温场均匀，并且体积小巧、移动方便。

Description

一种移动式微型加热装置

技术领域

本实用新型属于加热装置技术领域，具体涉及一种移动式微型加热装置。

背景技术

原子层沉积工作过程中，需要对反应源加热。现有技术中常用的加热方法是在反应装置的外部使用管式炉加热，例如管式炉对石英管内的反应源进行加热反应；该装置结构为打开式，内设一定尺寸管径，将石英管放入加热装置即可开始工作；但管式炉体积较大不便使用，温区较长不能对石英管局部加热。

实用新型内容

本实用新型针对现有技术的问题提供一种移动式微型加热装置，加热操作简单、方便移动。

为了解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案：

一种移动式微型加热装置，包括底座以及加热器，所述底座的顶部设置有固定架，所述加热器与所述固定架连接，所述加热器的中部开设有通槽，所述加热器上开设有加热孔，所述加热孔内设置有加热棒。

其中，所述加热器的外周设置有隔热板，所述隔热板与所述固定架连接。

其中，所述隔热板与所述加热器之间设置有隔热间隙，所述隔热板的内壁设置有多个支架，所述支架均与所述加热器连接。

其中，所述加热器包括上加热部以及下加热部，所述上加热部与所述下加热部叠合，所述隔热板包括上隔热板以及下隔热板，所述上隔热板与所述下隔热板铰接，所述下隔热板与所述固定架连接，所述支架包括上支架以及下支架，所述上隔热板的内壁与所述上支架连接，所述上支架与所述上加热部连接，所述下隔热板的内壁与所述下支架连接，所述下支架与所述下加热部连接。

其中，所述上隔热板的外侧设置有拉手。

其中，所述隔热板的材质为铝。

其中，所述加热孔的内壁上设置有热电偶。

其中，所述底座的边沿处设置有多个垫块。

其中，所述底座包括底板、顶板以及升降组件，所述升降组件的底部与所述底板连接，所述升降组件的顶部与所述顶板连接。

其中，所述升降组件设置有两个，所述底板的顶部两侧分别与两个升降组件的底部连接，所述顶板的底部两侧分别与两个升降组件的顶部连接。

本实用新型的有益效果：本实用新型结构新颖、设计巧妙，使用时，将石英管放入通槽当中，加热棒工作，加热棒发热使得加热器整体的温度上升，进而通槽内的石英管温度上升，达到加热的效果，本实用新型操作简单，通过加热棒工作即可，升温快速，加热器导热使得通槽内温场均匀，并且体积小巧、移动方便。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

附图标记分别为：1、底座，2、加热器，3、固定架，4、通槽，5、加热棒，6、隔热板，7、隔热间隙，8、支架，9、上加热部，10、下加热部，11、上隔热板，12、下隔热板，13、上支架，14、下支架，15拉手，16、热电偶，17、垫块，18、底板，19、顶板，20、升降组件。

具体实施方式

为了便于本领域技术人员的理解，下面结合实施例与附图对本实用新型作进一步的说明，实施方式提及的内容并非对本实用新型的限定。以下结合附图对本实用新型进行详细的描述。

一种移动式微型加热装置，如图1所示，包括底座1以及加热器2，所述底座1的顶部设置有固定架3，所述加热器2与所述固定架3连接，所述加热器2的中部开设有通槽4，所述加热器2上开设有加热孔，所述加热孔内设置有加热棒5。具体地，使用时，将石英管放入通槽4当中，加热棒5工作，加热棒5发热使得加热器2整体的温度上升，进而通槽4内的石英管温度上升，达到加热的效果，本实用新型操作简单，通过加热棒5工作即可，升温快速，加热器2导热使得通槽4内温场均匀，并且体积小巧、移动方便。

本实例所述的一种移动式微型加热装置，所述加热器2的外周设置有隔热板6，所述隔热板6与所述固定架3连接。具体地，隔热板6可阻隔温度的散失，当温度传导到隔热板6时，会被隔热板6反射回到加热器2，减少温度的散失，保证温场的温度均匀性。

本实例所述的一种移动式微型加热装置，所述隔热板6与所述加热器2之间设置有隔热间隙7，所述隔热板6的内壁设置有多个支架8，所述支架8均与所述加热器2连接。具体地，隔热间隙7有效地降低了隔热板6外表面的温度，有效地避免了加热过程被烫伤。

本实例所述的一种移动式微型加热装置，所述加热器2包括上加热部9以及下加热部10，所述上加热部9与所述下加热部10叠合，所述隔热板6包括上隔热板11以及下隔热板12，所述上隔热板11与所述下隔热板12铰接，所述下隔热板12与所述固定架3连接，所述支架8包括上支架13以及下支架14，所述上隔热板11的内壁与所述上支架13连接，所述上支架13与所述上加热部9连接，所述下隔热板12的内壁与所述下支架14连接，所述下支架14与所述下加热部10连接。具体地，由于下隔热板12与固定架3连接，下隔热板12的位置固定，同时上隔热板11与下隔热板12铰接，上隔热板11能够带动上加热部9打开，使用时，打开上加热部9后放入石英管，随后重新关上即可，十分方便。

本实例所述的一种移动式微型加热装置，所述上隔热板11的外侧设置有拉手15。具体地，上述设置使得操作人员打开上加热部9时更加方便。

进一步地，所述隔热板6的材质为铝。

本实例所述的一种移动式微型加热装置，所述加热孔的内壁上设置有热电偶16。

本实例所述的一种移动式微型加热装置，所述底座1的边沿处设置有多个垫块17。

本实例所述的一种移动式微型加热装置，所述底座1包括底板18、顶板19以及升降组件20，所述升降组件20的底部与所述底板18连接，所述升降组件20的顶部与所述顶板19连接。

本实例所述的一种移动式微型加热装置，所述升降组件20设置有两个，所述底板18的顶部两侧分别与两个升降组件20的底部连接，所述顶板19的底部两侧分别与两个升降组件20的顶部连接。

具体地，升降组件20可调节顶板19的高度，进而调节加热器2的高度，方便操作人员根据实际使用需求进行调节。

以上所述，仅是本实用新型较佳实施例而已，并非对本实用新型作任何形式上的限制，虽然本实用新型以较佳实施例公开如上，然而并非用以限定本实用新型，任何熟悉本专业的技术人员，在不脱离本实用新型技术方案范围内，当利用上述揭示的技术内容作出些许变更或修饰为等同变化的等效实施例，但凡是未脱离本实用新型技术方案内容，依据本实用新型技术是指对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均属于本实用新型技术方案的范围内。

Claims (8)

1.一种移动式微型加热装置，其特征在于：包括底座以及加热器，所述底座的顶部设置有固定架，所述加热器与所述固定架连接，所述加热器的中部开设有通槽，所述加热器上开设有加热孔，所述加热孔内设置有加热棒。

2.根据权利要求1所述的一种移动式微型加热装置，其特征在于：所述加热器的外周设置有隔热板，所述隔热板与所述固定架连接。

3.根据权利要求2所述的一种移动式微型加热装置，其特征在于：所述隔热板与所述加热器之间设置有隔热间隙，所述隔热板的内壁设置有多个支架，所述支架均与所述加热器连接。

4.根据权利要求3所述的一种移动式微型加热装置，其特征在于：所述加热器包括上加热部以及下加热部，所述上加热部与所述下加热部叠合，所述隔热板包括上隔热板以及下隔热板，所述上隔热板与所述下隔热板铰接，所述下隔热板与所述固定架连接，所述支架包括上支架以及下支架，所述上隔热板的内壁与所述上支架连接，所述上支架与所述上加热部连接，所述下隔热板的内壁与所述下支架连接，所述下支架与所述下加热部连接。

5.根据权利要求4所述的一种移动式微型加热装置，其特征在于：所述上隔热板的外侧设置有拉手。

6.根据权利要求2所述的一种移动式微型加热装置，其特征在于：所述隔热板的材质为铝。

7.根据权利要求1所述的一种移动式微型加热装置，其特征在于：所述加热孔的内壁上设置有热电偶。

8.根据权利要求1所述的一种移动式微型加热装置，其特征在于：所述底座的边沿处设置有多个垫块。