CN219533624U - 一种双面曝光机的单向移动曝光机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种双面曝光机的单向移动曝光机构，设在双面曝光机的机架上，机架上设菲林模块，菲林模块包括上菲林组件、下菲林组件、若干推板组件和若干顶板组件，菲林模块的Z向两侧设有光源模块，光源模块包括上光源组件和下光源组件。本实用新型将上菲林组件设为固定结构，将下菲林组件设为活动部件，工作时只需移动下菲林组件即可实现上下菲林板与基板的紧密压合，避免机构相对移动错位导致的基片转印线路歪斜、边界模糊的问题，且传动结构简单，机构成本较低，降低曝光设备制造成本；并可满足不同规格尺寸的菲林模块的压紧需要，确保清晰转印；通过设置若干限位件和翻转组件，可避免造成设备部件的损坏，并降低操作人员的劳动强度。

Description

一种双面曝光机的单向移动曝光机构

技术领域

本实用新型涉及曝光机技术领域,特别涉及一种双面曝光机的单向移动曝光机构。

背景技术

双面曝光机是柔性线路板生产中的核心设备，通过上下两菲林板夹紧基片并将菲林板上的菲林曝光转印到基片上。常规的双面曝光机大多采用基片不动，上下压板相向运动压紧基片的工作形式；但应用中发现必须要确保上下压板同时同步压靠在基片上，否则很容易出现基片偏移，直接影响线路转印的精准度，但要确保上下压板同步运动，对机构自身的精度和结构布局都有较高的要求，设备成本较高。

实用新型内容

针对上述现有技术中存在的问题，本实用新型提供一种双面曝光机的单向移动曝光机构，将上菲林组件设为固定结构，将下菲林组件设为活动部件，工作时只需移动下菲林组件即可实现上菲林板、基片和下菲林板的压紧配合，可避免机构相对移动错位导致的基片转印线路歪斜、边界模糊的问题，且传动结构简单，机构成本较低，降低曝光设备制造成本。

为解决上述技术问题,本实用新型采取的一种技术方案如下:

一种双面曝光机的单向移动曝光机构，架设在双面曝光机的机架上，所述机架的X向两侧分别设有一导板，两所述导板呈直线排列并能导引一基片水平穿过所述机架；所述机架上在两所述导板之间设有菲林模块，所述菲林模块包括上菲林组件、下菲林组件、若干推板组件和若干顶板组件，所述菲林模块的Z向两侧设有光源模块，所述光源模块包括设在所述机架上的上光源组件和下光源组件，其中：

所述上菲林组件架设在所述机架上，包括水平设在两所述导板上方的上菲林板；

所述下菲林组件活动架设在所述机架上并设在所述上菲林组件的Z向正下方，包括水平设在所述上菲林板Z向正下方的下菲林板；

每个所述推板组件均包括设在所述机架上的第一驱动装置和与其传动连接的推板，每个所述推板均与所述下菲林组件传动连接并能推动其沿Z向移动，以远离或靠近所述上菲林组件；

每个所述顶板组件均包括第二驱动装置和与其传动连接并沿Z向延伸的顶杆，每个所述顶杆均能在一所述第二驱动装置的驱动下沿Z向移动以将所述下菲林板推靠在所述上菲林板上；

所述上光源组件架设在所述上菲林板的Z向上方，包括上光源架，所述上光源架与第三驱动装置传动连接并能在其驱动下在所述上菲林板的上方沿X向移动，以曝光所述上菲林板上的感光材料并转印到所述基片的上端面，所述上光源架上设有若干上光源；

所述下光源组件架设在所述下菲林板的Z向下方，包括下光源架，所述下光源架与第四驱动装置传动连接并能在其驱动下在所述下菲林板的下方沿X向移动，以曝光所述下菲林板上的感光材料并转印到所述基片的下端面，所述下光源架上设有若干下光源。

作为对上述技术方案的进一步阐述：

在上述技术方案中，所述机架上在所述下菲林组件和所述下光源组件之间设有水平的安装板，所述导板、推板组件和顶板组件均安设在所述安装板上；所述安装板上设有若刚沿Z向延伸的导柱，所述上菲林组件架设在若干所述导柱的上部并与其可拆卸固连，所述下菲林组件架设在若干所述导柱上并与其滑动连接。

在上述技术方案中，所述上菲林组件还包括可拆卸固设在若干所述导柱上部的上定位板，所述上定位板的下端部设有两沿Y向延伸的上滑道，两所述上滑道间架设有所述上菲林板，所述上定位板的下端部在两所述上滑道末端的旁侧设有上限位件。

在上述技术方案中，所述上定位板上在所述上菲林板的X向两侧还分别设有一翻转组件，每个所述翻转组件均包括可拆卸固设在所述上定位板上的支座，所述支座上铰接有安装臂，所述安装臂与设在所述支座上的第五驱动装置传动连接并能在其驱动下旋转以靠近或远离所述上定位板；所述安装臂的端部设有第六驱动装置和与其传动连接的转盘，所述转盘上设有铰接有翻转板，所述翻转板上设有与所述上滑道适配的翻转滑道，所述第六驱动装置能驱动所述转盘旋转，以带动所述翻转板及其上的所述翻转滑道同步旋转；所述安装臂上还架设有第七驱动装置，所述第七驱动装置与一推杆传动连接，所述推杆与一拉杆铰接，所述拉杆可拆卸固设在所述翻转板上，所述翻转板能在所述第七驱动装置的驱动下相对所述安装臂旋转。

在上述技术方案中，所述下菲林组件还包括滑板和下定位板：所述滑板水平架设在若干所述导柱上；所述下定位板平行架设在所述滑板的上方，所述下定位板的上端部设有两沿Y向延伸的下滑道，两所述下滑道间架设有所述下菲林板，所述下定位板的上端部在两所述下滑道末端的旁侧设有下限位件。

在上述技术方案中，每个所述下滑道均包括底板和两列垂直装设在所述底板上的限位辊轮，两列所述限位辊轮沿Z向排列，其间设有水平的撑板，每个所述撑板均与若干设在所述滑板上的第八驱动装置传动连接，并能在其驱动下在两列所述限位辊轮间沿Z向移动；两所述撑板间架设有所述下菲林板。

在上述技术方案中，每个所述顶板组件均包括设在所述安装板上并设在所述下菲林板Z向下方并沿X向延伸的第九滑道，每个所述第九滑道上均设有第九滑块，每个所述第九滑块均与一所述第九驱动装置传动连接并能在其驱动下在一所述第九滑道上滑动；每个所述第九滑块上均设有一第十驱动装置和沿Y向延伸的第十滑道，每个所述第十滑道上均设有一第十滑块，每个所述第十滑块均与一所述第十驱动装置传动连接并能在其驱动下在所述第十滑道上滑动；每个所述第十滑块上均设有所述第二驱动装置和沿Z向延伸的第二滑道，每个所述第二滑道上均设有所述顶杆。

在上述技术方案中，所述上菲林组件与所述下菲林组件之间还设有若干第一限位件和第二限位件，每个所述第一限位件均能限定所述上菲林组件与所述下菲林组件的最小距离，每个所述第二限位件均能限定上菲林组件与所述下菲林组件的最大距离。

在上述技术方案中，若干所述第一限位件和所述第二限位件上均设有传感器，每个所述传感器均与所述第一驱动装置和第二驱动装置电连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：通过将上菲林组件设为固定结构，将下菲林组件设为活动部件，工作时只需移动下菲林组件即可实现上菲林板、基片和下菲林板的压紧配合，可避免机构相对移动错位导致的基片转印线路歪斜、边界模糊的问题，且传动结构简单，机构成本较低，降低曝光设备制造成本；通过设置若干顶板组件，可满足不同规格尺寸的菲林模块的顶压需要，将下菲林板紧密压靠在基片和上菲林板上，确保清晰转印；通过设置第一限位件和第二限位件，可限定下菲林组件的位移范围，避免造成上菲林板和设备部件的损坏；通过设置翻转组件，可辅助进行菲林板的更换操作，降低操作人员的劳动强度。

附图说明

图1是本实施例的结构示意图；

图2是本实施例中菲林模块的结构示意图(未示出顶板组件)；

图3是本实施例中安装板的结构示意图；

图4是本实施例中上菲林组件的结构示意图；

图5是本实施例中翻转组件的结构示意图。

图6是本实施例中下菲林组件的结构示意图；

图7是本实施例中下滑道的结构示意图；

图8是本实施例中顶板组件的结构示意图；

图中：100、机架；110、安装板；120、导柱；200、导板；300、菲林模块；500、第一限位件；600、第二限位件；700、传感器；20、上菲林组件；21、上菲林板；22、上定位板；23、上滑道；30、下菲林组件；31、下菲林板；32、滑板；33、下定位板；34、下滑道；1、底板；2、限位辊轮；3、撑板；4、第八驱动装置；40、推板组件；41、第一驱动装置；42、推板；50、顶板组件；51、第二驱动装置；52、顶杆；53、第九滑道；54、第九滑块；55、第九驱动装置；56、第十驱动装置；57、第十滑道；58、第十滑块；59、第二滑道；60、上光源组件；61、第三驱动装置；63、上光源架；70、下光源组件；71、第四驱动装置；73、下光源架；80、翻转组件；81、支座；82、安装臂；83、第五驱动装置；84、第六驱动装置；85、转盘；86、翻转板；87、翻转滑道；88、第七驱动装置；89a、推杆；89b、拉杆。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步详细的说明。

通过参考附图描述的实施例是示例性的,旨在用于解释本申请,而不能理解为对本申请的限制。在本申请的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本申请和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本申请的描述中,“若干个”、“多个”的含义是两个或两个以上,除非另有明确具体的限定。在本申请中,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接；可以是机械连接,也可以是电连接；可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。在本申请中,除非另有明确的规定和限定,第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触,也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且,第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方,或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方,或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

如图1-2所示，一种双面曝光机的单向移动曝光机构，架设在双面曝光机的机架100上，机架100的X向两侧分别设有一导板200，两导板200呈直线排列并能导引一基片水平穿过机架100；机架100上在两导板200之间设有菲林模块300，菲林模块300包括上菲林组件20、下菲林组件30、若干推板组件40和若干顶板组件50，菲林模块300的Z向两侧设有光源模块，光源模包括设在机架100上的上光源组60件和下光源组件70，其中：

上菲林组件20架设在机架100上，包括水平设在两导板200上方的上菲林板21；

下菲林组件30活动架设在机架100上并设在上菲林组件20的Z向正下方，包括水平设在上菲林板21的Z向正下方的下菲林板31；

每个推板组件40均包括设在所述机架100上的第一驱动装置41和与其传动连接的推板42，每个推板42均与下菲林组件30传动连接并能推动其沿Z向移动，以远离或靠近所述上菲林组件20；

每个顶板组件50均包括设第二驱动装置51和与其传动连接并沿Z向延伸的顶杆52，每个顶杆52均能在一第二驱动装置51的驱动下沿Z向移动以将下菲林板31推靠在上菲林板21上；

上光源组件60架设在上菲林板21的Z向上方，包括上光源架63，上光源架63与第三驱动装置61传动连接并能在其驱动下在上菲林板21的上方沿X向移动，以曝光上菲林板21上的感光材料并转印到基片的上端面，上光源架63上设有若干上光源；

下光源组件70架设在下菲林板31的Z向下方，包括下光源架73，下光源架73与第四驱动装置71传动连接并能在其驱动下在下菲林板31的下方沿X向移动，以曝光下菲林板31上的感光材料并转印到基片的下端面，下光源架73上设有若干下光源。

在本实施例中，第三驱动装置61和第四驱动装置71均为直线电机，可推动上光源架63和下光源架73平稳地进行长距离的直线平移，确保曝光品质。

进一步的，如图3所示，机架100上在下菲林组件30和下光源组件70之间设有水平的安装板110，导板200、推板组件40和顶板组件50均安设在安装板110上；安装板110上设有若刚沿Z向延伸的导柱120，上菲林组件20架设在若干导柱120的上部并与其可拆卸固连，下菲林组件30架设在若干导柱120上并与其滑动连接。

本实用新型的工作过程是：两导板200配合将一基片导引至机架100内并处于上菲林组件20和下菲林组件30之间；基片到位后，若干推板组件40推动下菲林组件30上移，将下菲林板31贴靠在基片上，并将下菲林组件30推靠在上菲林组件20上；到位后，若干顶板组件50推动下菲林板31继续上移，并完全压靠在上菲林板21上，此时，基片被紧密贴在上菲林板21和下菲林板31之间；完成后，启动上光源组件60和下光源组件70，第三驱动装置61驱动上光源架63在菲林模块300上方沿X向移动，第四驱动装置71驱动下光源架73在菲林模块300下方沿X向移动，二者同步运行对菲林板和基片进行转印曝光操作。

本实用新型通过将上菲林组件20设为固定结构，将下菲林组件30设为活动部件，工作时只需移动下菲林组件30即可实现上菲林板21、基片和下菲林板31的压紧配合，可避免机构相对移动错位导致的基片转印线路歪斜、边界模糊的问题，且传动结构简单，机构成本较低，降低曝光设备制造成本。

进一步的，如图4所示，上菲林组件20还包括可拆卸固设在若干导柱120上部的上定位板22，上定位板22的下端部设有两沿Y向延伸的上滑道23，两上滑道23间架设有上菲林板21，上定位板22的下端部在两上滑道23末端的旁侧设有上限位件。

进一步的，如图5所示，上定位板22上在上菲林板21的X向两侧还分别设有一翻转组件80，每个翻转组件80均包括可拆卸固设在上定位板22上的支座81，支座81上铰接有安装臂82，安装臂82与设在支座81上的第五驱动装置83传动连接并能在其驱动下旋转以靠近或远离上定位板22；安装臂82的端部设有第六驱动装置84和与其传动连接的转盘85，转盘85上设有铰接有翻转板86，翻转板86上设有与上滑道23适配的翻转滑道87，第六驱动装置84能驱动转盘85旋转，以带动翻转板86及其上的翻转滑道87同步旋转；安装臂82上还架设有第七驱动装置88，第七驱动装置88与一推杆89a传动连接，推杆89a与一拉杆89b铰接，拉杆89b可拆卸固设在翻转板86上，翻转板86能在第七驱动装置88的驱动下相对安装臂82旋转。

可以理解的是，由于大型菲林板一般比较重，翻转组件80的设置可在生产间隙对位置较高的上菲林板21进行辅助更换操作。

工作时，第五驱动装置83驱动安装臂82旋转，同时第六驱动装置84驱动转盘85旋转，带动翻转板86转动，同步地，第七驱动装置88通过拉杆89b拉住翻转板86，确保其转至与机架垂直并沿Y向延伸的位置。此时，每个翻转滑道87正好与每个上滑道23处于同一直线上。手动将上菲林板21从上滑道23内拉出并滑至置翻转滑道87上，借助第六驱动装置84和第七驱动装置88，可方便的辅助更换上菲林板21，降低操作人员的劳动强度。

在本实施例中，上滑道23和下滑道34的结构相同，并均与翻转滑道87适配；由于下菲林组件30位置较低，空间位置不便装设翻转组件80。在应用中，在使用需要和满足操作空间的情况下，也可在下菲林组件30上装设翻转组件80，以便更好下菲林板31。

进一步的，如图6所示，下菲林组件30还包括滑板32和下定位板33：滑板32水平架设在若干导柱120上；下定位板33平行架设在滑板32的上方，下定位板33的上端部设有两沿Y向延伸的下滑道34，两下滑道34间架设有下菲林板31，下定位板33的上端部在两下滑道34末端的旁侧设有下限位件。

可以理解的是，上限位件和下限位件可限制上菲林板21和下菲林板31在菲林模块300上的Y向坐标。该机构为常规现有技术，附图中未示出其具体结构。

进一步的，如图7所示，每个下滑道34均包括底板1和两列垂直装设在底板1上的限位辊轮2，两列限位辊轮2沿Z向排列，其间设有水平的撑板3，每个撑板3均与若干设在滑板32上的第八驱动装置4传动连接，并能在其驱动下在两列限位辊轮2间沿Z向移动；两撑板3间架设有下菲林板31。

进一步的，如图8所示，每个顶板组件50均包括设在安装板110上并设在下菲林板31的Z向下方并沿X向延伸的第九滑道53，每个第九滑道53上均设有第九滑块54，每个第九滑块54均与一第九驱动装置55传动连接并能在其驱动下在一第九滑道53上滑动；每个第九滑块53上均设有一第十驱动装置56和沿Y向延伸的第十滑道57，每个第十滑道57上均设有一第十滑块58，每个第十滑块58均与一第十驱动装置56传动连接并能在其驱动下在第十滑道57上滑动；每个第十滑块58上均设有第二驱动装置51和沿Z向延伸的第二滑道59，每个第二滑道59上均设有顶杆52。

在本实施例中，如图3所示，为确保将下菲林板31整个面完全贴靠在上菲林板21上，在下菲林板31的四个角的下方都装设了一个顶板组件50；同时，为了满足不同尺寸状况的顶压需要，在每个顶板组件上均设置了XY向的调节结构。工作时，第九驱动装置55可驱动第九滑块54带动顶杆52沿X向移动，第十驱动装置56可驱动第十滑块58带动顶杆52沿Y向移动，第二驱动装置51可驱动顶杆52沿Z向移动，以便顶住下菲林板31的适当位置处。

在本实施例中，第九驱动装置55、第十驱动装置56均为伺服电机，通过丝杠螺母传动副与滑块传动连接，第二驱动装置51为直线气缸。

进一步的，上菲林组件20与下菲林组件30之间还设有若干第一限位件500和第二限位件600，每个第一限位件500均能限定上菲林组件20与下菲林组件30的最小距离，每个第二限位件600均能限定上菲林组件20与下菲林组件30的最大距离。

进一步的，若干第一限位件500和第二限位件600上均设有传感器700，每个传感器700均与第一驱动装置41和第二驱动装置51电连接。

可以理解的是，第一限位件500和第二限位件600用于限定下菲林组件30的Z向位移，避免其顶坏基片、上菲林组件20，或压坏推板组件40。

以上并非对本实用新型的技术范围作任何限制，凡依据本实用新型技术实质对以上的实施例所作的任何修改、等同变化与修饰，均仍属于本实用新型的技术方案的范围内。

Claims (9)

1.一种双面曝光机的单向移动曝光机构，架设在双面曝光机的机架上，所述机架的X向两侧分别设有一导板，两所述导板呈直线排列并能导引一基片水平穿过所述机架；其特征在于，所述机架上在两所述导板之间设有菲林模块，所述菲林模块包括上菲林组件、下菲林组件、若干推板组件和若干顶板组件，所述菲林模块的Z向两侧设有光源模块，所述光源模块包括设在所述机架上的上光源组件和下光源组件，其中：

所述上菲林组件架设在所述机架上，包括水平设在两所述导板上方的上菲林板；

所述下菲林组件活动架设在所述机架上并设在所述上菲林组件的Z向正下方，包括水平设在所述上菲林板Z向正下方的下菲林板；

每个所述推板组件均包括设在所述机架上的第一驱动装置和与其传动连接的推板，每个所述推板均与所述下菲林组件传动连接并能推动其沿Z向移动，以远离或靠近所述上菲林组件；

每个所述顶板组件均包括第二驱动装置和与其传动连接并沿Z向延伸的顶杆，每个所述顶杆均能在一所述第二驱动装置的驱动下沿Z向移动以将所述下菲林板推靠在所述上菲林板上；

所述上光源组件架设在所述上菲林板的Z向上方，包括上光源架，所述上光源架与第三驱动装置传动连接并能在其驱动下在所述上菲林板的上方沿X向移动，以曝光所述上菲林板上的感光材料并转印到所述基片的上端面，所述上光源架上设有若干上光源；

所述下光源组件架设在所述下菲林板的Z向下方，包括下光源架，所述下光源架与第四驱动装置传动连接并能在其驱动下在所述下菲林板的下方沿X向移动，以曝光所述下菲林板上的感光材料并转印到所述基片的下端面，所述下光源架上设有若干下光源。

2.根据权利要求1所述的一种双面曝光机的单向移动曝光机构，其特征在于，所述机架上在所述下菲林组件和所述下光源组件之间设有水平的安装板，所述导板、推板组件和顶板组件均安设在所述安装板上；所述安装板上设有若刚沿Z向延伸的导柱，所述上菲林组件架设在若干所述导柱的上部并与其可拆卸固连，所述下菲林组件架设在若干所述导柱上并与其滑动连接。

3.根据权利要求2所述的一种双面曝光机的单向移动曝光机构，其特征在于，所述上菲林组件还包括可拆卸固设在若干所述导柱上部的上定位板，所述上定位板的下端部设有两沿Y向延伸的上滑道，两所述上滑道间架设有所述上菲林板，所述上定位板的下端部在两所述上滑道末端的旁侧设有上限位件。

4.根据权利要求3所述的一种双面曝光机的单向移动曝光机构，其特征在于，所述上定位板上在所述上菲林板的X向两侧还分别设有一翻转组件，每个所述翻转组件均包括可拆卸固设在所述上定位板上的支座，所述支座上铰接有安装臂，所述安装臂与设在所述支座上的第五驱动装置传动连接并能在其驱动下旋转以靠近或远离所述上定位板；所述安装臂的端部设有第六驱动装置和与其传动连接的转盘，所述转盘上设有铰接有翻转板，所述翻转板上设有与所述上滑道适配的翻转滑道，所述第六驱动装置能驱动所述转盘旋转，以带动所述翻转板及其上的所述翻转滑道同步旋转；所述安装臂上还架设有第七驱动装置，所述第七驱动装置与一推杆传动连接，所述推杆与一拉杆铰接，所述拉杆可拆卸固设在所述翻转板上，所述翻转板能在所述第七驱动装置的驱动下相对所述安装臂旋转。

5.根据权利要求2所述的一种双面曝光机的单向移动曝光机构，其特征在于，所述下菲林组件还包括滑板和下定位板：所述滑板水平架设在若干所述导柱上；所述下定位板平行架设在所述滑板的上方，所述下定位板的上端部设有两沿Y向延伸的下滑道，两所述下滑道间架设有所述下菲林板，所述下定位板的上端部在两所述下滑道末端的旁侧设有下限位件。

6.根据权利要求5所述的一种双面曝光机的单向移动曝光机构，其特征在于，每个所述下滑道均包括底板和两列垂直装设在所述底板上的限位辊轮，两列所述限位辊轮沿Z向排列，其间设有水平的撑板，每个所述撑板均与若干设在所述滑板上的第八驱动装置传动连接，并能在其驱动下在两列所述限位辊轮间沿Z向移动；两所述撑板间架设有所述下菲林板。

7.根据权利要求2所述的一种双面曝光机的单向移动曝光机构，其特征在于，每个所述顶板组件均包括设在所述安装板上并设在所述下菲林板Z向下方并沿X向延伸的第九滑道，每个所述第九滑道上均设有第九滑块，每个所述第九滑块均与一第九驱动装置传动连接并能在其驱动下在一所述第九滑道上滑动；每个所述第九滑块上均设有一第十驱动装置和沿Y向延伸的第十滑道，每个所述第十滑道上均设有一第十滑块，每个所述第十滑块均与一所述第十驱动装置传动连接并能在其驱动下在所述第十滑道上滑动；每个所述第十滑块上均设有所述第二驱动装置和沿Z向延伸的第二滑道，每个所述第二滑道上均设有所述顶杆。

8.根据权利要求1所述的一种双面曝光机的单向移动曝光机构，其特征在于，所述上菲林组件与所述下菲林组件之间还设有若干第一限位件和第二限位件，每个所述第一限位件均能限定所述上菲林组件与所述下菲林组件的最小距离，每个所述第二限位件均能限定上菲林组件与所述下菲林组件的最大距离。

9.根据权利要求8所述的一种双面曝光机的单向移动曝光机构，其特征在于，若干所述第一限位件和所述第二限位件上均设有传感器，每个所述传感器均与所述第一驱动装置和第二驱动装置电连接。