CN219513045U - 一种适应夹持型扫描电镜样品台 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种适应性夹具，公开了一种适应夹持型扫描电镜样品台，包括夹具台，夹具台两侧固定连接有第一固定杆，第一固定杆上滑动连接有两组对称设置的第一滑块，第一滑块之间固定连接有滑槽，滑槽内滑动连接有多组均与分布的第二滑块，第二滑块一侧穿过滑槽固定连接有移动架，移动架内固定连接有滑动定位筒，滑动定位筒内滑动连接有滑动连杆，滑动连杆的一端固定连接有伸缩块，本实用新型通过对多组夹持块的夹持高度与夹持深度进行适应性调节，从而根据样品形状的不同，实现对夹持块的适应性贴合夹持，同时本实用新型可对多组夹持块之间的间距进行同步调节，从而实现对夹持点的等距分布，从而提升装置对样品夹持的稳定性。

Description

一种适应夹持型扫描电镜样品台

技术领域

本实用新型涉及一种适应性夹具，具体是一种适应夹持型扫描电镜样品台。

背景技术

在硬质电路板行业高速发展的前提下，对微型钻头产品的品质的要求也越来越高，包括钻尖粗糙度，切削刃的完整性以及钻尖重合性；涂层产品的涂层厚度，涂层结构和涂层成分等信息。这些信息目前常用的分析手段是扫描电子显微镜加能谱仪，扫描电子显微镜的电子束是通过电磁透镜聚焦的。

现有技术中的样品台是一个带孔的圆盘，插入后观察，这样的方式虽然放置样品时省时，但若不用导电胶固定，工作距离小的时候，电磁透镜会吸附样品，损坏电镜，若用导电胶固定，导电胶在高速离子的冲击下释放气体，带来的样品污染，无法拍摄出更高质量的图片，且更难保证样品高度的一致性，检测可靠性欠佳，若是采用机械夹持工装固定，但由于现有样品规格，大小形状的不同，现有的机械夹持工装无法进行适应性夹持，从而需要根据样品的不同对夹具进行更换，降低了工作效率。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种适应夹持型扫描电镜样品台，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种适应夹持型扫描电镜样品台，包括夹具台，夹具台两侧固定连接有第一固定杆，第一固定杆上滑动连接有两组对称设置的第一滑块，第一滑块之间固定连接有滑槽，滑槽内滑动连接有多组均与分布的第二滑块，第二滑块一侧穿过滑槽固定连接有移动架，移动架内固定连接有滑动定位筒，滑动定位筒内滑动连接有滑动连杆，滑动连杆的一端固定连接有伸缩块，伸缩块上固定杆连接有连接杆，连接杆两端连接有两组相互转动连接的铰接块，铰接块与连接杆转动连接的同时相互滑动连接，所述铰接块一侧转动连接有绞合杆，所述连接杆两端固定连接有第二连接架，第二连接架之间固定连接有第二固定杆，第二固定杆上滑动连接有滑动块，滑动块一侧螺纹连接有紧固螺栓，滑动块另一侧固定连接有夹持块，还包括：连接在夹具台之间用于驱动两组夹持块进行开合的第一驱动组件，以及连接在移动架上用于驱动夹持块进行适应性贴合的第二驱动组件。

作为本实用新型进一步的方案：所述夹具台上固定连接有安装柱。

作为本实用新型进一步的方案：所述第一驱动组件包括固定连接在夹具台两侧的安装架，安装架之间转动连接有双头丝杠，双头丝杠两端螺纹连接有第二驱动块，第二驱动块两侧固定连接在第一滑块上。

作为本实用新型进一步的方案：所述双头丝杠一端穿过安装架固定连接有摇柄。

作为本实用新型进一步的方案：所述第二驱动组件包括转动连接在移动架上的螺杆，螺杆上螺纹连接有第一驱动块，第一驱动块上固定连接有第一连接架，第一连接架固定连接在滑动连杆上。

作为本实用新型再进一步的方案：所述螺杆上固定连接有旋钮。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型通过对多组夹持块的夹持高度与夹持深度进行适应性调节，从而根据样品形状的不同，实现对夹持块的适应性贴合夹持，同时本实用新型可对多组夹持块之间的间距进行同步调节，从而实现对夹持点的等距分布，从而提升装置对样品夹持的稳定性。

附图说明

图1为本实用新型中一种适应夹持型扫描电镜样品台的结构示意图。

图2为本实用新型中一种适应夹持型扫描电镜样品台的俯视图。

图3为本实用新型中一种适应夹持型扫描电镜样品台的截面图。

图4为本实用新型中一种适应夹持型扫描电镜样品台的剖面图。

图中：1-夹具台、2-安装柱、3-第一固定杆、4-第一滑块、5-滑槽、6-第二滑块、7-移动架、8-滑动定位筒、9-滑动连杆、10-第一连接架、11-螺杆、12-第一驱动块、13-旋钮、14-伸缩块、15-连接杆、16-铰接块、17-绞合杆、18-第二连接架、19-第二固定杆、20-滑动块、21-紧固螺栓、22-夹持块、23-安装架、24-双头丝杠、25-第二驱动块、26-摇柄。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

参阅图1～4，本实用新型实施例中，一种适应夹持型扫描电镜样品台，包括夹具台1，夹具台1两侧固定连接有第一固定杆3，第一固定杆3上滑动连接有两组对称设置的第一滑块4，第一滑块4之间固定连接有滑槽5，滑槽5内滑动连接有多组均与分布的第二滑块6，第二滑块6一侧穿过滑槽5固定连接有移动架7，移动架7内固定连接有滑动定位筒8，滑动定位筒8内滑动连接有滑动连杆9，滑动连杆9的一端固定连接有伸缩块14，伸缩块14上固定杆连接有连接杆15，连接杆15两端连接有两组相互转动连接的铰接块16，铰接块16与连接杆15转动连接的同时相互滑动连接，所述铰接块16一侧转动连接有绞合杆17，所述连接杆15两端固定连接有第二连接架18，第二连接架18之间固定连接有第二固定杆19，第二固定杆19上滑动连接有滑动块20，滑动块20一侧螺纹连接有紧固螺栓21，滑动块20另一侧固定连接有夹持块22，还包括：连接在夹具台1之间用于驱动两组夹持块22进行开合的第一驱动组件，以及连接在移动架7上用于驱动夹持块22进行适应性贴合的第二驱动组件，本实用新型首先通过第一驱动组件带动滑槽5进行移动，滑槽5通过第二滑块6带动夹持块22进行同步移动，从而对放置在夹具台1上的样品进行夹持固定，并且装置可通过滑动块20与第二固定杆19的滑动连接对夹持块22的高度进行适应性调节，调节完成后再通过紧固螺栓21对夹持块22的高度进行固定，之后再通过第二驱动组件滑动连杆9进行伸缩，滑动连杆9通过伸缩块14带动夹持块22进行伸缩，从而对夹块的夹持深度进行适应性调节，并且装置还可通过铰接块16与绞合杆17的设置实现对多组夹持块22之间的间距的同步调节，从而实现对夹持点的等距分布，从而提升装置对样品夹持的稳定性。

在本实施例的一种情况中，请参阅图1～4，所述夹具台1上固定连接有安装柱2，本实用新型通过安装柱2的设置对装置整体进行安装固定。

在本实施例的一种情况中，请参阅图1～4，所述第一驱动组件包括固定连接在夹具台1两侧的安装架23，安装架23之间转动连接有双头丝杠24，双头丝杠24两端螺纹连接有第二驱动块25，第二驱动块25两侧固定连接在第一滑块4上，所述双头丝杠24一端穿过安装架23固定连接有摇柄26，所述第一驱动组件通过摇动摇柄26带动双头丝杠24进行旋转，双头丝杠24通过与第二驱动块25的螺纹连接带动两组第二驱动块25进行相向运动，第二驱动块25通过第一滑块4带动滑槽5进行移动。

在本实施例的一种情况中，请参阅图1～4，所述第二驱动组件包括转动连接在移动架7上的螺杆11，螺杆11上螺纹连接有第一驱动块12，第一驱动块12上固定连接有第一连接架10，第一连接架10固定连接在滑动连杆9上，所述螺杆11上固定连接有旋钮13，所述第二驱动组件通过旋紧旋钮13带动螺杆11进行旋转，螺杆11通过与第一驱动块12的螺纹连接带动第一驱动块12进行移动，第一驱动块12通过第一连接架10带动滑动连杆9进行伸缩。

本实用新型的工作原理是：本实用新型首先通过摇动摇柄26带动双头丝杠24进行旋转，双头丝杠24通过与第二驱动块25的螺纹连接带动两组第二驱动块25进行相向运动，第二驱动块25通过第一滑块4带动滑槽5进行移动，滑槽5通过第二滑块6带动夹持块22进行同步移动，从而对放置在夹具台1上的样品进行夹持固定，并且装置可通过滑动块20与第二固定杆19的滑动连接对夹持块22的高度进行适应性调节，调节完成后再通过紧固螺栓21对夹持块22的高度进行固定，之后再通过旋紧旋钮13带动螺杆11进行旋转，螺杆11通过与第一驱动块12的螺纹连接带动第一驱动块12进行移动，第一驱动块12通过第一连接架10带动滑动连杆9进行伸缩，滑动连杆9通过伸缩块14带动夹持块22进行伸缩，从而对夹块的夹持深度进行适应性调节，并且装置还可通过铰接块16与绞合杆17的设置实现对多组夹持块22之间的间距的同步调节，从而实现对夹持点的等距分布，从而提升装置对样品夹持的稳定性。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种适应夹持型扫描电镜样品台，包括夹具台，其特征在于，夹具台两侧固定连接有第一固定杆，第一固定杆上滑动连接有两组对称设置的第一滑块，第一滑块之间固定连接有滑槽，滑槽内滑动连接有多组均与分布的第二滑块，第二滑块一侧穿过滑槽固定连接有移动架，移动架内固定连接有滑动定位筒，滑动定位筒内滑动连接有滑动连杆，滑动连杆的一端固定连接有伸缩块，伸缩块上固定杆连接有连接杆，连接杆两端连接有两组相互转动连接的铰接块，铰接块与连接杆转动连接的同时相互滑动连接，所述铰接块一侧转动连接有绞合杆，所述连接杆两端固定连接有第二连接架，第二连接架之间固定连接有第二固定杆，第二固定杆上滑动连接有滑动块，滑动块一侧螺纹连接有紧固螺栓，滑动块另一侧固定连接有夹持块，还包括：连接在夹具台之间用于驱动两组夹持块进行开合的第一驱动组件，以及连接在移动架上用于驱动夹持块进行适应性贴合的第二驱动组件。

2.根据权利要求1所述的一种适应夹持型扫描电镜样品台，其特征在于，所述夹具台上固定连接有安装柱。

3.根据权利要求1所述的一种适应夹持型扫描电镜样品台，其特征在于，所述第一驱动组件包括固定连接在夹具台两侧的安装架，安装架之间转动连接有双头丝杠，双头丝杠两端螺纹连接有第二驱动块，第二驱动块两侧固定连接在第一滑块上。

4.根据权利要求3所述的一种适应夹持型扫描电镜样品台，其特征在于，所述双头丝杠一端穿过安装架固定连接有摇柄。

5.根据权利要求1所述的一种适应夹持型扫描电镜样品台，其特征在于，所述第二驱动组件包括转动连接在移动架上的螺杆，螺杆上螺纹连接有第一驱动块，第一驱动块上固定连接有第一连接架，第一连接架固定连接在滑动连杆上。

6.根据权利要求5所述的一种适应夹持型扫描电镜样品台，其特征在于，所述螺杆上固定连接有旋钮。