CN219508007U - 一种真空镀膜机用悬挂架 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种真空镀膜机用悬挂架，包括设置对向设置在旋转轴外侧两个结构一致的半圆环，所述半圆环上均设置有安装立柱，两个所述半圆环内部均固定连接有U形安装板，其中一个所述U形安装板固定连接有固定夹持块，所述固定夹持块上设置有与所述旋转轴仿形的半圆槽，另一个所述U形安装板水平滑动连接有移动夹持块，所述移动夹持块上也设置有与所述旋转轴仿形的半圆槽，所述移动夹持块与所述U形安装板之间设置有平移机构，所述U形安装架与所述平移机构之间还设置有锁紧机构。本实用新型具有结构简单，便于调整间距，空间利用率高的优点。

Description

一种真空镀膜机用悬挂架

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，特别是涉及一种真空镀膜机用悬挂架。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积，离子束溅射等很多种，主要思路是分成蒸发和溅射两种。

真空镀膜机中用于放置工件的悬挂架大都与旋转主轴固定安装，且间距大都一致，两个悬挂架之间不能够根据不同工件的高度而调整之间的距离，这样容易导致，过大的工件无法防止，或者是较小工件放置完成后存在空间浪费，空间利用率低，整体使用效率低下的问题。

发明内容

针对上述现有技术的不足，本专利申请所要解决的技术问题是如何提供一种结构简单，便于调整间距，空间利用率高的真空镀膜机用悬挂架。

为了解决上述技术问题，本实用新型采用了如下的技术方案：

一种真空镀膜机用悬挂架，包括设置对向设置在旋转轴外侧两个结构一致的半圆环，所述半圆环上均设置有安装立柱，两个所述半圆环内部均固定连接有U形安装板，其中一个所述U形安装板固定连接有固定夹持块，所述固定夹持块上设置有与所述旋转轴仿形的半圆槽，另一个所述U形安装板水平滑动连接有移动夹持块，所述移动夹持块上也设置有与所述旋转轴仿形的半圆槽，所述移动夹持块与所述U形安装板之间设置有平移机构，所述U形安装架与所述平移机构之间还设置有锁紧机构。

在使用时，将两个半圆环及其上结构实现连接，使得两个半圆环形成一个整圆，形成悬挂架整体，其上的安装立柱可以放置或者悬挂工件，固定夹持块紧贴旋转轴侧面，平移机构带动移动夹持块压紧在旋转轴侧面，并用锁紧机构对平移机构的锁紧，使组成的悬挂架整体能够实现与旋转轴同轴且随着旋转轴而旋转，实现对其上的工件均匀镀膜的效果，当需要调节上下两个悬挂架整体的间距时，只需要解锁锁紧机构，并控制平移机构带动移动夹持块远离旋转轴，解除移动夹持块对旋转轴的夹紧，悬挂架整体能够上下运动，进而完成高度调节，期间固定夹持块可紧贴旋转轴侧面进行运动，保障悬挂架整体与旋转轴的同轴度；本实用新型方案设计两个半圆环及其上各部分的目的在于可以通过连接或解除两个半圆环的连接，实现在整机已完成装配且投入生产的前提下，完成对旋转轴上悬挂架整体数量的增加与减少，无需进行拆机，方便实惠。

作为优化，所述U形安装板上水平设置有凹槽，所述移动夹持块包括夹持部和导向部，所述导向部设置在所述凹槽内。

这样，能够为平移机构带动移动夹持块的移动提供导向，保障完成对旋转轴夹持后的整体同轴度，避免出现偏移。

作为优化，所述平移机构包括平行设置的两个导向杆，两个所述导向杆一端与所述导向部连接，另一端通过连接板实现连接，两个所述导向杆之间还设置有螺杆，所述螺杆通过轴承分别与所述安装部和所述连接板实现连接，所述凹槽沿所述导向部移动方向的侧壁上设置有供所述导向杆和螺杆穿过的穿孔，供所述螺杆穿过的穿孔位置固定安装有螺母，所述螺母与所述螺杆配合连接，所述螺杆还与旋钮同轴连接。

这样，通过旋转旋钮，实现对螺杆的旋转，螺杆在螺母的配合作用下，能够实现水平运动，继而带动其上的移动夹持块完成水平运动，实现对旋转轴的夹持与松开，导向杆能够起到辅助导向的作用。

作为优化，所述锁紧机构包括设置在所述U形安装板上得到夹轴器，所述夹轴器与所述导向杆同轴设置。

这样，当平移机构带动移动夹持块完成对旋转轴的夹紧后，可以通过夹轴器完成对导向杆的夹紧，起到辅助锁紧的作用，避免在镀膜过程中误触旋钮使得螺杆反转导致的移动夹持块松开，进而悬挂架整体脱落的事故发生。

作为优化，所述导向部与所述连接板正对的表面上固定安装有轴套，所述导向杆通过螺栓与所述轴套实现连接。

这样，便于实现导向杆与整体的装配。

综上，本实用新型具有结构简单，便于调整间距，空间利用率高的优点。

附图说明

图1为本实用新型所述的一种真空镀膜机用悬挂架的结构示意图。

图2为本实用新型所述的一种真空镀膜机用悬挂架的拆分结构示意图。

图3为图2中移动夹持块与平移机构的配合示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步的详细说明。在本实用新型的描述中，需要理解的是，方位词如“上、下”和“顶、底”等所指示的方位或位置关系通常是基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，在未作相反说明的情况下，这些方位词并不指示和暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位或者以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型保护范围的限制；方位词“内、外”是指相对于各部件本身的轮廓的内外。

如图1-3所示，一种真空镀膜机用悬挂架，包括设置对向设置在旋转轴1外侧两个结构一致的半圆环11，所述半圆环11上均设置有安装立柱12，两个所述半圆环11内部均固定连接有U形安装板13，其中一个所述U形安装板13固定连接有固定夹持块14，所述固定夹持块14上设置有与所述旋转轴1仿形的半圆槽，另一个所述U形安装板13水平滑动连接有移动夹持块15，所述移动夹持块15上也设置有与所述旋转轴1仿形的半圆槽，所述移动夹持块15与所述U形安装板13之间设置有平移机构，所述U形安装架13与所述平移机构之间还设置有锁紧机构。

在使用时，将两个半圆环及其上结构实现连接，使得两个半圆环形成一个整圆，形成悬挂架整体，其上的安装立柱可以放置或者悬挂工件，固定夹持块紧贴旋转轴侧面，平移机构带动移动夹持块压紧在旋转轴侧面，并用锁紧机构对平移机构的锁紧，使组成的悬挂架整体能够实现与旋转轴同轴且随着旋转轴而旋转，实现对其上的工件均匀镀膜的效果，当需要调节上下两个悬挂架整体的间距时，只需要解锁锁紧机构，并控制平移机构带动移动夹持块远离旋转轴，解除移动夹持块对旋转轴的夹紧，悬挂架整体能够上下运动，进而完成高度调节，期间固定夹持块可紧贴旋转轴侧面进行运动，保障悬挂架整体与旋转轴的同轴度；本实用新型方案设计两个半圆环及其上各部分的目的在于可以通过连接或解除两个半圆环的连接，实现在整机已完成装配且投入生产的前提下，完成对旋转轴上悬挂架整体数量的增加与减少，无需进行拆机，方便实惠。

本实施例中，所述U形安装板13上水平设置有凹槽16，所述移动夹持块15包括夹持部和导向部，所述导向部设置在所述凹槽16内。

这样，能够为平移机构带动移动夹持块的移动提供导向，保障完成对旋转轴夹持后的整体同轴度，避免出现偏移。

本实施例中，所述平移机构包括平行设置的两个导向杆17，两个所述导向杆17一端与所述导向部连接，另一端通过连接板18实现连接，两个所述导向杆17之间还设置有螺杆19，所述螺杆19通过轴承分别与所述安装部和所述连接板18实现连接，所述凹槽16沿所述导向部移动方向的侧壁上设置有供所述导向杆和螺杆穿过的穿孔，供所述螺杆穿过的穿孔位置固定安装有螺母2，所述螺母2与所述螺杆19配合连接，所述螺杆19还与旋钮21同轴连接。

这样，通过旋转旋钮，实现对螺杆的旋转，螺杆在螺母的配合作用下，能够实现水平运动，继而带动其上的移动夹持块完成水平运动，实现对旋转轴的夹持与松开，导向杆能够起到辅助导向的作用。

本实施例中，所述锁紧机构包括设置在所述U形安装板13上得到夹轴器22，所述夹轴器22与所述导向杆17同轴设置。

这样，当平移机构带动移动夹持块完成对旋转轴的夹紧后，可以通过夹轴器完成对导向杆的夹紧，起到辅助锁紧的作用，避免在镀膜过程中误触旋钮使得螺杆反转导致的移动夹持块松开，进而悬挂架整体脱落的事故发生。

本实施例中，所述导向部与所述连接板正对的表面上固定安装有轴套23，所述导向杆17通过螺栓与所述轴套23实现连接。

这样，便于实现导向杆与整体的装配。

原理：

将两个半圆环及其上结构实现连接，使得两个半圆环形成一个整圆，形成悬挂架整体，其上的安装立柱可以放置或者悬挂工件，固定夹持块紧贴旋转轴侧面，旋转旋钮带动螺杆转动，在螺母得到配合下实现水平移动，进而带动移动夹持块压紧在旋转轴侧面，并用夹轴器完成对导向杆的锁紧，使组成的悬挂架整体能够实现与旋转轴同轴且随着旋转轴而旋转，实现对其上的工件均匀镀膜的效果，当需要调节上下两个悬挂架整体的间距时，只需要解锁夹轴器，并反向旋转旋钮，带动移动夹持块远离旋转轴，解除移动夹持块对旋转轴的夹紧，悬挂架整体能够上下运动，进而完成高度调节。

最后应说明的是：本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等统计数的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型。

Claims (5)

1.一种真空镀膜机用悬挂架，其特征在于，包括设置对向设置在旋转轴外侧两个结构一致的半圆环，所述半圆环上均设置有安装立柱，两个所述半圆环内部均固定连接有U形安装板，其中一个所述U形安装板固定连接有固定夹持块，所述固定夹持块上设置有与旋转轴仿形的半圆槽，另一个所述U形安装板水平滑动连接有移动夹持块，所述移动夹持块上也设置有与所述旋转轴仿形的半圆槽，所述移动夹持块与所述U形安装板之间设置有平移机构，所述U形安装板与所述平移机构之间还设置有锁紧机构。

2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机用悬挂架，其特征在于，所述U形安装板上水平设置有凹槽，所述移动夹持块包括夹持部和导向部，所述导向部设置在所述凹槽内。

3.根据权利要求2所述的一种真空镀膜机用悬挂架，其特征在于，所述平移机构包括平行设置的两个导向杆，两个所述导向杆一端与所述导向部连接，另一端通过连接板实现连接，两个所述导向杆之间还设置有螺杆，所述螺杆通过轴承分别与所述导向部和所述连接板实现连接，所述凹槽沿所述导向部移动方向的侧壁上设置有供所述导向杆和螺杆穿过的穿孔，供所述螺杆穿过的穿孔位置固定安装有螺母，所述螺母与所述螺杆配合连接，所述螺杆还与旋钮同轴连接。

4.根据权利要求3所述的一种真空镀膜机用悬挂架，其特征在于，所述锁紧机构包括设置在所述U形安装板上得到夹轴器，所述夹轴器与所述导向杆同轴设置。

5.根据权利要求3所述的一种真空镀膜机用悬挂架，其特征在于，所述导向部与所述连接板正对的表面上固定安装有轴套，所述导向杆通过螺栓与所述轴套实现连接。