CN219470167U - 一种气路结构 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及气路技术领域，公开了一种气路结构。本实用新型的气路结构，包括：气路板和第一密封板，气路板的表面设有第一矩形凹槽，且在第一矩形凹槽内设有第一气路槽，气路板的侧壁设有第一进气孔，另一侧设有多个第一出气孔，第一进气孔和第一出气孔分别与第一气路槽相连通，第一密封板设置在气路板上，密封第一矩形凹槽和第一气路槽。本实用新型的气路结构，在气路板上设置第一气路槽，在第一气路槽的起点设置第一进气孔，终点设置多个第一出气孔，第一气路槽通过第一密封板密封。气体自第一进气孔进入到气路板的第一气路槽，从多个第一出气孔输出，分别给多个目标终端供气，气路设置方便，且极大的节省安装空间。

Description

一种气路结构

技术领域

本实用新型实施例涉及气路技术领域，具体涉及一种气路结构。

背景技术

气路管用于输送气体，将气体从储罐送入到需要的目标终端。

对于压力较低的气体，气路管一般采用软管，而对于输送到真空镀膜腔体内压力较大的气体，则需采用硬质的钢管输送。

本申请的发明人发现，生产中输送到真空镀膜腔体内的高压气体，气路管长、气路的出口多，使得气路管的焊接位置多，焊接难度大，且气路管占用的空间也大，不方便气路的安装设置。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种气路结构，方便气路的设置，以解决上述背景技术中的问题。

本实用新型实施例提供一种气路结构，包括：气路板和第一密封板；

所述气路板为方形板；

所述气路板的表面设有第一矩形凹槽，且所述气路板在所述第一矩形凹槽内设有第一气路槽；

所述气路板的侧壁设有第一进气孔，所述气路板的另一侧设有多个第一出气孔，所述第一进气孔和多个所述第一出气孔分别与所述第一气路槽相连通；

所述第一密封板设置在所述气路板上，用于密封所述第一矩形凹槽和所述第一气路槽。

基于上述方案可知，本实用新型的气路结构，通过设置气路板和第一密封板，气路板的表面设有第一矩形凹槽，气路板在第一矩形凹槽内设有第一气路槽，气路板设有第一进气孔和多个第一出气孔，第一进气孔和第一出气孔分别与第一气路槽相连通，第一密封板设置在气路板上，用于密封第一矩形凹槽和第一气路槽。本实用新型的气路结构，在气路板上设置第一气路槽，在第一气路槽的起点设置第一进气孔，终点设置多个第一出气孔，第一气路槽通过第一密封板密封。气体自第一进气孔进入到气路板的第一气路槽，从多个第一出气孔输出，分别给多个目标终端供气，气路设置方便，且极大的节省安装空间。

在一种可行的方案中，所述第一气路槽设有多级；

多级的所述第一气路槽呈宝塔形设置，每级的所述第一气路槽设有两个出口和一个进口，两个所述出口到所述进口的距离相同；

所述第一进气孔与所述第一气路槽的顶端相连通；

多个所述第一出气孔分别与所述第一气路槽的底端相连通。

在一种可行的方案中，所述气路板设有多个螺纹孔；

所述第一密封板设有固定孔，使所述第一密封板通过连接螺栓固定在所述螺纹孔上。

在一种可行的方案中，所述第一密封板设有限位凸块；

所述气路板在所述第一矩形凹槽内设有限位卡槽，所述限位卡槽用于供所述限位凸块嵌入。

在一种可行的方案中，所述限位卡槽内设有密封胶条，所述密封胶条用于与所述限位凸块相抵持。

在一种可行的方案中，所述第一密封板在所述限位凸块的内侧设有密封垫，所述密封垫用于与所述气路板相抵持。

在一种可行的方案中，所述第一进气孔上设有气体接头。

在一种可行的方案中，所述气路板和所述第一密封板的材质为不锈钢或铝合金。

在一种可行的方案中，还包括：第二密封板；

所述气路板的另一表面设有第二矩形凹槽，且所述气路板在所述第二矩形凹槽内设有第二气路槽；

所述气路板的侧壁设有第二进气孔，所述气路板的另一侧设有多个第二出气孔，所述第二进气孔和多个所述第二出气孔分别与所述第二气路槽相连通；

所述第二密封板设置在所述气路板上，用于密封所述第二矩形凹槽和所述第二气路槽。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例中的气路结构的示意图；

图2为本实用新型实施例中的气路板的正面示意图；

图3为本实用新型实施例中的气路板的正面另一角度示意图；

图4为本实用新型实施例中的图3中的A处的放大图；

图5为本实用新型实施例中的第一气路槽的路径示意图；

图6为本实用新型实施例中的第一密封板的示意图；

图7为本实用新型实施例中的图6中的B处的放大图；

图8为本实用新型实施例中的气路板的背面示意图；

图9为本实用新型实施例中的图8中的C处的放大图。

图中标号：

1、气路板；11、第一矩形凹槽；111、第二矩形凹槽；12、第一气路槽；121、第二气路槽；13、第一进气孔；131、第二进气孔；14、第一出气孔；141、第二出气孔；15、螺纹孔；16、限位卡槽；2、第一密封板；21、固定孔；22、限位凸块。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，也可以是成一体；可以是机械连接，也可以是电连接，也可以是通讯连接；可以是直接连接，也可以通过中间媒介的间接连接，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

下面以具体地实施例对本实用新型的技术方案进行详细说明。下面这几个具体的实施例可以相互结合，对于相同或相似的概念或过程可能在某些实施例不再赘述。

如本申请背景技术中的描述，对于压力较低的气体，气路管一般采用软管，而对于输送到真空镀膜腔体内压力较大的气体，则需采用硬质的钢管输送。

本申请的发明人发现，生产中输送到真空镀膜腔体内的高压气体，气路管长、气路的出口多，使得气路管的焊接位置多，焊接难度和工作量大，且气路管占用的空间也大，气路的安装设置不方便。

为了解决上述问题，本申请发明人提出了本申请的技术方案，具体实施例如下：

图1为本实用新型实施例中的气路结构的示意图，图2为本实用新型实施例中的气路板的正面示意图，图3为本实用新型实施例中的气路板的正面另一角度示意图，图4为本实用新型实施例中的图3中的A处的放大图，图5为本实用新型实施例中的第一气路槽的路径示意图，图6为本实用新型实施例中的第一密封板的示意图，图7为本实用新型实施例中的图6中的B处的放大图，图8为本实用新型实施例中的气路板的背面示意图，图9为本实用新型实施例中的图8中的C处的放大图。如图1至图9所示，本实施例的气路结构，包括：气路板1和第一密封板2。

气路板1为方形板，呈长条的长方体形。

气路板1的一侧表面(正面)上设有第一矩形凹槽11，且气路板1在第一矩形凹槽11的底面上设有第一气路槽12。

气路板1在长度方向的一侧侧壁设有第一进气孔13，第一进气孔13通过内部通道与气路板1的第一气路槽12相连通。气路板1的第一进气孔13通过连接管路与外部高压气源连接。

气路板1的表面上沿长度方向间隔的设有多个第一出气孔14，多个第一出气孔14分别与气路板1的第一气路槽12相连通，且第一出气孔14与第一进气孔13分别位于第一矩形凹槽11的两侧。

第一密封板2设置在气路板1的表面上，第一密封板2将气路板1的第一矩形凹槽11和第一气路槽12密封，气路板1的第一气路槽12供气体通过。

通过上述内容不难发现，本实施例的气路结构，通过设置气路板和第一密封板，气路板的表面设有第一矩形凹槽，气路板在第一矩形凹槽内设有第一气路槽，气路板设有第一进气孔和多个第一出气孔，第一进气孔和第一出气孔分别与第一气路槽相连通，第一密封板设置在气路板上，用于密封第一矩形凹槽和第一气路槽。本实施例的气路结构，在气路板上设置第一气路槽，在第一气路槽的起点设置第一进气孔，终点设置多个第一出气孔，第一气路槽通过第一密封板密封。气体自第一进气孔进入到气路板的第一气路槽，从多个第一出气孔输出，分别给多个目标终端供气，气路设置方便，且极大的节省安装空间。

可选的，如图2、图5所示，本实施例中的气路结构，第一气路槽12设有多级。

多级的第一气路槽12呈宝塔形设置，下一级的第一气路槽12与上一级的第一气路槽12相连通。每级的第一气路槽12设有两个出口和一个进口，每级的第一气路槽12的两个出口对称的设置在进口的两侧，即每级的第一气路槽12的两个出口到进口的距离相同。且上一级的第一气路槽12的出口即为下一级的第一气路槽12的进口，同一级的第一气路槽12不连通。

宝塔形的第一气路槽12的顶端(起点)与气路板1的第一进气孔13相连通。

多个第一出气孔14分别与宝塔形的第一气路槽1的最底端(终点)的出口相连通。

本实施例中，多个第一出气孔到第一进气孔的距离均相同，即气体从第一进气孔到各个第一出气孔行进的路程均相同，使得第一进气孔通气时，多个第一出气孔同时出气(供气)，满足设备的需求。

进一步的，本实施例中的气路结构，气路板1的表面上沿着第一矩形凹槽11的四周设有多个螺纹孔15。

第一密封板2设有多个固定孔21，多个固定孔21的位置与多个螺纹孔15的位置一一对应。连接螺栓穿过第一密封板2的固定孔21，并啮合在气路板1的螺纹孔15上，使第一密封板2固定在气路板1上，方便第一密封板2与气路板1的连接固定。

进一步的，本实施例中的气路结构，第一密封板2的底部设有环形的限位凸块22。

气路板1在第一矩形凹槽11内设有环形的限位卡槽16，第一密封板2的限位凸块22插入到气路板1的限位卡槽16内，使第一密封板2在气路板1上定位，更加方便第一密封板2与气路板1的连接固定。

进一步的，本实施例中的气路结构，气路板1在限位卡槽16内设有密封胶条(图中未画出)，第一密封板2的限位凸块22插入到气路板1的限位卡槽16内，并抵持在密封胶条上，使第一密封板2与气路板1之间更加的密封。

进一步的，本实施例中的气路结构，第一密封板2在限位凸块22内侧的底面上设有密封垫(图中未画出)。第一密封板2在固定时，第一密封板2的密封垫与气路板1的第一矩形凹槽11的底面相抵持，使得气路板1的第一气路槽11更加的密封，以防止气体泄漏。

可选的，本实施例中的气路结构，气路板1的第一进气孔13上设有气体接头(图中未画出)，方便第一进气孔13与外部高压气源的连接。

可选的，本实施例中的气路结构，气路板1和第一密封板2的材质为不锈钢或铝合金。

进一步的，如图8、图9所示，本实施例中的气路结构，还包括：第二密封板。

气路板1的另一表面(背面)设有第二矩形凹槽111，且气路板1在第二矩形凹槽111内设有第二气路槽121。

气路板1的一侧侧壁设有第二进气孔131，第二进气孔131通过内部通道与气路板1的第二气路槽121相连通。气路板1的第二进气孔131用于与外部气源连接。

气路板1的表面上设有多个第二出气孔141，多个第二出气孔141分别与气路板1的第二气路槽121相连通，且第二出气孔141与第二进气孔131分别位于第二矩形凹槽111的两侧。

第二密封板(图中未画出)设置在气路板1的表面(背面)上，第二密封板将气路板1的第二矩形凹槽111和第二气路槽121密封，气路板1的第二气路槽121供气体通过。

本实施例中，在气路板的背面设有第二气路槽，第二气路槽与第一气路槽相互独立。根据实际需要，第二气路槽与第一气路槽可以供同样的气体通过，也可以分别供两种不同的气体通过，增加了适用性和适应性。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一特征和第二特征直接接触，或第一特征和第二特征通过中间媒介间接接触。

而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可以是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度低于第二特征。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”或“一些示例”等的描述，意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任意一个或者多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围。

Claims (9)

1.一种气路结构，其特征在于，包括：气路板和第一密封板；

所述气路板为方形板；

所述气路板的表面设有第一矩形凹槽，且所述气路板在所述第一矩形凹槽内设有第一气路槽；

所述气路板的侧壁设有第一进气孔，所述气路板的另一侧设有多个第一出气孔，所述第一进气孔和多个所述第一出气孔分别与所述第一气路槽相连通；

所述第一密封板设置在所述气路板上，用于密封所述第一矩形凹槽和所述第一气路槽。

2.根据权利要求1所述的气路结构，其特征在于，所述第一气路槽设有多级；

多级的所述第一气路槽呈宝塔形设置，每级的所述第一气路槽设有两个出口和一个进口，两个所述出口到所述进口的距离相同；

所述第一进气孔与所述第一气路槽的顶端相连通；

多个所述第一出气孔分别与所述第一气路槽的底端相连通。

3.根据权利要求2所述的气路结构，其特征在于，所述气路板设有多个螺纹孔；

所述第一密封板设有固定孔，使所述第一密封板通过连接螺栓固定在所述螺纹孔上。

4.根据权利要求2所述的气路结构，其特征在于，所述第一密封板设有限位凸块；

所述气路板在所述第一矩形凹槽内设有限位卡槽，所述限位卡槽用于供所述限位凸块嵌入。

5.根据权利要求4所述的气路结构，其特征在于，所述限位卡槽内设有密封胶条，所述密封胶条用于与所述限位凸块相抵持。

6.根据权利要求4所述的气路结构，其特征在于，所述第一密封板在所述限位凸块的内侧设有密封垫，所述密封垫用于与所述气路板相抵持。

7.根据权利要求1所述的气路结构，其特征在于，所述第一进气孔上设有气体接头。

8.根据权利要求1所述的气路结构，其特征在于，所述气路板和所述第一密封板的材质为不锈钢或铝合金。

9.根据权利要求1至8中任意一项所述的气路结构，其特征在于，还包括：第二密封板；

所述气路板的另一表面设有第二矩形凹槽，且所述气路板在所述第二矩形凹槽内设有第二气路槽；

所述气路板的侧壁设有第二进气孔，所述气路板的另一侧设有多个第二出气孔，所述第二进气孔和多个所述第二出气孔分别与所述第二气路槽相连通；

所述第二密封板设置在所述气路板上，用于密封所述第二矩形凹槽和所述第二气路槽。