CN219434685U - 晶背检测装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开一种晶背检测装置，包括：固定支架、支撑架及观测件，支撑架可拆卸的安装在固定支架上，观测件可转动的安装在支撑架上。本实用新型提供的晶背检测装置，适用于在晶圆背面被研磨之后，通过观测件在微观层面检查研磨后的晶圆品质，可减少肉眼观察时的失误(如看不清、错看或漏看等)，提高产品良率；安装观测件的支撑架可拆卸，方便对观测件进行收纳、检修等。

Description

晶背检测装置

技术领域

本实用新型一般涉及半导体检测技术领域，具体涉及一种晶背检测装置。

背景技术

随着电子产品的功能需求越来越高，芯片的加工逐渐往“轻、薄、细长”化发展，需要采用研磨工艺将晶圆的背面减薄，在研磨之后通过手电筒和肉眼检查晶背是否有磨痕、脏污等问题。

而目前的检查方式主要是宏观层面检查晶圆背面的研磨效果，该方式无法能够准确检查出晶圆是否有肉眼不可见的脏污、异物或是磨痕等异常，宏观检查容易造成漏看、错看的问题。

实用新型内容

鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，期望提供一种晶背检测治具。

本实用新型实施例提供一种晶背检测装置，包括：

固定支架，

支撑架，可拆卸的安装在所述固定支架上；

观测件，可转动的安装在所述支撑架上。

在一些示例中，所述固定支架包括第一基座、第一滑轨和第一滑座，所述第一滑轨安装在所述第一基座上，所述第一滑座沿第一方向可滑动的安装在所述第一滑轨上，所述支撑架可拆卸的安装在所述第一滑座上，所述第一方向平行于水平方向。

在一些示例中，所述第一滑轨上设有多个第一定位孔，所述多个第一定位孔沿所述第一方向均匀间隔分布；所述第一滑座上设有两个定位销，所述两个定位销沿所述第一方向间隔分布；相邻两个所述第一定位孔的中心距与所述两个定位销的中心距一致，所述定位销的轴向与所述第一定位孔的轴向均沿竖向方向；在竖向方向上，所述定位销的两端均伸出所述第一滑座。

在一些示例中，所述支撑架包括第二基座，所述第二基座上设有两个第二定位孔，两个所述第二定位孔的中心距与所述两个定位销的中心距一致，所述第二基座安装在所述第一滑座背向所述第一滑轨的表面上，所述两个第二定位孔与所述两个定位销滑动连接。

在一些示例中，所述第一滑座的上表面设有第一导滑部；所述支撑架包括第二基座，所述第二基座上设有与所述第一导滑部相滑动连接的第二导滑部；

所述第一导滑部和所述第二导滑部之一为滑槽，另一为滑块。

在一些示例中，所述支撑架还包括第二滑轨、第二滑座以及连接组件，所述第二滑轨连接所述第二基座，所述第二滑座沿第二方向可滑动的安装在所述第二滑轨上，所述连接组件与所述第二滑座相连，所述第二方向平行于水平方向且所述第二方向与所述第一方向相垂直。

在一些示例中，所述连接组件包括顺次相连的第一连接座、第一连接轴、第二连接座、第二连接轴以及第三连接座；在竖向方向上，所述第一连接座连接在所述第二滑座的下方；所述第一连接轴的轴向沿竖向方向，所述第二连接轴的轴向平行于水平方向。

在一些示例中，所述观测件可转动连接于所述第三连接座，所述观测件的转动轴向沿所述第一方向。

在一些示例中，所述第一基座包括呈直角弯折连接的水平部和竖直部，所述第一滑座安装在所述水平部上，所述竖直部上设有安装通孔。

在一些示例中，所述观测件为显微镜。

本实用新型的实施例提供的技术方案可以包括以下有益效果：

本实用新型实施例提供的晶背检测装置，适用于在晶圆背面被研磨之后，通过观测件在微观层面检查研磨后的晶圆品质，可减少肉眼观察时的失误(如看不清、错看或漏看等)，提高产品良率；安装观测件的支撑架可拆卸，方便对观测件进行收纳、检修等。

附图说明

通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本实用新型的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1为本实用新型实施例提供的晶背检测装置的结构示意图；

图2为图1示例的晶背检测装置的部分分解示意图；

图3为本实用新型实施例提供的观测件及支撑架放置在收纳架上的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关实用新型，而非对该实用新型的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与实用新型相关的部分。

需要说明的是，在不冲突的情况下，本实用新型中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本实用新型。

如图1和图2所示，本实用新型实施例提供一种晶背检测装置，包括：固定支架1、支撑架2和观测件3；支撑架2可拆卸的安装在固定支架1上，观测件3可转动的安装在支撑架2上。

该实施例提供的晶背检测装置，适用于在晶圆背面被研磨之后，通过观测件3在微观层面检查研磨后的晶圆品质，能够减少肉眼观察时的失误(如看不清、错看或漏看等)，提高产品良率；安装观测件3的支撑架2可拆卸的安装在固定支架1上，方便对观测件3进行收纳、检修等。

在一些示例性实施例中，固定支架1包括第一基座11、第一滑轨12和第一滑座13，第一滑轨12安装在第一基座11上，第一滑座13沿第一方向A可滑动的安装在第一滑轨12上，支撑架2可拆卸的安装在第一滑座13上，第一方向A平行于水平方向。

该实施例中，晶背检测装置通过固定支架1安装到工作机台上，固定支架1中第一滑轨12在第一方向A上滑动连接于第一滑轨12，可带动支撑架2在第一方向A上移动，从而实现安装在支撑架2上的观测件3在第一方向A上移动。

在一些示例性实施例中，第一滑轨12上设有多个第一定位孔121，多个第一定位孔121沿第一方向A均匀间隔分布；第一滑座13上设有两个定位销131，两个定位销131沿第一方向A间隔分布；相邻两个第一定位孔121的中心距与两个定位销131的中心距一致，定位销131的轴向与第一定位孔121的轴向均沿竖向方向B；在竖向方向B上，定位销131的两端均伸出第一滑座13。

可以理解的是，第一滑座13上设有两个销孔，用于放置定位销131，定位销131的两端均伸出第一滑座13。当第一滑座13内未放置定位销131时，可以在第一方向A上相对第一滑座12移动第一滑座13；当定位销131经第一滑座13上的销孔对准第一滑轨12的相邻两个第一定位孔时，能够实现第一滑座13与第一滑轨12之间的固定。

在一些示例性实施例中，支撑架2包括第二基座21，第二基座21上设有两个第二定位孔，两个第二定位孔的中心距与两个定位销131的中心距一致，第二基座21安装在第一滑座13背向第一滑轨12的表面上，两个第二定位孔与两个定位销131滑动连接。

参照图2，定位销131一端伸出第一滑座13的下表面并伸入第一滑轨12上的第一定位孔内，将第一滑座13固定于第一滑轨12上；定位销131的另一端伸出第一滑座13的上表面，第二基座21经定位销131安装于第一滑座13上，这样方便从第一滑座13上拆装支撑架2和安装在支撑架2上的观测件3。因此，定位销131不仅起到固定第一滑座13的作用，还起到固定支撑架2的作用。

在一些示例性实施例中，第一滑座13的上表面设有第一导滑部；支撑架2包括第二基座21，第二基座21上设有与第一导滑部相滑动连接的第二导滑部；第一导滑部和第二导滑部之一为滑槽，另一为滑块。

该实施例中，除了利用定位销来实现第二基座21与第一滑座13之间的可拆卸连接，也可以通过滑动连接实现支撑架2的第二基座21与第一滑座13之间的可拆卸连接。可以理解的是，第二基座21与第一滑座13之间的可拆卸连接方式包括并不局限于此。

在一些示例性实施例中，支撑架2还包括第二滑轨22、第二滑座23以及连接组件，第二滑轨22连接第二基座21，第二滑座23沿第二方向C可滑动的安装在第二滑轨22上，连接组件与第二滑座23相连，第二方向C平行于水平方向且第二方向C与第一方向A相垂直。

该实施例中，支撑架2中第二滑座23带动连接组件在第二方向C上移动，而支撑架2可随第一滑座13在第一方向A上移动，从而在第一方向A以及第二方向C上调整观测件3的位置。

在一些示例性实施例中，连接组件包括顺次相连的第一连接座23、第一连接轴24、第二连接座25、第二连接轴26以及第三连接座27；在竖向方向B上，第一连接座23连接在第二滑座23的下方；第一连接轴24的轴向沿竖向方向B，第二连接轴26的轴向平行于水平方向。这样设置，连接组件通过轴向方向不同的第一连接轴24和第二连接轴26，能够利用比较的小的空间实现对观测件3的支撑。

由于支撑架2可拆卸的安装在固定支架1上，可将支撑架2连同安装在支撑架2上的观测件3从固定支架1上取下。参照图3，支撑架2连同安装在支撑架2上的观测件3放置到收纳架上，收纳架具有底板、设置在底板上相对的两个立柱4以及加强两个立柱4的稳固性的横板件，支撑架2的第二滑轨22支撑于两个立柱4上，从而通过收纳架实现对支撑架2及观测件3的支撑。

在一些示例性实施例中，观测件3可转动连接于第三连接座27，观测件3的转动轴向沿第一方向A。观测件3相对于第三连接座27可转动，能够调整观测件3的角度，从而更好地观察晶圆背面的研磨及脏污情况。

在一些示例性实施例中，第一基座11包括呈直角弯折连接的水平部111和竖直部112，第一滑座13安装在水平部111上，竖直部112上设有安装通孔113。通过第一基座11实现固定支架1在机台上的定位，固定支架1不随意拆卸，方便支撑架2和观测件3的安装。

在一些示例性实施例中，观测件3为显微镜，能够有效在微观层面观察晶圆背面的研磨、脏污情况，提升检测效果，从而提高产品的良率。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

本实用新型采用第一、第二等来描述各种信息，但这些信息不应局限于这些术语。这些术语仅用来将同一类型的信息彼此区分开。例如在不脱离本实用新型范围的情况下，第一信息也可以被称为第二信息，类似地，第二信息也可以被称为第一信息。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，还可以是两个元件内部的连通，可以是无线连接，也可以是有线连接。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

以上描述仅为本实用新型的较佳实施例以及对所运用技术原理的说明。本领域技术人员应当理解，本实用新型中所涉及的实用新型范围，并不限于上述技术特征的特定组合而成的技术方案，同时也应涵盖在不脱离实用新型构思的情况下，由上述技术特征或其等同特征进行任意组合而形成的其它技术方案。例如上述特征与本实用新型中公开的(但不限于)具有类似功能的技术特征进行互相替换而形成的技术方案。

Claims (8)

1.一种晶背检测装置，其特征在于，包括：

固定支架，所述固定支架包括第一基座、第一滑轨和第一滑座，所述第一滑轨安装在所述第一基座上，所述第一滑座沿第一方向可滑动的安装在所述第一滑轨上；

支撑架，可拆卸的安装在所述固定支架上，所述支撑架可拆卸的安装在所述第一滑座上，所述第一方向平行于水平方向，所述第一滑座上设有两个定位销，所述两个定位销沿所述第一方向间隔分布；

观测件，可转动的安装在所述支撑架上；

所述支撑架包括第二基座，所述第二基座上设有两个第二定位孔，两个所述第二定位孔的中心距与所述两个定位销的中心距一致，所述第二基座安装在所述第一滑座背向所述第一滑轨的表面上，所述两个第二定位孔与所述两个定位销滑动连接。

2.根据权利要求1所述的晶背检测装置，其特征在于，所述第一滑轨上设有多个第一定位孔，所述多个第一定位孔沿所述第一方向均匀间隔分布；相邻两个所述第一定位孔的中心距与所述两个定位销的中心距一致，所述定位销的轴向与所述第一定位孔的轴向均沿竖向方向；在竖向方向上，所述定位销的两端均伸出所述第一滑座。

3.根据权利要求2所述的晶背检测装置，其特征在于，所述第一滑座的上表面设有第一导滑部；所述支撑架包括第二基座，所述第二基座上设有与所述第一导滑部相滑动连接的第二导滑部；

所述第一导滑部和所述第二导滑部之一为滑槽，另一为滑块。

4.根据权利要求3所述的晶背检测装置，其特征在于，所述支撑架还包括第二滑轨、第二滑座以及连接组件，所述第二滑轨连接所述第二基座，所述第二滑座沿第二方向可滑动的安装在所述第二滑轨上，所述连接组件与所述第二滑座相连，所述第二方向平行于水平方向且所述第二方向与所述第一方向相垂直。

5.根据权利要求4所述的晶背检测装置，其特征在于，所述连接组件包括顺次相连的第一连接座、第一连接轴、第二连接座、第二连接轴以及第三连接座；在竖向方向上，所述第一连接座连接在所述第二滑座的下方；所述第一连接轴的轴向沿竖向方向，所述第二连接轴的轴向平行于水平方向。

6.根据权利要求5所述的晶背检测装置，其特征在于，所述观测件可转动连接于所述第三连接座，所述观测件的转动轴向沿所述第一方向。

7.根据权利要求1所述的晶背检测装置，其特征在于，所述第一基座包括呈直角弯折连接的水平部和竖直部，所述第一滑座安装在所述水平部上，所述竖直部上设有安装通孔。

8.根据权利要求1-7任一项所述的晶背检测装置，其特征在于，所述观测件为显微镜。