CN219416102U - 一种晶圆厚度检测工作站 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种晶圆厚度检测工作站，包括输送机构及检测箱，所述输送机构用于对晶圆进行依次输送，所述检测箱设置于输送机构的中间部位，用于对输送机构上的晶圆厚度进行检测，所述输送机构由两组平行分布的传送链组件构成，且两组传送链组件之间设置有多组等间距分布的、用于放置晶圆的承载结构。该一种晶圆厚度检测工作站，通过两组传送链组件的设置，使得两组传送链组件的输送链之间存在有间距，从而使得晶圆的上表面及底部均可以暴露出来，从而使得检测箱便于对晶圆的上下两侧进行检测，从而有利于对晶圆的厚度进行精确检测。

Description

一种晶圆厚度检测工作站

技术领域

本实用新型属于晶圆片厚度检测设备技术领域，尤其涉及一种晶圆厚度检测工作站。

背景技术

目前，随着集成电路(Integratedcircuit,IC)制造技术的不断发展，芯片特征尺寸越来越小，互连层数越来越多，晶圆直径也不断增大。要实现多层布线，晶圆表面必须具有极高的平整度、光滑度和洁净度，所以厚度检测设备尤为重要，这样才能减少不良的产生，提高有效产能。

传统的晶圆厚度测量以接触式人工测量为主，采用千分尺、千分表和电感测微仪等仪器，该种方式人工干预较多，降低了检测的效率及精度。

实用新型内容

本实用新型目的在于提供一种晶圆厚度检测工作站，以解决背景技术中所提出的技术问题。

为实现上述目的，本实用新型的具体技术方案如下：一种晶圆厚度检测工作站，包括输送机构及检测箱，所述输送机构用于对晶圆进行依次输送，所述检测箱设置于输送机构的中间部位，用于对输送机构上的晶圆厚度进行检测，所述输送机构由两组平行分布的传送链组件构成，且两组传送链组件之间设置有多组等间距分布的、用于放置晶圆的承载结构，两组传送链组件位于上方的链带贯穿检测箱的中间部位。

优选的，所述传送链组件包括两个链轮，两个所述链轮之间通过输送链连接，且两组输送链组件之间的链轮之间通过连接轴连接，所述连接轴的两端通过轴承转动连接有立板，其中一个所述立板上安装有电机及减速器，且所述电机通过减速器与连接轴连接。

优选的，所述承载结构包括四个呈矩形分布的支撑块，所述支撑块与输送链的表面固定连接。

优选的，四个所述支撑块相对一侧表面均设置有弧形缺口，所述弧形缺口的弧度与晶圆的弧度相吻合。

优选的，所述检测箱的内部设置有左右两侧开口的检测通道，所述检测通道的上下表面两侧内壁中间部位沿其长度方向均设置有安装板，所述安装板的表面沿其长度方向设置有多个等间距分布的激光传感器。

优选的，所述检测箱的底部四角处均设置有支撑腿，所述支撑腿的底部与立板的底部平齐。

本实用新型的一种晶圆厚度检测工作站具有以下优点：

1.该一种晶圆厚度检测工作站，通过两组传送链组件的设置，使得两组传送链组件的输送链之间存在有间距，从而使得晶圆的上表面及底部均可以暴露出来，从而使得检测箱便于对晶圆的上下两侧进行检测，从而有利于对晶圆的厚度进行精确检测。

2.该一种晶圆厚度检测工作站，使用时，处于承载结构上的晶圆跟随输送链的移动而移动，首先会通过检测箱的左侧进入检测箱内部，此时检测箱内部上下两侧的激光传感器便开始对晶圆进行测量，测量过程中，输送链会带动晶圆微微向前移动，使得晶圆边移动边测量，即可得到晶圆的厚度，且通过多个等间距分布的激光传感器的设置，便于覆盖晶圆的整个表面，从而提高了测量的精确度，且通过输送链一直输送，实现对晶圆厚度的不间断检测，从而大大提高了检测效率，且整个过程自动化程度高，降低了工人的劳动强度。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施方式的技术方案，下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1为本实用新型的整体结构示意图；

图2为图1的前视图；

图3为本实用新型中输送链的结构示意图；

图4为图3的俯视图；

图5为本实用新型中激光传感器与安装板的连接图；

图中标记说明：1、立板；2、连接轴；3、链轮；4、输送链；5、电机；6、减速器；7、承载结构；8、检测箱；9、支撑腿；10、安装板；11、激光传感器；12、支撑块；13、弧形缺口；14、检测通道。

具体实施方式

在下文中，仅简单地描述了某些示例性实施例。正如本领域技术人员可认识到的那样，在不脱离本实用新型实施例的精神或范围的情况下，可通过各种不同方式修改所描述的实施例。因此，附图和描述被认为本质上是示例性的而非限制性的。

在本实用新型实施例的描述中，需要理解的是，术语“长度”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型实施例和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型实施例的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型实施例的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型实施例中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接，还可以是通信；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型实施例中的具体含义。

下文的公开提供了许多不同的实施方式或例子用来实现本实用新型实施例的不同结构。为了简化本实用新型实施例的公开，下文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然，它们仅仅为示例，并且目的不在于限制本实用新型实施例。此外，本实用新型实施例可以在不同例子中重复参考数字和/或参考字母，这种重复是为了简化和清楚的目的，其本身不指示所讨论各种实施方式和/或设置之间的关系。

为了更好地了解本实用新型的目的、结构及功能，下面结合附图，对本实用新型一种晶圆厚度检测工作站做进一步详细的描述。

如图1-5所示，本实用新型的一种晶圆厚度检测工作站，包括输送机构及检测箱8，输送机构用于对晶圆进行依次输送，检测箱8设置于输送机构的中间部位，用于对输送机构上的晶圆厚度进行检测，输送机构由两组平行分布的传送链组件构成，且两组传送链组件之间设置有多组等间距分布的、用于放置晶圆的承载结构7，两组传送链组件位于上方的链带贯穿检测箱8的中间部位，传送链组件包括两个链轮3，两个链轮3之间通过输送链4连接，且两组输送链组件之间的链轮3之间通过连接轴2连接，连接轴2的两端通过轴承转动连接有立板1，其中一个立板1上安装有电机5及减速器6，且电机5通过减速器6与连接轴2连接，通过两组传送链组件的设置，使得两组传送链组件的输送链4之间存在有间距，从而使得晶圆的上表面及底部均可以暴露出来，从而使得检测箱8便于对晶圆的上下两侧进行检测，从而有利于对晶圆的厚度进行精确检测。

承载结构7包括四个呈矩形分布的支撑块12，支撑块12与输送链4的表面固定连接，四个支撑块12相对一侧表面均设置有弧形缺口13，弧形缺口13的弧度与晶圆的弧度相吻合，四个支撑块12相对一端均凸出输送链4，弧形缺口13处于凸出部位上，从而使得放置于弧形缺口13上的晶圆完全处于两个输送链4之间的位置处。

检测箱8的底部四角处均设置有支撑腿9，支撑腿9的底部与立板1的底部平齐，检测箱8的内部设置有左右两侧开口的检测通道14，检测通道14的上下表面两侧内壁中间部位沿其长度方向均设置有安装板10，安装板10的表面沿其长度方向设置有多个等间距分布的激光传感器11，处于承载结构7上的晶圆跟随输送链4的移动而移动，首先会通过检测箱8的左侧进入检测箱8内部，此时检测箱8内部上下两侧的激光传感器11便开始对晶圆进行测量，测量过程中，输送链4会带动晶圆微微向前移动，使得晶圆边移动边测量，即可得到晶圆的厚度，且通过多个等间距分布的激光传感器11的设置，便于覆盖晶圆的整个表面，从而提高了测量的精确度，且通过输送链4一直输送，实现对晶圆厚度的不间断检测，从而大大提高了检测效率。

该的工作原理：使用时，在该装置的左侧设置有上料机械手，在该装置的右侧设置下料机械手，通过上料机械手将晶圆放置于承载结构7上，通过输送链4对晶圆进行输送，使得晶圆进入到检测箱8内，此时检测箱8内上下两侧的激光传感器11对晶圆进行测量，使得晶圆边移动边测量，即可得到晶圆的厚度，当检测箱8内晶圆移出检测箱8来到下料机械手处时，通过下料机械手将晶圆取下，整个过程自动化程度高，降低了工人的劳动强度，大大提高了检测效率。

可以理解，本实用新型是通过一些实施例进行描述的，本领域技术人员知悉的，在不脱离本实用新型的精神和范围的情况下，可以对这些特征和实施例进行各种改变或等效替换。另外，在本实用新型的教导下，可以对这些特征和实施例进行修改以适应具体的情况及材料而不会脱离本实用新型的精神和范围。因此，本实用新型不受此处所公开的具体实施例的限制，所有落入本申请的权利要求范围内的实施例都属于本实用新型所保护的范围内。

Claims (6)

1.一种晶圆厚度检测工作站，其特征在于：包括：

输送机构，用于对晶圆进行依次输送；

检测箱(8)，设置于输送机构的中间部位，用于对输送机构上的晶圆厚度进行检测；其中，

所述输送机构由两组平行分布的传送链组件构成，且两组传送链组件之间设置有多组等间距分布的、用于放置晶圆的承载结构(7)，两组传送链组件位于上方的链带贯穿检测箱(8)的中间部位。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆厚度检测工作站，其特征在于：所述传送链组件包括两个链轮(3)，两个所述链轮(3)之间通过输送链(4)连接，且两组输送链组件之间的链轮(3)之间通过连接轴(2)连接，所述连接轴(2)的两端通过轴承转动连接有立板(1)，其中一个所述立板(1)上安装有电机(5)及减速器(6)，且所述电机(5)通过减速器(6)与连接轴(2)连接。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆厚度检测工作站，其特征在于：所述承载结构(7)包括四个呈矩形分布的支撑块(12)，所述支撑块(12)与输送链(4)的表面固定连接。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆厚度检测工作站，其特征在于：四个所述支撑块(12)相对一侧表面均设置有弧形缺口(13)，所述弧形缺口(13)的弧度与晶圆的弧度相吻合。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆厚度检测工作站，其特征在于：所述检测箱(8)的内部设置有左右两侧开口的检测通道(14)，所述检测通道(14)的上下表面两侧内壁中间部位沿其长度方向均设置有安装板(10)，所述安装板(10)的表面沿其长度方向设置有多个等间距分布的激光传感器(11)。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆厚度检测工作站，其特征在于：所述检测箱(8)的底部四角处均设置有支撑腿(9)，所述支撑腿(9)的底部与立板(1)的底部平齐。